化学制剂注射器及包括该注射器的处理基片的装置的制作方法

专利名称：化学制剂注射器及包括该注射器的处理基片的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种化学制剂注射器，以及包括该化学制剂注射器的处理基片 的装置，尤其涉及将化学制剂注射到移动基片上的化学制剂注射器以及安装有 该化学制剂注射器的处理基片的装置。
背景技术：
作为应用最广泛的半导体集成电路器件之一的平板显示设备通常经过一 系列的单元处理而制造，例如在玻璃基片上的淀积处理、在所述玻璃基片上的 薄层上的光刻处理以形成掩膜图形、使用所述掩膜图形对所述薄层进行的蚀刻 处理以及从所述基片去除残留物及杂质的清洁处理。蚀刻处理和清洁处理可在处理室中使用多种化学制剂进行。包括薄层和掩 膜图形的基片通过传递单元传递入处理室中，并且根据所述蚀刻处理或清洁处 理，通过基片处理装置的化学制剂注射器将化学制剂注射到基片上。现有的化学制剂注射器包括供给管以及连接至所述供给管的注射管，化学 制剂经过所述供给管从处理室的外部供给，所述注射管包括多个垂直连接至其 上的注射喷嘴，化学制剂通过所述注射喷嘴喷射到处理室中的基片上。多个注射管根据基片的大小相互平行地连接至供给管。各注射管在处理室 中摆动，由此固定至注射管的注射喷嘴也随着注射管摆动。因此，化学制剂均 匀地注射在处理室中的基片上。对于注射管的上述摆动，各注射管在其与供给管反方向的端部安装有驱动 单元，由此向注射管提供驱动力。例如，每次由单个驱动单元摆动注射管。然而，由于注射管是细长的，并且注射管的数量随着基片尺寸的增大而增 多，当个驱动单元无法完全驱动所有的注射管。因此，驱动单元难以充分摆动注射管并且化学制剂无法均匀地注射在基片上。发明内容实施例提供了注射化学制剂的装置，其中用驱动单元稳定地摆动注射管。 实施例亦提供了包括上述化学制剂注射装置的基片处理装置。 根据一些实施例，提供了包括第一和第二注射管以及设于所述第一和第二 注射管之间的驱动单元。所述第一及第二注射管设为同一行，以使所述第一注射管和第二注射管的顶端部相互靠近，并且所述第一及第二注射管分别包括第 一及第二注射喷嘴，化学制剂通过所述注射喷嘴被注射到基片上。所述驱动单 元设在所述第一及第二注射管之间，并且将驱动力施加至所述第一及第二注射 管的所述相邻的顶端部，藉此来摆动所述第一及第二注射管。一实施例中，所述第一及第二注射管分别包括位于它们的所述顶端部的第 一及第二从动板，并且所述驱动单元包括设在所述第一及第二从动板之间的驱 动板，所述驱动板设置为所述驱动力从所述驱动板传递至所述第一及第二从动 板。一实施例中，所述驱动板及所述第一及第二从动板包括位于它们的旋转轴 线周围的磁性部件，以使所述驱动力作为磁力从所述驱动板传递至所述从动 板。一实施例中，所述驱动单元包括生成所述驱动力的电机以及动力传递部 件，所述动力传递部件连接至所述电机和所述驱动板，并且将所述电机的旋转 转换为直线往复运动，藉此将所述直线往复运动从所述电机传递至所述驱动 板，以使所述驱动板进行摆动运动。例如，所述动力传递部件包括由所述电机所生成的所述驱动力使之旋转的 偏心轮，以及连接件，所述连接件直线连接所述偏心轮的第一偏心部和所述驱 动板的第二偏心部，并且将所述电机的旋转转换为所述直线往复运动。一实施例中，所述驱动板包括连接至所述动力传递部件并且面向所述第一 从动板的第一板，以及沿着中心轴线连接至所述第一板并且面向所述第二从动 板的第二板，以使所述第二板随着所述第一板一起进行摆动运动。一实施例中，所述化学制剂注射器还包括包围所述动力传递部件和驱动板 的壳体。例如，所述壳体的侧壁位于所述驱动板和所述第一从动板之间并且位 于所述驱动板与第二从动板之间，以使所述驱动板穿过所述壳体的侧壁分别面 向所述第一及第二从动板。一实施例中，所述化学制剂注射器还包括与所述第一注射管平行的第三注 射管以及与所述第二注射管平行的第四注射管，所述第三及第三注射管包括第 三及第四注射喷嘴，所述化学制剂通过所述第三及第四注射喷嘴注射在所述基 片上。此外，所述化学制剂注射器还包括摆动传递部件， 所述摆动传递部件将所 述第一注射管连接至所述第三注射管并且将所述第二注射管连接至所述第四 注射管，藉此将所述第一注射管的摆动运动传递至所述第三注射管并且将所述 第二注射管的摆动运动传递至所述第四注射管。一实施例中，所述第一、第二、第三及第四注射喷嘴朝所述基片突出，并 且所述摆动传递部件将所述第一注射喷嘴连接至所述第三注射喷嘴并且将所所述第三注射喷嘴。一实施例中，所述摆动传递部件包括至少一对驱动齿轮与从动齿轮，所述 第一及第二注射管的摆动运动通过所述齿轮对分别传动至所述第三及第四注射管。