专利名称：一种垂向升降片库的定位装置和控制方法
技术领域：
本发明涉及半导体工艺中的一种传输控制系统，特别涉及垂向升降片库的定位装 置和控制方法
背景技术：
硅片传输是半导体制造工艺过程中一个很重要的环节，对整个制造流程具有重要 影响。硅片传输控制系统确保了硅片在制造流程中快速、准确的传输，其对精度有着很高的 要求。一旦硅片传输控制系统中的机械手编码器出现故障，就会造成其定位不准确而又没 有相应得反馈信息，使得整个硅片传输控制系统、光刻设备乃至整条生产线都停止运行，其 所导致的损失时非常严重的。针对这个问题，许多研发人员做过相应的改进，提出了一些创造性的发明。专利 200910048295提到了一种硅片传输控制系统，该系统在片库的开口处安装激光发射器和激 光接收器，且在机械手上设置反射板，从而能够给片库和机械手准确定位；在传输轨道上设 置了多对感应器，实时给机械手、片库、预对准台和下片台以准确的定位和监测，同时也提 高了机械手拿放硅片的准确率。图1为现有技术中用传感器和打孔竖直挡板组成的片库的定位装置示意图。该现 有技术所提供的硅片传输控制系统中使用传感器作位置判断信号。并排安装的5个传感器 110随片库垂向自由升降，5排竖直档板100固定在整机框架上，以传感器信号通、断作为1、 0，又以1和0的排列组合构成槽号编码。如图1所示的槽号编码为00001。在此结构的精 度受到打孔挡板的机械钻孔精度影响，即使应用激光打孔技术将孔的直径控制在微米级， 那么相应的挡板安装精度要就非常苛刻进而增加安装，调试，维护的难度。另外，并排放置5个限位传感器110占用的空间大且不易拆卸；同时，只能区分一 个片库垂向上的位置，不能将多个片库区分开来。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是已有的硅片传输控制系统中采用打孔竖直挡板和 传感器构成0、1信号搭配区别片库各个片槽位置时，存在打孔的方法精度不够高、机械安 装的要求高、传感器占用的空间大且不易拆卸以及只能区分一个片库垂向上的位置，不能 将多个片库区分开来等缺陷。为了解决所述存在的技术问题，本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置，包 括颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变；色带，沿垂向放置且固定不动，与所述 片库相对位置随所述片库升降而变化；所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带， 并且反射光被所述颜色传感器接收。所述反射光包含颜色信号，所述颜色传感器分辨所述颜色信号以确定所述片库的 垂向位置。所述片库至少有一个，每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。
所述颜色传感器与光源可设置于同一密闭、无反射的箱子中。所述光源可为白光 光源。作为一种优选方式，所述片库包含一外壳，所述颜色传感器和光源固定在所述外 ^zC 上 O可选的，每一片库对应的色带可以由颜色各不相同的色段连接而成，每一色段在 所述色带内垂向的宽度相同。所述色段在所述色带内垂向的宽度可以为10 20厘米。可选的，每一片库对应的色带也可以是由两种颜色的色段交替连接组成，每一色 段在所述色带内垂向的宽度相同。所述色段在所述色带内垂向的宽度可以为1 2微米。可选的，每一片库对应的色带还可以是由颜色各不相同的色段按三原色(RGB)值 的排列组合连接而成，每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。本发明还提供一种垂向升降片库的定位控制方法，包括提供沿垂向放置且固定 不动的色带，所述色带由至少2种颜色的色段连接而成，每一所述色段在所述色带内垂向 的宽度相同；提供颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变，所述光源照射所述色带并 产生包含颜色信号的反射光，所述颜色传感器接收所述反射光并分辨所述颜色信号以确定 所述片库垂向位置。