专利名称：具有密封机构的树脂封固成形装置及设在该装置上的模具组件的构成零件的拆卸方法
技术领域：
本发明涉及一种对设在使用模具组件对ic (集成电路)等电子器件进行 封固并予以成形的装置上的密封机构的改进及设在该装置上的模具组件的构 成零件的拆卸方法。
背景技术：
以往使用一种包括具有上模及下模的模具组件的树脂封固成形装置(下面 简称"装置")。在这种装置中，在模具组件内的空间中残留有所谓的湿气等 含有水分的空气。因此，在树脂封固成形时，残留空气会混入熔融的树脂材料 中。结果在树脂成形体的内部及表面会形成空隙(气泡)。
为了防止上述空隙的产生，设置有密封机构及减压机构。密封机构用于使 模具组件内的空间成为与外部气体遮断的空间(下面称作"外部气体遮断空 间")。另外，减压机构用于通过强制吸引而将残留在模具组件内的空间中的 空气等排出。外部气体遮断空间与减压机构通过真空通路相互连通。
采用上述以往的树脂封固成形装置，在模具组件内的空间的真空度被设定 成期望值的状态下，对设在上模和下模中的一方的型面上的引线框(基板)上
的电子器件进行封固(例如日本专利第3566426号(参照日本专利特开平 9-123205号公报))。
另外，为了将模具组件内的空间与外部气体遮断，以往的密封机构包括 以包围上模的四个侧面的形态进行设置的上模侧外部气体遮断部件、以及以包 围上模的四个侧面的形态进行设置的下模恻外部气体遮断部件。由此，在将上 模和下模合上时，上模侧外部气体遮断部件与下模侧外部气体遮断部件接触，
形成所述外部气体遮断空间。
另外，上模侧外部气体遮断部件绕将上模侧安装基板与上模侧外部气体遮 断部件相连的铰链的转轴转动。由此，在转动后的上模侧外部气体遮断部件与 安装有上模的上模侧安装基板之间形成上模侧开口。在此状态下，构成上模的 成形面的上模凹槽单元通过该上模侧开口安装在上模座上，或从上模凹槽单元 上拆下。
另一方面，下模侧外部气体遮断部件绕将下模侧安装基板与下模侧外部气 体遮断部件相连的铰链轴转动。由此，在转动后的下模侧外部气体遮断部件与 安装有下模的下模侧安装基板之间形成下模侧开口。在此状态下，构成下模的 成形面的下模凹槽单元通过下模侧开口安装在下模座上，或从下模座上拆下。
另外，采用上述以往的树脂封固成形装置，在对上模和下模各自的型面进 行清理时，可使上模侧外部气体遮断部件及下模侧外部气体遮断部件退避到不 会妨碍被插入上模与下模之间的空间中的清理机构的位置。
另外，采用上述装置，会频繁地更换内置的模具组件(上模及下模)，但 如上所述，由于上模侧外部气体遮断部件和下模侧外部气体遮断部件分别以形 成用于模具组件的安装及拆卸的开口的形态转动，因此用于更换模具组件的作 业效率高。
另外，在上述装置中，为了固定下模侧外部气体遮断部件与下模侧安装基 板，在模具组件的背面设置有铰链，在正面设置有冲头锁(punch lock)。冲 头锁也用于固定上模侧外部气体遮断部件与上模侧安装基板。使用所述冲头锁 及铰链的固定方法有助于提高模具组件更换作业的效率。
专利文献l:日本专利第3566426号(日本专利特开平9-123205号公报)
发明的公开
发明所要解决的技术问题
由于上述以往的密封机构是以用于更换模具组件的作业效率为重而进 行设计的，因此会产生如下问题。
采用以往的密封机构，在开始树脂封固成形时可保持稳定的气密性。 但是，若反复进行树脂封固成形，则残留在模具组件内的树脂渣会残留下
来。该树脂渣并不残留在上模内，而是自然落向下模。因此，残留在模具组 件内的树脂渣在下模侧外部气体遮断部件与下模侧安装基板之间的缝隙中堆 积。若树脂渣在该缝隙中堆积，则会缩短O形圈等密封部件的寿命，加快密封 部件的恶化和损伤。结果无法将模具组件内的空间的真空度维持在期望值。
