专利名称：晶圆盒的抵推装置的组合构造的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，特别是涉及一种通过 防呆凸块辅助判定一抵推板与一支撑板的组合状态是否确实的晶圆盒的抵推 装置的组合构造。
背景技术：
为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞， 一般会利用 一 晶圆盒来放置及
运送晶圆。举例而言，中国台湾专利公告第M317646号揭示一种晶圆放置盒 的晶圆固定装置，其中所述晶圆放置盒包含一底座及一壳盖。所述底座用以承 载晶圆，所述壳盖内设有一晶圆固定装置，其包含一固定垫、 一支持板及一连 接固定装置。所述固定垫用以抵推固定所述晶圆。所述支持板用以连接及并稳 固支撑所述固定垫。所述连接固定装置用以连接所述支持板及所述壳盖。当所 述壳盖与所述底座进行组合时，所述支持板受到所述底座抵推移动，所述固定 垫随所述支持板的移动而抵推固定所述晶圆。
请参考图l所示，其揭示上述现有的晶圆盒的抵推装置的组合构造剖视图。 所述抵推装置包含一固定垫1及一支持板2。所述固定垫1设有多个连接孔11。 所述支持板2相对应所述固定垫1的所述多个连接孔11分别设有至少一固定 勾21及至少一弹性卡挚22。在正常的组合状态下，所述至少一固定勾21及所 述至少一弹性卡挚22分别正确的卡入所述多个连接孔11内。使所述固定垫l 与所述支持板2形成稳固的组合体。
然而，如图1所示的晶圆放置盒的晶圆固定装置，其中所述固定垫1及所述支持板2在实际使用上仍具有下述问题例如，为使长型的所述固定垫l与 所述支持板2可以形成更稳固的组合体，所述支持板2在一段距离内分别设有 一个以上的固定勾21，然而所述固定勾21于所述固定垫1与所述支持板2进 行组合时，有可能因为操作人员的疏忽而发生所述固定勾21漏卡的情形。
请参考图2A所示，其揭示所述固定垫1与所述支持板2的组合不良状态， 其卡合是由所述支持板2的较上方的所述固定勾21与所述弹性卡挚22分别卡 入相对应的所述多个连接孔11所构成。然而，所述支持板2的较下方的所述 固定勾21则未卡入相对应的所述连接孔11内，由于所述固定垫1的垂直方向 的两侧凸设有接触凸缘(未标示)，使得所述固定垫1在垂直方向的强度比所述 支持板2大许多，因此造成所述支持板2中段的弯曲变形。请再参考图2B所 示，其揭示所述固定垫1及所述支持板2的另一组合不良状态，其卡合是由所 述支持板2的较下方的所述固定勾21与所述弹性卡挚22分别卡入相对应的所 述多个连接孔11所构成。而所述支持板2的较上方的所述固定勾21则未卡入 所述相对应的所述连接孔11内，由于固定垫1的垂直方向的强度比支持板2 大，因此造成所述支持板2上段的弯曲变形。在实际组装时，由于所述支持板 2的些微变形很容易被操作人员所忽略，并且将其继续使用于所述晶圆放置盒 内，因而造成所述晶圆固定装置的支撑力不佳，从而对晶圆造成直接或间接的 伤害。
因此，确实有必要提供一晶圆盒的抵推装置的组合构造，以解决现有的技 术所存在的缺陷。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其是利用设于卡勾顶面的防呆凸块，用以辅助判定抵推板与支撑板的组合状态是否 正确，从而提高抵推装置的组装稳固性。
本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其是 利用设于防呆凸块侧缘的导引面，以便使抵推板与支撑板的组合更顺利，从而 提高抵推装置的组装效率。
本实用新型的又一目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其是 利用设于抵推板上的定位孔与相对应设于支撑板上的定位凸点，从而提高抵推 装置的组装准确度。
为达上述的目的，本实用新型提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其
包含一抵推板及一支撑板。所述抵推板用以接触及抵推晶圆，其设有至少二卡
合孔及至少一卡掣孔。所述支撑板可活动的设于一晶圆盒内，其设有至少二卡
勾及至少一弹性勾。所述至少二卡勾凸设于所述支撑板的一第一区段，用以分
别对应卡入所述抵推板的至少二卡合孔内。所述至少一弹性勾凸设于所述支撑
板的一第二区段，用以对应所述弹性勾卡入所述抵推板的至少一卡掣孔内。所
述至少二卡勾的顶面分别凸设有一防呆凸块，所述防呆凸块的侧缘设有一导引
面。藉此，可稳固的组合所述抵推板与所述支撑板，且容易判定所述支撑板与
所述抵推板的组合状态，以减少组装错误并提高组装的效率。
相较于现有技术，本实用新型通过凸设在一卡勾顶面的一防呆凸块，其确 实可以有效辅助操作人员判定一支撑板与一抵推板的组合状态是否良好，从而 提高晶圆盒的抵推装置的组装稳定性及组装可靠度，并且能有效提高组装的效 率与准确度。
图l:现有晶圆盒的抵推装置的组合构造的剖视图。
图2A:现有晶圆盒的抵推装置的组合构造的组合不良状态。
图2B:现有晶圆盒的抵推装置的组合构造的另一组合不良状态。
