专利名称：具有置于薄膜上的发光二极管芯片的发光二极管平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有置于薄膜上的发光二极管(LED)芯片的LED平
背景技术：
众所周知的是在所谓封装里设置高亮度(high brightness, HB ) LED 和中等功率的LED,其中这些LED被设置在一支撑衬底上。
因此LED芯片祐:设置在一子底座(submount )上，该子底座包括具有才几 械性能和较好导热性的介质材料。目前用于衬底和子底座的材料需要最小的 加工厚度。
对于正面朝上(face-up, FU ) LED芯片设计，LED芯片的衬底可以使用 一胶合剂或焊料联结到子底座上。
倒装芯片(flip chip, FC)技术目前的发展致力于减少通往封装的热 通道，该封装提供发光半导体材料的改善的热控制。对于FC应用联结技术， 例如4丁头金凸点联结可以被用于在LED电极区域的低比例区域连接两个部 件。然而，这种装配技术是昂贵的并且提供有限的机械支撑和有限的热性能。
在LED装配的背面使用电气焊料联结是理想的。这些互相连接增加了设 计的成本和复杂性，并且在金属或者介电材料，特别是薄的材料厚度的材料 中难以实践。目前使焊料面接触的替代方法首选是馈电的制作。
然后，LED芯片和子底座组件被设置于一些最终封装中以使电接触和光 输出建立。
现在，存在高亮度LED芯片在增长的功率下工作的问题。LED芯片的光转换效率非常低，因此该LED芯片产生的热量不得不通过封装材料移除到周 围环境中。封装后的LEDs所引起的大多数费用仍然被材料的费用所主导，其 中除了 LED之外，该费用是与全部制造费用相比相对较高的。
问题是LED村底、子底座和封装材料的结合表现出从芯片到周围环境 的热传输的最薄弱的环节。导热良好的材料如金属底座不能单独使用，因 为与LED的电接触必须是电绝缘的。而这是可能的，这些材料产生导热率 的减少，该导热率限制了能够被用在低功率器件的封装中的芯片的物理尺 寸和功率(例如芯片尺寸一般小于300微米和负载功率小于300毫瓦)。 对于高功率器件(例如芯片尺寸一般大于300微米和负载功率大于300毫 瓦)，整个金属壳也过分的发热并且能有害地影响LED光源的长期性能， 因为所有这些部件是典型的温度敏感的。
其中，该LED芯片没有一致的尺寸，也就是没有正方形的形状，该负 载功率是典型的主导特征，并且该平均芯片尺寸可以被用来限定该(有效 的)芯片长度(L)，其中该芯片面积(LxL)是适度精确的。
对于子底座，采用具有一很高导热率的介质材料表现出优势，但是牵扯 整个器件设计的高成本和位置约束。
另外，该子底座必须为该LED提供一个稳定的机械支撑。这需要该子底 座具有最小的厚度。在导热远离该LED的能力和为该LED提供机械支撑的能 力之间存在冲突的需求。众所周知的是减小该厚度增加制造成本，并且在正 常的LED装配过程中使分立子底座的使用无断裂的操作是不可能的。
目前，设计典型地是在合理的成本下确保封装的机械特性，并且接受当 时达到的热性能。
发明内容
本发明的目的是提供一种不使用分立子底座的LED封装技术，该分立子 底座提供了改善的在与热源正交方向上的热特征，而且维持需要的机械支撑和整个封装与该LED产生的热的热隔离。
该目的用独立权利要求的特征实现。从属权利要求进一步发展了本发明 的中心思想。
根据本发明的第一个方面，一LED平台(LED封装)被建议包括在一衬 底上具有一光活性层的一 LED芯片。该LED芯片被安装到在该平台上形成的 腔体的一凹陷表面，并且与该平台的薄膜材料热接触。该技术也有利地致使 薄膜材料中的 一个或多个馈电。
