专利名称：振动波驱动设备和振动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及振动波驱动设备和振动器。具体地说，本发明涉及小的直线型超声马达的振动器的形状。
背景技术：
在日本专利公开(Kokoku)No.H06-106028中披露的一种超声马达使用具有突出部的杆状或板状的振动器。在日本公开专利公报(Kokai)No.2001-111128中披露的超声马达使用具有代替突出部的接触部分的振动器。
如图12所示，在日本专利公开(Kokoku)No.H06-106028中披露的超声马达包括振动板51，其具有形成有突出部52a和52b的一个表面，在振动板51的另一个表面上提供有压电元件53a，53b和53c；以及设置成与突出部52a以及52b接触的被驱动部件55。压电元件53a，53b和53c激励振动板51以伸缩振动模式和弯曲振动模式产生振动。突出部52a和52b被设置在伸缩振动模式中振动腹点(loop ofvibration)处或振动腹点附近，从而其尖端沿图12中的“X”所示的方向作往返运动。突出部52a和52b还被设置在弯曲振动模式中振动腹点附近，从而其尖端沿图12中“Z”所示的方向作往返运动。伸缩振动模式中的振动和弯曲振动模式中的振动相组合，从而使突出部52a和52b的尖端作椭圆运动。这种椭圆运动使得馈送力被传递到被驱动部件55，以使被驱动部件55沿图12“X”所示的方向相对于振动板51运动。
振动板51具有被设置在伸缩振动模式中振动腹点处或其附近并且也被设置在弯曲振动模式中振动腹点附近的突出部52a和52b的理由是，被驱动部件55在与这些位置不同的位置处与振动板51的接触会引起麻烦，例如产生异常噪声或减少的输出。在与这些位置不同的位置处产生的椭圆运动的幅值和相位与在伸缩振动模式中振动腹点处或其附近以及在弯曲振动模式中振动腹点附近产生的椭圆运动的幅值和相位不同。这甚至妨碍被驱动部件55的运动。
如图13所示，在日本公开专利公报(Kokai)No.2001-111128中披露的超声马达包括框状的基体60，由基体60通过四个撑条支撑着的、并具有基本上光滑的表面而没有突出部或凹入部的矩形的平振动板61，在振动板61的一个端部62被设置在振动板61的一个表面上的压电元件63，以及设置成和振动板61的另一个表面相接触的被驱动部件65。
压电元件63激励振动板61产生一次平面外弯曲振动，从而引起振动板61弓形变形。这个变形引起振动板61的两端移位，借以使被驱动部件65沿图13中箭头所示的方向相对于振动板61运动。这个振动板61没有突出部，因而可加工性优异，由此提供可简化制造工艺以及容易获得所需的元件精度的优点。
不过，在日本公开专利公报(Kokai)No.2001-111128中披露的超声马达的情况下，振动器的振动板61只具有平面外弯曲振动模式作为其可被激励而产生振动的振动模式，这使得难于获得用于馈送被驱动部件的大的力。此外，在日本公开专利公报(Kokai)No.2001-111128披露的超声马达中，振动板61与被驱动部件65接触的接触部分是振动板61的边沿，其具有非常小的面积。因而，难于形成振动器的振动板与被驱动部件接触从而以高精度获得所需形状和所需平整度的接触部分。
在另一方面，在日本专利公开(Kokoku)No.H06-106028中披露的超声马达的情况下，振动器的振动板51以两种振动模式被激励，因而不存在上述的问题，即，超声马达的输出不足。而且，这种超声马达具有两个突出部52a和52b，因而不存在上述的接触部分的形状和平整度的问题。不过，在振动板51中，突出部52a和52b一般通过对材料进行机加工进行制备，这种机加工切去振动板51除了突出部之外的大部分。于是，振动板51由于机加工而趋于具有变形。此外，难于提供具有所需精度的机加工部分。此外，突出部52a和52b的存在增加了振动器的尺寸，这对于设计小型的超声马达是不合适的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种振动波驱动设备和振动器，使得能够确保通过机加工获得的所需的元件精度，并且能够增加相对于设备的尺寸的功率比。
