专利名称：半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法
半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法
技术领域：
本发明涉及一种制作半导体集成电路的方法，尤其是指一种在半导体集成电if各工艺中可以在具有高深宽比(high aspect ratio)的浅沟槽中形成无细缝 或无孑L洞的浅沟槽P鬲离区i或(sha"ow trench insulation; STI)的方法。背景技术：
在半导体工艺中的一个发展趋势是趋向更高集成度、高密度。为了达到 所需的高集成度与高密度，半导体晶圓上的装置尺寸已降低至深次微米等级 且预期未来会更低。所以，半导体晶圓上的装置其组件需要越来越小的布局， 其可以包括交联线的宽度与间隔、接触孔的间隔与直径、及表面几何布局等。 一般而言，减少形成在晶圆基底上半导体集成电路的装置间的隔离区域 (insulation region)等的尺寸也有助于缩小半导体晶圓上的装置尺寸。为了在半导体集成电路的装置之间做出适当的隔离区域，在现有的各种 组件隔离技术中，局部硅氧化方法(LOCOS)和浅沟槽区(STI)工艺是最常用的 两种技术。尤其是后者，因其具有隔离区域小和工艺完成后仍保持基底平坦 性等优点，更是近来颇受重视的半导体制造技术。尤其当组件在半导体装置 中被高度集成化时，使用STI方法形成隔离层的方法更具有成长的趋势。STI 方法包括在一基底上形成浅沟槽(shallow trench)及接着以二氧化硅等绝缘材 料填充这些浅沟槽。浅沟槽可以用热氧化工艺形成一层像是二氧化硅的内衬 及接着以如二氧化硅的氧化层或另一材料如多晶硅加以填充。这些填充的浅沟槽定义出主动区域的大小及位置。使用STI工艺确可大幅度缩减需要隔离晶体管的面积；然而，当隔离尺寸缩减变小后，戌沟槽内的深宽比(aspectratio) 明显增加，欲达到无细缝与无孔洞的隔离区域，对具有高深宽比的浅沟槽进 行充分地绝缘材料的填充是一项很大的考验。现有技术中，实现STI的方法中有利用高密度等离子体气相沉积(High density deposition chemical vapor deposition, HDP-CVD)的方法^f吏绝纟彖物填 充浅沟槽的细缝或孔洞，但在高密度等离子体的作用下，该STI方法变得越 来越难以实现。在其它的替代方案中，有像是利用化学气相沉积(chemical vapor deposition, CVD)或原、子层^L^K(atomic layer deposition, ALD)的方式。 但化学气相沉积所面临的问题是，在经过超过750°C高温退火步骤后，将造 成绝缘膜的收缩(shrink)，常导致在浅沟槽内产生细缝或孔洞，将使得半导体 集成电路装置产生不可靠的良率问题。以上现有技术中实现STI的方法，并 没有从原理上根本性地解决因绝缘膜的收缩而导致的在浅沟槽内产生细缝或 孑L洞的问题。因此，为了提高制造半导体装置的良率，有必要提供一种可以克服高温 退火步骤后，将造成绝缘膜的收缩而导致在浅沟槽内产生细缝或孔洞的问题 的方法。
发明内容本发明的发明目的在于提供一种在半导体集成电路工艺中形成无细缝或 无孔洞的浅沟槽隔离区域的方法。本发明的另一发明目的在于提供一种在半导体集成电路工艺中可以在具 有高深宽比的浅沟槽中形成无细缝或无孔洞的浅沟槽隔离区域的方法。本发明提供一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法，该方法包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一第一 绝缘层至该浅沟槽的该至少 一 内衬层上，其中该第 一绝缘层并未填满该浅沟 槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层的该保留 空间中；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的再生 部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分。本发明提供的 一种形成浅沟槽隔离区域的方法其也可以是包含以下步 骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一第一绝缘层至该浅沟槽 的该至少一内衬层上，其中该第一绝缘层并未填满该浅沟槽而留有一保留空 间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层的该保留空间中；转化该富 含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的再生部分大于或等于该 第一绝缘层的收缩部分；在等离子体作用环境下(HDP-CVD or PECVD)化学 沉积一第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满浅沟槽并露出至或沟槽上方某一 位置；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。