阵列测试器的制作方法

专利名称：阵列测试器的制作方法
技术领域：
本发明涉及阵列测试器，更具体地，涉及一种测试平板显示器面板上的 电缺陷的阵列测试器。
背景技术：
平板显示器一般具有布置在上基欧与下M之间的电极.例如，薄膜晶
体管液晶显示器(TFT-LCD )面板包括TFT面板、滤光器面板、在TFT面 板与滤光器面板之间插入的液晶、以及背光。在这种情况下，该TFT面板 具有下基昧和在该下基仗上形成的薄膜晶体管。此外，该滤光器面板包括上 M以;^该上J4i上形成的、朝向TFT面板的彩色滤光器和公用电极。
通过阵列检测器iM^测诸如TFT面板之类的面板的缺陷。
图1是根据传统技术的阵列检测器10的透视图。如图1所示，传统的 阵列检测器IO包括测试基底20、面板固定板30、模块移动部件40、以及测 试模块50。
面板固定板30被布置在测试基底20上，用于从底表面支撑至少一个要 测试的面板2。
测试模块50检测面板2的电极之间的缺陷。
模块移动部件40被形成在测试基底20上，用于水平地移动测试模块50。 模块移动部件40包括x轴托台(gantry)42和y轴托台44。 y轴托台44在测 试基底20的每一侧沿y轴方向延伸，x轴托台42具有与y轴托台44相耦 合的两端，并且沿x轴方向延伸。x轴托台42可以沿着y轴托台44在y轴 方向上移动。测试模块50与x轴托台相耦合，以沿着x轴移动。
因此，与x轴托台44啮合的测试模块50沿着y轴移动，并且可以沿着 x轴托台42在x轴方向上移动。
在图1中，测试模块50通过在面板2已被固定时沿x轴和y轴这两个 方向移动来检测面板2的缺陷。测试模块50在移动时产生振动，该振动导致微粒立落在面板2上。
此外，以下操作是在面板固定板30上执行的将面板2加载到面板固 定板30上、检测面板2的缺陷、以及从面板固定板30卸载面板2，因此不 可能同时执行这些操作。
此外，当面板2 #载到面板固定板30上或从面板固定板30卸载时， 测试模块50需要处于不阻碍面板2的移动的位置。因此，阵列测试器10需 要花费更多的时间来测试面板2。
要测试的面板2被固定在面板固定板30上，并且测试模块50沿着面板 2垂直地和水平地移动，以检测面板2的缺陷。换言之，为了检测面板2的 缺陷，布置在测试模块50中的光源、调制器和^HI^L应当移动。为此，需 要光源、调制器和摄#4^之间的精确对准。然而，由于测试模块50进行移 动以检测面板2的缺陷，因此容易使得该对准偏离，并且在该对准偏离的情 况下，需要不便利地进行重新对准。

发明内容
本发明的目的是解决包括上述问题的各种问题，以及提供一种阵列测试 器，该阵列测试器可以削减测试时间，并且在该阵列测试器中不会4吏得形成 测试模块的元件之间的对准偏离。
本发明的另一目的是提供一种阵列测试器，该阵列测试器具有测试模 块，该测试模块不需要进行移动以检测面板的缺陷，或者仅移动很短的距离 以检测面板的缺陷。
本发明的另一目的是提供一种阵列测试器，该阵列测试器具有允许容易 地和精确地部署面板的结构。
本发明公开了一种阵列测试器，该阵列测试器包括加载单元、测试单 元以及面板输送组件。
加载单元包括支撑要测试的面板并Jbf目互间有间隔的多个加载板。测试 单元被布置成在笫一轴方向上接近于加载单元，并对面板进行测试以检测电 缺陷。每个面板输iHi且件将面板从加载单元输送至测试单元，并且包括导轨、 第二移动部件和吸取块。
导抓故沿第一轴方向安装在加载板之间。第一移动部件可沿第一轴方向 移动地耦合到该导轨。第二移动部件可沿垂直于第一轴方向的第二轴方向移动地耦合到第一移动部件。吸取块耦合到笫二移动部件，用于从下侧支撑面 板。
加载单元可包括至少三个或更多个相互间有间隔的加载板，并且该面板 输送组件中的至少 一个可包括第 一驱动部件和第二驱动部件，该第 一驱动部 件将第一移动部件移动至第一轴处，该第二驱动部件将第二移动部件移动至 笫二轴处。
加载单元可包括三个或更多个相互间有间隔的加载板，并且不包括第二 驱动部件的面板输送组件的第二移动部件耦合到第一移动部件，以便沿第二 轴方向自由移动。