该腔体和围绕该腔体的薄膜完整形成的平台的结构的厚度被制成大体大 于该腔体的厚度。该薄膜的厚度h与形成该平台的结构的厚度H的比率(h/H ) 一般为从l/25到1/2。
根据传统机械学和封装设计原理，这些低的比率使薄膜厚度对于传统 LED封装在机械上不是非常稳定的。
该LED衬底具有一厚度，该厚度同样不像该LED衬底的导热率那样关键。 该LED衬底的导热率应该尽可能高。很清楚地， 一薄的LED衬底是有优势的； 实际上，从热学角度没有衬底将是理想的。既然这样，仅仅该黏合材料和该 光活性层可以有利的结合。
该LED芯片衬底可以由蓝宝石、硅或者碳化硅制成。
该平台可以由硅或者碳化硅或者玻璃制成。
围绕该薄膜的腔体的壁可以被设计成作为从该LED芯片发射的光的反射体。
该腔体的壁可以被涂上一反射材料。
优选地，该平台的薄膜在与该LED发光面正交的方向上的热阻小于7K/W 并且在与该发光面平行的方向上的热阻大于7K/W。
该薄膜结构具有一至少两倍，优选地是多于5倍，到25倍该薄膜厚度的 厚度，该薄膜结构的厚度大体大于该薄膜的厚度。
该腔体可以至少部分填充色彩变换材料，该材料与该LED芯片接触或者空间分离。
该薄膜可以被提供至少一通孔，该通孔被填充电绝缘和电导材料并且连
接到该LED芯片的电极之一上。
完整的构造是这样的， 一旦该平台的制作完成后，整个腔体可以从该薄 膜的一侧到另 一侧保持密封。
假设使用高功率芯片技术，该薄膜可以被提供两个通孔，两个通孔分别 被填充电绝缘和电导材料并且连接到该LED芯片的电极之一上。
本发明的另一个方面涉及一种LED封装的制造方法。 一平台被制备具有 一相对于该结构1/2到1/25或者更小厚度的薄膜，和由该薄膜整体形成和本 质上围绕该薄膜并具有一厚度的结构，该平台本质上大于该薄膜的厚度。因 此，在该薄膜的制备过程中，较厚的结构总是支撑该薄膜。最后，一LED芯 片被装配在该薄膜上。
装配该LED芯片的步骤可以包括选择具有一厚度的衬底的LED芯片的步 骤，以使该LED芯片的衬底和该平台结构获得对该LED封装足够的机械和热 特性。
这可以通过使用LED芯片的尺寸(L)与薄膜厚度(h)的比率实现，也 就是比率(h/L)小于3/10， 一般是1/10，最大为1/25。
因此，本发明建议分别选择LED芯片的村底材料和薄膜的材料和厚度匹 配的结合。
本方法可以包括分别选择LED芯片的衬底和平台的材料的步骤，也就是 他们有本质上类似的热特征。
形成薄膜的材料的热阻可以被选择为大约10K/W，优选地为7K/W或者更小。
为了具有必要的机械和热特性，本发明因此建议使用 一支持衬底上的LED 芯片和限定在整个平台中的一薄膜。
优选地，硅可以被用作该平台的材料，因为硅的导热率相对较高，并且本征二氧化硅可以被用作电绝缘体。该本征二氧化硅的厚度优选地为小于0. 5
微米且大于0. 05微米。
薄氧化层在保持LED正常操作电绝缘的同时减小热阻是必要的。 进一步的，如果该LED芯片衬底由蓝宝石制成，蓝宝石和硅的温度膨胀
系数(coefficient of thermal expression, CTE )本质上是相似的,这是
一个优势。理想地，该LED芯片衬底也可以由硅制成。
根据下面的优选实施例结合附图的详细描述，本发明进一步的优点、特
征和目的对于本领域技术人员将变得明显。
图1示出了可以使用与本发明关联的具有一蓝宝石衬底的LED芯片； 图2示出了根据本发明的平台的例子，该平台具有薄的硅薄膜和一相对 厚的整体形成的支撑结构；
图3示出了 一具有一 FU装配的LED封装的例子； 图4示出了一FC LED芯片装配的例子；
图5示出了在LED芯片上方和/或周围提供一色彩变换材料的不同可能
性；
图6示出了具有如文中描述的尺寸h、 H、 L和t的芯片的平台的尺寸；
