专利名称：一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法
技术领域：
本发明涉及半导体刻蚀领域，具体涉及一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法。
背景技术：
在半导体设备中，进入反应室的气体有多种，为了分别控制各种气体的具体的流量，我们把这些气体分开用管道分开，各自依照工艺参数的要求进行控制流量的大小，在统一有一个阀门进入反应室。这样为了集中管理气体，我们把这些气体集中放到一个气路柜内进行分别控制。
半导体设备中的工艺过程中，由于工艺对于各种气体流量的确切要求很高，气体流量的大小影响到最后的工艺水平。所以为了准确控制气体的流量，就要随时对气路柜内的气体漏率进行检测。
同时，气路柜内有多路有毒气体，所以也必须保证气路的密封，以防止气体泄漏对人体产生危害，这也需要测量漏率，从而查找原因。
目前对于漏率的测量是由人参与来完成的。没有形成一个独立的功能单元，本方法提供了一个解决方法，使使用者能便捷的获得漏率值。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明的目的是提供一种测量刻蚀机气路柜漏率的方法。
(二)技术方案为达到上述目的，本发明的方法包括如下步骤设计一个漏率检测程序，该程序运行于与一质量流量校验计连接的计算机上，该质量流量校验计与气路柜连接，所述漏率检测程序执行如下步骤，打开气路柜的所有进气口和出气口，向气路柜内通入压力稳定的气体，冲洗气路柜内的所有气路，至该气路柜内气路的压力处于稳定状态；启动质量流量校验计，执行漏率检查；检查完毕，输出漏率值。
其中，所述漏率检测程序还执行如下步骤需要配置质量流量校验计的工作参数，并监测该质量流量校验计是否处于空闲状态，若是，则输出漏率值，若否，则进一步监测该质量流量控制器是否已经超时，若是，则输出漏率值。
(三)有益效果由于采用以上技术方案，本发明在工艺过程中能更加方便快捷的测得气路柜的漏率，而且操作简便。
图1是本发明所述方法的计算机控制设备连接示意图；图2是本发明所述的气路柜结构简图；图3是本发明所述的漏率检测程序流程图。
具体实施例方式
以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
本发明的计算机控制设备连接图如图1所示，工控机通过CPCI(Compact Peripheral Component Interconnect，紧凑式外围设备互联)板块与阀门和总阀门连接，通过串口卡与质量流量校验计和质量流量控制器连接。
本发明所述的气路柜结构简图，如图2所示。图中列举了四条气路，每个气路都有一个进气口、一个手动阀门、一个质量流量控制器以及分别置于左右两端的阀门，气体汇聚到阀门50后，经过质量流量校验计和总阀门到出气口5。
本发明所述的漏率检测程序流程图，如图3所示。漏率测量程序启动后，首先配置质量流量校验计的参数值，然后设置其计时的超市时间为1200s，打开所有阀门，并设置质量流量控制器的流量为最大值，对所有进气口中通入压力均匀的，冲洗气路。
关闭所有手动阀门，待气路内气压稳定后，启动质量流量校验计，开始检测气路柜的漏率，检测过程中，若质量流量校验计处于空闲状态，则漏率检测程序查询质量流量校验计的漏率检测结果，并将该结果发送给工控机，若质量流量校验计不处于空闲状态，则检测其本次运行时间是否超过1200s，若是则漏率检测程序查询质量流量校验计的漏率检测结果，并将该结果发送给工控机，否则继续监控质量流量控制器的状态直至其处于空闲状态或者运行时间超过1200s。
权利要求
1.一种检测刻蚀机气路柜漏率的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤设计一个漏率检测程序，该程序运行于与一质量流量校验计连接的计算机上，该质量流量校验计与气路柜连接，所述漏率检测程序执行如下步骤，打开气路柜的所有进气口和出气口，向气路柜内通入压力稳定的气体，冲洗气路柜内的所有气路，至该气路柜内气路的压力处于稳定状态；启动质量流量校验计，执行漏率检查；检查完毕，输出漏率值。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述漏率检测程序还执行如下步骤配置质量流量校验计的工作参数，并监测该质量流量校验计是否处于空闲状态，若是，则输出漏率值，若否，则进一步监测该质量流量控制器是否已经超时，若是，则输出漏率值。
全文摘要
本发明涉及半导体刻蚀领域，本发明提供了一种测量刻蚀机气路柜漏率的方法，本发明的方法的漏率检测程序启动后，自动将冲洗、封闭气路柜，并设定质量流量校验计的工作参数，最后得出气路柜的漏率值，本发明的技术方案的测量过程全部由计算机完成，使使用者能便捷的获得漏率值。
文档编号H01L21/02GK1865884SQ20051012644
公开日2006年11月22日 申请日期2005年12月9日 优先权日2005年12月9日
发明者熊坤 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司