另外，若无法将模具组件内的空间的真空度维持在期望值，则为了除去堆 积在上述缝隙中的树脂渣，需要人为地进行清理。但是，由于下模侧外部气体 遮断部件与下模侧安装基板由铰链相连，因此很难从下模侧外部气体遮断部件 与下模侧安装基板之间的间隙将树脂渣完全除去。
总之，采用以往的树脂封固成形装置，虽可提高用于更换模具组件的作业 效率，但无法防止模具组件内的空间的气密性下降。
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种不会导致用于更换模具组件 的作业效率下降、具有可防止模具组件内的空间的气密性下降的密封机构 的树脂封固成形装置以及设在该装置上的模具组件的构成零件的拆卸方 法。
解决技术问题所采用的技术方案
本发明的树脂封固成形装置包括具有上模和与该上模相对的下模的模具 组件、安装有上模的上模侧安装基板、安装有下模的下模侧安装基板、以及用 于使模具组件内的空间成为与外部气体遮断的状态的密封机构。
密封机构包括以包围上模的侧面的形态安装在上模侧安装基板上的上模 侧外部气体遮断部件、以及以包围下模的侧面的形态安装在下模侧安装基板上 的下模侧外部气体遮断部件。另外，密封机构包括将上模侧外部气体遮断部 件固定在上模侧安装基板上的上模侧固定件、将下模侧外部气体遮断部件固定 在下模侧安装基板上的下模侧固定件、以及将上模侧外部气体遮断部件与上模 侧安装板可转动地相连的枢轴部件。
另外，只要将下模侧固定件从下模侧安装基板和下模侧外部气体遮断部件 上拆下，下模侧外部气体遮断部件就成为可从下模侧安装基板上完全拆下的状 态。
另外，密封机构还可包括限制上模侧外部气体遮断部件的转动范围的转动
限制部件。
另外，密封机构还包括将上模侧外部气体遮断部件与上模侧安装基板之 间的缝隙堵塞的上模侧密封部件、将下模侧外部气体遮断部件与下模侧安装基 板之间的缝隙堵塞的下模侧密封部件、以及将上模侧外部气体遮断部件与下模 侧外部气体遮断部件之间的缝隙堵塞的中间密封部件。
另外，密封机构还可包括用于固定上模侧安装基板与上模侧外部气体遮断 部件的锁定部。
本发明的模具组件的构成零件的拆卸方法应用于树脂封固成形装置。 所述树脂封固成形装置包括具有上模和与该上模相对的下模的模具组 件、安装有上模的上模侧安装基板、安装有下模的下模侧安装基板、以及用于 使模具组件内的空间成为与外部气体遮断的状态的密封机构。
所述密封机构包括以包围上模的侧面的形态安装在上模侧安装基板上的 上模侧外部气体遮断部件、以包围下模的侧面的形态安装在下模侧安装基板上 的下模侧外部气体遮断部件、将上模侧外部气体遮断部件固定在上模侧安装基 板上的上模侧固定件、将下模侧外部气体遮断部件固定在下模侧安装基板上的 下模侧固定件、以及将上模侧外部气体遮断部件与上模侧安装板可转动地相连 的枢轴部件。
在本发明的模具组件的构成零件的拆卸方法中，首先将上模侧固定件从上 模侧安装基板和上模侧外部气体遮断部件上拆下。接着，使上模恻外部气体遮 断部件以枢轴部件为转轴转动，在上模侧外部气体遮断部件与上模侧安装基板 之间形成开口。之后，通过该开口，将上模的至少一部分从上模安装基板上拆 下。接着，将下模侧固定件从下模侧安装基板和下模侧外部气体遮断部件上拆 下。之后，将下模侧外部气体遮断部件从下模侧安装基板上拆下。接着，将下 模的至少一部分从下模侧安装基板上拆下。
另外，在将所述下模外部气体遮断部件拆下的步骤中，也可用器具将下模 外部气体遮断部件拆下。
发明效果
采用本发明，可提供一种不会导致用于更换模具组件的构成零件的作业