本发明另提供一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方 法，该方法包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一 第一绝缘层至该浅沟槽的该至少一内衬层上，其中该第一绝缘层并未填满该 浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含^il:的薄膜于该第一绝缘层的该 保留空间中；沉积(bulkd印osition)—第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满浅 沟槽并露出至浅沟槽上方某一位置；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜， 其中所述再生绝缘膜的再生部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分；干式 退火；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。本发明另提供一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域方法， 包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；交迭地沉积至少一层共形的第 一绝缘层与至少 一层富舍硅的薄膜于该浅沟槽的内衬层上，以填 充该浅沟槽；转化该富含硅的薄膜成再生绝缘膜，其中该再生绝缘膜的一再 生部分的再生率大于或等于该第一绝缘层的一收缩部分的收缩率。和现有技术相比，本发明所提出的实现STI的方法，从原理上根本性地 解决因绝缘膜在化学反应时的收缩而导致在浅沟槽内产生细缝或孔洞的问 题。因为从逻辑上来说，如上所迷再生绝缘膜的厚度大于或等于绝缘膜在化 学反应时所收缩的空隙，则空隙根本上将会被填满无疑。
1图1显示根据本发明一实施例的浅沟槽的分层结构的断面图； 图2显示根据本发明另 一 实施例的浅沟槽的分层结构的断面图； 图3显示本发明构思形成无孔洞或无缝隙的浅沟槽隔离区域的方法的流 程4是根据本发明构思所揭示的一种较佳实施例的详细流程图； 图5是根据本发明构思所揭示的另 一种较佳实施例的详细流程图；具体实施方式本发明提供一种能够在具有高深宽比(high aspect ratio)的浅沟槽中形成无 细缝或无孔洞的浅沟槽隔离区域的方法，所述方法包括在将绝缘物填充入浅 沟槽的过程中，沉积至少 一层富含硅的薄膜(Si rich film)于浅沟槽的绝缘层上， 或者在浅沟槽内交迭地沉积若千层绝缘层和若干层富含硅的薄膜，其中该富 含硅的薄膜由含硅材料或富含硅的硅源材料沉积而成。在接下来实施的后续 工艺中，使该富含硅的薄膜转化成再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的形成 用来填满在该浅沟层内的空隙。该空隙包含该绝缘层因化学处理时收缩(shrink)所形成的细缝或孔洞。请参阅图3,图3是本发明构思形成无孔洞或无缝隙的浅沟槽隔离区域的方法的流程图。所述方法包括以下步骤先在基底的浅沟槽上形成至少一层 共形的内衬层；沉积一第一绝缘层至该浅沟槽的该至少一内衬层上，其中该 第 一绝缘层并未填满该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄 膜于该第一绝缘层的该保留空间中；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜， 其中所述再生绝纟彖膜的再生部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分。所述 再生绝缘膜的形成可以用来填满该第一绝缘层因收缩形成的细缝或孔洞，最 后形成没有细缝或孔洞的浅沟槽隔离区域。以下结合图3和图1来说明本发明第一较佳实施例。图1为说明本发明 第一较佳实施例的浅沟槽的分层结构断面图。如图1所示，本发明的第一较 佳实施例的方法，其包含在基底的浅沟槽100上形成至少一层共形的衬垫 氧化层(pad oxide)的内衬层110;使用四乙氧基硅烷/臭氧(TEOS/03)化学气相 沉积共形的一第一绝缘层120 (如二氧化硅(Si02))于浅沟槽中的内衬层110 上，其中该第一绝缘层120并未填满该浅沟槽100,使得沉积于该内村层上的 第一绝缘层120不彼此接触，而在中间留下一保留空间130，其中在一较佳实 施例中该保留空间可占(但不限于)该浅沟槽原体积的约10%。接着沉积一富含 硅的薄膜140至该保留空间130中。其中该富含硅的薄膜(Si rich film)为由含 硅材料或富含-圭(Si rich)的硅源材料(即，前导气体，precursor gas)沉积形成， 这些硅源材料可以包括硅曱烷(SiH4)、 二硅乙烷(Si2H6)、 二氯硅甲烷(DCS) 或四乙氧基硅烷(TEOS)。而且若是使用四乙氧基硅烷时，可以通过调整臭氧/ 四乙氧基硅烷(03/TEOS)比值从而生成富含硅的薄膜140。然后，实施一转化工艺步骤，使得前述富含硅的薄膜140转化为再生绝 缘膜(未图示)，该再生绝缘膜的再生部分大于或等于该第一绝缘层120的收缩部分，从而以再生的再生绝缘膜来填补第一绝缘层120因收缩而形成的细 it或孔洞。需要说明的是，本发明所述转化工艺步骤得到该再生绝缘膜，可以通过 多种工艺处理方式而得到。比如，在含氧的环境下进行退火，由该富含硅的薄膜与氧形成再生的二氧化硅膜；湿式退火，可以是在水汽环境下由该富含 硅的薄膜与水汽中的氧形成再生的二氧化硅膜；也可以是在含氮的氨气环境 下由该富含硅的薄膜与氨气中的氮形成再生的氮化硅膜；或者，在氧等离子 体或氮等离子体作用的环境下，使富含硅的薄膜中的硅与等离子体中的氧或 氮结合，转化为再生的二氧化硅绝缘膜或氮化硅绝缘膜。请参阅图4,图4是根据本发明构思所揭示的一种较佳实施例的详细流程 图。