图3:本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的分解立体
图与局部放大图。
图4:本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的组合剖视 图。
图5A:本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的组合不良 状态。
图5B:本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的另一组合 不良状态。
图6:本实用新型第二实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的分解立体 图。
具体实施方式
为让本实用新型上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本实用新型
较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下
为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞， 一般会利用 一 晶圆盒来放置及 运送晶圆。所述晶圆盒包含一底座、 一壳盖及一抵推装置。所述底座用以承载 晶圆，所述抵推装置可活动的设于所述壳盖内部，当所述壳盖与所述底座组合 时，所述壳盖内部的所述抵推装置受所述底座推动而抵推固定所述晶圆。
请参照图3所示，其揭示本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组 合构造，其包含一抵推板3及一支撑板4。所述抵推板3设有至少二卡合孔31及至少一卡掣孔32。所述至少二卡合孔31开设于所述抵推板3的一第一区段 al，所述至少一卡掣孔32开设于所述抵推板3的一第二区段a2。所述支撑板 4可活动的设于一晶圆盒(未绘示)内，其设有至少二卡勾41及至少一弹性勾42。 所述至少二卡勾41凸设于所述支撑板4的一第一区段bl ，用以分别对应卡入 所述抵推板3的至少二卡合孔31内。所述至少一弹性勾42凸设于所述支撑板 4的一第二区段b2，用以对应卡入所述抵推板3的至少一卡掣孔32内。再者， 所述抵推板3较佳是由软质塑料制成，特别是由抗静电塑料制成。所述支撑板 4较佳是由硬质塑料制成，其硬度通常大于所述抵推板3的硬度。同时，所述 抵推板3在其垂直方向的两侧缘较佳分别设有一强化凸缘，以强化其结构强度。 请参照图3及图4所示，本实用新型第一实施例的支撑板4的至少二卡勾 41的卡勾方向较佳与所述至少一弹性勾42的卡勾方向不同，例如设计使所述 支撑板4的至少二卡勾41的卡勾方向朝上，而所述支撑板4的至少一弹性勾 42的卡勾方向朝下。当进行所述抵推板3与所述支撑板4的组合时，先将所述 支撑板4的较上方的卡勾41对位于所述抵推板3相对应的卡合孔31。再将所 述支撑板4的较下方的卡勾41对位于所述抵推板3相对应的卡合孔31 。接着， 将所述支撑板4由下往上移动，使所述至少二卡勾41勾入所述抵推板3的至 少二卡合孔31。随后，再将所述支撑板4的至少一弹性勾42卡入所述抵推板 3相对应的卡挚孔32内，即可完成所述抵推板3与所述支撑板4的正常组装动 作。
请参考图5A所示，其揭示本实用新型第一实施例的抵推板3及所述支撑 板4可能发生的组合不良状态，其卡合是由所述支撑板4的较上方的卡勾41 与所述至少一弹性卡挚42所构成，而所述支撑板4的较下方的卡勾41则因为 操作人员的疏忽而未卡入所述卡合孔31内，并且造成所述支撑板4中段的明显弯曲变形。请再参考图5B所示，其揭示本实用新型第一实施例的抵推板3 及所述支撑板4可能发生的另一组合不良状态，其卡合是由所述支撑板4的较 下方的卡勾41与所述至少一弹性卡挚42所构成，所述支撑板4的较上方的卡 勾41则因为操作人员的疏忽而未卡入所述卡合孔31内，并且造成所述支撑板 4上段的明显弯曲变形。如图5A或图5B所示，对于未卡入的卡勾41而言， 由于位于所述卡勾41顶面的防呆凸块411的垫高作用，使得所述支撑板4产 生变形加剧的作用，其弯曲程度明显，足以让操作人员轻易发现所述抵推板3 及所述支撑板4的组合状况为不良而予以重新组合。所述防呆凸块411的高度 愈高时，其造成支撑板4的变形量也愈大，操作人员也愈能轻易发现所述抵推 板3及所述支撑板4的组合状况为不良。通常，所述防呆凸块411造成的所述 支撑板4的变形量必需在所述支撑板4本身的弹性变形裕度的范围内，以免造 成所述支撑板4的永久变形。另外，所述防呆凸块411的高度亦有其限制，当 所述抵推板3及支撑板4组合于所述晶圆盒(未绘示)内并用于装载晶圆时，所 述防呆凸块411的最大高度必需设计至不直接接触到所述晶圆，以免对所述晶 圆造成伤害。
请再参照3及图4所示，本实用新型第一实施例的至少二卡勾41顶面设 有所述至少二防呆凸块411，各所述至少二防呆凸块411的侧缘分别设有至少 一导引面412，其较佳可为斜面、倒角或圆角。当所述支撑板4的卡勾41由下 往上卡入所述抵推板3的卡合孔31时，所述导引面412使所述支撑板4的卡 勾41可沿着所述抵推板3的卡合孔315的边缘顺势滑入所述卡合孔31内。藉 此，可提高所述抵推板3与所述支撑板4的组装效率及组装便利性。