效率下降、具有可防止模具组件内的空间的气密性下降的密封机构的树脂 封固成形装置以及设在该装置上的模具组件的构成零件的拆卸方法。
本发明的上述及其它目的、特征、方面及优点通过参照附图来理解并通过 本发明的下面的详细说明得以明确。
图1是概略地表示实施形态的树脂封固成形装置的密封机构的侧视图。 图2是概略地表示实施形态的树脂封固成形装置的密封机构的主视图。
图3是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的上模凹槽单元的方法
进行说明的侧视图。
图4是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的上模凹槽单元的方法 进行说明的侧视图。
图5是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的下模凹槽单元的方法 进行说明的主视图。
图6是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的下模凹槽单元的方法 进行说明的主视图。
图7是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的下模凹槽单元的方法 进行说明的主视图。
图8是用于对更换实施形态的树脂封固成形装置的下模凹槽单元的方法 进行说明的主视图。 (符号说明)
1上模
2下模
3上模凹槽单元
4上模座
5燕尾槽
6固定块体
7下模凹槽单元
8下模座
9燕尾槽
10外部气体遮断空间
11上模侧外部气体遮断部件
lla转动后的下模侧外部气体遮断部件
12下模侧外部气体遮断部件
13上模侧密封部件
14下模侧密封部件
15上模侧安装基板
16下模侧安装基板
17中空密封部件
17a膨胀后的中空密封部件
18加压机构
19加压路径
20减压机构
21真空路径
22枢轴部件
23转动限制部件
24上模侧固定件
24a螺栓
24b锁定部
25防止部
26开口
27下模侧固定件
27a螺栓
28上模侧插入孔
29下模侧插入孔
30第一模具组件更换器具
31上模侧突出部
32下模侧突出部 33通孔
34第二模具组件更换器具
35凹部
36嵌合用零件
50连接杆
60搬运导轨
61凹部
100树脂封固成形装置 A指示更换面位置的箭头
具体实施例方式
下面参照图1 图8对实施形态的树脂封固成形装置进行说明。另外， 图1 图8中的主视图是沿着用于更换模具组件的路径的方向看装置时的 图。因此，图中的箭头A的前端指示模具组件的取出及拆卸路径中的特定 的面，该面称作更换面A。
如图1 图8所示，本实施形态的树脂封固成形装置100(下面简称"装 置100")包括模具组件。模具组件包括位置被固定的上模l、以及以与 上模1相对的形态进行设置的可移动的下模2。
如图2及图5 图8所示，装置100包括基座(未图示)和从基座起 沿铅垂方向延伸的所需数量的连接杆50。另外，在各连接杆50的上端固定 有固定部件(未图示)。相对各连接杆50可滑动地安装有可动部件(未图 示)。
另外，在固定部件上安装有上模侧安装基板15，在可动部件上安装有 下模侧安装基板16。装置100包括搬运导轨60。搬运导轨60用于引导供 给取出机构(未图示)。供给取出机构向模具组件供给树脂材料或基板， 或将它们从模具组件中取出。供给取出机构具有将树脂渣从型面除去的功
能，可进入上模1与下模2之间的空间中，或从该空间中退出。供给取出
机构可与装置ioo设置成一体，也可以是与装置IOO分开。
另外，装置100并不限定于如图所示的具有一个模具组件的装置，也
