专利名称：一种滑轮支架及其利用此滑轮支架的线锯装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种滑轮支架及其利用此滑轮支架的线锯装置，属于
线锯(wire saw)装置领域。
背景技术：
目前，线锯装置广泛应用于各个领域。日本生产的NTC442型线锯 装置是一种在半导体生产领域经常使用的一种线锯装置。在此线锯装 置中，是利用很多的导线滑轮完成对线的导向。如图1所示，图l是 现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式示意图，也就是滑轮支架 的设置方式示意图。图1包括图la、图lb和图lc。图la是现有技术 中线锯装置的导线滑轮的固定方式的俯视图。图lb是现有技术中线锯 装置的导线滑轮的固定方式的主视图。图lc是现有技术中线锯装置的 导线滑轮的固定方式的立体示意图。在固定板1上固定连接着支撑架2, 支撑架2上活动连接有导线滑轮3。支撑架2和导线滑轮3的连接方式 如图2所示，图2是图la中A-A向的视图。如图2所示，在支撑架2 设置导槽型孔201,螺钉202通过导槽将支撑架2和导线滑轮3连接， 并且导线滑轮3在横向上是可以根据实际情况而进行调整的。如图3 所示，在线锯装置工作过程中，钢线4通过导4合滑4仑3,导线滑轮3上 的钢线4的方向由导线滑轮3和外力的方向决定，图3中的外力的方 向是垂直向下的，这样是一种比较理想的工作状态。在图3中，钢线4 的主要受力方向为垂直向下的，钢线4只受拉伸的力。而在线锯装置 工作过程中，由于线锯装置的长期使用等原因，也可能出现如图4所 示的情况，在图4中，钢线4不仅收到拉伸的力而且还受到剪切的力， 众所周知，剪切力和拉伸力复合应力的结合对钢线的破坏是很大的， 所以容易出现断线的情况，断线情况的出现将使得整锯停工，并有可 能使得整锯报废。
发明内容
针对上述缺陷，本发明解决的技术问题在于，提供一种滑轮支架， 该滑轮支架可以在调节导线滑轮上钢线的方向，使得钢线的受力更加 合理。
为了解决以上的技术问题，本发明提供一下的技术方案 一种滑轮支架，用于线锯装置，包括固定装置、支撑架和导线滑 轮，所述支撑架固定在所述固定装置上，所述导线滑轮设置在所述支 撑架上，所述支撑架与所述导线滑轮之间设置有可变向垫块。
本发明所提供的滑轮支架，通过在所述支撑架与所述导线滑轮之 间设置可变向垫块，使得滑轮支架上的导线滑轮能够调节方向，从而 可以调节导线滑轮上的钢线的方向，使得钢线的方向与其所受外力的 方向一致，在钢线的受力更加合理，钢线也不易断裂，从而可以提高 钢线的使用寿命，最重要的是能够保证生产的持续进行，甚至可以提 高利用此滑轮支架的线锯装置的寿命。
优选地，所述支撑架通过焊接方式固定在所述固定装置上。 优选地，所述导线滑轮与所述支撑架通过穿孔螺钉连接。 优选地，所述穿孔螺钉的个数为两个或者两个以上。 优选地，所述支撑架上和所述导线滑轮上有导槽型孔，所述穿孔 螺钉穿过所述导槽型孔。
优选地，所述支撑架的长度为200mm (毫米)以上，所述导槽型孔 的长度为185mm以上。
优选地，所述固定装置为板状固定装置。 本发明还提供一种线锯装置，包括上述的滑轮支架。 优选地，所述滑轮支架固定在线锯装置的侧壁上。 与现有技术相比，本发明所提供的滑轮支架，通过在所述支撑架 与所述导线滑轮之间设置可变向垫块，4吏得滑轮支架上的导线滑轮能 够调节方向，从而可以调节导线滑轮上的钢线的方向，使得钢线的方 向与其所受外力的方向一致，在钢线的受力更加合理，钢线也不易断 裂，从而可以提高钢线的使用寿命，最重要的是能够保证生产的持续 进行，甚至可以提高利用此滑轮支架的线锯装置的寿命。本发明提供的可调滑轮支架，特别适合应用于线锯装置。
图la是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的俯视图。 图1 b是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的主视图。 图lc是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的立体示意图。