一实施例中，所述摆动传递部件包括齿条和多个小齿轮，所述第一及第二 注射管的摆动运动通过所述齿条和多个小齿轮分别传递至所述第三及第四注 射管。根据一些实施例，提供了一种将化学制剂注射到基片上的装置，其包括第 一及第二注射管、驱动单元及摆动传递部。所述第一及第二注射管互相平行， 并分别包括第一注射喷嘴和第二注射喷嘴，化学制剂通过所述第一及第二注射 喷嘴被注射到基片上。所述驱动单元将驱动力供给到所述第一注射管的端部， 藉此来摆动所述第一注射管。所述摆动传递部件将所述第二注射管连接至所述 第一注射管并且将所述第一注射管的摆动运动传递至所述第二注射管。一实施例中，所述第一及第二注射喷嘴朝所述基片突出，并且所述摆动传 递部件将所述第二注射喷嘴连接至所述第一注射喷嘴。一实施例中，所述摆动传递部件包括一对驱动齿轮与从动齿轮，所述第一 注射管的摆动运动通过所述齿轮对传动至所述第二注射管。一实施例中，所述摆动传递部件包括齿条和小齿轮，所述第一注射管的摆 动运动通过所述齿条和小齿轮传动至所述第二注射管。根据一些实施例，提供了一种处理基片的装置，其包括处理室、第一及第 二供给管、第一及第二注射管、以及驱动单元。所述处理室提供处理所述基片 的空间。所述第一及第二供给管从所述处理室的外部延伸至所述处理室内部并 且互相平行。化学制剂通过所述第一及第二供给管从所述处理室的外部供给入 所述处理室。所述第一及第二注射管与所述第一及第二供给管分别垂直连接， 并且设为同一行以使所述第一注射管和第二注射管的顶端部相互靠近。所述第 一及第二注射管分别包括第一及第二注射喷嘴，化学制剂通过所述第一及第二 注射喷嘴被注射到基片上。所述驱动单元设在所述第一及第二注射管之间，并 且将驱动力施加至所述第一及第二注射管的所述相邻的顶端部，藉此来摆动所 述第一及第二注射管。一实施例中，所述第一及第二注射管分别包括位于它们的所述顶端部的第 一及第二从动板，并且所述驱动单元包括设在所述第一及第二从动板之间的驱 动板，所述驱动板设置为所述驱动力从所述驱动板传递至所述第一及第二从动 板。一实施例中，所述驱动单元包括生成所述驱动力的电机以及动力传递部 件，所述动力传递部件连接至所述电机与所述驱动板并且将所述电机的旋转转7换为直线往复运动，藉此将所述直线往复运动从所述电机传递至所述驱动板， 以使所述驱动板进行摆动运动。一实施例中，所述装置还包括设在所述第一供给管与所述第一注射管之间 以及所述第二供给管与所述第二注射管之间的连结件，所述连结件允许所述第 一及第二注射管在所述化学制剂分别从所述第一及第二供给管流经所述第一 及第二注射管的时候由所述驱动单元摆动。根据一些实施例，提供了一种处理基片的装置，其包括处理室、供给管、 第一及第二注射管、驱动单元、以及摆动传递部件。所述处理室提供处理所述 基片的空间。所述供给管从所述处理室的外部延伸至所述处理室内部并且互相 平行，由此化学制剂通过所述供给管从所述处理室的外部供给入所述处理室。 所述第一及第二注射管与所述供给管分别垂直连接，并且设为互相平行。所述 第一及第二注射管包括第一及第二注射喷嘴，化学制剂通过所述第一及第二注 射喷嘴被注射到基片上。所述驱动单元将驱动力施加至所述第一注射管的端 部，藉此来摆动所述第一注射管。所述摆动传递部件将所述第二注射管连接至 所述第一注射管，并且将由所述驱动力导致的所述第一注射管的摆动运动传递 至所述第二注射管。根据一些实施例，第一及第二注射管设为沿同一行，并且摆动所述第一及 第二注射管的驱动力在设于所述第一及第二注射管之间的共用区域处施加至 各所述第一及第二注射管，藉此来提高所述喷射管的摆动运动的稳定性，这样 比所述第一注射管及第二注射管一体形成并且将所述驱动力施加在它们的端 部的情况要更稳定。此外，上述结构中，化学制剂可通过所述第一及第二注射管中的两条路径 注射在基片上，这样对于近来的大尺寸基片是有利的。即，化学制剂由于所述 第一及第二注射管而可稳定且均匀地施加在大尺寸的基片上，藉此提高基片质


通过参考附图的下述详细说明，可更清楚地理解实施例。图1 10代表在 此描述的非限制性的实施例。图1为示出根据本发明概念的实施例的基片处理装置的结构图； 图2为示出图1所示的基片处理装置的驱动单元周围区域的平面图； 图3为示出图2所示驱动单元的驱动板的前视图； .图4为示出图2所示驱动单元的驱动板的侧视图；图5为示出由图2所示驱动单元使得第一注射喷嘴摆动的摆动状态； 图6为示出根据本发明概念的另一实施例的基片处理装置的结构图；图7为示出图6所示的基片处理装置的驱动单元周围部分的平面图； 图8示出了图7所示的根据本发明实施例的驱动单元的摆动传递部件； 图9示出了图7所示的驱动单元的第一经修改的摆动传递部件； 图10为图9中的A部的部分放大图；图ll示出了图7所示的驱动单元的第二经修改的摆动传递部件；图12为图11中的B部的部分放大图。