可具有分别可自由装拆的多个模具组件。
另外，模具组件的构造并不限定于具有上模1及下模2的两箱构造，
也可以是在上模1与下模2之间具有中间模的三箱构造，或具有由三个以
上的模构成的构造。
这种模具组件可以是连续自动送进成形用的模具组件，或是非连续自
动送进成形(挤压成形)用的模具组件。另外，模具组件的型面也可被分
模薄膜覆盖。
另外，作为利用装置ioo形成的成形品(例如安装有电子器件的基板)，
可以考虑引线接合基板、倒装片基板或晶片基板等晶片级封装体等。基板 的形状可以是圆形或多边形等任何形状。基板可以是金属制引线框或称作 PC (印刷电路)板的由塑料、陶瓷、玻璃及其它材质构成的印刷电路板等 任何基板。另一方面，为了封固成形而使用的树脂材料可以是小片状树脂、 液态树脂、颗粒状树脂或粉末状树脂等任何形态的树脂材料。
上模1固定在后述的上模侧安装基板15上。上模侧安装基板15安装 在固定部件上。即，上模1被间接地固定在固定部件上。另外，下模2固 定在后述的下模侧安装基板16上。下模侧安装基板16安装在可动部件上。 即，下模2被间接地固定在可动部件上。
可动部件可通过利用设在基座上的油压机构、气动机构或电动马达等 的模具开闭机构(未图示)沿上下方向移动。该模具开闭机构可使下模2、 后述的下模侧外部气体遮断部件12及下模侧安装基板16作为一体沿上下 方向移动。
因此，若模具开闭机构使下模2、后述的下模侧外部气体遮断部件12 及下模侧安装基板16向上方移动，则上模1与下模2合上。结果上模侧外 部气体遮断部件11与下模侧外部气体遮断部件12在P. L(分模线)面接合。
另外，上模1包括上模凹槽单元3和上模座4。在上模凹槽单元3的两个侧面分别安装有上模座4。上模凹槽单元3与两个上模座4分别通过一 种燕尾槽嵌合而可相互安装或拆卸。上模凹槽单元3利用两个固定块体6 固定在上模座4上。两个固定块体6分别固定于上模凹槽单元3和上模座4 的前表面和后表面。
另一方面，下模2具有与上模1相同的构成。即，下模2包括下模凹 槽7和下模座8。在下模凹槽单元7的两个侧面上分别安装有下模座8。下 模凹槽单元7与两个下模座8分别通过一种燕尾槽嵌合而可相互安装或拆 卸。下模凹槽单元7利用两个固定块体6固定在下模座8上。两个固定块 体6分别固定于下模凹槽单元7和下模座8的前表面和后表面。
另外，如图2所示，在上模凹槽单元3及下模凹槽单元7上分别设置 有燕尾部9。在上模座4及下模座8上分别设置有与燕尾部9对应的燕尾槽 5。
采用上述构成，若通过箭头A所示的模具组件的更换面A将上模侧的 固定块体6和下模侧的固定块体6分别拆下，则可将上模凹槽单元3及下 模凹槽单元7分别从上模座4及下模座8上拆下。而且，可将其它的上模 凹槽单元及其它的下模凹槽单元分别安装在上模座4及下模座8上。艮口， 在使用装置100时，上模凹槽单元3及下模凹槽单元7分别利用固定块体6 固定在上模座4及下模座8上，但在它们损耗了时，可置换成其它的上模 凹槽单元及其它的下模凹槽单元(参照图4及图8)。
另外，在装置100上设置有将模具组件内的空间与外部空间遮断的密 封机构。在本实施形态中，密封机构包括上模侧外部气体遮断部件ll和下 模侧外部气体遮断部件12。但是，本发明的密封机构还可包括上模侧外部 气体遮断部件11和下模侧外部气体遮断部件12以外的要素。
上模侧外部气体遮断部件11和下模侧外部气体遮断部件12都是圆筒 形或方筒形。上模侧外部气体遮断部件11包围着上模1的四个侧面。下模 侧外部气体遮断部件12包围着下模2的四个侧面。上模侧外部气体遮断部 件11安装在上模侧安装基板15上，而下模侧外部气体遮断部件12安装在 下模侧安装基板16上。
