专利名称：局部电镀设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电镀设备，尤其是一种适用于半导体引线框的局部电镀 设备。
背景技术：
近年来，随着电子技术日益飞速发展，电子产品要求的日益小型化，大
规模集成电路(LSI)及表面贴装元件(SMD)广泛使用局部电镀贵金属(银、 金等)的方法，以达到降低成本的目的。在专利号为ZL 01117158.5，名称为 《局部电镀系统》的发明专利中，公开了一种能够只对TAB框的内导线镀金 的局部电镀系统，它设有一个具有相应于TAB框电镀区和水平设置的开口的 掩模； 一个使TAB框朝着掩模下降的升降装置；以及一个把TAB框压到掩模 上的加压装置；电镀溶液从开口之下朝着开口喷射来电镀电镀区。但是此种 生产方法因电镀和送料采用间隔有序的方式进行，使得生产效率不高，连续 电镀时前后缓冲较长时间暴露在空气中影响产品品质；又因整体机构复杂， 使操作、调试与维护均需较大工作量；而单机产品不能得到有效提升，也从 而增加了产品的制造成本。
发明内容
针对上述技术中存在的不足之外，本发明提供一种能够提高局部电镀精 度范围，可以对任意复杂面进行局部电镀，并且可以提高生产效率的一种局 部电镀设备。
为实现上述目的，本发明提供一种局部电镀设备，水喷头设置于点镀模 具的内侧，所述水喷头与所述点镀模具之间形成间隙，在所述水喷头的外侧 表面还多个阳极喷口，料带经所述点镀模具外侧的料带导轮设置于所述点镀 模具与掩膜皮带之间，所述掩膜皮带经所述点镀模具外侧的皮带导轮与张紧
3导轮形成闭合环路。
所述点镀模具的外侧还设有至少两个喷镀模托轮、张紧机构与张紧重锤。 所述张紧机构的两端分别与所述张紧导轮及所述张紧重锤连接。 所述水喷头的一侧表面设有安装孔与连接管，另一侧还设有阳极导电杆，
所述连接管的一端与所述水喷头内部的喷头腔体相连接，另一端则与水泵的
出水口连接。
所述点镀模具采用内凹状的空心圆结构设计，所述点镀模具的圆周表面 设有密封条与多个镂空口，所述密封条的上、下侧还设有定位销，所述两个 相邻的镂空口之间还设有定位耳孔。
所述掩膜皮带设置于所述料带的外侧，可以采用PVC、硅胶、橡胶或海 绵制成。
所述料带的表面还设有定位孔。 与现有技术相比，本发明具有以下优点-
本发明提供的局部电镀设备，其中，在水喷头与点镀模具之间形成间隙， 在水喷头的外侧表面还多个阳极喷口，料带经点镀模具外侧的料带导轮设置 于点镀模具与掩膜皮带之间，掩膜皮带经点镀模具外侧的皮带导轮与张紧导 轮形成闭合环路。点镀模具的外侧还设有至少两个喷镀模托轮、张紧机构与 张紧重锤。张紧机构的两端分别与张紧导轮及张紧重锤连接。本发明设计结
构简单合理，能够提高局部电镀精度范围，该局部电镀精度可控制在O.lmm 的范围内，可以对任意复杂面进行局部电镀，且电镀层一致性好，不会影响 产品的品质，可连续精确地对电子引线框进行局部电镀，其生产效率是现有 利用压板法掩膜喷镀方式的四倍，因此更适用于现代化大规模制造业。
图l为本发明部件原理图； 图2为本发明水喷头结构图； 图3为本发明点镀模具结构图。 主要元件符号说明如下1张紧导轮 4点镀模具
7喷镀模托轮
2张紧机构 5皮带导轮 8料带导轮
3掩膜皮带 6水喷头 9料带
10张紧重锤 13安装孔 21定位销
11阳极导电杆
12阳极喷口 15喷头腔体 23镂空口
14连接管 22密封条
24定位耳位
具体实施例方式
