专利名称：基于soi的电容的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电容，具体的，涉及一种基于SOI的电容。
背景技术：
电容的构造一般是由两个平行的金属板以及两个金属板中间的绝缘材料所构成，电容的公式为C二 eS/4Jikd，平行板电容器的电容C跟介电常数e、正对面积S成正比，跟极板间的距离d成反比，式中k为静电力常量，介电常数e由两极板之间介质决定。 应用在集成电路中的电容，通常都将电容形成在以某种介质形成的表面上，在此表面之下还有其他导电的金属连线或者金属层，而这些导电的金属连线或者金属层与电容耦合形成杂散电容，影响了集成电路信号传递速度，制约了芯片的性能。
发明内容
第一电极结构，具有第一电极以及由所述第一电极延伸形成的若干彼此平行的第一延伸电极； 第二电极结构，具有第二电极以及由所述第二电极延伸形成的若干彼此平行的第二延伸电极； 本发明还提供一种如上述权利要求所述基于SOI的电容的制造方法，包括步骤 在晶圆上形成背衬底； 在所述背衬底的表面上形成绝缘层； 在所述绝缘层上形成半导体层； 在所述半导体层上形成沟槽； 在所述沟槽内沉积形成沟槽氧化物； 在所述沟槽氧化物表面上形成多晶硅； 在所述多晶硅上方形成介质层； 在所述介质层上沉积金属层； 刻蚀部分金属层，使剩余部分金属层形成所述电容； 去除对应所述电容位置的背衬底，形成凹槽，在所述凹槽内填充绝缘材料。 与现有技术相比，本发明的电容以绝缘层上硅为衬底，使得所述电容与衬底之间不再含有导电的金属，并去除对应所述电容位置的背衬底，从而降低导电的金属连线或者金属层与电容耦合形成的杂散电容。
图1为本发明基于SOI的电容的结构示意图； 图2为图1所示基于SOI的电容沿A-A截面的界面示意图。
具体实施例方式
为了更清楚了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。 请参阅图l，图l为本发明基于SOI的电容的结构示意图。 本实施例的电容l包括第一电极结构lO和第二电极结构ll，所述第一电极结构10和第二电极结构11的材质为铝或者铜。 所述第一电极结构10具有第一电极101以及由所述第一电极延伸形成的若干彼此平行的第一延伸电极IOO。 所述第二电极结构11具有第二电极111以及由所述第二电极延伸形成的若干彼此平行的第二延伸电极110; 所述第一延伸电极100与所述第二延伸电极111依次交互穿插。
请参阅图2，图2为图l所示基于SOI的电容沿A-A截面的界面示意图。本实施例所述电容1置于一衬底上，所述衬底为绝缘层上硅(SOI : sillicon on insulator),所述SOI衬底包含背衬底6 ;在所述背衬底6的表面上形成的绝缘层5 ;在所述绝缘层5上
形成的半导体层4 ;在所述半导体层4内形成的沟槽氧化物3 ;在所述沟槽氧化物3上形
成的多晶硅层2，所述多晶硅层2为CoSi。在所述多晶硅层2上方形成的介质层8，所述介质层8可以为硅的氧化物或者硅的氮化物等形成。 所述背衬底6以及半导体层5为硅，所述绝缘层5为氧化层，优选为二氧化硅。
所述第一延伸延伸电极100与所述第二延伸电极110之间留有间隙12，所述第一延伸电极100与所述第二延伸电极110之间形成的各个间隙12的宽度相等。