为了实现上述目的，在本发明的第一个方面中，提供一种振动波驱动设备，包括被驱动部件，具有一个表面以及另一个表面的弹性部件，所述一个表面与被驱动部件相对，所述弹性部件具有形成在所述一个表面上的并被设置成与被驱动部件相接触的多个接触部分，所述弹性部件由单个部件形成，以及包括和所述弹性部件的另一个表面相连的机电转换元件，其中弹性部件和机电转换元件中至少之一具有与被驱动部件相对的部分，该部分具有在其中与接触部分不同的位置处形成的至少一个凹入部分，由此使弹性部件被设置成在接触部分与被驱动部件相接触。
优选地，所述弹性部件具有不与被驱动部件相对的第二部分，所述第二部分与所述接触部分齐平。
优选地，所述弹性部件通过冲压工艺或刻蚀工艺由金属板材制成。
优选地，所述机电转换元件包括层叠的压电元件，该层叠的压电元件具有彼此交替层叠的压电材料和电极材料。
优选地，所述弹性部件包括在其中多个位置处形成的多个第二凹入部分，用于调节振动器的振动特性。
优选地，所述弹性部件具有整体地形成在其上的至少一个支撑部分，用于支撑振动器。
优选地，所述机电转换元件以具有不同波长方向的多种平面外弯曲振动模式激励所述弹性部件。
更优选地，所述多个接触部分被形成在一种弯曲振动模式的腹点附近以及另一种弯曲振动模式的节点附近。
优选地，所述接触部分具有被形成在其与机电转换元件相对的表面中的至少一个间隔。
优选地，所述被驱动部件和所述弹性部件形成磁路。
为实现上述目的，在本发明的第二方面中，提供一种振动器，包括具有一个表面和另一个表面的弹性部件，所述弹性部件具有在所述一个表面上形成的多个接触部分，所述弹性部件由单个部件形成，以及包括与弹性部件的另一个表面接合的机电转换元件，其中所述机电转换元件以具有不同的波长方向的多种平面外弯曲振动模式激励所述弹性部件，所述弹性部件具有形成在其所述一个表面上的、在多个接触部分之间的凹入部分。
优选地，所述弹性部件通过冲压工艺或刻蚀工艺由金属板材形成。
优选地，所述机电转换元件包括层叠的压电元件，该层叠的压电元件具有彼此交替层叠的压电材料和电极材料。
优选地，所述弹性部件包括在其多个位置处形成的多个第二凹入部分，用于调节振动器的振动特性。
优选地，所述弹性部件具有被整体地形成在其上的至少一个支撑部分，用于支撑振动器。
优选地，所述多个接触部分被形成在一种弯曲振动模式的腹点附近以及另一种弯曲振动模式的节点附近。
优选地，所述接触部分具有形成在其与机电转换元件相对的表面中的至少一个间隔。
从下面结合附图进行的说明可以清楚地看出本发明的上述的以及其它的特征和优点，在所有的附图中，相同的附图标记表示相同或相似的部件。
图1是表示按照本发明的一个实施例的振动波驱动设备的示意透视图；图2是表示图1中的振动器的透视图；图3是沿图2的X-Z平面取的截面图，示出图2的振动器；图4A是用于解释激励图1的振动器的第一振动模式的图；图4B是用于解释激励振动器的第二振动模式的图；图5A-5G是顶视平面图，表示被层叠在图2中的压电元件板上的各个压电元件膜；图6是沿图2的X-Z平面取的截面图，示意地示出图2的振动器的第一变形的结构；图7是用于示出图2的振动器的第二变形的结构的示意透视图；图8是用于示出图2的振动器的第三变形的结构的示意透视图；图9是用于示出图2的振动器的第四变形的结构的示意透视图；图10是沿图9中的X-X线取的截面图；图11是示出图2的振动器的第五变形的结构的示意透视图；图12是用于解释常规超声马达的结构的示意图；以及图13是用于解释另一种常规超声马达的结构的示意图。
具体实施例方式
下面参照示出本发明的优选实施例的
本发明。
图1是示出作为按照本发明的一个实施例的振动波驱动设备的超声马达的示意透视图。
图1中的超声马达1主要包括振动器2和滑动件3，该滑动件3与振动器2保持接触并且同时通过振动器2加压。除了这些元件之外，超声马达1还包括用于使振动器2与外部设备电连接的柔性基板，用于支撑振动器2的支撑件，用于滑动件3的导向件，以及用于使滑动件3对着振动器2加压的加压机构。这些元件例如柔性基板和支撑件是已知的，因而省略其说明。
滑动件3包括方形的杆状滑动件基部31和板状摩擦件32，滑动件基部31由磁性材料制成，摩擦件32与滑动件基部31接合，并由具有高摩擦系数和高耐磨性的材料制成。在本实施例中，使用其表面经过氮化的基于马氏体的材料SUS440C作为摩擦件32的材料。
