专利名称：复合开口的形成方法及应用该方法的双重金属镶嵌工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体工艺，且特别涉及一种复合开口的形成方法及应 用该方法的双重金属镶嵌工艺。
背景技术：
随着半导体元件集成度的提升，多重金属内连线的使用愈来愈广泛。通 常，多重金属内连线的金属层的阻值愈低，则元件的可靠度愈高，元件的效 能愈好。在金属材料中，铜金属的阻值低，非常适合用作多重金属内连线， 但，由于铜金属难以传统的光刻蚀刻技术来图案化，因而发展出一种称之为 双重金属镶嵌工艺。双重金属镶嵌工艺是一种在介电层中形成沟槽与通路开口 ，再回填金 属，以形成金属导线与通路的技术。双重金属镶嵌工艺的方法有许多种，有的是在介电层中先形成通路开口，再形成沟槽；有的则是先形成沟槽，再形 成通路。以先形成通路开口再形成沟槽方法来进行双重金属镶嵌工艺时，在形成 沟槽的蚀刻过程中，通路开口下方所对应的金属层可能也会遭受蚀刻的破 坏，而造成元件电性上的问题。请参照图1，为了避免通路开口下方所对应的金属层102在形成沟槽的 蚀刻过程中遭受蚀刻的破坏，目前已知的一种方法，是在介电层106中形成 通路开口 IIO之后，先在通路开口 110中填入沟填层112，以避免通路开口 IIO下方所对应的金属层102遭受蚀刻的破坏。然而，此方法常会因为沟填 层112的遮蔽效应(shadowing effect),而在后续蚀刻形成沟槽120之后，在 通路开口 IIO顶角110a处残留栅栏(fence)状的介电层106a，造成元件可 靠度的问题。然而，要消除栅栏状的介电层常面临许多的困难。藉由调整沟 填层的高度来避免栅栏状介电层的形成是一种可以采行的方法，但是由于蚀 刻均匀度不佳以及微负载效应(microloading effect)的影响，在基底中心处的 沟填层的厚度与基底边缘处的沟填层的厚度，或是密集区域的沟填层的厚度与基底疏松区域的沟填层的厚度常有着极大的差异，使得工艺的空间(process window)非常狭小。另一方面，请参照图2,若是为了避免在蚀刻的过程中形成栅栏状的介 电层，而采用在蚀刻过程中可以形成较少聚合物的蚀刻气体来进行沟槽的蚀 刻工艺，则沟槽120顶角120a处的介电层106会因为没有聚合物的保护而 遭受蚀刻剂的破坏，造成沟槽120顶角120a圓化的现象。当后续沉积的金 属层122填入此顶角圓化的沟槽之后，相邻的两个双重金属镶嵌结构，可能 会因此而桥接。发明内容本发明的目的是提供一种双重金属镶嵌结构的制造方法，其可以避免沟 槽顶角圓化的现象，防止相邻的两个双重金属镶嵌结构发生桥接的现象。本发明的又一目的是提供一种双重金属镶嵌结构的制造方法，其可以避 免形成栅栏状的介电层。本发明的再一目的是提供一种复合开口的形成方法，其可以避免宽开口 顶角圓化现象且可避免窄开口顶角形成栅栏状的凸起。本发明提出一种双重金属镶嵌工艺。此方法是在已形成衬层的基底上形 成介电层，并在其中形成通路开口，棵露出基底上的衬层。接着，在通路开 口中填入沟填层并在基底上形成阻抗层。之后，进行光刻与蚀刻工艺，以在 介电层中形成沟槽，并使得留下的沟填层呈拱顶状，其中在进行蚀刻工艺时， 该沟填材料层的蚀刻速率大于该阻抗层的蚀刻速率。其后，去除沟填层、阻 抗层与通路开口所棵露的衬层，再于沟槽与通路开口中形成导电层。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时，沟填层/阻抗层的蚀刻选择比为3至1.1。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时，沟填层的蚀刻速率大于介电层的蚀刻速率。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时，沟填层/介电层的蚀刻选择比为1.2至2。