另外，在上模侧安装基板15和上模侧外部气体遮断部件11中的至少 一方上设置有将上模侧安装基板15与上模侧外部气体遮断部件11之间的
缝隙堵塞的O形圈等上模侧密封部件13。在下模侧安装基板16和下模侧外 部气体遮断部件12中的至少一方上设置有将下模侧安装基板16与下模侧 外部气体遮断部件12之间的缝隙堵塞的O形圈等下模侧密封部件14。
另外，在将上模l及下模2合上了时，上模侧外部气体遮断部件11的 下表面与下模侧外部气体遮断部件12的上表面相互接触。此时，两个接触 面分别定位在PL面上。在上模侧外部气体遮断部件11的PL面(接触面) 上设置有由可自由伸縮的耐热性橡胶等构成的管状的中间密封部件17，而 并不是设置上模侧密封部件13及下模侧密封部件14那样的0形圈。中间 密封部件17具有中空构造。装置IOO包括加压机构18，该加压机构18通 过对中间密封部件17的内部空间加压而使中间密封部件17膨胀。中间密 封部件17与加压机构18通过加压路径19连通。
采用上述构成，如图1及图2所示，若加压机构18使中间密封部件 17膨胀，则中间密封部件17变化成膨胀后的中间密封部件17a。由此，膨 胀后的中间密封部件17a从上模侧外部气体遮断部件11的PL面突出。另 外，膨胀后的中间密封部件17a在下模侧外部气体遮断部件12的PL面处 与下模2的型面抵接。
另外，后述的减压机构20通过吸引作用将空气等从模具组件内的空间 中强制地向外部空间排出。由此，由上模侧外部气体遮断部件ll及下模侧 外部气体遮断部件12和上模侧安装基板15及下模侧安装基板16包覆的空 间与外部气体遮断。结果由上模1和下模2形成的空间成为外部气体遮断 空间10。
另外，在装置100上设置有通过吸引作用将残留在外部气体遮断空间 10中的空气等强制排出的真空泵等减压机构20。减压机构20与外部气体 遮断空间IO通过真空软管等真空路径21连通。虽未图示，但在上模l的 型面上设置有多个排出口，它们分别构成真空路径21的一端。
因此，通过使用减压机构20将模具组件内的外部气体遮断空间10的
真空度设定成期望值，可良好地进行包括设在上模1的型面和下模2的型 面中的任一方上的引线框在内的各种基板上的电子器件的树脂封固成形。
另外，在上模侧安装基板15的背面上设置有构成铰链(hinge)的枢 轴部件22。上模侧外部气体遮断部件11以枢轴部件22为中心轴转动。在 上模侧安装基板15上设置有转动限制部件23，该转动限制部件23限制上 模侧外部气体遮断部件11的转动。上模侧外部气体遮断部件11与上模侧 安装基板15利用上模侧固定件24进行固定。
上模侧固定件24用于固定上模侧安装基板15与上模侧外部气体遮断 部件11，具有螺栓24a。另外，在装置100的前表面设置有锁定部24(24b)， 该锁定部24 (24b)固定上模侧外部气体遮断部件11的前表面与上模侧安 装基板15的前表面。
若使用所述锁定部24 (24b)及枢轴部件22，则可在不将上模侧外部 气体遮断部件11从装置100上拆下的情况下进行上模1的更换作业，因此 可提高上模1的更换作业效率。
此外，采用上模侧固定件24，则可使上模侧安装基板15与上模侧外 部气体遮断部件11接触，以使上模侧安装基板15与上模侧外部气体遮断 部件11之间不产生缝隙。因此，可保持模具组件内的外部气体遮断空间10 的气密性。在将作为上模侧固定件24的螺栓24a从上模侧安装基板15上 拆下时，该螺栓24a可能会向下模2落下而与上模1的型面发生碰撞。为 此，需要防止螺栓24a的脱落。因此，在本实施形态的树脂封固成形装置 的上模1上设置有防止部25。防止部25通过形成为不让螺栓24a穿过的大 小的通孔来实现螺栓24a的安装和拆卸。