所述方法包括以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积 一第一绝缘层至该浅沟槽的该至少一内衬层上，其中该第一绝缘层并未填满 该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层的 该保留空间中；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜 的再生部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分；在等离子体作用环境下(比 如，高密度等离子体化学气相沉积(high density plasma CVD， HDP-CVD)或等 离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced CVD， PECVD )化学沉积(bulk deposition)—第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满浅沟槽并露出至浅沟槽上方 某一位置；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。在图4所示的实施 例中，所述该再生绝缘膜的产生同样可以如前述通过多种工艺处理方式而得 到，为简洁起见，此处不再详述。需要说明的是，在所述化学沉积一第二绝 缘层至该浅沟槽中的步骤中，化学沉积是在等离子体作用环境下进行的，沉 积的第二绝缘层比以热分解化学沉积(thermal decomposition chemical vapor deposition)方式得到的膜更致密，因此，图4的实施方式不需要在沉积完第二绝缘层后再单独进行一干式退火步骤，直接进入表面平坦化处逑步骤，即可 得到完全被填充的浅沟槽隔离区域。请参阅图5，图5是根据本发明构思所揭示的另一种较佳实施例的详细流程图。所述方法包括以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内村层；沉 积一 第 一绝缘层至该浅沟槽的该至少 一 内衬层上，其中该第 一绝缘层并未填 满该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层 的该保留空间中；沉积(bulk deposition)—第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满 浅沟槽并露出至浅沟槽上方某一位置；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜， 其中所述再生绝缘膜的再生部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分；干式 退火；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。在图5所示的实施例中， 所迷该再生绝缘膜的产生同样可以如前述通过多种工艺处理方式而得到，为 简洁起见，此处不再详述。需要说明的是，在所述化学沉积一第二绝缘层至 该浅沟槽中的步骤中，化学沉积可以是热分解化学气相沉积方式，然后，在 后续的工艺过程中，通过干式退火使所有的绝缘膜更致密，最后进入表面平 坦化处理步骤。进一步而言，如图2所示，本发明再一实施例是交迭地沉积一第一绝缘 层(如二氧化硅膜)与一富含硅的薄膜于浅沟槽中。首先，于'浅沟槽200中 沉积一层衬垫氧化层作为内衬层210。接着，使用化学方法(如四乙氧基硅烷/ 臭氧(TEOS/03))交迭地沉积至少一第一绝缘层220与至少一层富含硅(Si rich) 的薄膜240于浅沟槽中，直到填满该浅沟槽200。其中该富含硅的薄膜(Si rich film)为由含硅材料或富含硅(Sirich)的硅源材料(即，前导气体，precursor gas) 沉积形成。这些硅源材料可以包括硅甲烷(SiH4)、 二硅乙烷(Si2H6)、 二氯 硅甲烷(DCS)或四乙氧基硅烷(TEOS)。而且若是使用四乙氧基硅烷时，调整臭 氧/四乙氧基硅烷(03/TEOS)比值可以得到一富含硅氧化膜的富含硅的薄膜。接着为了表面平坦化处理(CMP)的目的而使用四乙氧基硅烷/臭氧沉积基体氧化硅膜(bulkdeposition)。然后在实施一干式退火前先实施一湿式退火，其用途 在于使该富含硅的薄膜240转化成若干再生绝缘膜(未图示)而可以完全填补 该第一绝缘层220因收缩而生的细缝或孔洞，从而达到完全充分地填满浅沟 槽200以及致密化该浅沟槽200中的该第一绝缘层220和该再生绝缘膜。值 得注意的是，在实施湿式退火时，可以获得一再生绝缘膜的再生率，该再生 绝缘膜的再生率必须大于该第一绝缘层的一收缩率，以完全填补因收缩而生 的细缝或孔洞。相较于现有技术，本发明所提出的实现浅沟槽隔离区域的方法，从原理 上根本性地解决因绝缘膜在化学反应或化学退火时的收缩而导致在浅沟槽内 产生细缝或孔洞的问题。因为如上所述，再生绝缘膜的厚度大于或等于绝缘 膜在化学反应时所收缩的空隙，则空隙根本上将会被填满无疑。虽然本发明参考较佳具体实施例已特别地表示及说明，对熟知此项技艺 之人士其将了解可以做各种改变及修正而不偏离本发明精神及范围。期望做 为解释的申请专利范围涵盖揭露的具体实施例、那些已在上面讨论及其中的所有等效之取代例等。
权利要求