图7示出了具有不一致厚度的薄膜的例子；
图8示出了不同的馈入方法；
图9示出了具有相应的电接触的不同硅薄膜；和
图10到图12进一步示出了具有馈电接触的硅薄膜设计。
具体实施例方式
高功率(高输出流量)LED已经导致了在芯片设计上使用较大的芯片尺 寸且较厚的透光的支持衬底和较大的芯片尺寸且较薄的不透光的导热率的衬底，其中在每个例子中，光发射层对于支撑衬底是不同的。
本发明建议使用一具有大(L〉 300微米)且(相对厚)例如由蓝宝石制 成的衬底的LED芯片，以及具有大(L > 300微米)的相对薄的例如由硅或者 碳化硅制成的衬底的LED芯片。该透明衬底可以有一大于3倍薄膜厚度的厚 度，高达5倍，可能多于7倍。随着该厚度的增加，该构造的热特性变得不 利。
该不透明的材料可以有一小于3倍于薄膜厚度的厚度，优选地，厚度上
相似，理想的是不使用衬底。
在每个例子中，随着厚度的减小，该构造的热特性变得有利。
因此，根据本发明，为了提升整个平台的机械特征和热阻，相对较大的
LED芯片尺寸可以被使用，也就是根据比率(h/L)的LED芯片和薄膜的结合。
因此， 一较大LED芯片改善了导热率。
本发明建议利用这样的事实， 一支撑衬底比光发射层(例如氮化镓、砷
化镓)在机械上更强劲。
图1示出了可以使用与本发明关联的LED芯片的一个例子。 相对厚的蓝宝石衬底是特别重要的，可以根据模型被制作。 现在，如图2所示，本发明建议使用LED芯片1，其在一衬底7上具有
一光活性层6，该衬底7与平台2连接。
平台2有一腔体8，其底部由一支撑结构5围绕一凹陷的且相对薄的薄
膜3形成，支撑结构5是较厚的且因此与薄的薄膜3相比是结实的。LED芯
片l可以被装配到薄膜3上，例如使用胶合剂或者通过锡焊9。
根据本发明，薄膜3的厚度小于该结构厚度的2倍，优选的小于该结构
厚度的5倍，最优选的小于该结构厚度的25倍。
薄膜3与支撑结构5被整体制成，因此由与支撑结构5相同的材料制成。 腔体8的壁4可以是任意的形状，例如垂直的、弯曲的或者所示的如以
4 0到60度之间的一角度倾斜的。腔体8的壁4可以作为一反射体，出于这种考虑，可以被涂上反射材料。 图3示出了一正面朝上(FU)LED芯片1,其被置于薄的薄膜3上，并且
机械连接于薄膜3，例如通过锡焊9，通过导电胶等等。
在LED芯片1顶部的两个电极16， 17是电连接的，例如，通过金(Au)
焊线14， 15。
在放置LED芯片1之后，腔体8被如干净密封的硅树脂10填充。 优选地，在具有被填充的腔体8的平台2的顶部， 一色彩变换材料11可
以被重叠放置，腔体8外部的平台2的区域即支撑结构5的顶部表面12也可
以放置。
至少一个电极17的接合线14可以通过薄膜的导通部分被导向外部，其 中导通部分与硅平台的围绕部分是电绝缘的。该导通部分可以由一导体制成， 即金属或者半导体，例如硅。绝缘可以通过例如氧化硅达到。
硅薄膜中的导通部分可以相对小("孔")或者覆盖如该LED芯片的整 个基部的区域。
LED芯片的一个或者两个电极可以被馈电到硅树脂薄膜中。
该LED芯片可以被正面朝上装配或正面朝下装配。
该示出的实施例建议在薄膜3中有一被填充的通孔13,该导电填充物由 金或者金属的合成或者其他单独的导电材料制成。该填充物与周围的硅是电 绝缘的，例如在放置填充物之前涂敷一绝缘层。
图4示出了根据FC技术装配的LED芯片1的例子。再次地，腔体8被填 充或者部分填充干净的硅树脂10,并且一色彩变换材料14可以祐:放置于被 填充的腔体8的顶部和围绕支撑结构5的表面12上。
LED芯片1的阴极和阳极朝向薄膜3。