构成滑动件基部31的磁性材料连同构成振动板11的铁磁材料SUS440C一起构成磁路。当滑动件3被对着振动器2加压时，摩擦件32产生在摩擦件32和振动板11之间作用的摩擦力。
振动器2包括矩形的平板状弹性振动板11和压电元件板12，弹性振动板11的一个表面的部分被形成为与滑动件3的摩擦件32相接触的接触部分11-a(见图2)，压电元件板12也具有矩形的平板状形状，并通过使用粘合剂等粘结而接合到振动板11的另一个表面，因而呈现所谓的“单形态(unimorph)结构”。振动板11由0.15mm厚的板材SUS440C通过机加工形成，该板材SUS440C是一种铁磁的基于马氏体的不锈钢材料。整个振动板11具有基本上平板状的形状，因而可以呈现所需的平面内刚度。因而，振动器2可以满足单形态结构需要具有的振动板11的平面内刚度。
图2是用于示出图1中的振动器2的透视图。
在图2的振动器2中，振动板11和压电元件板12具有这样确定的形状及相对位置，即，使得沿方向“X”和“Y”这两个部件的边沿基本上彼此对齐。振动器2的长边为5.5mm，短边为3.1mm，厚度为0.5mm。
振动板11在其一个表面上具有构成较厚部分的两个接触部分11-a和两个边沿部分11-b。接触部分11-a沿Y方向延伸，而边沿部分11-b沿X方向延伸。振动板11在与滑动件3相对的区域还包括沿X方向被设置在振动板11中心的作为凹入部分的较薄部分11-c，以及沿X方向被设置在振动板11两端的作为凹入部分的两个较薄部分11-d。接触部分11-a的表面与边沿部分11-b的表面齐平。两个边沿部分11-b不与滑动件3相对。振动板11和用于支撑振动器2的未示出的支撑件整体地形成。
两个接触部分11-a分别被设置在第一振动模式的腹点附近以及第二振动模式的节点附近(图4A和图4B)。振动板11通过压电元件板12以第一振动模式和第二振动模式被激励。
使振动板11的一个表面上对应于较薄部分11-c和11-d的部分经过刻蚀处理从而具有减小的厚度，由此形成较薄部分11-c和11-d。较薄部分11-c和11-d具有0.1mm的厚度。
较薄部分11-c和11-d可通过使用冲压作凹口而形成。应当注意，上述的振动板11和压电元件板12的尺寸值仅以举例的方式给出，因而这些尺寸不限于上述的值。振动器2的这些尺寸值可以根据振动器2的所需的整体尺寸和振动模式的谐振频率来自由地设定。
图3是沿着图2中的X-Z平面取的截面图，用于示出图2的振动器2。
图3所示的压电元件板12由图5中的层叠的压电元件形成，这将在稍后进行说明。作为可替换方案，压电元件板12可以由体状的压电元件形成。
如图3所示，压电元件板12包括沿X方向并排设置的两个驱动部分13-A和13-B。当对这些驱动部分13-A和13-B的每一个施加预定的电场时，振动器2便以弯曲的方式变形。压电元件板12被固定地接合到振动板11，包括除去接触部分11-a之外的部分11-b，11-c和11-d，其和振动板11一起以弯曲方式变形。具体地说，当对各个驱动部分13-A和13-B施加其频率接近于在后面参照图4A和图4B说明的第一和第二振动模式下振动板11的谐振频率的交变电流信号，以使得所述交变电流信号的相位彼此偏移90度时，振动器2可被以第一和第二振动模式激励。这样，第一振动模式下的振动与第二振动模式下的振动基本上偏移90度。
图4A是用于解释激励图1的振动器2的第一振动模式的图，图4B是用于解释激励振动器2的第二振动模式的图。应当注意，为了容易理解第一振动模式和第二振动模式，图4A和图4B以夸大的方式示出振动器2的移位量。
在图4A中，第一振动模式是一次平面外弯曲模式，其中沿图2的X方向观察产生两个振动节点。在图4B中，第二振动模式是二次平面外弯曲模式，其中沿图2所示的Y方向观察产生3个振动节点。第一振动模式和第二振动模式在波长方向即产生节点的方向上不同。振动器2的形状被这样选择，以使得这两种振动模式具有基本相同的谐振频率。
当振动器2以第一振动模式被激励时，两个接触部分11-a沿图4中的Z方向反复作上下运动。当振动器2以第二振动模式被激励时，两个接触部分11-a沿图4中的X方向反复作前后运动。当执行以第一和第二振动模式的激励，以使得各振动模式被偏移例如90度的时间相位时，则多个接触部分11-a在X-Z平面内以不同的相位但相同的轨迹作椭圆运动。这些椭圆运动使得馈送力沿图1的X方向作用在被设置成与接触部分11-a呈压力接触的滑动件3上，从而使滑动件3相对于振动器2移动。