图2是图1中A-A向的视图。
图3是现有技术中线锯装置工作过程中理想钢线的工作状态图。 图4是现有技术中线锯装置工作过程中出现偏差的钢线的工作状 态图。
图5是实施例1提供的滑轮支架的俯视图。
图6是实施例1提供的滑轮支架的工作原理图。
图6a是实施例1中滑轮支架调整前的工作状态图。
图6b是实施例1中滑轮支架调整后的工作状态图。
图7是实施例1中可变向垫块的具体设置方式。
图中各标记为
1一一固定板(固定装置)，2 — 一支撑架，201 — 一导槽型孔，202 ——螺钉，3——导线滑轮，4——钢线，5——可变向垫块，501—— 弧形导槽，502 — 一转轴。
具体实施例方式
为了本领域的技术人员能够更好地理解本发明所提供的技术方 案，下面结合具体实施例进行进一步地阐述。 实施例1
本实施例提供一种滑轮支架，用于线锯装置。
本发明所提及的线锯装置也可以简称为线锯。
请参见图5,图5是本实施例所提供的滑轮支架的俯视图。本发明 所提供的滑轮支架均用于线锯装置。图5中的滑轮支架包括固定装置1 、 支撑架2和导线滑轮3，所述支撑架2固定在所述固定装置1上，所述导线滑轮3设置在所述支撑架2上，所述支撑架2与所述导线滑轮3 之间设置有可变向垫块5。
本实施例中的固定装置1与背景技术中提到的固定板的作用是一 样的，都是为了给滑轮支架的支撑架提供固定的场所。所以此处的固 定装置1可以用固定板来代替，或者其他形状的固定装置都是可以接 受的。
请参见图6,图6是本实施例所提供的滑轮支架的工作原理图，图 6包括图6a和图6b。从图6可以看出此滑轮支架的工作原理是在图 6a中，钢线4的方向与导线滑轮3上导槽的方向(图中，导线滑轮上 的导槽方向是竖直向下的，导线滑轮上的导槽是凹槽)已经不再平行 也不在一条直线上，钢线4的受力一方面是受钢线轴线方向的拉力， 一方面是受导线滑轮3上导槽的剪切力，这样是非常容易出现断线情 况。然而由于滑轮支架上有一个可变向垫块5,如图6b所示，所以操 作人员可以通过调整可变向垫块来调节导线滑轮3的方向，使得导线 滑轮3的导槽方向与钢线4的受力方向保持一致或者基本保持一致， 这样就消除了导线所受的剪切力或者大大降低了导线所受的剪切力。
支撑架2通过焊接固定的方式固定在固定装置1上，也可以采用 其他的固定方式，例如铆接、螺钉连接等，需要注意的是，由于线锯 装置的精密性，所以支撑架与固定装置的连接最好采用非常牢固的固 定连接，以保证线锯装置工作过程中的精确性。
对于可变向垫块的设置方式，可以参见图7。图7为本实施例中可 变向垫块的具体设置方式。图7为将导线滑轮去除之后的主视图。从 图中可以看出，可变向垫块5中，包括弧形导槽501，弧形导槽501中 可以设置调整部件，使得调整部件绕着转轴502旋转，从而可以完成 对导线滑轮的调节，使得导线滑轮的导槽的方向与钢线的轴向一致或 者基本一致。
图7所示的可变向垫块的设置方式可以在一个方向上调节导线滑 轮的方向，如果需要在其他方向上调节导线滑轮的方向，那么则可以 根据需要做适当的变更设计即可。同时根据上述的原理，也可以使得 可变向垫块能够在两个维度方向上调节导线滑轮的方向。 一般不需要在三个维度方向上调节导线滑轮的方向，因为， 一方面实现比较困难， 另一方面，也没有太大的必要，因为通过导线滑轮导槽上的钢线是线 性的，只要调整使得钢线的方向与导线滑轮导槽的方向一致即可，没 有必要作太多的无用功。
图7中的可变向垫块上的弧形导槽501的调整角度大约在30°以 内，这样已经完全可以满足钢线调整的需要，不需要再进行太大的调 整幅度，如果设计调整角度大于30° , —方面实现难度加大，另外一 方面，也没有太大的必要。可变向垫块还包括一个自锁装置，自锁装 置的作用是当角度调整到合适位置之后，可以使得导线滑轮的位置 固定。自锁装置最简单的实现方式就是通过控制导向轴在导槽501之 中的位置来实现。