阴极有一隔开的焊料片18，阳极有一焊料片19，其中焊料片分别设置在 薄膜3上。锡化金可以被用作焊料。锡化金焊料的成分理想地是8 0:2 0 wtV)，优选地，由过量沉积的金形成。在薄膜3中，阴极有一绝缘导电材料填充的通孔2 0和阳极有一通孔1
3
参考图5 ，色彩变换材料的不同布置将被阐明。
图5示出了图3和4所示的设置。根据本实施例， 一色彩变换层l l覆 盖腔体8 (其可以被填充或者"空的，，)和支撑结构5的周围顶部表面12。
根据图5b，腔体8再次可以可选择地被填充一干净的硅树脂材料，而根 据本实施例，色彩变换层l 1只覆盖腔体8的顶部正面，但不覆盖支撑结构 5的顶部表面1 2 。
根据图5 c，本实施例中，色彩变换材料1 1直接填充腔体8 ，以至于该 色彩变换材料的顶部表面与周围的支撑结构5的顶部表面1 2齐平或者更 高。
根据本发明，如来自硅材料的薄的薄膜总是被支撑的，也就是在整个制 造过程中，被周围由同一材料制成但有更大厚度的支撑结构支撑。为了生产 一种具有低热阻的精确限定的薄的薄膜和在该薄膜周围的整体机械支撑，这 种i殳计可以通过使用硅孩支加工(MEMS)来制造。
该腔体可以由硅晶片使用 一种可控MEMS制造技术形成。
另外，该腔体壁可以镀有一种合适的反射材料，例如像铝和/或银这样的 材料。
根据本发明，可以达到该封装穿过该薄的薄膜的少于7K/W极好的热性 能。其中，LED芯片衬底和该薄膜的理想的材料结合被使用，可以达到该平 台的穿过该LED衬底和该薄膜的少于15K/W的热性能。
优选地，该薄膜材料的热特性与该LED蓝宝石衬底或者其它连接的支撑 材料的热特性相似。这防止了不良的热应力和该LED封装的装配和操作过程 中可预期的温度范围内的封装。如图3和4所示的焊接路径的设计就是该封装下面的区域被最大化以使
当最终焊接后在该薄膜的表面上有效的传播热转换，并远离该平台。特别的，
该电极区域被设计成与该LED芯片的轮廓直接对应，因此从薄膜到支撑结构 产生最小的横向热量传播。
这保证了该平台的结构已限制了该LED芯片的发热，并且在正交于该薄 膜的方向上热量被直接导走。
该平台的结构在该封装后的LED的正常使用中不应该变热，因为热量被 向下导向了下面的构造，并且不会通过热传播进入该结构。这对该完整装置 的光性能是有益的。
关于与焊接路径的电连接，硅上的本征氧化物可以被用作电绝缘体来隔 离LED芯片的阳极和阴极。如图3和4所示，穿过该薄膜或者该封装的表面 到上层表面的电连接可以有利的实现。
在图6所示的例子中，该薄膜有一恒定的厚度。
图7示出了本发明的一实施例，其中，该薄膜有一变化的厚度。在该示 出的例子中，该薄膜有一中心凹陷(且更薄)的部分，与周围的厚度S相比 该部分具有一减小的厚度(S-T)。该LED芯片被装配在具有减小了厚度的区 域。
该薄膜的厚度变化可以是渐变的或者如图7所示的台阶式的。 根据本发明，馈电技术和它在不同芯片设计上的应用现在将结合图8到 12被进一步解释。
本发明可以被使用在如以下芯片设计的描述中
-正面朝上(FU)，向上接触(FU-CU)芯片在活性层的上方典型地需要
一个或多个线连接。
-倒装芯片(FC)，向下接触(FC-CD)芯片不需要线连接，并且光远离电 接触穿过该衬底。
-面朝上和向下接触(FU-CD)芯片不需要线连接并且光不穿过该衬底。三种类型的LED衬底是公知的
-绝缘的
-导电的
-具有 一绝缘馈电的导电的。 这提供了 6种类型的LED芯片结构。 -具有两个线连接的FU: —个用于阳极， 一个用于阴极。 -没有线连接的FC。
-在导电衬底上有一个线连接的FU:通过整个衬底的一个电接触。 -在LED衬底上没有线接触和馈电的FU:该电接触是一与发射表面类似 的区域。
FU在LED衬底上没有线连接和馈电。电接触是一比发射表面小的区域， 并且热路径由与该发射表面类似的尺寸形成。