具体实施方式
本申请依据美国法典第35条119款要求于2008年5月29日向韩国知识 产权局(KIPO)提交的第2008-5006号韩国专利申请的优先权，其内容通过完 全引用的方式合并在此。参见示出本发明实施例的附图，下文将更详细地描述本发明的多个实施 例。然而，本发明可以以许多不同的形式实现，并且不应解释为受在此提出之 实施例的限制。相反，提出这些实施例是为了达成充分及完整公开，并且使本 技术领域的技术人员完全了解本发明的范围。这些附图中，为清楚起见，可能 放大了层及区域的尺寸及相对尺寸。应理解，当将元件或层称为在另一元件或层"上"、与另一元件或层"连接" 或"耦合"之时，其可为直接在另一元件或层上、与其它元件或层直接连接或 耦合，或者存在居于其间的元件或层。与此相反，当将元件称为"直接在另一元 件或层上"、与另一元件或层"直接连接"或"直接耦合"之时，并不存在居于其 间的元件或层。整份说明书中相同标号是指相同的元件。如本文中所使用的， 用语"及/或"包括一或多个相关的所列项目的任何或所有组合。应理解，尽管本文可使用第一、第二、第三等来描述不同元件、组件、区 域、层及/或部分，但这些元件、组件、区域、层及/或部分并非受到这些用语 的限制。这些用语仅用于使一个元件、组件、区域、层或部分与另一个区域、 层或部分区别开来。由此，下文所称之第一元件、组件、区域、层或部分可称 为第二元件、组件、区域、层及/或部分，而不脱离本发明的教导。与空间相关的表述，如"在...之下(beneath)"、"在...下方(below)"、"下 (lower)"、"在...上方(above)"、"上(upper)"等，在本文中的使用是为了容 易地表述图中所示的一个元件或部件与另一元件或部件的关系。应理解，这些 与空间相关的表述除图中所示方位之外，还意欲涵盖该设备在使用或工作中的 不同方位。例如，若图中的该设备翻转，描述为"在其它元件或部件之下"、"在 其它元件或部件下方"的元件则会确定为"在其它元件或部件上方"。由此，该示 范性的表述"在...下方"可同时涵盖"在...上方"与"在...下方"两者。该设备可为 另外的朝向(旋转90度或其它朝向)，并且本文中所使用的这些与空间相关的表述亦作相应的解释。本文中所使用的表述仅用于描述特定的实施例，并且并不意欲限制本发 明。如本文中所述的，单数形式的冠词意欲包括复数形式，除非其上下文另有 明示。还应理解，当本说明书中使用表述"包括"之时，明确说明了存在有所描 述的部件、整体、步骤、操作、元件及/或组件，但并不排除存在或附加有一个 或多个其它部件、整体、步骤、操作、元件、组件及/或它们的组合。本发明的实施例在本文中是参照本发明的理想化实施例(以及中间结构) 的示意剖视图来描述的。照此，预期会产生例如因制造工艺及/或公差而造成形 状上的变化。由此，本发明的实施例不应解释为将其限制成本文所示的特定区 域形状，还应包括例如，因制造而导致的形状偏差。例如，示为矩形的植入区 域一般在其边缘具有圆形或弧形结构，以及/或呈梯度的植入程度，而非从植入 区域到非植入区域的二元变化。同样，因植入形成的隐埋区域，可能导致在隐 埋区域和通过它发生植入的表面之间的区域上形成一些植入。由此，图中所示 的区域的本质是示意性的，并且其形状并不意欲示出部件区域的精确形状，也 不意欲限制本发明的范围。除非另行定义，本文所使用的所有术语(包括科技术语)的意思与本技术 领域的技术人员所通常理解的一致。还应理解，诸如一般字典中所定义的术语 应解释为与相关技术领域中的意思一致，并且不应解释为理想化的或过度刻板 的含义，除非在文中另有明确定义。下文将参考附图对实施例作详细的描述。图1为示出根据本发明概念的实施例的基片处理装置的结构图，图2为示 出图1所示的基片处理装置的驱动单元周围区域的平面图。参考图1和2，根据实施例的处理基片的装置(下文成为处理装置)1000包括处理室100、传递单元200、第一供给管300及第二供给管400、以及化学 制剂注射器500。处理室100提供处理玻璃基片G的空间，所述玻璃基片G包括用于平板显 示装置的玻璃材料。在该玻璃基片上的处理包括蚀刻处理和清洁处理。基片G 还可包括含有半导体材料的半导体基片，所述半导体材料为诸如用于半导体器 件的晶片。传递单元200位于处理室100中。传递单元200连续地移动处理室100中 的基片G。传递单元200可包括多个辊子210，所述辊子沿基片G的宽度方向 排列并且互相平行。可将使基片G移动的转矩施加在所述辊子的一部分上，藉此来改进能效。 