专利名称：具有氮化氧化物层的半导体器件及其方法
技术领域：
本发明通常涉及半导体器件，更具体地，涉及一种具有氮化氧化 物层的半导体器件及其方法。
背景技术：
许多半导体非易失存储器阵列需要用于编程和擦除操作的相对高 的电压。在非易失存储器阵列的制造过程中，能够耐受例如相对高的 编程和擦除电压的耐高压晶体管是与该阵列同时实现的。在依赖纳米 晶体用于电荷存储的非易失存储器阵列中，电荷存储层是在高压晶体 管的栅氧化物形成之前形成的。非易失器件中的进一步的氧化可能导 致隧道氧化物厚度的增加。而且，进一步的氧化可能引起纳米晶体氧 化或收縮。改变电荷存储层可能导致对更高的编程和擦除电压的需要。 而且，改变电荷存储层可能导致编程和擦除阈值电压的不需要的变化。因此，需要一种非易失存储器器件，其具有准确控制的电荷存储 区域，同时还减少了所需用于制造该器件的步骤。
图1说明了根据本发明的具有隧道氧化物和电荷存储层的半导体 器件的一部分的截面视图。图2说明了根据本发明的暴露于氮化环境的半导体器件的一部分 的截面视图。图3说明了根据本发明的在对电荷存储区域构图之后的半导体器 件的一部分的截面视图。图4说明了根据本发明的在形成与构图电荷存储区域相邻的栅介 质之后的半导体器件的一部分的截面视图。
图5说明了根据本发明的在形成多晶硅层之后的半导体器件的一 部分的截面视图。图6说明了根据本发明的在多晶硅层中形成栅极之后的半导体器 件的一部分的截面视图。
具体实施方式
一般地，在一个形式中，本发明提供了一种用于形成半导体器件 的方法，其包括提供半导体基板；在半导体基板的表面上形成第一 绝缘层；在第一绝缘层的表面上形成纳米晶体层；在纳米晶体层上面 形成第二绝缘层；向第二绝缘层施加氮化环境；选择性地移除部分纳 米晶体层以及第一和第二绝缘层，以暴露半导体基板的表面；并且在 半导体基板的暴露表面上形成第三绝缘层。在另一形式中，本发明提供了一种半导体器件，其包括半导体 基板；第一绝缘层，其在半导体基板的表面上形成；构图纳米晶体层， 其在第一绝缘层的表面上形成；第二绝缘层，其在纳米晶体层上面形 成，该第二绝缘层具有大于等于2原子百分数的第二绝缘层的氮含量； 和第三绝缘层，其在半导体基板的表面上的没有第一和第二绝缘层的 区域中形成。通过使第二绝缘层氮化，减少了纳米晶体和第一绝缘层的氧化， 因此减少或限制了形成后继的氧化物层时的氧化物厚度变化。而且， 使用氮化替换氧化阻挡层，简化了制造工艺。图l说明了在半导体基板12上形成的具有隧道氧化物14和电荷 存储层16的半导体器件10的一部分的截面视图。半导体基板12可由 硅形成。第一绝缘层14在基板12上形成，其用作非易失存储器单元 的隧道氧化物。第一绝缘层14可以是二氧化硅、氮化氧化物或者其他 的高k介质。绝缘层14可以是热生长的或淀积的，并且厚度可以是50 埃。电荷存储叠层16包括多个离散电荷存储元件。在所说明的实施例 中，使用由电荷存储层16中的小圆圈表示的纳米晶体形成多个离散电 荷存储元件。这些纳米晶体典型地由硅形成，但是离散存储元件还可 由例如锗、碳化硅、许多金属或这些材料的任何组合组成的材料团簇 形成。纳米晶体优选地通过化学淀积淀积，但是也可以使用其他的工 艺。用于形成纳米晶体的其他工艺包括薄的无定形硅层的再结晶和预 制纳米晶体的淀积。在纳米晶体形成之后，可以通过使用氧化亚氮使纳米晶体氧化而使其钝化。图2说明了暴露于氮化环境的半导体器件10的一部分的截面视 图。电荷存储叠层16包括由氧化物15包围的纳米晶体13。可替换地， 电荷存储叠层16可以通过形成相互堆叠的多个相对薄的绝缘层形成， 诸如绝缘层17。