-FU没有线连接和LED衬底，以至于该阳极直接由该薄膜制成，而阴极 通过一隔离的电导体制成。
馈电技术
需求是提供从薄膜的LED芯片侧到薄膜的焊锡垫侧的导电路径。阴极和 阳极应该被电绝缘。
该导电路径的第二个方面是他们也作为从该LED芯片到该焊锡垫的导热 路径。这可以通过该阳极和阴极的 一个或两个路径。
第三个方面是该导电路径与该导热路径是独立的。在这种情况下，在该 芯片的下面没有直接的电接触，但在设计上有少许或者没有区别，因此构造 的方法是相同的。
在所有的情况中，最终的形式维持着穿过该薄膜的密封界面。
电路接触的隔离可以包括一结合的电和热的路径，并且该热路径可以是 电隔离的。
电隔离的方法可以通过两种途径-电隔离平行于该薄膜表面，也就是该绝缘层正交于热量转换并且典型的
在LED芯片和该薄膜之间。
-该电隔离正交于该薄膜表面并且平行于热转换。在这种情况下，在该 LED芯片和该薄膜之间没有必要有一电绝缘。
第二种方法的优点在于该电隔离层是一典型的差的热导体并且总的说来
对薄膜上的热阻有一显著的影响。当该电隔离不在该热路径中时，在类似的 结构中的热阻有显著的降低。另外，导电区域选择性的被限制在该薄膜的特 定的区域，而该薄膜的剩余区域和包括该平台的结构是电中性的。
该限定的构造的另一优点在于该热和电区域隔离形成一阳极、 一阴极和 一热接触。该构造可以在最终的装置应用中被有利的使用。
权利要求
1、一种发光二极管LED封装，包括一LED芯片(1)，其具有在最小尺寸L的一衬底(7)上的一光活性层；一平台(2)，其由一支撑结构(5)围绕一凹陷的薄膜(3)形成，在该凹陷的薄膜(3)上，该LED芯片(1)被装配成与平台(2)的材料紧密热接触；其中，该薄膜(3)设置有由导电材料制成的并且连接到该LED芯片(1)的电极之一上的一个或多个电隔离通路接触部。
2、 根据权利要求1所述的LED封装，其中该导电材料是一导体或者半 导体。
3、 根据权利要求1或2所述的LED封装，其中该通路接触部具有孔的形状或者平面区域的形状。
4、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该薄膜(3)的厚度小 于该芯片尺寸(L)的3/10， 一般为1/10且最佳小于1/25,该支撑结构(5) 的厚度大于该薄膜(3)的厚度的两倍。
5、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中在一透光衬底(7)上 的所述LED芯片(1)具有一大于3倍，优选地高达5倍或者大于7倍该薄膜 厚度的厚度。
6、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该LED芯片(1 )衬底 (7)具有至少在300微米的数量级的最小尺寸。
7、 根据权利要求1所述的LED封装，其中在一不透光衬底(7 )上的所 述LED芯片(1 )具有一小于3倍该薄膜厚度的厚度，优选地在厚度上相近。
8、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该LED芯片(1)以倒 装芯片技术被装配，并且其中该薄膜(3)设置有两个通孔，其分别填充有导 电材料并连接到该LED芯片(1)的电极之一上。
9、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该LED芯片(1 )衬底(7)由硅、蓝宝石或者碳化硅制成。
10、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该平台(2)由电绝缘 体制成，优选地由硅或者碳化硅制成。