这种情况下，由所述转矩使之滚动的辊子之间的间隙距离可小于基片G的长度。一实施例中，第一供给管300可穿过处理室100的外部和内部。g卩，第一 供给管300可连接至位于处理室100外部的化学制剂贮存器10，由此化学制剂 C可通过第一供给管300供给入处理室100。化学制剂C可用于蚀刻处理或清洁处理，并且化学制剂C的例子包括H2S04、 HC1、 HF、 H202、去离子水等。这些化学制剂可单独或组合使用。一实施例中，与第一供给管300平行的第二供给管400也与第一供给管300 相平行地穿过处理室100的外部与内部，由此第一供给管300和第二供给管400 在处理室100的入口和出口处相互邻近。因此，可在处理室100中增大化学制 剂C的注射区域。与第一供给管类似，第二供给管400也连接至化学制剂贮存器10，并且化 学制剂C也可在第二供给管400中流动。一实施例中，化学制剂注射器500可包括分别连接至第一和第二供给管的 第一注射管510和第二注射管520，以及使得第一注射管510和第二注射管520 摆动的驱动单元530。现参考图3 5详细描述化学制剂注射器500。图3为示出图2所示驱动单元的驱动板的前视图，图4为示出图2所示驱 动单元的驱动板的侧视图。图5为示出由图2所示驱动单元的使得第一注射喷 嘴摆动的摆动状态。参考图1 图5，第一注射管510和第二注射管520可分别连接至第一供 给管300和第二供给管400，这种结构中，第一注射管510和第二注射管520 可位于同一条线上。化学制剂注射器500还包括多个设置在第一注射管510与第一供给管300 之间、以及第二注射管520与第二供给管400之间的连接器570。连接器570 允许化学制剂流过由驱动单元530摆动的第一注射管510和第二注射管520以 及第一注射喷嘴512和第二注射喷嘴522。第一注射喷嘴512和第二注射喷嘴522可沿着第一注射管510和第二注射 管520的长度方向分别安装至第一注射管510和第二注射管520，由此在第一 注射管510和第二注射管520中流动的化学制剂可直接注射在基片G上。第一注射喷嘴512和第二注射喷嘴522以预定的注射角从第一注射管510 和第二注射管520朝向基片G突出。第一注射喷嘴512和第二注射喷嘴522分 别包括形成在第一注射管510和第二注射管520的表面上的孔。一实施例中，驱动单元500可在第一注射管510和第二注射管520之间从 处理室100的外部开始延伸。例如，驱动单元500包括位于处理室IOO外部的 用于生成旋转力的电机540、在第一注射管510和第二注射管520之间延伸的 动力传递部件550、以及连接至动力传递部件550以藉此由电机540来摆动的驱动板560。例如，分别根据第一注射管510和第二注射管520安装多个驱动 板560。动力传递部件550包括根据电机540的旋转而顺时针或逆时针旋转的偏心 轮552以及机械连接偏心轮552的第一偏心部分与驱动板560的第二偏心部分 的连接件554。连接件554可包括连接至偏心轮542的第一偏心部分的第一杆555、连接 至驱动板560的第二偏心部分的第二杆556、以及连接第一杆555和第二杆556 的连接部件557。第一杆555和第二杆556可分别通过螺栓之类的连结部件分 别连结至偏心轮552和驱动轮560。因此，偏心轮552的偏心转动可通过第一杆555以及由连接部件557连接 至第一杆555的第二杆556转换为直线往复运动。从而，可通过该往复运动来 摆动机械连接至第二杆556的驱动板560。此外，化学制剂注射器500包括保持在处理室100中工作的动力传递部件 550和驱动板560的壳体580，由此动力传递部件550和驱动板560可与处理 室100内部的环境隔开。因此，足以防止基片G被动力传递部件550和驱动板560的操作所污染。 例如，壳体580还包括上盖582和下盖584，由此较易对动力传递部件550和 驱动板560进行维护。第一从动板514和第二从动板524可分别安装至第一注射管510和第二注 射管520的面向驱动板560的端部。驱动板560的直线往复运动可传递至第一 从动板514和第二从动板524，藉此将摆动运动传递至第一从动板514和第二 从动板524。当所述驱动板由于第二杆556难以将该摆动运动同时传递至第一从动板 514和第二从动板524时，各驱动板560可分开地分别安装成与第一从动板514 和第二从动板524相应的第一驱动板和第二驱动板。例如，第一驱动板562可面向第一从动板514并且连接至连接件554的第 二杆556。 g卩，第一驱动板562可由电机540的旋转而摆动。第二驱动板564可面向第二从动板524并且沿着相同的中心轴线连接至第 一驱动板562，这使得第一驱动板562的摆动运动可直接转递至第一驱动板 564。