所述片库至少有一个，每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。每个片库对应的色带可以由颜色各不相同的色段连接而成。每个片库对应的色带也可以由两种颜色的色段交替连接组成。此时，不同的片库 配备的色带含有一种相同的颜色，并且除所述相同的颜色外，不同色带的另外一种颜色各 不相同，用以区分不同的片库。其中，所述不同的片库配备的色带含有一种相同的颜色可以 是白色或黑色。当所述色带由颜色各不相同的色段连接而成或由两种颜色的色段交替连接组成 时，所述颜色传感器分辨的所述颜色信号为相邻色段交界线处的颜色跳变。此时，若所述片 库中含有片槽，那么可以将所述相邻色段交界线与所述片槽一一对应，用以区分不同的片槽。每个片库对应的色带还可以由颜色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列组 合连接而成。所述三原色(RGB)值的排列组合方式可以为用三原色(RGB)中的一种原色 的一个数值代表一个片库，另外两种原色的数值排列组合标示片库在垂向的位置。所述三 原色(RGB)值的排列组合方式也可以为将三原色(RGB)中的一种原色按数值平均分为多 个数值段，该数值段的数量与片库的个数相同，每条色带包含该种原色的一个数值段，同时 对应一个片库，三原色(RGB)中另外两种原色的数值排列组合标示片库在垂向的位置。相 应的，所述颜色传感器分辨的所述颜色信号为所述色段的三原色(RGB)值。本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置和控制方法，其所达到的技术效果是 采用颜色传感器和条码或者采用颜色传感器和色带替代现有技术中在片库自由升降一端 并排安放的5个传感器和另一端安装的5排打孔竖直挡板，解决了现有技术中打孔精度不 够、机械安装困难的问题，提高了定位精度、简化了安装；本发明中采用色带，占用空间小， 可以采用喷涂或者用粘贴的方式，提高了可操作性；不仅可以区分一个片库垂向上的位置， 还可以将多个片库区分开来。
图1是现有技术中用传感器和打孔竖直挡板组成的片库的定位装置示意图；图加是本发明提供的垂向升降片库的定位装置的实施例的示意图；图2b是本发明提供的垂向升降片库的定位装置中颜色传感器、光源和色带三者 之间的相对位置关系示意图；图3a是本发明提供的垂向升降片库的控制方法实施例一中由红、橙、黄、绿、青、 蓝、紫自下而上连接而成的色带的示意图；图北是本发明提供的垂向升降片库的控制方法实施例一中色带的颜色与片槽的 对应关系示意图；图4是本发明提供的垂向升降片库的控制方法实施例二中斑马型色带示意图；图如 图恥是本发明提供的垂向升降片库的控制方法实施例三中色带的颜色构 成示意图。
具体实施例方式为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的实施方 式进行详细描述。图加为本发明提供的垂向升降片库的定位装置实施例示意图。如图加所示，该 垂向升降片库的定位装置包括支撑框架(图中未画出)、控制系统(图中未画出)、颜色传 感器220和光源210以及色带230。控制系统是常规片库的定位装置都有的，用于发出控 制命令、接收并处理反馈信息。片库MO由升降系统250带动，可在垂向相对于支撑框架自 由升降。片库240包含有片槽M1，用于承载硅片M2。颜色传感器220和光源210与片库 240相对位置不变，可以将颜色传感器220和光源210固定在片库MO的外壳上，也可以将 颜色传感器220和光源210固定承载片库MO的升降台(图中未画出)上，并不限于本实 施例所述的方式。色带230由至少2种颜色的色段连接而成，每一色段在色带230内垂向 的宽度相同。