1. 一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法，该方法至少包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一第一绝缘层至该浅沟槽的该至少一内衬层上，其中该第一绝缘层并未填满该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层的该保留空间中；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的再生部分大于或等于该第一绝缘层的收缩部分。
2. 如权利要求l所述的方法，其中所述再生绝缘膜的形成用来填满该第一 绝缘层因收缩形成的细缝或孔洞。
3. 如权利要求l所述的方法，其中所述再生绝缘膜是二氧化硅或氮化硅。
4. 如权利要求1所述的方法，其中所述沉积的第 一绝缘层是用四乙氧基硅 烷/臭氧进行化学气相沉积反应所得。
5. 如权利要求l所述的方法，其中所述富含硅的薄膜是由含硅材料或富含 硅的硅源材料沉积而成。
6. 如权利要求l所述的方法，其中所述转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘 膜的步骤，包括在含氧的环境下进行退火，使该富含硅的薄膜与氧形成再生 的二氧化硅膜。
7. 如权利要求l所述的方法，其中所述转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘 膜的步骤，包括在水汽环境下进行湿式退火，使该富含硅的薄膜与水汽中的 氧形成再生的二氧化硅膜。
8. 如权利要求l所述的方法，其中所述转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘 膜的步骤，包括在含氮的氨气环境下进行退火，使该富含硅的薄膜与氨气中 的氮形成再生的氮化硅膜。
9. 如权利要求l所述的方法，其中所述转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜的步骤，通过施加如下反应物进行转化二氬/二氧或一氧化二氬、用于形 成氮氧化合物的氨气、用于形成氮氧化合物及再生硅氧化合物的氧化亚氮或 以上的组合。
10. 如权利要求l所述的方法，其中所述转化该富含硅的薄膜成一再生 绝缘膜的步骤，包括在氧等离子体或氮等离子体作用的环境下，使富含硅的 薄膜中的硅与等离子体中的氧或氮结合，转化为再生的二氧化硅绝缘膜或氮 化硅绝缘膜。
11. 一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法，该方法 包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一第 一绝缘层至该浅沟槽的该至少 一 内衬层上，其中该第 一绝缘层 并未填满该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富舍硅的薄膜于该第一绝缘层的该保留空间中；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的再生部分 大于或等于该第一绝缘层的收缩部分；在等离子体作用环境下化学沉积一第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满 浅沟槽并露出至浅沟槽上方某 一 位置；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。
12. 如权利要求ll所述的方法，其中所述化学沉积一第二绝缘层至该浅沟槽中的步骤，包括高密度等离子体化学气相沉积或等离子体增强化学气相沉积。
13. —种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法，该方法 包含以下步骤在浅沟槽上形成至少一层共形的内衬层；沉积一第 一绝缘层至该浅沟槽的该至少 一 内衬层上，其中该第 一绝缘层 并未填满该浅沟槽而留有一保留空间；沉积至少一层富含硅的薄膜于该第一绝缘层的该保留空间中；沉积一第二绝缘层至该浅沟槽中，直至填满浅沟槽并露出至浅沟槽上方 某一位置；转化该富含硅的薄膜成一再生绝缘膜，其中所述再生绝缘膜的再生部分 大于或等于该第一绝缘层的收縮部分；干式退火；表面平坦化处理直到形成该浅沟槽隔离区域。
14. 如权利要求13所述的方法，其中所述沉积一第二绝缘层至该浅沟槽 中的步骤，包括热分解化学气相沉积、高密度等离子体化学气相沉积或等离 子体增强化学气相沉积。
15. —种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域的方法，该方法 包含以下步骤在浅沟槽上形成至少 一层共形的内衬层；交迭地沉积至少 一层共形的第 一绝缘层与至少 一层富含硅的薄膜于该浅 沟槽的内衬层上，以填充该浅沟槽；转化该富含硅的薄膜成再生绝缘膜，其中该再生绝缘膜的一再生部分的再生率大于或等于该第一绝缘层的一收缩部分的收缩率。
16.如权利要求15所述的方法，其中所述再生绝缘膜的形成用来填满该第 一绝缘层因收缩形成的细缝或孔洞。
全文摘要
本发明提供一种在半导体集成电路工艺中形成浅沟槽隔离区域(shallow trench insulation；STI)的方法，其特征在于在填充绝缘层的过程中，在浅沟槽中沉积至少一层富含硅的薄膜，以再生一层或若干层再生绝缘膜，用来填充该浅沟槽中所填充进的绝缘层因退火而产生的细缝或孔洞。本发明可以形成具有高深宽比(high aspect ratio)且无细缝或无孔洞的浅沟槽隔离区域。
文档编号H01L21/70GK101246842SQ20071003762
公开日2008年8月20日 申请日期2007年2月16日 优先权日2007年2月16日
发明者严利均, 王树林, 陈爱华 申请人:中微半导体设备(上海)有限公司