较薄部分11-c和11-d是凹入的或者低于接触部分11-a。因而，虽然在图4A和图4B中，以夸大的量示出了振动器的移位，但较薄部分11-c和11-d实际上不干涉滑动件3，即使在接触部分11-a进行椭圆运动时。结果，只有产生所需的馈送力的多个接触部分11-a(每个接触部分11-a产生基本上相同的馈送力)可接触滑动件3，由此可对滑动件3施加所需的馈送力。
图5A-5G是顶视平面图，以举例方式示出构成具有层叠结构的图2所示的压电元件板12的各压电元件膜S1-S7。压电元件膜S1-S7可被设计成不同的结构，例如在日本专利公报(Kokai)No.2004-320846中所描述的。
如图5A-5G所示，通过按照S1到S7的顺序对齐并层叠这7个压电元件膜并烧结层叠的膜，制备作为层叠的压电元件的压电元件板12。压电元件膜S2具有在其一个表面上形成的电极膜S2-A，S2-B和S2-S。压电元件膜S3具有在其一个表面上形成的电极膜S3-G。压电元件膜S4具有在其一个表面上形成的电极膜S4-A，S4-B。压电元件膜S5在其一个表面上具有电极膜S5-G。压电元件膜S6具有在其一个表面上形成的电极膜S6-A，和S6-B。压电元件膜S7具有在其一个表面上形成的电极膜S7-G。
压电元件膜S1中形成有4个贯穿电极S1-HA，S1-HB，S1-HS和S1-HG。压电元件膜S2中形成有3个贯穿电极S2-HA，S2-HB和S2-HG。压电元件膜S3中形成有3个贯穿电极S3-HA，S3-HB和S3-HG。压电元件膜S4中形成有3个贯穿电极S4-HA，S4-HB和S4-HG。压电元件膜S5中形成有3个贯穿电极S5-HA，S5-HB和S5-HG。压电元件膜S6中形成有1个贯穿电极S6-HG。
上述的各贯穿电极穿过各个压电元件膜沿膜的厚度方向被形成，以提供相关的电极膜之间的导电。构成表面层的压电元件膜S1的贯穿电极暴露于压电元件膜S1的表面，从而这些贯穿电极也用于提供压电元件板12和外部电路之间的导电。
贯穿电极S1-HA提供其自身与电极膜S2-A，S4-A和S6-A之间的导电。贯穿电极S1-HB提供其自身与电极膜S2-B，S4-B和S6-B之间的导电。贯穿电极S1-HG提供其自身与电极膜S3-G，S5-G和S7-G之间的导电。贯穿电极S1-HS提供其自身与电极膜S2-S之间的导电。
当贯穿电极S1-HG被用作公共电位电极，并且对贯穿电极S1-HA施加交流电位时，基本上压电元件板的一半用作为驱动部分13-A(图3)。当贯穿电极S1-HG被用作公共电位电极，并且对贯穿电极S1-HB施加交流电位时，基本上压电元件板的一半用作为驱动部分13-B(图3)。当振动器1处于被驱动状态时，通过利用贯穿电极S1-HG作为公共电位电极检测贯穿电极S1-HS的输出电位，提供用于监视振动器1的振动状态的传感器。
按照本实施例的超声马达1，接触部分11-a的表面与边沿部分11-b的表面齐平，因而可易于确保通过机加工获得的所需元件精度。此外，这种振动器没有突出部，因而振动器的尺寸可减少，由此可增加相对于超声马达1的尺寸的功率比。
此外，按照本实施例的超声马达1，振动板11在接触部分11-a和边沿部分11-b的整个范围内具有基本相同的厚度。因而，振动板2可通过冲压金属板材或者通过刻蚀工艺而形成，即，可选择形成振动板2的方法。
虽然分别作为一次平面外弯曲模式和二次平面外弯曲模式说明了第一振动模式和第二振动模式，但第一振动模式和第二振动模式不限于此。第一振动模式和第二振动模式也可以分别是一次平面外弯曲模式和四次(quaternary)平面外弯曲模式，或者可以分别是二次平面外弯曲模式和三次(ternary)平面外弯曲模式。简言之，第一振动模式和第二振动模式可以是任何弯曲振动模式，只要存在这样的多个位置，在这些位置处，椭圆运动在一种弯曲模式的腹点附近以及在另一种弯曲模式的节点附近具有基本相同的轨迹。
图6是沿图2的X-Z平面取的截面图，示意地示出图2的振动器的第一变形的结构。
图6的振动器102具有与图2的振动器2基本相同的结构。因此，与图1相同的元件用相同的附图标记表示，省略其重复说明。下面只说明与图2的振动器2不同的元件。这也适用于后面说明的其它变形。