本发明还^^开了一种阵列测试器，该阵列测试器包括加载单元、测试 单元、部署确定单元、以及多个面板输il!i且件。加载单元包括三个或更多个 加载板，加载^目互间有间隔并从下侧支撑要测试的面板。测试单元被布置 成在第一轴方向上接近于加载单元，并对面板进行测试以检测面板的电缺 陷。部署确定单元被布置在加载单元和测试单元的任一或两者之上，并确定 面板是否被适当地部署。该多个面板输illi且件中的每个面板输送组件在从下 侧支撑面板的同时将面板从加载单元输送至测试单元，并根据部署确定单元 的确定结果来部署面板。每个面板输送组件包括导轨，沿第一轴方向安装 在加载板之间；第一移动部件，可沿第一轴方向移动地耦合到第一导轨；笫 一驱动部件，沿第一轴方向移动第一移动部件；第二移动部件，可沿垂直于 第一轴方向的第二轴方向移动地耦合到该驱动部件；第二驱动部件，沿第二 轴方向移动第二移动部件；以及多个吸取块，每个吸取块耦合到第二移动部 件，并且^^目互独立地驱动。
第二驱动部件可包括缸式装置，该缸式装置被以使得活塞导杆(piston leader)可沿垂直于第一移动部件的移动方向的笫二轴方向移动的方式安装 在第一移动部件中，并且第二移动部件的一端可以耦合到第一移动部件，而 另一端可以被可连同活塞导杆一起沿第二轴方向移动地耦合到吸取块。第二 驱动部件可包括步进马达，该步进马达被安装在第一移动部件中，并且具有 在垂直于笫一移动部件的移动方向的第二轴方向上形成的旋转轴，并且第二 移动部件可通过#丝杠副(ball screw)而耦合到该步进马达。
每个吸取块可具有至少一个垂直地穿过该吸取块的吸取孔，并且该阵列 测试器中还可包括负压(negative pressure)提供装置，用于向该吸取孔提供 负压。导轨可以是线性运动导轨，并且第一移动部件可以是沿着该线性运动导
轨移动的滑行器块(runner block)。
每个吸取块可以可向上和向下移动地耦合到第二移动部件，并且每个面 板输送组件还可包括驱动吸取块上下移动的上下移动驱动部件。
部署确定单元可包括摄影单元，该摄影单元安装在加载单元和测试单 元的任一或两者上的至少两个位置；以及中央处理单元，该中央处理单元基
于来自摄影单元的摄影信号来确定面板是否已被部署。
阵列测试器还可包括第二轴输送组件，测试单元可沿第二轴方向移动地 耦合到该第二轴输送组件。


附图示出了本发明的示例性实施例，并且连同说明书一起用于说明本发 明的各方面，其中附图被包括用于提供对本发明的进一步理解，其被包括在 本说明书的一部分中，并构成了本说明书的一部分。
图l是根据传统技术的阵列测试器的透视图2是根据本发明的实施例的阵列测试器的透视图3濕_从其上移除了加载板的、图2的阵列测试器的透视图4是图3中的部分A的放大图5是图4中的面板移动组件的分解透视图6和7是示出了面板输送组件如何旋转面板的每个过程的俯视图8是图2中的测试模块的概念视图。
具体实施例方式
图2是根据本发明的实施例的阵列测试器100的透视图，图3是从其上 移除了加载板的、图2的阵列测试器100的透视图。在本实施例中，阵列测 试器100测试在面板2上形成的面板电极5 (参照图8)，以测试电缺陷。面 板2可以是包括在电光设备中的面板，并且可以是TFT液晶显示器(LCD) 狄的薄膜晶体管(TFT)面板。
如图2和3所示，阵列测试器100包括加栽单元110、测试单元120和测试模块150。
加栽单元110包括至少两个或更多个加载板112。加载板112被布置成 相互间有距离，并且要测试的面板2救故置在加载板112上。加载板112使 得面板2能够在被固定地加载到加载板112上或者被提升到加载板112上方 预定高度的同时被移动到测试单元120处。
测试单元120被布置在加载单元110的侧方，并对已#>载板112移动 到测试单元120处的面板2进行检测，以检测电缺陷。测试单元120包括由 透明物质形成的测试板122。
测试模块150被布置在测试板122上，用于检测面板2的故障。稍后将 更详细地描述测试模块150。
根据本实施例的阵列测试器100还可包括部署确定单元170。部署确定 单元170被安装在加载单元110和测试单元120的任一或两者中，并确定面 板2是否被适当地部署。