11、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该LED芯片(1)不使用分离的子装配被装配到该平台上。
12、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中围绕该薄膜(3)的壁 (4)形成一腔体(8)，其中该壁(4)被用来作为从该LED芯片(1)发出的光的反射体。
13、 根据权利要求12所述的LED封装，其中该腔体(8 )的壁(4 )被镀 有反射材料。
14、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该平台(2 )的薄膜(3 ) 的热阻小于7K/W。
15、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中合成薄膜(3)和芯片 衬底(1)的热阻小于15K/W。
16、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中该平台(2)的结构具 有一至少两倍该薄膜(5 )厚度的厚度， 一般为10倍，合理地在25倍的范围 内。
17、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中凹陷的薄膜(3)通过 对SOI连接晶片的蚀刻工艺获得。
18、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中凹陷的薄膜(3)通过 对硅或者碳化硅晶片的蚀刻工艺获得。
19、 根据前述任一权利要求所述的LED封装，其中由凹陷的薄膜(3)限 定的该腔体(8)至少被部分地填充色彩变换材料。
20、 一种制造发光二极管LED封装的方法，包含以下步骤 制备具有一薄膜(3 )的一平台(2 )，该薄膜(3 )具有LED芯片尺寸的3/10或者更小的厚度，和制备一结构，其由该薄膜(3)整体形成并具有大体上大于该薄膜(3)厚度的厚度，其中在制备过程中，该薄膜(3)总是由 该结构支撑；以及在该薄膜(3 )上装配一 LED芯片(1 )。
21、 根据权利要求20所述的方法，其中装配该LED芯片(1 )的步骤包 括选择具有一村底(7 )的LED芯片(1 ),该衬底(7 )具有一厚度，以使 该LED芯片(1)的该衬底(7 )与该平台(2 )的结构一起获得LED封装的足 够的机械特性。
22、 根据权利要求20或21所述的方法，其中包括分别选择该LED芯片 (1)的衬底(7)和该平台(2)的材料，以使其具有本质上类似的热特征。
23、 根据权利要求20至22任一所述的方法，其中该平台(2)的薄膜(3) 的热阻大约为7K/W或更小。
24、 根据权利要求20至23任一所述的方法，其中该平台(2)的合成薄 膜(3)和该LED衬底的热阻大约为15K/W或更小。
全文摘要
一种LED封装，包括一LED芯片(1)，其具有在一衬底上的一光活性层；一平台，其包括一中心薄膜，该LED芯片(1)被装配成与平台的材料紧密热接触；该薄膜(3)的厚度小于该芯片尺寸(L)的3/10；该支撑结构(5)的厚度大于该薄膜(3)的厚度的两倍，一般为10倍，合理地达到25倍，其由该薄膜(3)整体形成，大体上大于该薄膜(3)的厚度。其中该薄膜(3)设置有至少一电隔离通路接触部，其被填充有导电材料并连接到该LED芯片(1)的电极之一上。
文档编号H01L33/64GK101427389SQ200780014418
公开日2009年5月6日 申请日期2007年4月23日 优先权日2006年4月21日
发明者尼克·谢泼德, 川口宏明 申请人:雷克斯爱帝斯照明股份有限公司