同时，色带230沿垂向放置且固定不动，与片库240相对位置随片库240升降 而变化。可以将色带230黏贴或喷涂到一竖直平板260上，该竖直平板沈0与支撑框架固 定相连，这样就可以保证色带230相对片库240位置不变。 颜色传感器220对光源210虽然没有苛刻要求，但是为了避免外界光影干扰，应把 颜色传感器220与光源210放在同一密闭、无反射的箱子中，并且光源210发出的光应尽量 集中。本实施例中光源210为白光光源。片库240数量一般为多个也可以是一个，在本实施例中优选为2至3个。每个片 库240配备一个颜色传感器220、一个光源210和一条色带230。颜色传感器220、光源210 和色带230的相对位置关系如图2b所示，当光源210和颜色传感器220随片库240沿垂向 升降，光源210始终照射到沿垂向放置的色带230并且反射光被颜色传感器220接收。该 反射光中包含了颜色信号，颜色传感器220通过分辨该颜色信号以确定片库MO的垂向位 置。采用色带230的颜色排列方式不同，颜色传感器220探测到色带230的颜色以界 定片库240垂向位置的具体方式就会有所不同。进而本发明提供的垂向升降片库240的定 位装置实现多个垂向升降片库240定位的控制方法也会有所不同。但总体上来讲该控制方法就是提供色带230，其由至少2种颜色的色段连接而成且每一色段垂向宽度相同，同时色 带230垂向放置且固定不动；颜色传感器220随片库240升降时接收光源210照射色带230 后的反射光，并且颜色传感器220分辨该反射光中包含的颜色信号以确定所述片库MO的 垂向位置。下面结合图3、图4和图5详细阐述本发明提供的垂向升降片库定位的控制方法的 实施例一、实施例二和实施例三。实施例一本发明提供的垂向升降片库定位的控制方法实施例一中色带由颜色各不相同的 色段连接而成，每一色段在色带内垂向的宽度相同。图3a为一种包含红、橙、黄、绿、青、蓝、 紫7种颜色的色带300。由图3a可知，该色带300由红307、橙306、黄305、绿304、青303、 蓝302、紫301七种颜色的色段按照垂向由下至上连接而成，每种颜色的色段垂向的宽度都 为L，L的优选值为10 20厘米。对于每条色带300和与其配套的片库240之间要确定初始化时的位置对应关系， 本实施例中初始化时，片库240处于自由升降所能达到的最低位置，颜色传感器220探测到 该色带300底端。初始化时，片库240还可以处于自由升降所能达到的最高位置，而相应地 颜色传感器220探测到该色带300顶端，并不限于本实施所述。颜色传感器220探测色带300的两个相邻色段的交界线，就可以获得颜色信号从 而唯一地确定对应的片库240垂向位置。该颜色信号就是相邻色段的交界线出的颜色跳变。对于图3a所示的色带300，当颜色传感器220探测到的颜色由红色307跳变到橙 色306或由橙色306跳变到红色307时，片库240在距其最低位置L高度处；当颜色传感器 220探测到的颜色由橙色306跳变到黄色305或由黄色305跳变到橙色306时，片库240在 距其最低位置2L高度处；以此类推。控制系统向片库240发送目标位置命令，该命令指出了目标位置对应的色带颜色 的跳变。颜色传感器220随片库240沿垂向升降，进而探测色带300的颜色跳变，当颜色传 感器220探测所得的颜色跳变与目标颜色跳变相同时，到达目标位置。片库240移动的距 离为颜色传感器220探测到的色带300的颜色跳变次数与色段的垂向宽度的乘积。对于图 3a所示的色带300，假设起始位置为红色307和橙色306交界处，对应片库240的初始位置 为A，当颜色传感器220探测到颜色由蓝色302跳变为紫色301或由紫色301跳变为蓝色 302时，片库240最终的位置B与初始位置A的距离为5L。把色带的相邻色带的交界线或者该交界线出的颜色跳变与片库的片槽对应起来， 可以用来区分不同的片槽。实施例一中色带的颜色跳变与片槽的对应关系如图北所示。