部署确定单元170可包括摄影单元182和中央处理单元(未示出)。摄 影单元182被布置在加载单元110和测试单元120的至少一个之上，以对面 板2的部署状态进行摄影。中央处理单元接收来自摄影单元182的摄影信号， 并确定面板2是否被适当地部署。
摄影单元182可被布置在加载单元110和测试单元120中的每个单元之上。
摄影单元182可被分别布置在加载单元110上的多个位置。如图2所示， 在这种情况下，摄影单元182可被针对加栽单元110而言相互斜对地布置。 摄影单元182可被分别布置在面板2的对准标记8下方。如果加载单元110 在其上具有加栽板112，则摄影单元182可拔故置在加载板112的后表面。 在这种情况下，可以在与摄影单元182所处于的位置相对应的、加载板U2 上的位置形成对准孔117。对准孔117枕故置成与对准标记8相对应，以使 得面板2可被适当地对准。摄影单元182可被布置在面板2的上表面上，在 这种情况下，加载板112上的对准孔不是必需的。
然而，摄影单元182的位置并不限定于上述位置。例如，摄影单元182 可被分别布置在测试单元120上的多个位置。在这种情况下，摄影单元182 可被相互斜对地放置。通过斜对地放置摄影单元182,可以确定面板2是否 是扭曲的。
根据本发明的本实施例的阵列测试器100还可包括卸载单元130。卸载单元130枕故置在测试单元120的側方，并且为了在完成对面板2的测试后 卸载面板2,将面板2从测试单元120移动至卸载单元130处。卸载单元130 可包括卸载板132。卸载板132使得在完成对面板2的测试之后，面板2能 够在被固定在卸载板132上或者被提升到卸载板132上方预定高度的同时被 移动。
面板2被至少一个面板输送组件160从加载单元110移动至测试单元 120。具体地，如图3所示，面板输送部件160包括至少一个导轨162以及 至少一个面板移动部件163。面板移动部件163包括第一移动部件164和吸 取块166。
导轨162被沿平行于面板2的移动方向的第一方向(图3中的y轴方向) 而安装在加载板112之间。第一移动部件164被可沿导轨162移动地安装。 吸取块166位于第一移动部件164的上部，并且面板2被从面板2的底表面 快速地吸取到吸取块166处。
换言之，当要测试的面板2被加载到加载板112上时，吸取块166在接 触到面板2时从面板2的后表面支撑面板2。在该位置，第一移动部件164 沿着导轨162移动，以将面板2移动到测试单元120处。导轨162可以是线 性运动(LM)导轨，并且第一移动部件164可以是布置在该LM导轨上的 滑行器块。因此，第一移动部件164可具有LM导向件并连接到导轨162。 通过该LM导向件，面板输送组件160可以将面板2移动到精确的位置。
吸取块166可包括垂直地穿过该吸取块的至少一个吸取孔167。在这种 情况下，面板输送组件160还可包括负压提供装置。吸取块166可由橡胶制 成。
卸载单元130可包括至少两个或更多个卸载板132。卸载板132被相互 间具有间隔地部署，并且在完成对面板2的测试之后，面板2M置在卸载 板132上。面板输送组件160可被插入在卸载板132之间。具体地，导轨162 被沿着平行于面板2的移动方向的第一轴方向而安装在卸载板132之间，笫 一移动部件164被可沿着导轨162移动地安装，并且吸取块166被设于第一 移动部件164的上部，以便>^要测试的面板2的底表面吸取面板2。因此， 布置在加载单元110上的面板输送组件160通过吸取面板2而将面板2输送 到测试单元120处，并且布置在卸载单元130上的面板输送组件160将面板 2从测试单元120移动到卸载单元130处。
因此，将面板2移动到测试单元120处的操作以及将面板2移动到卸载单元130处的操作可以一起执行。结果，可以提高阵列测试器100的工作速 度。
每个加载板112可以具有在其上表面上形成的多个吹风孔114。在这种 情况下，阵列测试器100还可包括正压提供装置(未示出)，该正压提供装 置通过经由M孔114而向面板2的下表面提供正压力，来允许面板2被从 加载板112提升预定高度。