为了更清楚的表述本发明，下面结合附图对本发明作进一步的描述。
本发明提供一种局部电镀设备，水喷头设置于点镀模具的内侧，水喷头 与点镀模具之间形成间隙，在水喷头的外侧表面还多个阳极喷口，料带经点 镀模具外侧的料带导轮设置于点镀模具与掩膜皮带之间，掩膜皮带经点镀模 具外侧的皮带导轮与张紧导轮形成闭合环路。
点镀模具的外侧还设有至少两个喷镀模托轮、张紧机构与张紧重锤。张 紧机构的两端分别与张紧导轮及张紧重锤连接。
水喷头的一侧表面设有安装孔与连接管，另一侧还设有阳极导电杆，所 连接管的一端与水喷头内部的喷头腔体相连接，另一端则与水泵的出水口连 接。
点镀模具采用内凹状的空心圆结构设计，点镀模具的圆周表面设有密封 条与多个镂空口，密封条的上、下侧还设有定位销，两个相邻的镂空口之间 还设有定位耳孔。
掩膜皮带设置于料带的外侧，可以采用PVC、硅胶、橡胶或海绵制成。 料带的表面还设有定位孔。
图1为本发明部件原理图。如图所示，将带有定位孔的料带9的输入端 9a经由料带导轮8的导入轮8a导入，导入至带有定位销与镂空口的空心圆形 点镀模具4与掩膜皮带3之间，然后由经由料带导轮8的导入轮8b导出。掩 膜皮带3覆盖在料带9外侧表面，该掩膜皮带3可以采用PVC、硅胶、海绵体、或其他橡胶制成。料带9的内侧表面设置于点镀模具4的外侧表面，电 镀面为与点镀模具4贴合面。掩膜皮带3经由点镀模具4两侧的皮带导轮5 及点镀模具4上侧的张紧导轮1形成闭合环路，从而覆盖于点镀模具4及料 带9外侧表面，掩膜皮带3对喷出的电镀液与料带9起到连续局部密封的作 用。张紧机构2的两端分别与张紧导轮1及张紧重锤10相连接，通过张紧导 轮1、张紧机构2及张紧重锤10调节来完成掩膜皮带3所需要的张紧力，以 达到预期的掩膜皮带3、料带9与点镀模具4紧贴和在局部对进行电镀液密封 的效果。点镀模具4的下侧表面还设有两个可进行轴向调节定位喷镀模托轮7， 点镀模具4可以在喷镀模托轮7的上面自由转动；通过掩膜皮带3及料带9 在喷镀模托轮7另一侧张紧，在料带输出端9b拉力的作用下，使点镀模具4 能够在喷镀模托轮上进行同步运转，从而完成料带9电镀时连续输入及输出。
图2为本发明水喷头结构图。如图所示，水喷头6为一个内部带有空腔 的圆形，且直径小于点镀模具4的直径。将水喷头6设置于点镀模具4的内 部后，因此，在水喷头6的外侧表面与点镀模具4的内侧表面形成一个间隙。 另外，在水喷头6上侧表面靠近点镀模具4与掩膜皮带处还设有开口，在开 口处还镶有多个阳极喷口 12，阳极喷口 12可采用条状的窄孔或均匀小孔设计。 在水喷头6—侧设有阳极导电杆11，阳极导电由阳极导电杆ll引出，在其另 一侧还设有喷头连接管14。电镀液由喷头连接管14进入喷头腔体15后，喷 头腔体15用于储存并使水泵出来的电镀液分散，从而保证由阳极喷口 12喷 出的电镀液喷力均匀一致。连接管14采用插入式的方式与水喷头6内部的喷 头腔体15相连接，其另一端也采用O型密封插入方式与水泵出水口相连接， 采用此种方式也方便维护及调整。在水喷头的圆心还设有与点镀模具4固定 连接的安装孔13。电镀液由喷口喷出，喷入模具内腔，由镂空口与料带接触， 由电化学反应电镀所需镀层，电镀液喷出在镂空处进行离子交换并于点镀模 具4及阳极上水喷头6之间的间隙中流走。在底部的集液槽(图中未描述) 收集回流到药水缸，药水缸中药水被水泵出到阳极上水喷头6，如此反复循环。