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，阻抗层的蚀刻速 率大于介电层的蚀刻速率。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺时的蚀刻气体不含氧气。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时所使用的气体包括氟烃。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时所使用的气体还包括载气。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，在进行蚀刻工艺 时所使用的气体还包括调整气体。依照本发明实施例所述，上述的双重金属 镶嵌工艺中，介电层的材质包括低介电常数材料。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺更包括在形成该通路 开口之前，在介电层上形成顶盖层。依照本发明实施例所述，上述的双重金属镶嵌工艺中，沟填材料包括无 抗反射特性的聚合物。本发明提出一种复合开口的形成方法。在基底上形成材料层，之后，在 材料层中形成窄开口，接着，在窄开口中形成沟填层。继之，在基底上形成 阻抗层，覆盖材料层与沟填层。接着，进行光刻与蚀刻工艺，以在材料层中 形成一与窄开口连通的宽开口，并留下的沟填层呈拱顶状，其中在进行蚀刻 工艺时，沟填层的蚀刻速率大于阻抗层的蚀刻速率。其后，去除沟填层与阻 抗层，棵露出宽开口与窄开口，以形成复合开口。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工艺时，沟填层/阻抗层的蚀刻选择比为3至1.1。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工 艺时，沟填层的蚀刻速率大于材料层的蚀刻速率。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工 艺时，沟填层/材料层的蚀刻选择比为1.2至2。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，阻抗层的蚀刻 速率大于材料层的蚀刻速率。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，沟填层的材质 包括无抗反射特性的聚合物。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工 艺时所使用的气体包括氟烃。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工艺时所使用的气体还包括载气。依照本发明实施例所述，上述的复合开口的形成方法中，在进行蚀刻工 艺时所使用的气体还包括调整气体。本发明的双重金属镶嵌结构的制造方法，其可以避免沟槽顶角圆化的现 象，防止相邻的两个双重金属镶嵌结构发生桥接的现象且可以避免通路开口 顶角形成栅栏状的介电层。本发明的复合开口的形成方法，其可以避免宽开口顶角圆化现象且可避 免窄开口顶角形成栅栏状的凸起。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举优 选实施例，并配合附图，作详细说明如下。