此外，卸载板132可具有在其上表面上形成的多个吹风孔134。在这种 情况下，阵列测试器100还可包括正压提供装置(未示出)，该正压提供装 置通过经由吹风孔134而向面板的下表面提供正压力，来允许面板2被提升 到面板2的下表面上方的预定距离处。
因此，当经由吹风孔114或134而在加栽板112或卸栽板132上形成了 正压力时，面板2被提升到加栽板112或卸载板132上方，并在被吸取块166 支撑的同时被沿着笫一轴移动。根据本发明的本实施例，由于面板2在不接 触加载板112或卸载板132的情况下被移动，因此不会产生面板2与加载板 112或卸载板132之间的接触阻力(contact resistance)-结果，吸取块166 可使用少量力量来移动面板2。
图4是图3中的部分A的放大图，图5是图4中的面板移动组件的分解 透视图。
参照图3至5，每个面板移动部件163还可包括第二移动部件168。
第二移动部件168被耦合到第一移动部件164,并且可沿第二轴方向移 动预定距离。至少一个面板移动部件163还可包括第二驱动部件172。第二 驱动部件172驱动第二移动部件168沿第二轴方向移动。梯^据本发明的本实 施例，第二移动部件168可与多个第二驱动部件172相耦合。
与上述结构不同，可以不将笫二驱动部件172提供给面板移动部件163 的一部分。在这种情况下，未被沿第二轴方向驱动的第二移动部件168可以 以能够沿第二方向执行自由运动的方式耦合到第一移动部件164。因此，当 在面板2被快速吸取到第二移动部件168的吸取块166处的同时、第二驱动 部件163沿第二轴方向驱动第二移动部件168时，面板2被沿第二轴方向而 移动，并且执行自由运动的另一第二移动部件168也可以随着面板2 —起沿 第二轴方向移动。
第二驱动部件163可包括安装在第一移动部件164中的步进马达173， 并且第二移动部件168可借助于M丝杠副175而耦合到该步进马达173。具体地，第二驱动部件163包括步进马达173、驱动轴174和^K丝 杠副175。沿第二轴方向延伸的驱动轴174被耦合到步进马达173，并通过 步进马达173的驱动力而旋转。耦合到驱动轴174的M丝杠副175随着驱 动轴174的旋转而前后移动，并被耦合到第二移动部件168的侧方。第一移 动部件164可具有指导第二移动部件168的移动的线性运动(LM)标尺 (scale) 165。
上述滚珠丝杠副装置比LM导向件装置便宜，并且可以有利地容易和精 确地控制第二移动部件的位置。
然而，本发明的第二驱动部件172并不限定于滚珠丝杠副装置，并且可 以^l:任何其它驱动装置，例如LM导向件装置或缸式装置。
吸取块166以可上下移动的方式耦合到第二移动部件168，并且面板输 送组件160还可包括上下移动驱动部件180，该上下移动驱动部件180驱动 吸取块166上下移动。该上下移动驱动部件180可以是包括釭式182和活塞 杆183的缸式装置。缸式182耦合到第二移动部件168。活塞杆183包括在 缸式内的可上下移动的活塞、以及从活塞的下部垂直地延伸并且一端耦合到 吸取块166的杆。在这种情况下，轴承184可插入在吸取块与活塞杆之间，
上下移动驱动部件180将吸取块166向上移动到加栽板112上方的面板 2所处于的位置，以使得吸取块166可以支撑面板2。此外，当吸取块不必 支撑面板2时，上下移动驱动部件180将吸取块166向下移动预定距离。
吸取块166可具有垂直地穿过该吸取块166的至少一个吸取孔167。在 这种情况下，面板输ilU且件160还可包括负压提供装置，该负压提供装置向 吸取孔168提供负压。吸取块可由橡胶制成。
如图2所示，三个或更多个加栽板112被相互平行地部署，并且面板输 送组件160可被分别布置在相邻的加载板112之间的至少两个位置。
如图2和6所示，面板输送组件160可包括至少两个导轨162以及至少 两个面板移动部件。导轨162被沿平行于面板2的移动方向的第一轴方向而 安装在加载单元110上。面板移动部件163被可沿笫一轴方向(图2中的y 轴方向)和第二轴方向(图2中的x轴方向)移动地布置，其中第一轴方向 与导轨162的方向相同，第二轴方向垂直于第一轴方向。