壳体580的侧壁可位于第一驱动板562和第一从动板514之间以及第二驱 动板564与第二从动板524之间。因此，第一驱动板562和第二驱动板564的 摆动运动可通过非直接的方法，而不是直接的方法，传递至第一从动板514和 第二从动板524，所述非直接方法例如为磁性方法。例如，第一磁性部563和第二磁性部565可位于第一驱动板562和第二驱12动板564周围，第三磁性部515和第四磁性部525可位于第一从动板514和第 二从动板524的周围。因此，第一驱动板562和第二驱动板564可通过电机540的旋转而进行摆 动，并且第一从动板514和第二从动板524也根据第一驱动板562和第二驱动 板564的摆动而进行摆动运动。第一注射管510和第二注射管520由于其上安 装有第一从动板514和第二从动板524而分别进行摆动运动，并且最终，安装 在第一注射管510和第二注射管520的第一注射喷嘴512和第二注射喷嘴522 进行摆动运动。此外，可将使得第一注射管510和第二注射管520进行摆动运动的旋转力 施加在设于第一注射管510和第二注射管520之间的共用区域，藉此来增进摆 动运动的稳定性，这样比第一注射管510和第二注射管520 —体形成为单体并 且将用于摆动运动的旋转力施加在该单体型的第一注射管510和第二注射管 520的一端部的情况要更稳定。此外，上述结构中，化学制剂C可通过第一注射管510和第二注射管520 中的两个途经注射在基片G上，这样对于近来的大尺寸基片G是有利的。艮P，化学制剂C由于第一注射管510和第二注射管520可稳定且均匀地施 加在大尺寸的基片上，藉此来增进基片的质量。图6为示出根据本发明概念的另一实施例的基片处理装置的结构图，图7 为示出图6所示的基片处理装置的驱动单元周围部分的平面图。本实施例的处理装置1100的结构与图1 5所示的处理装置1000基本相 同，不同之处在于第一及第二注射管的摆动运动的生成，由此以下附图中，相 同的标号指代图1 5中相同的元件，并且省去了这些相同元件的详细描述。参考图6 7，根据另一实施例的处理装置1100包括处理室100、传递单 元200、第一供给管300及第二供给管400、以及化学制剂注射器600。处理室100提供处理玻璃基片G的空间，所述玻璃基片G包括用于平板显 示装置的玻璃材料。基片G由处理室100中的传递单元200移动。第一供给管 300和第二供给管400相互平行地设置，并且化学制剂C通过第一供给管300 和第二供给管400从位于处理室100外部的化学制剂贮存器10供给入处理室 100。一实施例中，化学制剂注射器600包括第一注射管组610和第二注射管组 640，各组通过连接器680分别连接至第一供给管300及第二供给管400、以及 将驱动力施加至第一注射管组610和第二注射管组640其中之一的驱动单元 670。各所述注射管组中至少包括两根注射管。在本实施例中，第一注射管组610中的其上施加有驱动力的注射管称为第 一注射管620，第二注射管组640中的其上施加有驱动力的注射管称为第二注射管650。此外，第一注射管组610中的其上未施加有驱动力的注射管称为第三注射管630，第二注射管组640中的其上未施加有驱动力的注射管称为第四 注射管660。第一注射管620与第二注射管650排成一行，第三注射管630与第四注射 管660排成一行。第一喷嘴622、第二喷嘴652、第三喷嘴632及第四喷嘴662 分别安装至第一注射管620、第二注射管650、第三注射管630及第四注射管 640，这样化学制剂C通过各注射喷嘴直接注射到基片G上。一实施例中，驱动单元670可在第一注射管620和第二注射管650之间从 处理室100的外部开始延伸。例如，驱动单元670包括位于处理室100外部的 用于生成旋转力的电机672、在第一注射管620和第二注射管650之间延伸并 且对从电机672的旋转转换而来的直线往复运动进行传递的动力传递部件674、 以及连接至动力传递部件674以藉此由动力传递部件674的往复运动造成的摆 动运动来控制的驱动板676。动力传递部件674包括与电机673机械连接的连接件675，由此电机673 的旋转通过连接件675转换为直线往复运动。驱动板576的偏心部连接至连接 件675，这样驱动板676因连接件675的直线往复运动而进行摆动运动。此外，化学制剂注射器600包括保持在处理室100中工作的动力传递部件 674和驱动板676的壳体580，由此动力传递部件674和驱动板676可与处理 室100内部的环境隔开。第一从动板624和第二从动板654可分别安装至第一注射管620和第二注 射管650的面向驱动板676的端部。