下面用图3及图4对沿相对更换面A垂直的方向安装和拆卸作为上模 1的构成零件的上模凹槽单元3的方法进行说明。
更换上模凹槽单元3的方法如下。
如图3所示，首先将多个螺栓24a各自的紧固解除，多个螺栓24a分 别由多个防止部25保持。此时，为了防止上模1的型面与下模2的型面接 触，下模2退避到PL面下侧的位置。
之后，如图4所示，在锁定部24的锁定被解除的大致同时，上模侧外 部气体遮断部件11绕枢轴部件22转动。此时，上模侧外部气体遮断部件 11的转动范围由转动限制部件23来限制。由此，在转动后的上模侧外部气 体遮断部件lla与上模侧安装基板15之间形成开口 26。
在上述状态下，将上模凹槽单元3通过开口 26从上模座4上取下。之 后，其它的新的上模凹槽单元3通过开口 26安装在上模座4上。
采用上述方法，可容易且迅速地更换上模凹槽单元3。
另一方面，下模2侧的构造并不包括与所述铰链型枢轴部件22、转动 限制部件23及锁定部24对应的构造。其原因如下。
若在下模侧外部气体遮断部件8与下模侧安装基板16之间形成缝隙， 则残留在模具组件内部的树脂渣会堆积在所述缝隙中。由此，会促进0形 圈等密封部件的恶化或损伤，其寿命会縮短。因此，极难将模具组件内的 空间的真空度维持在期望值。因此，需要人为地对堆积在所述缝隙中的树 脂渣进行清理。但是，在下模侧外部气体遮断部件8与下模侧安装基板16 由铰链型枢轴部件相连的场合，很难将下模侧外部气体遮断部件8与下模 侧安装基板16的接触面完全清理干净。
因此，在本实施形态的树脂封固成形装置的下模2侧的构造中并未设 置与所述铰链型枢轴部件22、转动限制部件23及锁定部24 (24b)对应的 构造。采用这种下模2侧的构造，只要将下模侧固定件27从下模侧安装基 板16及下模侧外部气体遮断部件12上拆下，下模侧外部气体遮断部件12 就能成为完全从下模侧安装基板16上被拆下的状态。此外，下模侧安装基板 16与下模侧外部气体遮断部件12仅由具有螺栓27a的下模侧固定件27来 固定。
用图5及图6对沿相对更换面A垂直的方向安装和拆卸作为下模2的 构成零件的下模凹槽单元7的方法进行说明。
作为用于更换下模凹槽单元7的工具使用的是如图5及图6所示的第 一模具组件更换器具30。如图5所示，第一模具组件更换器具30具有插 入上模侧插入孔28内的上模侧突出部31、以及插入下模侧插入孔29内的
下模侧突出部32。在将下模凹槽单元7更换为新的下模凹槽单元时，上模
侧固定件24固定着上模侧安装基板15与上模侧外部气体遮断部件11,但 下模侧固定件27 (27a)被从下模侧插入孔29中取出。另外，为了在与上 模1及下模2的型面接触时不使它们受损，第一模具组件更换器具30在其 中央部具有贯穿部33。
在多个下模侧固定件27分别被取出的状态下，第一模具组件更换器具 30将多个下模侧突出部32分别插入对应的下模侧插入孔29内。
此时，若多个下模侧固定件27中的某一个未从下模侧插入孔29中取 出，则多个下模侧突出部32中就有一个无法插入对应的下模侧插入孔29 内。即，下模侧突出部32起着如下的作用防止第一模具组件更换器具30 在与多个下模侧插入孔29对应的下模侧固定件27未从多个下模侧插入孔 29中全部取出的情况下设置在下模2上。
接着，在多个下模侧突出部32插入了对应的下模侧插入孔29内的状 态下，下模2向上方移动。由此，模具组件合上。此时，如图6所示，上 模侧突出部31被插入上模侧插入孔28内。之后，用于合上模具组件的动 作停止，以不对上模1及下模2的型面造成损伤。