如图6所示，去驱动部分14被插在压电元件板12和振动板11之间。振动板11和压电元件板12通过去驱动部分14被整体地连接在一起，振动板12和去驱动部分14用作为单形态结构所需的平面内刚性部分。
第一变形的压电元件板12优选地由层叠的压电元件形成。具体地说，图5所示的层叠压电元件的压电元件膜S7跟随有无电极并用作去驱动部分14的压电元件膜，由此提供如图6所示的包括去驱动部分14的压电元件板12的结构。
图7是示出图2的振动器的第二变形的结构的示意透视图。
如在图2所示的振动器2的情况下那样，图7的振动器202的振动板101包括接触部分11-a和边沿部分11-b。振动板101沿X方向和Y方向的长度小于压电元件板12的相应长度。
按照图7所示的振动器202，振动板101具有简单的形状，因而可以更容易地被制造。此外，振动板101具有接合到压电元件板12的减小的面积，因而由粘合剂吸收的振动能量可减少，从而提高超声马达的效率。
图8是表示图2的振动器的第三变形的结构的示意透视图。
图8的振动器302的振动板11包括4个补偿较薄部分11-e，它们被设置在较薄部分11-c的相对的较长侧，在每个较长侧设置两个补偿较薄部分11-e。补偿较薄部分11-e的每一个具有与较薄部分11-c相同的厚度。例如通过进行刻蚀工艺以便从金属板材除去不需要的部分，补偿较薄部分11-e由金属板材与较薄部分11-c同时地形成。
补偿较薄部分11-e被这样成形，使得振动器11的谐振频率在两种振动模式中以相同的方式改变，并根据两个较薄部分11-c和11-e的厚度而改变。在第三变形中，补偿较薄部分11-e基本上在第二振动模式的节点附近的4个位置处被形成，从而在两种振动模式中谐振频率以相同的比率改变。
按照图8的振动器302，可调节由于在较薄部分的形成期间引起的厚度改变而导致的、分别在两种振动模式中振动器302的谐振频率的差异的改变，从而防止振动器302具有劣化的振动特性。
图9是表示图2的振动器的第四变形的结构的示意透视图。
在图9的振动器402的振动板11中，每个接触部分11-a具有凹入部分11-a’(图10)，从而在与压电元件板12相对的振动板11的表面内形成间隔。结果，接触部分11-a可以使振动板11具有沿图9的Z方向呈现的弹性特性，从而接触部分11-a可以稳定的方式接触滑动件3，由此使得能够有效地向滑动件3传递振动器402的振动能量。这种弹性特性可通过选择接触部分11-a的厚度或沿X方向的尺寸而被设置为所需的值。
图11是用于表示图2的振动器的第五变形的结构的示意透视图。
图11的振动器502的振动板11和振动器502的一对支撑部分11-f被整体地形成，所述支撑部分沿图11的Y方向从振动板11的本体突出。
按照图11的振动器502，支撑部分11-f和振动器502被整体地形成，因而例如能够抑制由元件接合的状态引起的振动能量的耗散以及振动特性的改变。
当振动板11例如通过冲压或刻蚀工艺被形成时，支撑部分11-f可以和振动板11同时地形成。这适合于批量生产，并且提供稳定的元件精度，从而支撑部分的改善的尺寸精度能够抑制由振动器502的支撑状态引起的特性的改变。
在不脱离本发明的构思和范围的情况下，可以作出许多明显地广泛不同的实施例，因此应当理解，本发明不限于其特定的实施例，而只由所附权利要求限定。
如前面详细说明的，按照本发明的第一方面的振动波驱动设备，弹性部件(其由单个部件形成并包括形成有被设置成与被驱动部件相接触的多个接触部分的一个表面)和机电转换元件(其和弹性部件的另一个表面接合)中的至少一个具有与被驱动部件相对的一部分，并且至少一个凹入部分被形成在刚刚提及的部分中与接触部分不同的位置处，由此使弹性部件被设置成与被驱动部件在接触部分相接触；结果，可确保通过机加工获得的所需的元件精度，并增加相对于设备尺寸的功率比。
按照本发明的第二方面的振动器，弹性部件由单个部件形成，并包括这样一个表面，在所述表面上形成有多个接触部分，并且在所述表面上所述接触部分之间形成有凹入部分，机电转换元件和弹性部件的另一个表面接合，并以具有不同波长方向的多种平面外弯曲振动模式激励所述弹性部件；结果，可确保通过机加工获得的所需的元件精度，并增加相对于设备尺寸的功率比。