图l是绘示现有技术一种双重金属镶嵌工艺中形成的栅栏状的介电层的 剖面示意图。图2是绘示现有技术一种双重金属镶嵌工艺中沟槽顶角圓化所产生桥接 现象的剖面示意图。图3A至3F是绘示本发明实施例的一种双重金属镶嵌工艺的剖面示意图。图4A至4D是绘示本发明实施例的一种复合开口的工艺流程剖面示意附图标记i兌明101、 122、 324、 324a:金属层 106a:栅栏状的介电层 110a、 120a:顶角 120、 320:沟槽302 314 318导电层 阻抗层 开口图案106、 306:介电层 110、 310:通if各开口 112、 312、 312a:沟填层300 304 316基底 衬层光刻胶层322、 322a:导电层326、 326a:阻障层具体实施方式
实施例一请参照图3A，本实施例的双重金属镶嵌结构是形成在基底300上。此 基底300上已形成导电层302且导电层302上已覆盖衬层304。基底300例 如是半导体基底，如硅基底或是绝缘层上有硅基底。导电层302例如是金属 内连线，如铜导线。覆盖在导电层302上的衬层304可用以防止导电层302 氧化，其材质例如是一层氮化硅层，形成的方法例如是化学气相沉积法。在 衬层304上形成一层介电层306,其材质例如是低介电常数材料。低介电常 数材料为介电常数低于4的材料层，例如是氟掺杂硅玻璃(FSG);硅倍半氧 化物如氢硅倍半氧化物(Hydrogen silsesquioxnane HSQ)、曱基珪倍半氧化物 (Methyl silsesquioxane, MSQ)与混合有机珪烷聚合物(Hybrido-organo siloxane polymer, HOSP);芳香族碳氢化合物(Aromatic hydrocarbon)如SiLK;有机 硅酸盐玻璃(Organosilicate glass)如碳黑(black diamond, BD)、 3MS、 4MS; 聚对二甲苯(Parylene);氟化聚合物(Fluoro-Polymer)如PFCB、CYTOP、 Teflon; 聚芳醚(Poly(arylethers))如PAE-2、 FLARE;多孔聚合物(Porous polymer)如 XLK、 Nanofoam、 Awrogel; Coral等。在一个实施例中，在介电层306上还 形成顶盖层308,其材质包括氮化硅、碳化硅、碳氧化硅(SiCO)、碳氮化硅 (SiCN)、碳氮氧化硅(SiCNO)、氮氧化硅等，形成的方法例如是化学气相沉 积法。之后，请参照图3B，进行光刻、蚀刻工艺，以在介电层306中形成通 路开口 310。蚀刻工艺的蚀刻气体例如是CF4/Ar/N2或是CHF3/Ar/N2。接着， 在通路开口 310中填入沟填层312。此沟填层312沉积的均匀度佳，在密集 区与疏松区的差异小。沟填层312的材质包括无抗反射特性的聚合物，例如 是GF43以及DUV52,形成的方法例如是旋转涂布法。其后，请参照图3C，去除部分的沟填层312，留下通路开口310之中的 沟填层312a。留下来的沟填层312a可以是具有大致呈平坦的表面，或是呈 现中间低两边高的凹陷表面。去除部分的沟填层312的方法可以采用回蚀刻 法。接着，在基底300上形成阻抗层314，例如是底层抗反射层(BARC)。留 下的沟填层312a，其高度并无特别的限制，可以是hl或是h2(以虚线表示)。 沟填层312回蚀的均匀度佳，留在密集区与疏松区的沟填层312a并无太大 的差异，因此，后续形成的阻抗层314的均匀度佳且表面非常平坦，故，后 续光刻工艺不会因为基底表面上的高度高低起伏不平而影响其图案化的品质。之后，在阻抗层314上形成一层图案化的光刻胶层316。此光刻胶层316 具有开口图案318，此开口图案318为预定在介电层306中形成沟槽的图案。其后，请参照图3D，以光刻胶层316为罩幕，蚀刻阻抗层314与介电 层306，以将开口图案318转移至介电层306，而在其中形成沟槽320。此沟 槽320与通路开口 310连通。在进行蚀刻工艺时，沟填层312a的蚀刻速率 大于阻抗层314的蚀刻速率，且沟填层312a的蚀刻速率大于介电层306的 蚀刻速率。优选的是沟填层312a的蚀刻速率大于阻抗层314的蚀刻速率， 且阻抗层314的蚀刻速率大于介电层306的蚀刻速率。