图6和7是示出了面板输送组件如何旋转面板的每个过程的俯视图。
参照图6和7，第一面板输送组件160a被布置在加载单元110的左侧， 第二面板输送部件160b被布置在加载单元110的右侧。在这种情况下，第一和笫二面板输送组件160a和160b可以相互独立地 移动。因此，第一面板输送组件160a的吸取块166a以及第二面板输ii!i且件 160b的吸取块166b可被放置在第一轴方向上的不同位置，并且因此可以旋 转面板2。也就是说，如图7所示，当在面板2被快速吸取到第一和第二面 板输送组件160a和160b的吸取块166a和166b处的同时、第一面板输:UiM 件160a的吸取块166a在第一轴方向上的输i^巨离与第二面板输送组件160b 的p及取块166b在第一轴方向上的输iiU巨离变得互不相同时，面板2可以被 旋转。因此，通过面板输送组件160可以使得面板2旋转以及沿第一轴方向 和第二轴方向移动。
再参照图2，测试单元120包括透明测试板122和测试模块150。要测 试的面板2的一部分被定位到透明测试板122的顶表面上方，然后对面板2 执行测试。
测试模块150检测面板2的电缺陷。稍后将更详细地描述测试模块150。
在进行检测时，测试模块150可以在检测期间位于固定位置，或者可以 沿着x轴托台在第二轴方向上移动。这是由于通过面板输送组件160使得面 板2沿第一轴方向移动，并且测试模块150因而至少不需要沿第一轴方向移 动。x轴托台可以是安装到阵列测试器100的主体中的LM导向件。
下面将描述^^据本发明的实施例的阵列测试器的操作。
面板2被用户或加栽装置移动到加载板112的顶表面。此时，通过^^X 孔114在加载板112的顶表面上形成正压力，由于该正压力，面板2被>^ 栽板112的顶表面提升预定距离。在该状态下，吸取块166吸取面板2并使 得面板2朝测试单元120移动。通过包括在测试单元120中的测试模块150 对到达测试单元120处的面板2进行测试，以测试该面板2是否具有电缺陷。 测试模块150在处于固定位置或者被x轴托台沿第二轴方向(x轴方向)移 动的同时对面板2的缺陷进行检测。然后，面板2在测试完成后被移动到卸 载单元130的卸载板132的顶表面。此时，通过 tX孔134在卸载板132的 顶表面上形成正压力，因此面板2被提升到卸载板132上方。当面板2的预 定部分到达卸栽单元130时，面板输送组件160在支撑面板2的同时移动面 板2的前端。然后，通过操作者或卸栽装置从阵列测试器100卸载面板2。
图8是图2中的测试模块150的概念视图。参照图8，测试模块150包 括光源151、调制器152和缺陷检测单元157。在这种情况下，光源151被 布置在面板2的前面表或后表面，并且调制器152和缺陷检测单元157被布置成针对面板2而言与光源151相对。
光源151向在面板2的前表面上形成的测试面板电极5发射光束。光源 151可被布置在面板2的后表面上。光源151可发射诸如氙、钠、水晶卤素 灯、以及激光等的光束。
调制器152被布置成针对面板2而言与光源151相对。在图7中，由于 光源151枕故置在面板2的后表面，因此调制器152被布置在面板2的前表 面2b (参照图8)。
调制器152包括光入射表面152a、调制器电极层155、电光材料层154、 以;SJC光表面152b。从光源151经过面板1的后表面2a而入射到面板2的 前表面lb的光束最终入射到:^射表面152a。
调制器电极层155被并行于面板电极5地布置，以便连同面板电极5 — 起形成电场。更具体地，调制器电Ml55用作公用电极，从外部电源向该 公用电极施加恒定电压。因此，调制器电极层155被布置成枕故置在距离面 板2少于预定距离处，并且当向面板电极5和调制器电极层155施加预定量 的电压时，在面板电极5与调制器电极层155之间产生电场。
电光材料层154被插入在调制器电极层155与面板电极5之间，并根据 电场的量值来改变经由光入射表面152a入射的光的透射量。为此，电光材 料层154可包括根据电场的量值而^A^射光偏振的物质。电光材料层154可 以是聚合物^t型液晶。