驱动板676的直线往复运动可传递至第一 从动板624和第二从动板654，藉此将摆动运动传递至第一从动板624和第二 从动板654。壳体685的侧壁可位于驱动板676与第一从动板624和第二从动板654之 间。因此，驱动板676的摆动运动可通过非直接的方法，而不是直接的方法， 传递至第一从动板624和第二从动板654，所述非直接方法例如为磁性方法。 例如，在驱动板676以及第一从动板624和第二从动板654周围设置多个磁性 部。此外，化学制剂注射器600可包括摆动传递部件690，以将第一注射管620 和第二注射管650的摆动运动传递至第三注射管630和第四注射管660。摆动传递部件690将第一注射管620与第三注射管630连接，将第二注射 管650与第四注射管660连接。第一注射管620与第三注射管630之间的连接结构与第二注射管650与第 四注射管660之间的连接结构基本相同，因此，现根据第一注射管620与第三 注射管630之间的连接来详述摆动传递部件690。图8示出了图7所示的根据本发明实施例的驱动单元的摆动传递部件。参考图8，第一注射喷嘴622和第三注射喷嘴632以预定的注射角从第一 注射管620的第一本体626和第三注射管630的第三本体636朝向基片G突出。 本实施例中，摆动传递部件690分别连接至第一注射喷嘴622和第三注射喷嘴 632。因此，当第一注射喷嘴622通过第一注射管620进行摆动运动时，摆动传 递部件690将第一注射喷嘴622处的摆动运动直接传递至第三注射喷嘴632。 因此，第三注射喷嘴632与第一注射喷嘴622同时进行摆动运动。尽管本实施例揭露了第一注射喷嘴622和第三注射喷嘴632这两者都连接 至摆动传递部件690，如本技术领域的技术人员所应理解的，只要驱动力足够， 第一注射喷嘴622和第三注射喷嘴632中的一个连接至摆动传递部件690也可。因此，驱动单元670的驱动力仅仅施加至第一注射管620和第二注射管 650，由此仅第一注射管620和第二注射管650进行摆动运动。然后，第一注 射管620和第二注射管650的摆动运动通过摆动传递部件690传递至第三注射 管630和第四注射管640，藉此来简化动力传递部件674与驱动板676之间的 机械连接系统。此外，由于动力传递部件674与驱动板676之间的机械连接系 统的简化，壳体6S5的尺寸也可减小。参考图9及10描述第一经修改的摆动传递部件。图9示出了图7所示的驱动单元的第一经修改的摆动传递部件，图10为 图9中的A部的部分放大图。包括所述第一经修改的摆动传递部件的处理装置的结构与图6 8所示的 处理装置基本相同，不同之处在于摆动传递部件，因此图9和10中，相同的 标号指代图6 8中相同的元件，并且省去了这些相同元件的详细描述。参考图9及10，第一注射喷嘴762和第三注射喷嘴772从化学制剂注射器 750的第一注射管760的第一本体764和第二注射管770的第二本体774朝向 基片G突出。此外，第一注射喷嘴762和第二注射喷嘴772成形为分别形成在 第一注射管760的第一本体764和第二注射管520的第三本体774上的孔。第 一从动板786位于第一注射管760的第一本体764的端部。摆动传递部件780包括驱动齿轮782及从动齿轮784。驱动齿轮782连接 至第一注射管760的第一本体764，这样第一注射管760的摆动运动通过第一 注射管760的第一本体764直接传递至驱动齿轮782。从动齿轮784连接至第三注射管770的第三本体774，并且机械连接至驱 动齿轮782。 g卩，从动齿轮784的第二轮齿785与驱动齿轮782的第一轮齿齿 面接触。驱动齿轮782的摆动运动根据预定的齿轮比传动至从动齿轮784。然后，15运动传递至第三注射管770的第三本体774，从而，第三本体774的摆动使得第三注射喷嘴772发生摆动。上述驱动与从动齿轮系统的例子可包括正齿轮系统及斜齿轮系统。因此，第一注射管760的摆动运动可通过包括驱动齿轮782及从动齿轮784的摆动传递部件780传递至第三注射管770。参考图11及12描述第二经修改的摆动传递部件。图ll示出了图7所示的驱动单'元的第二经修改的摆动传递部件，图12为 图11中的B部的部分放大图。包括所述第二经修改的摆动传递部件的处理装置的结构与图6 8所示的 处理装置基本相同，不同之处在于摆动传递部件，因此图11和12中，相同的 标号指代图6 8中相同的元件，并且省去了这些相同元件的详细描述。参考图11及12，第一注射喷嘴712和第二注射喷嘴722从化学制剂注射 器750的第一注射管710的第一本体714和第二注射管720的第二本体724朝 向基片G突出。