权利要求
1.一种振动波驱动设备，包括被驱动部件；具有一个表面以及另一个表面的弹性部件，所述一个表面与所述被驱动部件相对，所述弹性部件具有形成在该一个表面上并设置成与所述被驱动部件相接触的多个接触部分，所述弹性部件由单个部件形成；以及被接合到所述弹性部件的该另一个表面的机电转换元件；其中所述弹性部件和所述机电转换元件中至少之一具有与所述被驱动部件相对的部分，所述部分具有在其中与所述接触部分不同的位置处形成的至少一个凹入部分，由此所述弹性部件被设置成在所述接触部分与所述被驱动部件相接触。
2.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述弹性部件具有不与所述被驱动部件相对的第二部分，所述第二部分与所述接触部分齐平。
3.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述弹性部件由金属板材通过冲压或者刻蚀工艺形成。
4.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述机电转换元件包括层叠的压电元件，该层叠的压电元件具有彼此交替层叠的压电材料和电极材料。
5.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述弹性部件包括在其中多个位置处形成的多个第二凹入部分，用于调节该振动器的振动特性。
6.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述弹性部件具有整体地形成在其上的至少一个支撑部分，用于支撑所述振动器。
7.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述机电转换元件以具有不同波长方向的多种平面外弯曲振动模式来激励所述弹性部件。
8.如权利要求7所述的振动波驱动设备，其中所述多个接触部分在一种弯曲振动模式的腹点附近和另一种弯曲振动模式的节点附近形成。
9.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述接触部分具有在其与所述机电转换元件相对的表面内形成的至少一个间隔。
10.如权利要求1所述的振动波驱动设备，其中所述被驱动部件和所述弹性部件形成磁路。
11.一种振动器，包括具有一个表面和另一个表面的弹性部件，所述弹性部件具有形成在所述一个表面上的多个接触部分，所述弹性部件由单个部件形成；以及被接合到所述弹性部件的该另一个表面的机电转换元件；其中所述机电转换元件以具有不同波长方向的多种平面外弯曲振动模式来激励所述弹性部件，并且所述弹性部件具有形成在其所述一个表面上的、在所述多个接触部分之间的凹入部分。
12.如权利要求11所述的振动器，其中所述弹性部件由金属板材通过冲压或者刻蚀工艺形成。
13.如权利要求11所述的振动器，其中所述机电转换元件包括层叠的压电元件，该层叠的压电元件具有彼此交替层叠的压电材料和电极材料。
14.如权利要求11所述的振动器，其中所述弹性部件包括在其中多个位置处形成的多个第二凹入部分，用于调节该振动器的振动特性。
15.如权利要求11所述的振动器，其中所述弹性部件具有整体地形成在其上的至少一个支撑部分，用于支撑该振动器。
16.如权利要求11所述的振动器，其中所述多个接触部分在一种弯曲振动模式的腹点附近和另一种弯曲振动模式的节点附近形成。
17.如权利要求11所述的振动器，其中所述接触部分具有在其与所述机电转换元件相对的表面内形成的至少一个间隔。
全文摘要
本发明披露了一种振动波驱动设备，其使得可确保通过机加工获得的所需的元件精度，并能够增加相对于设备尺寸的功率比。多个接触部分被形成在振动器的弹性振动板的一个表面上，并被设置成与滑动件的摩擦件相接触。压电元件板被接合到振动板的另一个表面。在振动板内不同于接触部分的位置处形成作为凹入部分的较薄部分，由此振动板被设置成在接触部分与滑动件的摩擦件相接触。
文档编号H01L41/09GK1943101SQ20058001109
公开日2007年4月4日 申请日期2005年6月9日 优先权日2004年6月9日
发明者小岛信行, 北岛晓 申请人:佳能株式会社