发光表面152b耦合到光透射基板156,以使得光透射基板156可以支撑 电光材料层154。此外，itX射表面152a可覆盖有保护层153,用于保护电 光材料层154。
发光表面152b将已经过电光材料层154的;JUL射到外部。
缺陷检测单元157基于经由发光表面152b发射的光的量来检测在面板5 上是否存在面板电极5的电缺陷。在这种情况下，缺陷检测单元157可包括 视觉装置158和与该视觉装置158连接的监视器159，从而允许用户在视觉 上检测面板电极5的缺陷。监视器159可被装配在计算机上。
面板2用于电光装置，并且具有布置在面板2的前表面上的面板电极5。 面板2可用于平板显示器，例如，可以是LCD的TFT面板。
根据本发明的本实施例，从光源151发射的光入射到面板2的后表面， 并M射到面板电极5被布置于其上的前表面。然后，；3tAJN"到调制器152,然后光的量被控制。其量已被调节的光被经由调制器152的发光表面152b 而发射到外部。对经由发光表面152b发射的光进行检查。
通常，在LCD的情况下，来自放置在TFT面板的后表面的背光的光经 过TFT面板，然后M射到滤光器面板的前表面，其中该滤光器面板附着 在TFT面板的前表面，并且在其上形成有4S用电极。然后该^L射到滤光 器面板的前表面的光变得可见。
在实践中，当观看者正在观看LCD屏幕时，观看者位于滤光器面板的 前面。因此，根据本发明的阵列测试器100具有与用于观看者观看LCD屏 幕的机构的配置基;^目同的配置。通过使用这种配置，阵列测试器100可以 更精确ilM^测缺陷。
此外，阵列检测器100不具有布置在缺陷检测单元157与调制器152之 间的光程上的附加部件，例如面板电极5。
如果缺陷检测单元157被放置在每个面板电极5的后表面，并且光从光 源151发射并在经过调制器152后被缺陷检测单元157接收，则缺陷检测单 元157可以检测调制器152中的偏振度以及面板2中的光学失真。换言之， 当已经过调制器152的光经过面板2时，该光被再次嘲L射或反射，以使得不 可能直接检测该已经过调制器152的光的偏振度。因此，当该光入射到调制 器152然后M射到外部时，缺陷检测单元157难以精确地检测取决于面板 2上的缺陷的、^LiL射的光的量。此外，为了精确的检测，需要去除经过调 制器152的光以及另 一 因素的附加工作，从而导致耗费更多时间。
根据本发明，缺陷检测单元157可以直楱接收经过调制器152的光。结 果，不必通过附加元件来散射该光，因此可以快速和精确地检测到面板电极 5上的缺陷。
在这种情况下，光源151、要测试的面板2上的面板电极5、调制器152、 以及视觉装置158可被布置成排成一行，并且不必附加地提供诸如镜子之类 的用于改变光程的元件。
根据本发明，测试模块不必沿笫一轴方向移动以检测面板上的缺陷，因 此可以避免测试模块的移动所导致的微尘的出现、以及该微尘所导致的面板 上的损坏。
此外，由于面板输送组件同时地移动面板和将面板部署在正确位置，因 此可以容易地和快速地部署面板。
对于本领域的技术人员而言，显然可以在本发明中进行各种修改和变化，而不背离本发明的精神和范围。因此，本发明旨在覆盖在所附的权利要 求及其等价物的范围之内的、对本发明的修改和变化。
权利要求
1.一种阵列测试器，包括加载单元，该加载单元包括多个加载板，该多个加载板支撑要测试的面板并且相互间有间隔；测试单元，该测试单元被布置成在第一轴方向上接近于加载单元，并且该测试单元对面板进行测试以检测电缺陷；以及多个面板输送组件，每个所述面板输送组件将面板从加载单元输送至测试单元，其中所述面板输送组件包括导轨，该导轨被沿第一轴方向安装在所述加载板之间；第一移动部件，该第一移动部件被可沿第一轴方向移动地耦合到该导轨；第二移动部件，该第二移动部件被可沿垂直于第一轴方向的第二轴方向移动地耦合到第一移动部件；以及吸取块，该吸取块耦合到第二移动部件，用于从下侧支撑面板。