图3为本发明点镀模具结构图。如图所示，点镀模具4由高性能塑料制 成，因其所具有的物理性能，使其具有耐强酸强碱、膨胀系数极低、可在较大温差环境连续工作等特点。点镀模具4为空心圆形结构，并且在其圆周表 面还设有镂空结构。点镀模具根据产品定位步距在其圆周表面还设有定位销
21与圆周镂空口23，在两个相邻的镂空之间还设有定位耳孔24，在点镀模具 的圆周表面还设有密封条22，该密封条采用软胶材料制成，并且嵌入镂空口 23位置由定位耳孔24固定。点镀模具的外圆与内圆均成内凹状设计，以便对 掩膜皮带3运行时的位置做限定。内圆也采用内凹状设计，便于电镀药水进 入镂空电镀掩膜腔。电镀液由阳极喷口喷出，喷入模具内腔，由镂空口与料 带接触，由电化学反应电镀所需镀层，电镀液喷出在镂空口处进行离子交换 并于点镀模具及阳极上水喷头之间的间隙腔中流走。从而完成产品局部的精 密电镀。
综上所述，本发明设计结构简单合理，能够提高局部电镀精度范围，该 局部电镀精度可控制在O.lmm的范围内，可以对任意复杂面进行局部电镀， 且电镀层一致性好，不会影响产品的品质，可连续精确地对电子引线框进行 局部电镀，其生产效率是现有利用压板法掩膜喷镀方式的四倍，因此更适用 于现代化大规模制造业。
以上公开的仅为本发明的几个具体实施例，但是，本发明并非局限于此， 任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。
权利要求
1、一种局部电镀设备，水喷头设置于点镀模具的内侧，其特征在于所述水喷头与所述点镀模具之间形成间隙，在所述水喷头的外侧表面还多个阳极喷口，料带经所述点镀模具外侧的料带导轮设置于所述点镀模具与掩膜皮带之间，所述掩膜皮带经所述点镀模具外侧的皮带导轮与张紧导轮形成闭合环路。
2、 如权利要求l所述的局部电镀设备，其特征在于所述点镀模具的外 侧还设有至少两个喷镀模托轮、张紧机构与张紧重锤。
3、 如权利要求1或2所述的局部电镀设备，其特征在于所述张紧机构 的两端分别与所述张紧导轮及所述张紧重锤连接。
4、 如权利要求1所述的局部电镀设备，其特征在于所述水喷头的一侧 表面设有安装孔与连接管，另一侧还设有阳极导电杆，所述连接管的一端与 所述水喷头内部的喷头腔体相连接，另一端则与水泵的出水口连接。
5、 如权利要求l所述的局部电镀设备，其特征在于所述点镀模具采用 内凹状的空心圆结构设计，所述点镀模具的圆周表面设有密封条与多个镂空， 所述密封条的上、下侧还设有定位销，所述两个相邻的镂空之间还设有定位 耳孔。
6、 如权利要求l所述的局部电镀设备，其特征在于所述掩膜皮带设置 于所述料带的外侧，可以采用PVC、硅胶、橡胶或海绵制成。
7、 如权利要求l所述的局部电镀设备，其特征在于所述料带的表面还 设有定位孔。
全文摘要
本发明涉及一种局部电镀设备，其中，在水喷头与点镀模具之间形成间隙，在水喷头的外侧表面还多个阳极喷口，料带经点镀模具外侧的料带导轮设置于点镀模具与掩膜皮带之间，掩膜皮带经点镀模具外侧的皮带导轮与张紧导轮形成闭合环路。点镀模具的外侧还设有至少两个喷镀模托轮、张紧机构与张紧重锤。本发明能够提高局部电镀精度范围，该局部电镀精度可控制在0.1mm的范围内，可以对任意复杂面进行局部电镀，且电镀层的一致性好，从而极大提高生产效率，适用于现代化大规模制造业。
文档编号H01L21/02GK101514466SQ20081021737
公开日2009年8月26日 申请日期2008年11月17日 优先权日2008年11月17日
发明者郑建国 申请人:郑建国