在形成电荷存储叠层16之后，使半导体器件10暴露 于氮化环境。氮化环境包括氨、氧化亚氮、原子氮或者其他氮化合物 中的一个或多个。用于使半导体器件IO暴露于氮化环境的工艺可以包 括等离子体氮化、热氮化或者离子氮化中的一个。将半导体器件10安置在具有等离子体源、热源或离子源中的一个 或多个的处理腔室中。适当腔室是可以以商业手段获得的。在该处理 腔室中，使半导体器件暴露于等离子体18，以提供大于等于2原子百 分数并且优选地为2 10原子百分数的氮含量。图3说明了在对电荷存储区域16和第一绝缘层14构图以形成构 图电荷存储层20之后的半导体器件10的一部分的截面视图。将光刻 胶层(未示出)淀积在电荷存储区域16上，并且随后对其构图。可选 地，在另一实施例中，使用如上文所述的等离子体源、热源或离子源 中的一个或多个，使用含氮等离子体19的氮化步骤可以在构图之后完 成，而非在构图之前完成。图4说明了在形成与构图电荷存储层20相邻的栅介质22之后的 半导体器件10的一部分的截面视图。该栅介质22可以具有适应例如
高压晶体管和逻辑电路的一个厚度，也可以具有分别与之适应的不同 的厚度。图5说明了在构图电荷存储层20和栅介质22上形成多晶硅层24 之后的半导体器件IO的一部分的截面视图。图6说明了在对多晶硅层24构图和刻蚀以形成栅极之后的半导体 器件IO的一部分的截面视图。非易失存储器单元23和25表示在集成 电路上实现的非易失存储器单元阵列。该非易失存储器单元可以位于 "独立"存储器器件上或者嵌入在其他电路中，诸如中央处理单元。 通过选择性地刻蚀电荷存储层20、第一绝缘层14和多晶硅层24形成 非易失存储器单元23和25。栅电极28由多晶硅层24形成。应当注意，存储器阵列需要用于接入存储器阵列的附加电路，无 论该存储器阵列是否是嵌入的，诸如行和列解码器和输入/输出(I/O) 电路。某些该附加电路可以暴露于相对高的编程和擦除电压，并且因 此相比于未暴露于较高的编程和擦除电压的电路，将需要更厚的栅氧 化物。图6中的晶体管31和33表示所需用于实现附加电路的晶体管。 构图电荷存储层20的氮化防止了存储器单元23和25中的纳米晶体的 氧化和收縮，并且防止了第一绝缘层14的厚度增加。氮化的第二绝缘 层20并入了氧化阻挡层，并且因此提供了用于制造半导体器件10的 相对简单的工艺流程。侧壁隔层和源极/漏极区域未在图6中示出，但是其通常包括在晶 体管的形成过程中。典型地，通过淀积隔层材料层，随后对隔层材料 进行各向异性刻蚀，形成侧壁隔层。隔层材料典型地是氮化物。源极/ 漏极区域典型地扩散到与栅极叠层相邻。尽管在优选实施例的背景下描述了本发明，但是本领域的技术人 员应当认识到，本发明可以通过许多方法进行修改，并且可以采取许 多不同于上文具体描述的实施例。因此，所附权利要求应涵盖本发明 的真实范围内的所有本发明的修改方案。上文针对具体的实施例描述了益处、其他优点和对问题的解决方 案。然而，益处、优点、对问题的解决方案、以及可以使任何益处、 优点、解决方案出现或变得更加显著的任何因素，不应被解释为任何 或所有权利要求的关键的、必需的或基本的特征或要素。如此处使用 的术语"包括"或其任何变化形式，目的在于涵盖非排他性的内含物， 由此包括一系列要素的工艺、方法、物体或装置不仅包括这些列出的 要素，而且可以包括未明确列出的或者对于该工艺、方法、物体或装 置是固有的其他要素。
权利要求