制造所述电容的步骤如下 在晶圆上形成背衬底6 ; 在所述背衬底6的表面上形成绝缘层5 ; 在所述绝缘层5上形成半导体层4 ; 在所述半导体层4上形成以沟槽； 在所述沟槽上沉积形成沟槽氧化物3 ; 在所述沟槽氧化物3表面上形成多晶硅2 ; 在所述多晶硅2上方形成介质层8 ; 在所述介质层8上沉积金属层； 刻蚀部分金属层，使剩余部分金属层形成所述电容1 ; 去除对应所述电容l位置的背衬底，形成凹槽7，在所述凹槽内填充绝缘材料，比如硅的氧化物或者硅的氮化物等均可。 本实施例的电容l以绝缘层上硅为衬底，使得所述电容l与衬底之间不再含有导电的金属，并去除对应所述电容l位置的背衬底，从而降低导电的金属连线或者金属层与电容耦合形成的杂散电容。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
权利要求
一种基于SOI的电容，其特征在于所述电容置于绝缘层上硅上，所述电容包括第一电极结构，具有第一电极以及由所述第一电极延伸形成的若干彼此平行的第一延伸电极；第二电极结构，具有第二电极以及由所述第二电极延伸形成的若干彼此平行的第二延伸电极；所述第一延伸电极与所述第二延伸电极依次交互穿插。
1. 一种基于SOI的电容，其特征在于所述电容置于绝缘层上硅上，所述电容包括第一电极结构，具有第一电极以及由所述第一电极延伸形成的若干彼此平行的第一 延伸电极；第二电极结构，具有第二电极以及由所述第二电极延伸形成的若干彼此平行的第二 延伸电极；所述第一延伸电极与所述第二延伸电极依次交互穿插。
2. 如权利要求1所述的电容，其特征在于所述第一延伸电极与所述第二延伸电极 之间留有间隙。
3. 如权利要求2所述的电容，其特征在于所述第一延伸电极与所述第二延伸电极 之间形成的各个间隙的宽度相等。
4. 如权利要求1所述的电容，其特征在于 的材质为铝或铜。
5. 如权利要求1所述的电容，其特征在于 背衬底；在所述背衬底的表面上形成的绝缘层； 在所述绝缘层上形成的半导体层； 在所述半导体层内形成的沟槽氧化物； 在所述沟槽氧化物上形成的多晶硅层； 在所述多晶硅上方形成的介质层。
6. 如权利要求5所述的电容，其特征在于
7. 如权利要求5所述的电容，其特征在于
8. 如权利要求7所述的电容，其特征在于
9. 如权利要求5所述的电容，其特征在于
10. —种如权利要求l所述基于SOI的电容的制造方法，其特征在于，包括步骤 在晶圆上形成背衬底； 在所述背衬底的表面上形成绝缘层； 在所述绝缘层上形成半导体层； 在所述半导体层上形成沟槽； 在所述沟槽内沉积形成沟槽氧化物； 在所述沟槽氧化物表面上形成多晶硅； 在所述多晶硅上方形成介质层； 在所述介质层上沉积金属层；刻蚀部分金属层，使剩余部分金属层形成所述电容；去除对应所述电容位置的背衬底，形成凹槽，在所述凹槽内填充绝缘材料。所述背衬底以及半导体层为硅。 所述绝缘层为氧化层。 所述氧化层为二氧化硅。 所述多晶硅层为CoSi。
全文摘要
本发明提供一种基于SOI的电容，所述电容置于绝缘层上硅上，所述电容包括第一电极结构，具有第一电极以及由所述第一电极延伸形成的若干彼此平行的第一延伸电极；第二电极结构，具有第二电极以及由所述第二电极延伸形成的若干彼此平行的第二延伸电极；所述第一延伸电极与所述第二延伸电极依次交互穿插。所述绝缘层上硅包括背衬底；在所述背衬底的表面上形成的绝缘层；在所述绝缘层上形成的半导体层；在所述半导体层内形成的沟槽氧化物等。本发明的电容以绝缘层上硅为衬底，使得所述电容与衬底之间不再含有导电的金属，并去除对应所述电容位置的背衬底，从而降低导电的金属连线或者金属层与电容耦合形成的杂散电容。
文档编号H01L21/84GK101692455SQ200910197108
公开日2010年4月7日 申请日期2009年10月13日 优先权日2009年10月13日
发明者许丹 申请人:上海宏力半导体制造有限公司