另外，从图7中可以看出，支撑架2上的导槽201的长度是非常 长的，相对与现有技术中的50mm左右调整到了 185mm,可以大大提高 导线滑轮的横向移动距离，对于钢线的调整，提供了更大的余地。支 撑架的长度为200腿。
实施例2
本实施例提供一种线锯装置。
本实施例所提供的线锯装置包括如实施例1所述的滑轮支架，此 滑轮支架可以调节导线滑轮的方向，从而可以调节钢线与导线滑轮之 间的作用力方式从拉应力和剪切应力的组合，调整为只有拉应力。 滑轮支架固定在线锯装置的侧壁上。
将实施例1所述的滑轮支架的固定装置焊接到线锯装置上，使得 其成为最靠近出线口的那个滑轮支架，以调整从整锯出来的钢线的方 向和受力情况。
实施例3
本实施例提供一种线锯装置。
本实施例所提供的线锯装置包括如实施例1所述的滑轮支架，此 滑轮支架可以调节导线滑轮的方向，从而可以调节钢线与导线滑轮之 间的作用力方式从拉应力和剪切应力的组合，调整为只有拉应力。 滑轮支架固定在线锯装置的侧壁上。 '将实施例1所述的滑轮支架的固定装置焊接到线锯装置上，使得 其成为不是最靠近出线口的那个滑轮支架，以调整滑轮支架出来的钢 线的方向和受力情况，使得多个滑轮支架所引导的钢线的分布更为合理。
实施例4
本实施例提供一种线锯装置。
本实施例所提供的线锯装置包括如实施例1所述的滑轮支架，此 滑轮支架可以调节导线滑轮的方向，从而可以调节钢线与导线滑轮之 间的作用力方式从拉应力和剪切应力的组合，调整为只有拉应力。 滑轮支架固定在线锯装置的侧壁上。
将实施例1所述的滑轮支架的固定装置焊接到线锯装置上，使得 靠近出线口的那个滑轮支架和其他一些不靠近出线口的那个滑轮支 架，通过局部或者全部调整，可以使得整个线锯装置内部的钢线分布 以及,人线出口处的钢线分布更为合理。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领 域的普通l支术人员来说，在不脱离本发明原理的前l是下，还可以做出 若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
8
权利要求
1、一种滑轮支架，用于线锯装置，其特征在于，包括固定装置、支撑架和导线滑轮，所述支撑架固定在所述固定装置上，所述导线滑轮设置在所述支撑架上，所述支撑架与所述导线滑轮之间设置有可变向垫块。
2、 根据权利要求l所述的滑轮支架，其特征在于，所述支撑架通 过焊接方式固定在所述固定装置上。
3、 根据权利要求1所述的滑轮支架，其特征在于，所述导线滑轮 与所述支撑架通过穿孔螺钉连接。
4、 根据权利要求3所述的滑轮支架，其特征在于，所述穿孔螺钉的个凄t为两个或者两个以上。
5、 根据权利要求4所述的滑轮支架，其特征在于，所述支撑架上和所述导线滑轮上有导槽型孔，所述穿孔螺^r穿过所述导槽型孔。
6、 根据权利要求5所述的滑轮支架，其特征在于，所述支撑架的 长度为200mm以上，所述导槽型孔的长度为185mm以上。
7、 根据权利要求1所述的滑轮支架，其特征在于，所述固定装置 为板状固定装置。
8、 一种线锯装置，其特征在于，包括权利要求1~6任意一项所 述的滑轮支架。
9、 根据权利要求8所述的线锯装置，其特征在于，所述滑轮支架 固定在线锯装置的侧壁上。
全文摘要
本发明公开一种滑轮支架，用于线锯装置，包括固定装置、支撑架和导线滑轮，所述支撑架固定在所述固定装置上，所述导线滑轮设置在所述支撑架上，所述支撑架与所述滑轮之间设置有可变向垫块。本发明还公开了利用此滑轮支架的线锯装置。与现有技术相比，本发明所提供的滑轮支架，通过在所述支撑架与所述导线滑轮之间设置可变向垫块，使得滑轮支架上的导线滑轮能够调节方向，从而可以调节导线滑轮上的钢线的方向，使得钢线的方向与其所受外力的方向一致，在钢线的受力更加合理，从而可以提高钢线的使用寿命，最重要的是能够保证生产的持续进行。本发明提供的可调滑轮支架，特别适合应用于线锯装置。
文档编号H01L21/02GK101531036SQ200910131880
公开日2009年9月16日 申请日期2009年4月8日 优先权日2009年4月8日
发明者尹兴海, 张晓方, 亮 杨 申请人:英利能源(中国)有限公司