1. 一种用于形成半导体器件的方法，包括 提供半导体基板；在半导体基板的表面上形成第一绝缘层； 在第一绝缘层的表面上形成纳米晶体层； 在纳米晶体层上面形成第二绝缘层； 向第二绝缘层施加氮化环境；选择性地移除部分纳米晶体层以及第一和第二绝缘层，以暴露半 导体基板的表面；并且在半导体基板的暴露表面上形成第三绝缘层。
2. 如权利要求l所述的方法，进一步包括在第二绝缘层上面形成 构图多晶硅层，其中所述构图多晶硅层形成了多个非易失存储器单元 的栅电极。
3. 如权利要求2所述的方法，其中在第三绝缘层上面形成构图多 晶硅层，以形成多个晶体管的栅电极。
4. 如权利要求l所述的方法，其中向第二绝缘层施加氮化环境包 括使用等离子体氮化施加氮化环境。
5. 如权利要求l所述的方法，其中向第二绝缘层施加氮化环境包 括使用热氮化施加氮化环境。
6. 如权利要求l所述的方法，其中向第二绝缘层施加氮化环境包 括使用离子注入施加氮化环境。
7. 如权利要求l所述的方法，进一步包括在第二绝缘层上面形成第四绝缘层；并且 向第四绝缘层施加氮化环境。
8.如权利要求l所述的方法，其中形成第二绝缘层包括通过形成 绝缘层的叠层形成第二绝缘层。
9. 如权利要求8所述的方法，其中向第二绝缘层施加氮化环境包 括在形成绝缘层叠层的每一层之后，向绝缘层叠层的每一层施加氮 化环境。
10. 如权利要求1所述的方法，进一步包括在向第二绝缘层施加 氮化环境之后使半导体器件退火。
11. 如权利要求1所述的方法，其中在选择性地移除部分纳米晶 体层之后，向第二绝缘层施加氮化环境。
12. 如权利要求l所述的方法，其中氮化环境包括氨、氧化亚氮、 原子氮或者其他氮化合物中的一个或多个。
13. —种半导体器件，包括 半导体基板；第一绝缘层，其在半导体基板的表面上形成；构图纳米晶体层，其在第一绝缘层的表面上形成；第二绝缘层，其在纳米晶体层上面形成，所述第二绝缘层具有大于或等于2原子百分数的第二绝缘层的氮含量；和第三绝缘层，其在半导体基板的表面上且不在第一和第二绝缘层之上形成。
14. 如权利要求13所述的半导体器件，进一步包括构图多晶硅层， 其在第二绝缘层上形成，其中所述构图多晶硅层形成了多个非易失存 储器单元的栅电极。
15. 如权利要求14所述的半导体器件，其中构图多晶硅层在第三 绝缘层上面形成，以形成多个晶体管的栅电极。
16. 如权利要求13所述的半导体器件，其中使用等离子体氮化、 热氮化或离子注入中的一个来产生第二绝缘层的氮含量。
17. 如权利要求13所述的半导体器件，其中第二绝缘层包括绝缘层叠层。
18. 如权利要求13所述的半导体器件，其中在约400 1000摄氏度的温度下使半导体器件退火。
19. 如权利要求13所述的半导体器件，其中使用包括氨、氧化亚 氮、原子氮或者其他氮化合物中的一个或多个的氮化环境来提供第二 绝缘层的氮含量。
20. 如权利要求13所述的半导体器件，其中半导体器件包括多个 非易失存储器单元。
全文摘要
一种半导体器件，包括基板(12)、在基板(12)的表面上形成的第一绝缘层(14)、在第一绝缘层(14)的表面上形成的纳米晶体层(13)、在纳米晶体层(13)上面形成的第二绝缘层(15)。向第二绝缘层(15)施加氮化环境，以形成在基板(12)上形成第三绝缘层(22)时阻挡进一步氧化的阻挡层。第二绝缘层(15)的氮化在未增加用于制造半导体器件(10)的工艺流程的复杂性的情况下，防止了纳米晶体的氧化或收缩，并且防止了第一绝缘层14的厚度的增加。
文档编号H01L21/4763GK101124667SQ200580041207
公开日2008年2月13日 申请日期2005年12月16日 优先权日2005年1月26日
发明者林相佑, 罗伯特·F·施泰梅尔 申请人:飞思卡尔半导体公司