接着，如图6所示，准备第二模具组件更换器具34。第二模具组件更 换器具34具有嵌合用零件36。将嵌合用零件36沿与更换面A垂直的方向 分别插入搬运导轨60的C字形凹部61和下模侧外部气体遮断部件12的凹 部35中。
第一模具组件更换器具30的上模侧突出部31及下模侧突出部32分别 被插入上模侧插入孔28及下模侧插入孔29内。为了提高上模1与下模2 之间的相对的定位精度，以代替上模侧插入孔28及下模侧插入孔29或附 加的方式，在上模侧外部气体遮断部件11及下模侧外部气体遮断部件12 上分别设置精度比上模侧插入孔28及下模侧插入孔29高的定位孔(未图 示)。
接着，若下模侧外部气体遮断部件12被从下模侧安装基板16及下模 2、即下模凹槽单元7及下模座8上完全取下，则如图6所示，会载置在第
二模具组件更换器具34的嵌合用零件36上。在此状态下，如图7所示， 仅使下模侧安装基板16及下模2 (下模凹槽单元7及下模座8)向下方移 动。即，下模侧外部气体遮断部件12由第二模具组件更换器具34的嵌合 用零件36卡合而不向下方移动。因此，下模侧密封部件14成为露出的状 态。此状态与以往的铰链型枢轴部件旋转后的状态完全不同。
接着，将下模凹槽单元7从下模座8上取出。之后，如图8所示，将 新的下模凹槽单元7设置在下模侧安装基板16上。
如上所述，采用本实施形态的装置100，在将下模2从装置上取出时 使用的是第一模具组件更换器具30及第二模具组件更换器具34。因此，在 装置100上无需为了更换下模2而使用与枢轴部件22相同的构造。
另外，与以往一样，无需将模具组件整体取出到装置100的外部。因 此，模具组件的清理时的作业效率以及用于更换模具组件的作业效率与以 往相比不会下降。
如上所述，采用本实施形态的树脂封固成形装置，即使反复进行树脂 封固成形，也可防止模具组件内的空间的气密性下降，且可让用于更换模 具组件的作业效率与使用以往的密封机构时用于更换模具组件的作业效率
一样高。
虽然对本发明进行了详细说明和表示，但这仅仅是为了例示，并不构 成限制，应当明确理解，本发明的范围仅由权利要求书的范围限定。
权利要求
1.一种具有密封机构的树脂封固成形装置，包括具有上模(1)和与该上模(1)相对的下模(2)的模具组件(1、2)、安装有所述上模(1)的上模侧安装基板(15)、安装有所述下模(2)的下模侧安装基板(16)、以及用于使所述模具组件(1、2)内的空间成为与外部气体遮断的状态的密封机构，其特征在于，所述密封机构包括以包围所述上模(1)的侧面的形态安装在所述上模侧安装基板(15)上的上模侧外部气体遮断部件(11)、以包围所述下模(2)的侧面的形态安装在所述下模侧安装基板(16)上的下模侧外部气体遮断部件(12)、将所述上模侧外部气体遮断部件(11)固定在所述上模侧安装基板(15)上的上模侧固定件(24)、将所述下模侧外部气体遮断部件(12)固定在所述下模侧安装基板(16)上的下模侧固定件(27)、以及将所述上模侧外部气体遮断部件(11)与所述上模侧安装板(15)可转动地相连的枢轴部件(22)，只要将所述下模侧固定件(27)从所述下模侧安装基板(16)和所述下模侧外部气体遮断部件(12)上拆下，所述下模侧外部气体遮断部件(12)就能成为可从所述下模侧安装基板(16)上完全拆下的状态。
2. 如权利要求1所述的具有密封机构的树脂封固成形装置，其特征在于， 所述密封机构还包括限制所述上模侧外部气体遮断部件(11)的转动范围的转 动限制部件(23)。