第一从动板716位于第一注射管710的第一本体714的端部。摆动传递部件730与第一和第三本体714、 724，在第一和第三注射喷嘴 712、 722的相反侧接触。具体的，摆动传递部件730包括条形齿条732和小齿轮715或725，所述 齿条的第一齿面向第一本体714和第三本体724，所述小齿轮分别在第一注射 管714和第二注射管724处与齿条732啮合。例如，第一小齿轮715的第二齿与齿条732的第一齿在第一注射管710的 第一本体714处啮合，并且第二小齿轮725的第三齿在第二注射管720的第二 本体724处与齿条732的第一齿啮合。小齿轮715和725分别与第一注射管710和第三注射管720 —体形成在第 一本体714和第三本体714上。或者，各小齿轮715及725可与注射管分开制 造，然后小齿轮715及725再分别连结至第一注射管710的第一本体714以及 第三注射管720的第三本体724。尽管上述实施例揭露了齿条和小齿轮系统， 但也可对其进行改动或者采用本技术领域的技术人员公知的传动系统来代替 或者与所述齿条及小齿轮系统一同使用。因此，第一注射管710的摆动运动通过包括齿条和小齿轮系统的摆动传递 部件730传递至第三注射管720。此外，化学制剂注射器600还可包括用于根据第一注射管710的第一本体 714的摆动运动来控制摆动传递部件730的直线运动的导向部件(未示)。根据一些实施例，第一及第二注射管设置成一行，并且用于使第一及第二 注射管的摆动的驱动力在设置于第一及第二注射管之间的共用区域处施加至 各第一及第二注射管，藉此来增进注射管的摆动运动的稳定性。1上文的描述是为了阐述实施例而非解释为对其的限制。尽管业已对若干个 实施例作出说明，本技术领域中技术人员应理解可对实施例作出许多改动而不 实质脱离本发明的具有新颖性的教导和优点。因此，所有这样的修改意欲包括 在本发明的由所附权利要求书所限定的范围之内。权利要求中，装置加方法的 形式意欲覆盖在此描述的进行所称的功能结构，以及结构上的等同物和相等同 的结构。因此，应理解上文的描述系多种实施例的阐述，而非所揭露的具体实 施例的限制，并且对所揭露实施例的修改以及其它实施例也意欲包括所附权利 要求的范围内。
权利要求
1、一种化学制剂注射器，包括分别包括第一和第二注射喷嘴的第一和第二注射管，所述第一及第二注射管设置为同一行，以使所述第一及第二注射管的顶端部相互靠近，化学制剂通过所述第一和第二注射喷嘴被注射到基片上；及设置在所述第一及第二注射管之间的驱动单元，所述驱动单元将驱动力施加至所述第一及第二注射管的所述相邻的顶端部，藉此来摆动所述第一及第二注射管。
2、 如权利要求1所述的化学制剂注射器，其中所述第一及第二注射管分 别包括位于它们的所述顶端部的第一及第二从动板，并且所述驱动单元包括设 置在所述第一及第和第二从动板之间的驱动板，所述驱动板设置为所述驱动力 从所述驱动板传递至所述第一及第二从动板。
3、 如权利要求2所述的化学制剂注射器，其中所述驱动板及所述第一及 第二从动板包括位于它们的旋转轴线周围的多个磁性部件，以使所述驱动力作 为磁力从所述驱动板传递至所述从动板。
4、 如权利要求2所述的化学制剂注射器，其中所述驱动单元包括 生成所述驱动力的电机；及动力传递部件，所述动力传递部件连接至所述电机与所述驱动板，并 且将所述电机的旋转转换为直线往复运动，藉此将所述直线往复运动从所 述电机传递至所述驱动板，以使所述驱动板进行摆动运动。
5、 如权利要求4所述的化学制剂注射器，其中所述动力传递部件包括 由所述电机生成的所述驱动力使之旋转的偏心轮；及连接件，其直线连接所述偏心轮的第一偏心部和所述驱动板的第二偏 心部，并且将所述电机的旋转转换为所述直线往复运动。
6、 如权利要求4所述的化学制剂注射器，其中所述驱动板包括 连接至所述动力传递部件并且面向所述第一从动板的第一板；及 沿着中心轴线连接至所述第一板并且面向所述第二从动板的第二板，以使所述第二板随着所述第一板一起进行摆动运动。
7、 如权利要求4所述的化学制剂注射器，还包括包围所述动力传递部件 和驱动板的壳体。
8、 如权利要求7所述的化学制剂注射器，其中所述壳体的侧壁位于所述驱动板和所述第一从动板之间并且位于所述驱动板和第二从动板之间，以使所 述驱动板穿过所述壳体的侧壁分别面向所述第一及第二从动板。
9、 如权利要求1所述的化学制剂注射器，还包括与所述第一注射管平行的第三注射管以及与所述第二注射管平行的第四注射管，所述第三及第四注射 管包括第三及第四注射喷嘴，所述化学制剂通过所述第三及第四注射喷嘴注射 在所述基片上。