请参考图6所示，其揭示本实用新型的第二实施例的晶圆盒的抵推装置的 组合构造。相较于第一实施例，第二实施例在所述抵推板3上进一步开设至少一定位孔33，其较佳位置是位于所述卡合孔31及卡掣孔32之间。所述支撑板 4相对应凸设有一定位凸块43，较佳是位于所述卡勾41及弹性勾42之间。当 进行所述抵推板3与所述支撑板4组合时，先将所述支撑板4的至少二卡勾41 卡入所述抵推板3相对应的所述至少二卡合孔3内，再按压所述支撑板4的定 位凸块43使卡入所述抵推板3的定位孔33内，最后再将所述支撑板4的至少 一弹性勾42卡入所述抵推板3相对应的所述至少一卡挚孔3内，以完成所述 抵推板3与所述支撑板4的组装动作。相较于所述卡合孔31与卡勾41及所述 卡挚孔32与弹性勾41的组合精度，所述定位孔33与所述定位凸点43可提供 更佳的组装准确度。
综上所述，相较于现有晶圆盒的抵推装置的组合构造，虽然使用卡合方式 来组合一固定垫与一支持板，但常因操作人员的疏忽而导致将所述固定勾漏卡 的情形。图3的本实用新型通过凸设在所述卡勾41顶面的一防呆凸块411，其 确实可以有效辅助操作人员判定所述支撑板4与所述抵推板3的组合状态是否 良好，从而提高晶圆盒的抵推装置的组装稳定性及组装可靠度。所述防呆凸块 411的侧缘设有一导引面412，使所述卡勾41卡入所述卡合孔31的动作能更 顺畅，其确实可以有效提高组装的效率。再者，所述抵推板3的定位孔33与 所述支撑板4的定位凸点43的配合，其确实可以有效提高组装的准确度。
权利要求1、一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板，用以接触及抵推晶圆；其特征在于所述晶圆盒的抵推装置的组合构造包含有至少二卡合孔，其开设于所述抵推板的一第一区段；至少一卡掣孔，其开设于所述抵推板的一第二区段；一支撑板，其可活动的设于一晶圆盒内；至少二卡勾，其凸设于所述支撑板的一第一区段，用以分别对应卡入所述抵推板的至少二卡合孔内；至少一弹性勾，其凸设于所述支撑板的一第二区段，用以对应弹性卡入所述抵推板的至少一卡掣孔内；及至少二防呆凸块，其分别凸设于所述至少二卡勾的顶面上，用以辅助判定所述支撑板与所述抵推板的组合状态。
2、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 至少二防呆凸块分别设有至少一导引面，以导引所述支撑板的卡勾卡入 所述抵推板的卡合孔。
3、 如权利要求2所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 至少一导引面是斜面、倒角或圆角。
4、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 抵推板是一软质塑料抵推板。
5、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 抵推板是一抗静电塑料抵推板。
6、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 抵推板在其垂直方向的两侧缘分别设有一强化凸缘。
7、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 支撑板是一硬质塑料支撑板。
8、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 抵推板另开设有一定位孔，而所述支撑板另凸设有一定位凸块，所述定 位凸块用以对应卡入所述抵推板的定位孔。
9、 如权利要求8所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述抵推板的定位孔位于所述卡合孔及卡掣孔之间，而所述定位凸块位于所 述卡勾及弹性勾之间。
10、 如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于所述 至少二卡勾及所述至少一弹性勾的卡勾方向不同。
专利摘要本实用新型公开一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板及一支撑板。所述抵推板用以接触及抵推晶圆，其设有至少二卡合孔及至少一卡掣孔。所述支撑板可活动的设于一晶圆盒内，其设有至少二卡勾及至少一弹性勾。所述卡勾用以分别对应卡入所述抵推板的卡合孔内。所述弹性勾用以对应弹性卡入所述抵推板的卡掣孔内。各卡勾的顶面分别凸设有一防呆凸块。藉此，可确实的组合所述抵推板与所述支撑板，且容易判定所述支撑板与所述抵推板的组合状态，以减少组装错误并提高组装的效率。
文档编号H01L21/67GK201327821SQ20082017884
公开日2009年10月14日 申请日期2008年11月12日 优先权日2008年11月12日
发明者张尹嘉, 杨雅涵 申请人:耀连科技有限公司