2. 根据权利要求1所述的阵列测试器，其中所述加载单元包括至少 三个或更多个相互间有间隔的加载板，并且所述面板输送组件中的至少一 个包括第 一驱动部件和第二驱动部件，其中该第 一驱动部件将第 一移动部 件移动至所述第一轴处，该第二驱动部件将第二移动部件移动至所述第二 轴处。
3. 根据权利要求2所述的阵列测试器，其中所述加载单元包括三个 或更多个相互间有间隔的加载板，并且不包括第二驱动部件的面板输送组 件的第二移动部件耦合到第一移动部件，以^^沿第二轴方向自由移动。
4. 一种阵列测试器，包括加载单元，该加载单元包括三个或更多个加载板，所述加载板相互间 有间隔并从下侧支撑要测试的面板；测试单元，该测试单元被布置成在第一轴方向上接近于加载单元，并 且该测试单元对面板进行测试以检测该面板的电缺陷；部署确定单元，该部署确定单元被布置在加载单元和测试单元的任一 或两者之上，并确定面板是否被适当地部署；以及多个面板输件，每个所述面板输送组件在从下侧支撑面板的同时 将面板从加载单元输送至测试单元，并根据部署确定单元的确定结果来部署面板，其中每个所述面板输送组件包括导轨，该导M沿第一轴方向安装在所述加载板之间；第一移动部件，该第一移动部件被可沿第一轴方向移 动地耦合到第一导轨；第一驱动部件，该第一驱动部件沿第一轴方向移动 第一移动部件；第二移动部件，该第二移动部件被可沿垂直于第一轴方向 的第二轴方向移动地耦合到该驱动部件；笫二驱动部件，该第二驱动部件 沿第二轴方向移动笫二移动部件；以及多个吸取块，每个吸取块耦合到第 二移动部件，并且被相互独立地驱动。
5. 根据权利要求4所述的阵列测试器，其中所述部署确定单元包括 摄影单元，所述摄影单元安装在加载单元和测试单元的任一或两者上的至 少两个位置；以及中央处理单元，该中央处理单元基于来自摄影单元的摄 影信号来确定面板是否已被部署。
6. 根据权利要求2-5之一所述的阵列测试器，其中所述第二驱动部件 包括釭式装置，该缸式装置被以使得活塞导杆可沿垂直于第一移动部件的 移动方向的第二轴方向移动的方式安装在第一移动部件中，并且第二移动 部件的 一端耦合到第 一移动部件，另 一端被可连同活塞导杆一起沿第二轴 方向移动地耦合到吸取块。
7. 根据权利要求2-5之一所述的阵列测试器，其中所述第二驱动部件 包括步进马达，该步进马达被安装在第一移动部件中，并且该步进马达具 有在垂直于第一移动部件的移动方向的第二轴方向上形成的旋转轴，并且 第二移动部件通过滚珠丝杠副而耦合到该步进马达。
8. 根据权利要求1-5之一所述的阵列测试器，其中所述吸取块具有至 少一个垂直地穿过该吸取块的吸取孔，并且该阵列测试器中还包括负压提 供装置，用于向该吸取孔提供负压。
9. 根据权利要求1-5之一所述的阵列测试器，其中所述导轨是线性运 动导轨，并且所述第一移动部件是沿着该线性运动导轨移动的滑行器块。
10. 根据权利要求l-5之一所述的阵列测试器，其中所述吸取块被可 向上和向下移动^合到第二移动部件，并且每个所述面板输送组件还包 括驱动所述吸取块上下移动的上下移动驱动部件。
11. 根据权利要求l-5之一所述的阵列测试器，还包括 第二轴输送组件，所述测试单元被可沿第二轴方向移动地^到该第二轴输送组件。
全文摘要
本发明提供了一种阵列测试器，该阵列测试器包括加载单元，该加载单元包括多个加载板，该多个加载板支撑要测试的面板，并且相互间有间隔；测试单元，该测试单元被布置成在第一轴方向上接近于加载单元，并且该测试单元对面板进行测试以检测电缺陷；以及多个面板输送组件，每个面板输送组件将面板从加载单元输送至测试单元，其中面板输送组件包括导轨，该导轨被沿第一轴方向安装在加载板之间；第一移动部件，该第一移动部件被可沿第一轴方向移动地耦合到导轨；第二移动部件，该第二移动部件被可沿垂直于第一轴方向的第二轴方向移动地耦合到第一移动部件；以及吸取块，该吸取块耦合到第二移动部件，用于从下侧支撑面板。
文档编号H01L21/66GK101299125SQ20081012647
公开日2008年11月5日 申请日期2008年7月3日 优先权日2008年7月3日
发明者丁东澈, 潘俊浩, 郑永珍 申请人:塔工程有限公司