3. 如权利要求1所述的具有密封机构的树脂封固成形装置，其特征在于， 所述密封机构还包括将所述上模侧外部气体遮断部件(11)与所述上模侧安装基板(15)之间的缝隙堵塞的上模侧密封部件(13)、将所述下模侧外部气体遮断部件(12)与所述下模侧安装基板(16)之间 的缝隙堵塞的下模侧密封部件(14)、以及将所述上模侧外部气体遮断部件(11)与所述下模侧外部气休遮断部件(12)之间的缝隙堵塞的中间密封部件(17)。
4. 如权利要求1所述的具有密封机构的树脂封固成形装置，其特征在于， 所述密封机构还包括用于固定所述上模侧安装基板(15)与所述上模侧外部气 体遮断部件(11)的锁定部(24)。
5. —种设在树脂封固装置上的模具组件的构成零件的拆卸方法， 所述树脂封固成形装置包括具有上模(1)和与该上模(1)相对的下模(2)的模具组件(1、 2)、 安装有所述上模(1)的上模侧安装基板(15)、 安装有所述下模(2)的下模侧安装基板(16)、以及 用于使所述模具组件(1、 2)内的空间成为与外部气体遮断的状态的密封 机构，所述密封机构包括以包围所述上模(1)的侧面的形态安装在所述上模侧安装基板(15)上 的上模侧外部气体遮断部件(11)、以包围所述下模(2)的侧面的形态安装在所述下模侧安装基板(16)上 的下模侧外部气体遮断部件(12)、将所述上模侧外部气体遮断部件(11)固定在所述上模侧安装基板(15) 上的上模侧固定件(24)、将所述下模侧外部气体遮断部件(12)固定在所述下模侧安装基板(16) 上的下模侧固定件(27)、以及将所述上模侧外部气体遮断部件(11)与所述上模侧安装板(15)可转动 地相连的枢轴部件(22)，所述拆卸方法的特征在于，包括将所述上模侧固定件(24)从所述上模侧安装基板(16)和所述上模侧外 部气体遮断部件(11)上拆下的步骤；使所述上模侧外部气体遮断部件(11)以所述枢轴部件(22)为转轴转动、 从而在所述上模侧外部气体遮断部件(11)与所述上模安装基板(15)之间形 成开口 (26)的步骤；通过所述开口 (26)将所述上模(1)的至少一部分(3)从所述上模安装基板(15)上拆下的步骤；将所述下模侧固定件(27)从所述下模侧安装基板(16)和所述下模侧外部气体遮断部件(12)上拆下的步骤；将所述下模侧外部气体遮断部件(12)从所述下模侧安装基板(16)上拆 下的步骤；以及将所述下模(2)的至少一部分(7)从所述下模侧安装基板(16)上拆下 的步骤。
6.如权利要求5所述的设在树脂封固装置上的模具组件的构成零件的拆 卸方法，其特征在于，在将所述下模外部气体遮断部件(12)拆下的步骤中， 使用器具(34)将所述下模外部气体遮断部件(12)拆下。
全文摘要
一种树脂封固成形装置，具有密封机构。密封机构包括以包围上模(1)的侧面的形态安装在上模侧安装基板(15)上的上模侧外部气体遮断部件(11)、以及以包围下模(2)的侧面的形态安装在下模侧安装基板(16)上的下模侧外部气体遮断部件(12)。上模侧外部气体遮断部件(11)利用上模侧固定件(24)固定在上模侧安装基板(15)上。下模侧外部气体遮断部件(12)利用下模侧固定件(27)固定在下模侧安装基板(16)上。上模侧外部气体遮断部件(11)与上模侧安装板(15)利用枢轴部件(22)可转动地相连。只要将下模侧固定件(27)从下模侧安装基板(16)和下模侧外部气体遮断部件(12)上拆下，下模侧外部气体遮断部件(12)就能成为可从下模侧安装基板(16)上完全拆下的状态。
文档编号H01L21/02GK101185159SQ20068001820
公开日2008年5月21日 申请日期2006年11月1日 优先权日2005年11月29日
发明者井尻和宏 申请人:东和株式会社