10、 如权利要求9所述的化学制剂注射器，还包括摆动传递部件，所述摆 动传递部件将所述第一注射管连接至所述第三注射管并且将所述第二注射管 连接至所述第四注射管，藉此将所述第一注射管的摆动运动传递至所述第三注 射管并且将所述第二注射管的摆动运动传递至所述第四注射管。
11、 如权利要求10所述的化学制剂注射器，其中所述第一、第二、第三 及第四注射喷嘴朝所述基片突出，并且所述摆动传递部件将所述第一注射喷嘴 连接至所述第三注射喷嘴并且将所述第二注射喷嘴连接至所述第四注射喷嘴。
12、 如权利要求10所述的化学制剂注射器，其中所述摆动传递部件包括至少一对驱动齿轮与从动齿轮，所述第一及第二注射管的摆动运动通过所述齿 轮对分别传动至所述第三及第四注射管。
13、 如权利要求10所述的化学制剂注射器，其中所述摆动传递部件包括齿条和多个小齿轮，所述第一及第二注射管的摆动运动通过所述齿条和多个小 齿轮分别传动至所述第三及第四注射管。
14、 一种将化学制剂注射到基片上的装置，包括互相平行的第一及第二注射管，分别包括第一和第二注射喷嘴，化学制剂通过所述第一及第二注射喷嘴被注射到基片上；驱动单元，其将驱动力施加到所述第一注射管的端部，藉此来摆动所 述第一注射管；及摆动传递部件，其将所述第二注射管连接至所述第一注射管并且将所 述第一注射管的摆动运动传递至所述第二注射管。
15、 如权利要求14所述的装置，其中所述第一及第二注射喷嘴朝所述基 片突出，并且所述摆动传递部件将所述第二注射喷嘴连接至所述第一注射喷 嘴。
16、 如权利要求14所述的装置，其中所述摆动传递部件包括一对驱动齿 轮与从动齿轮，所述第一注射管的摆动运动通过所述齿轮对传动至所述第二注 射管。
17、 如权利要求14所述的装置，其中所述摆动传递部件包括齿条和小齿 轮，所述第一注射管的摆动运动通过所述齿条和小齿轮传动至所述第二注射 管。
18、 一种处理基片的装置，包括 处理室，其提供处理所述基片的空间；从所述处理室的外部延伸至所述处理室内部的互相平行的第一及第二供给管，化学制剂通过所述第一及第二供给管从所述处理室的外部供给 入所述处理室；与所述第一及第二供给管分别垂直连接的第一及第二注射管，所述第 一及第二注射管设置为同一行，以使所述第一及第二注射管的顶端部相互 靠近，所述第一及第二注射管包括第一及第二注射喷嘴，化学制剂通过所 述第一及第二注射喷嘴被注射到基片上；及设置在所述第一及第二注射管之间的驱动单元，所述驱动单元将驱动 力施加至所述第一及第二注射管的所述相邻的顶端部，藉此来摆动所述第 一及第二注射管。
19、 如权利要求18所述的装置，其中所述第一及第二注射管分别包括位 于它们的所述顶端部的第一及第二从动板，并且所述驱动单元包括设置在所述 第一及第二从动板之间的驱动板，所述驱动板设置为所述驱动力从所述驱动板 传递至所述第一及第二从动板，并且所述驱动单元包括生成所述驱动力的电机；及动力传递部件，所述动力传递部件连接至所述电机与所述驱动 板，并且将所述电机的旋转转换为直线往复运动，藉此将所述直线往 复运动从所述电机传递至所述驱动板，以使所述驱动板进行摆动运动。
20、 如权利要求18所述的装置，还包括设置在所述第一供给管与所述第 一注射管之间以及所述第二供给管与所述第二注射管之间的连结件，所述连结 件允许所述第一及第二注射管在所述化学制剂分别从所述第一及第二供给管 流经所述第一及第二注射管的时候由所述驱动单元摆动。
21、 一种处理基片的装置，包括 处理室，其提供处理所述基片的空间；从所述处理室的外部延伸至所述处理室内部的互相平行的供给管，化 学制剂通过所述供给管从所述处理室的外部供给入所述处理室；与所述供给管分别垂直连接的第一及第二注射管，所述第一及第二注 射管设置为互相平行，所述第一及第二注射管包括第一及第二注射喷嘴， 化学制剂通过所述第一及第二注射喷嘴被注射到基片上；驱动单元，所述驱动单元将驱动力施加至所述第一注射管的端部，藉此来摆动所述第一注射管；及摆动传递部件，所述摆动传递部件将所述第二注射管连接至所述第一 注射管，并且将由所述驱动力导致的所述第一注射管的摆动运动传递至所 述第二注射管。
全文摘要
化学制剂注射器中，第一及第二注射管设置为同一行，以使所述第一注射管和第二注射管的顶端部相互靠近，并且所述第一及第二注射管分别包括第一及第二注射喷嘴，化学制剂通过所述注射喷嘴被注射到基片上。驱动单元设置在所述第一及第二注射管之间，并且将驱动力施加至所述第一及第二注射管的所述相邻的顶端部，藉此来摆动所述第一及第二注射管。因此，所述第一及第二注射喷嘴进行稳定的摆动运动。
文档编号H01L21/3213GK101604621SQ20091014555
公开日2009年12月16日 申请日期2009年5月27日 优先权日2008年5月29日
发明者刘载贤 申请人:细美事有限公司