沟填层312a/阻抗层 314的蚀刻选择比例如是3至1.1，且沟填层312a/介电层306的蚀刻选择比 例如是1.2至2。在一个实施例中，此蚀刻工艺是使用在蚀刻过程中可以形 成较多聚合物的蚀刻气体，例如是以不含氧气的气体来作为蚀刻剂，如氟烃。 氟烃是选自于CF4、 CF3H、 CH2F2、 CFH3及其混合物所组成的族群。在一个 实例中，是在250mTorr下，以155sccm的CF4以及95sccm的CF3H作为蚀 刻气体进行蚀刻工艺。在另一个实施例中，此蚀刻工艺所使用的蚀刻气体除 了氟烃之外，还可包含载气例如是氩。在又一个实施例中，除了氟烃以及载 气之外，还可再加入调整气体例如是氮气或一氧化碳。由于在蚀刻的过程中所选用的蚀刻气体为可以形成较多聚合物的蚀刻 气体，其在蚀刻过程中所形成的聚合物可以保护沟槽顶角处的介电层不受蚀 刻的破坏，因此，不会有沟槽顶角圆化所造成的桥接问题。另一方面，由于 沟填层312a的蚀刻速率大于阻抗层314以及介电层306的蚀刻速率，因此， 在蚀刻的过程中， 一旦棵露出沟填层312a,沟填层312a将很快被蚀刻，使 得蚀刻工艺之后所留下的沟填层312b呈拱顶状。当沟填层312a的高度较高， 为hl时，留下的沟填层312b如Cl;当沟填层312a的高度较低，为h2时， 留下的沟填层312b如C2(以虚线表示)。不论是沟填层312b为Cl或C2，均 不会有沟填层遮蔽效应，在通路开口 310的顶角处不会残留栅栏状的介电层。接着，请参照图3E，去除光刻胶层316、阻抗层314以及沟填层312b。 在一个实施例中，光刻月交层316、阻抗层314以及沟填层312b可以同时去除， 例如是以氧等离子体灰化法来完成之。之后，去除通路开口 310所棵露出来 的衬层304。其后，在基底300上形成导电层322，填入于沟槽320与通路 开口310之中。通常，导电层322包括金属层324以及阻障层326。阻障层 326的材质例如是氮化钛或是氮化钽。金属层324例如是铜金属层。之后，请参照图3F，移除部分的导电层322，留下沟槽320以及通路开 口 310之中的导电层322a,此导电层322a包括金属层324a以及阻障层326a。 移除的方法可以采用化学机械研磨法。在进行研磨的过程中，可以顶盖层308 作为研磨终止层，避免基底300上密集区与疏松区研磨速率不同所导致的介 电层306被过度研磨的问题。实施例二图4A至4D是绘示本发明实施例的一种形成复合开口的流程剖面示意图。请参照图4A，在基底400上形成一层材料层406,其材质并无特别的限 制，例如是一层介电层如氧化硅层或是预定形成复合开口的任何材质，其形 成的方法例如是化学气相沉积法。之后，进行光刻、蚀刻工艺，以在材料层 406中形成窄开口 410。蚀刻工艺的蚀刻气体与介电层的材质有关。当材料 层406为氧化硅时，蚀刻的气体例如是CF4/Ar/N2或是CHF3/Ar/N2。接着， 在窄开口 410中填入沟填层412。此沟填层412沉积的均匀度佳，在密集区 与疏松区的差异小。沟填层412的材质包括无抗反射特性的聚合物，例如是 GF43以及DUV52,形成的方法例如是旋转涂布法。其后，请参照图4B，去除部分的沟填层412，留下窄开口410之中的沟 填层412a。留下来的沟填层412a可以是具有大致呈平坦的表面，或是呈现 中间低两边高的凹陷表面。去除部分的沟填层412的方法可以采用回蚀刻法。 接着，在基底400上形成阻抗层(BARC)414。由于沟填层412a的高度并无 特别的限制，可以是h3或h4(以虛线表示之)。沟填层412回蚀的均匀度佳， 留在密集区与疏松区的沟填层412a并无太大的差异，因此，后续形成的阻 抗层414的均匀度佳且表面非常平坦，故，后续光刻工艺不会因为基底表面 上的高度高低起伏不平而影响其图案化的品质。之后，在阻抗层414上形成 一层图案化的光刻胶层416。