专利名称：一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及提高化学药液浓度、温度均匀性的一种多晶太阳能电池片的链 式制绒的方法及装置，为多晶太阳能电池片的链式制绒工艺，属于太阳能电池 片的加工制造领域。
背景技术：
现有的多晶太阳能电池片的制造工艺中，制绒工艺是关键的一步，制绒的 好坏直接关系到电池片的性能，其中对药液的浓度、温度均匀性的要求最为关
键；传统多晶链式制绒工艺采用药液在槽体两侧溢流、药液浸没多晶硅片方式 (如图l、 2所示)，在制绒槽内，中部的药液置换与其它部位的药液不能同步 进行，造成药液浓度、温度的不均匀，无法控制Wafer的反应速度，进而影响 制绒的效果。
发明内容
为了克服现有技术结构的不足，本发明提供一种多晶太阳能电池片的链式 制绒的方法及装置，很好的解决了这一问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是 一种多晶太阳能电池片的链
式制绒的方法，含有以下步骤
步骤l;采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出；
步骤2;采用上喷淋方式；在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管，药
液由上部直接补充到硅片的周围；这样使药液和硅片接触更加充分，同时也使
药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果；步骤3;采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，使 药液进入内槽后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的 均一性，
步骤4;控制调节流量，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的 流量达到要求。
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，含有槽体，喷淋装置，
槽体分为内、外槽，进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体 内部空间，在进液管路上钻两列小孔，两列小孔在管路的圓周上成60。角分布， 两列d 、孔之间夹角朝向槽体底部。
内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内， 外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液 流回药液循环供给槽。
喷淋装置包括喷淋管和流量调节机构两部分；喷淋管由塑料管制成，在上 面开有一定直径和距离的孔；
流量调节机构由流量计和控制阀组成流量计与控制阀通过管路相连，根 据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。 本发明的有益效果
1、 温度控制更容易，温控精度达到土rc以内；
2、 有效改善制绒效果，提高产品品质，降低反射率，制绒后反射率达到 20%以下。
本发明的槽体四面溢流，使得反应后液体快速溢出；加了上喷 方式，这 样使药液和Wafer接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀 一致，改善制绒效果。在原有的槽体两面溢流的基础上，为了加快药液的流动，并保证各流动部 分相对而言更加均匀流动，在槽体的侧面开出通道，这样在槽体的中部药液就 不必流向两端的堰口回到药液供给箱，减少了中部反应后的药液流向槽体的两 端时对其它硅片的影响，尽量保证每一片硅片周围的药液是新的药液，而不是 刚反应后的药液，降低了反应带来的温度升高，补充了反应后药液的损耗，更 利于药液的温度、浓度的控制，保证药液在硅片周围的均一性，进而保证制绒 的均一性。
其次，为了进一步保证硅片周围药液(特别是槽体中部的药液)的温度、 浓度的均一性，在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管，药液由上部直接 补充到硅片的周围。 一个是新药夜的补充降低了硅片反应后大量放热而造成的
温度增加，有利于温度的恒定；另外，由于有新药夜补充了反应时药液成分的 消耗，有利于硅片周围药液浓度的恒定。
总之，采取上述方法后，进一步加强了对药液温度、浓度均一性的控制， 保证药液温度、浓度在要求的范围内变化，保证了制绒的效果达到生产要求， 并有所提高。
图1为现有4支术示意图； 图2为现有^R术示意图； 图3为本发明结构示意图； 图4为本发明结构示意图。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
具体实施例方式
实施例l:如图3所示，采用四面溢流的形式，加速药液的流动和更新，带 走硅片反应所放的热量，保证硅片反应温度和浓度的均一性，从而保证制绒的效果更佳。
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法，含有以下步骤 步骤l;采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出； 步骤2;采用上喷淋方式；在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管2, 药液由上部直接补充到硅片3的周围；这样使药液和Wafer接触更加充分，同 时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果；
步骤3;采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，使 药液进入内槽后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的 均一性，温度控制在8士rC、药液浓度为H20: HF: HN03-4: 3: 6;
步骤4;控制调节流量，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的 流量达到要求。通过对药液流量、流向、范围的控制，及时补充新鲜药液到需 要的地方，更好的控制温度、浓度的均一性。
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，含有槽体，喷淋装置， 槽体分为内槽l、外槽，内槽l底部进液，进液口向下，并对进液管路5进 行处理，使药液进入内槽1后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位 温度、浓度的均一性。
进液管路由槽体外部穿过内槽1槽体侧板进入内槽1槽体内部空间，在进 液管路5上钻两列小孔，两列小孔在管路的圆周上成60°角分布，两列小孔之 间夹角朝向内槽l的槽体底部。
内槽1的上部的四面开有堰口 4，实现药液的四面溢流，使药液在槽体内形 成良好的均匀流动状态，有利于药液的温度、浓度的控制；由进液管路5进入 的液体，向上溢出堰口 4流到外槽内，外槽底部开有回液口，回液口通过管路 与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽。内槽1溢流出的 药液在外槽停留时间比两面溢流时间长，反应后温度升高的药液会自然降温，减少了温控系统的负担，有利于温度的控制。
喷淋装置包括喷淋管2和流量调节机构两部分；喷淋管2由塑料管制成， 在上面开有一定直径和距离的孔；控制药液的流向、范围的分布。
流量调节机构由流量计和控制阀组成流量计与控制阀通过管路相连，根 据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。通过对药液流 量、流向、范围的控制，及时补充新鲜药液到需要的地方，更好的控制温度、 浓度的均一性。
权利要求
1.一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法，其特征是含有以下步骤步骤1；采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出；步骤2；采用上喷淋方式；在药液槽的上部，设置喷淋管，药液由上部直接补充到硅片的周围；这样使药液和硅片接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果；步骤3；采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，使药液进入内槽后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性，步骤4；控制调节流量，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。
2. 根据权利要求l所述的一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法，其特 征是进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体内部空间，在进液 管路上钻两列小孔，两列小孔在管路的圆周上成60°角分布，两列小孔之间夹 角朝向内槽的槽体底部。
3. —种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，其特征是含有槽体，喷淋装置，槽体分为内、外槽，进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体 内部空间，在进液管路上钻两列小孔，两列小孔在管路的圓周上成60。角分布， 两列小孔之间夹角朝向槽体底部；内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内， 外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽；喷淋装置包括喷淋管和流量调节机构两部分；喷淋管由塑料管制成，在上 面开有一定直径和距离的孔；流量调节机构由流量计和控制阀组成，流量计与控制阀通过管路相连。
4.根据权利要求3所述的一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，其特 征是内槽的上部的四面开有堰口。
全文摘要
一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法及装置，采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出；采用上喷淋方式；药液由上部直接补充到硅片的周围；这样使药液和硅片接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果；采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，控制调节流量，内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内，外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽。本发明的有益效果温度控制更容易，温控精度达到±1℃以内；有效改善制绒效果，提高产品品质，降低反射率，制绒后反射率达到20％以下。
文档编号H01L31/20GK101635322SQ200910091520
公开日2010年1月27日 申请日期2009年8月26日 优先权日2009年8月26日
发明者烨 刘, 孙良欣 申请人:北京中联科伟达技术股份有限公司