此光刻胶层416具有开口图案418,此开口图 案418为预定在材料层406中形成宽开口的图案。其后，请参照图4C，以光刻胶层416为罩幕，蚀刻阻抗层414与材料 层406，以将开口图案418转移至材料层406，而在其中形成宽开口 420。此 宽开口 420与窄开口 410连通。在进行蚀刻工艺时，沟填层412a的蚀刻速 率大于阻抗层414的蚀刻速率，且沟填层412a的蚀刻速率大于材料层406 的蚀刻速率。优选的是沟填层412a的蚀刻速率大于阻抗层414的蚀刻速率的蚀刻速率，且阻抗层414的蚀刻速率大于材料层406的蚀刻速率。沟填层 412a/阻抗层414的蚀刻选择比例如是3至1.1，且沟填层412a/材料层406 的蚀刻选择比例如是1.2至2。在一个实施例中，材料层406为氧化硅，此 蚀刻工艺是使用在蚀刻过程中可以形成较多聚合物的蚀刻气体，例如是以不 含氧气的气体作为蚀刻剂，如氟烃。氟烃是选自于CF4、 CF3H、 CH2F2、 CFH3 及其混合物所组成的族群。在一个实例中，是在250mTorr下，以155sccm 的CF4以及95sccm的CF3H作为蚀刻气体进行蚀刻工艺。在另 一个实施例中， 此蚀刻工艺所使用的蚀刻气体除了氟烃之外，还可包含载气例如是氩。在又 一个实施例中，除了氟烃以及栽气之外，还可再加入调整气体例如是氮气或 一氧化碳。由于在蚀刻的过程中所选用的蚀刻气体为可以形成较多聚合物的 蚀刻气体，其在蚀刻过程中所形成的聚合物可以保护宽开口顶角处的材料层 不受蚀刻的破坏，因此，不会有宽开口顶角圓化的问题。另一方面，由于沟 填层412a的蚀刻速率大于阻抗层414以及材料层406的蚀刻速率，因此， 在蚀刻的过程中， 一旦棵露出沟填层412a，沟填层412a将很快被蚀刻，使 得行蚀刻工艺之后所留下的沟填层412b呈拱顶状。当沟填层412a的高度较 高，为h3时，留下的沟填层412b如C3;当沟填层412a的高度较低，为h4 时，留下的沟填层412b如C4(以虛线表示之)。因此，不论沟填层412b为 C3或C4均不会有沟填层所造成的遮蔽效应，在窄开口 410的顶角处不会残 留栅栏状的材料层。接着，请参照图4D，去除光刻胶层416、阻抗层414以及沟填层412b， 棵露出窄开口 410，其与宽开口 420共同构成复合开口 430。在一个实施例 中，光刻胶层416、阻抗层414以及沟填层412b可以同时去除，例如是以氧 等离子体灰化法来完成之。上述的复合开口的制造方法可以用于任何同时需要形成宽开口与窄开 口的工艺之中。本发明的复合开口的制造方法，因为在先形成的窄开口之中使用了蚀刻 速率较高于阻抗层的沟填层，而在蚀刻宽开口之后，所留下来的沟填层的上 表面成拱状，因此，可避免沟槽顶角圓化的现象，且可以避免窄开口顶角形 成栅栏。本发明的双重金属镶嵌结构的制造方法中，因为在先形成的通路开口之 中使用了蚀刻速率较高于阻抗层的沟填层，而在蚀刻宽开口之后，所留下来的沟填层的上表面成拱状，因此，可避免沟槽顶角圆化的现象，同时可在无 氧的环境下操作蚀刻，减少聚合物层的销蚀，以防止相邻的两个双重金属镶嵌结构发生桥接的现象且可以避免通路开口顶角形成栅栏状的介电层。
权利要求
1. 一种双重金属镶嵌工艺，包括提供基底，该基底上具有导电区且该导电区已被衬层覆盖；在该基底上形成介电层；在该介电层中形成通路开口，对准该导电区并裸露出该衬层；在该通路开口中填入沟填层；在该基底上形成阻抗层，覆盖该介电层与该沟填层；进行光刻与蚀刻工艺，以在该介电层中形成沟槽，并使留下的该沟填层呈拱顶状，其中在进行蚀刻工艺时，该沟填层的蚀刻速率大于该阻抗层的蚀刻速率；去除该沟填层、该阻抗层与该通路开口所裸露的该衬层；以及在该沟槽与该通路开口中形成导电层。
2. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行蚀刻工艺时， 该沟填层/该阻抗层的蚀刻选择比为3至1.1。
3. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行蚀刻工艺时， 该沟填层的蚀刻速率大于该介电层的蚀刻速率。
4. 如权利要求3所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行蚀刻工艺时， 该沟填层/该介电层的蚀刻选择比为1.2至2。
5. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，其中该阻抗层的蚀刻速率 大于该介电层的蚀刻速率。
6. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行该蚀刻工艺时 的蚀刻气体不含氧气。
7. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行该蚀刻工艺时 所使用的气体包括氟烃。
8. 如权利要求7所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行该蚀刻工艺时 所使用的气体还包括载气。
9. 如权利要求8所述的双重金属镶嵌工艺，其中在进行该蚀刻工艺时 所使用的气体还包括调整气体。
10. 如权利要求l所述的双重金属镶嵌工艺，其中该介电层的材质包括 低介电常数材料。
11. 如权利要求1所述的双重金属镶嵌工艺，更包括在形成该通路开口 之前，在该介电层上形成顶盖层。
12. 如权利要求1所迷的双重金属镶嵌工艺，其中该沟填材料包括无抗 反射特性的聚合物。
13. —种复合开口的形成方法，包括 在基底上形成材料层； 在该材料层中形成窄开口； 在该窄开口中形成沟填层；在该基底上形成阻抗层，覆盖该材料层与该沟填层；进行光刻与蚀刻工艺，以在该材料层中形成与该窄开口连通的宽开口 ，并留下的该沟填层呈拱顶状，其中在进行蚀刻工艺时，该沟填层的蚀刻速率大于该阻抗层的蚀刻速率；以及去除该沟填层与该阻抗层，棵露出该宽开口与该窄开口，以形成该复合开口。
14. 如权利要求13所述的复合开口的形成方法，其中在进行蚀刻工艺 时，该沟填层/该阻抗层的蚀刻选择比为3至1.1。
15. 如权利要求13所述的复合开口的形成方法，其中在进行蚀刻工艺 时，该沟填层的蚀刻速率大于该材料层的蚀刻速率。
16. 如权利要求15所述的复合开口的形成方法，其中在进行蚀刻工艺 时，该沟填层/该材料层的蚀刻选择比为1.2至2。
17. 如权利要求13所述的复合开口的形成方法，其中该阻抗层的蚀刻 速率大于该材料层的蚀刻速率。
18. 如权利要求13所述的复合开口的形成方法，其中该沟填层的材质 包括无抗反射特性的聚合物。
19. 如权利要求13所述的复合开口的形成方法，其中在进行蚀刻工艺 时所使用的气体包括氟烃。
20. 如权利要求19所述的复合开口的形成方法，其中在进行蚀刻工艺 时所使用的气体还包括栽气。
21. 如权利要求20所述的复合开口的形成方法，其中在进行该蚀刻工 艺时所使用的气体还包括调整气体。
全文摘要
一种双重金属镶嵌工艺。在基底上形成介电层，并在介电层中形成通路开口，裸露出基底上的衬层。接着，在通路开口中填入沟填层并在基底上形成阻抗层。之后，进行光刻与蚀刻工艺，以在介电层中形成沟槽，并使得留下的沟填层呈拱顶状，其中在进行蚀刻工艺时，沟填材料层的蚀刻速率大于阻抗层的蚀刻速率。其后，去除沟填层、阻抗层与通路开口所裸露的衬层，再于沟槽与通路开口中形成导电层，本发明中主要利用蚀刻速率差异的控制以在形成复合式开口时避免产生遮蔽效应。
文档编号H01L21/70GK101261954SQ20071008588
公开日2008年9月10日 申请日期2007年3月8日 优先权日2007年3月8日
发明者宏 马 申请人:联华电子股份有限公司