i颜色310与i+Ι颜色311的交界线对应i+Ι号槽320，i+Ι颜色311与i+2颜色 312的交界线对应i+2号槽321，依此类推。用这种方式将所有片库240的片槽241用相邻 的颜色跳变加以区分进而定位，就能够将所有的片库240整体对待实现模块化管理。假设 本实施例中共计η个片库，每个片库中有m个片槽。整个色带的颜色种类数为n*m+l。控 制系统发送用目标颜色跳变表示目标位置的命令给所有的片库M0，再由片库240解析该 命令是否是让自己移动。如果片库240接收到移动命令，则片库MO以及颜色传感器220 被升降系统250带动。颜色传感器220在升降过程中探测到色带的颜色变化，当颜色传感器220探测所得的颜色跳变与该目标颜色跳变对应时，到达目标位置。例如控制系统发送 的目标颜色跳变为i颜色310与i+Ι颜色311的跳变，当颜色传感器220探测所得的颜色 由i颜色310跳变到i+Ι颜色311，或由i+Ι颜色311跳变到i颜色310时，说明已经到达 i+Ι 号槽 320。一般硅片传输系统中配置2到3个片库。以3个片库为例说明控制流程。众所周 之，任何一种颜色都可由三原色(RGB)混合而成。反之亦然，任何一种颜色都可分解为三原 色的配比。以红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)分别代表一个片库，三原色的取值范围为0 255。 其中一部分数值作为命令代码，如201 255为命令代码；其余0 200的数值表示201 种颜色，标示200个槽。三种色带的颜色数值由下至上逐渐增大。举例来说，R代表1号片 库；G代表2号片库；B代表3号片库；201代表空置命令；202代表初始化命令；0代表第一 种颜色(初始化后的位置)；8代表第7种颜色与第8种颜色之间的跳变。当探测器探测 到色带的颜色为红色(R)，其数值为0，则表示片库240处于初始化的位置。控制系统发送 命令001，202，201)，代表1、3号片库执行空操作，2号片库初始化；控制系统发送命令(8， 201,201)代表2、3号片库执行空操作，1号片库升降使得颜色传感器220探测得到第7种 颜色跳变到第8种颜色或第8种颜色跳变到第7种颜色，此时对应的片槽为8号槽。实施例二本发明提供的垂向升降片库定位的控制方法实施例二中的色带由两种颜色的色 段交替连接组成，每一色段在色带内垂向的宽度相同。本实施例中每一色段的垂向的宽度 为L，L的取值可为1 2微米。不同的片库对应的色带含有一种相同的颜色，并且除该相 同的颜色外，不同色带的另外一种颜色各不相同，用以区分不同的片库。如图4所示，斑马 型色带400由黑白两种颜色交替连接而成。假设本实施例中有η个片库，每个片库对应一 条色带，每条色带用一种颜色代替图4中黑白两色的斑马型色带400中的黑色或白色。取 η = 2，第一个片库对应的色带用红色替代图4中的黑色，第二个片库对应的色带用黄色替 代图4中的黑色。这样就可以通过颜色传感器220探测得到的是红色还是黄色判断是第一 个片库还是第二个片库。对于每条色带和与其配套的片库之间要确定初始化时的位置对应关系。本实施例 中初始化时，片库240和颜色传感器220处于自由升降所能到达的最低位置，颜色传感器 220探测得到色带的底端。初始化时，片库240还可以处于自由升降所能达到的最高位置， 而相应地颜色传感器220探测到该色带顶端，并不限于本实施所述。控制系统储存初始位置，并向片库240发送目标位置命令，该命令指出了颜色传 感器220从初始位置到达目标位置所经历的颜色跳变次数；当颜色传感器220探测所得的 颜色跳变次数与控制系统发出的目标颜色跳变次数相同时，到达目标位置，颜色传感器220 随片库240沿垂向升降，进而探测色带颜色跳变，颜色传感器220探测到的色带的颜色跳变 次数与色段的垂向的宽度的乘积为片库240相对初始位置移动的距离。例如片库240起始 位置为C处，控制系统发出使片库MO向上移动m个跳变的命令，当颜色传感器220探测色 带的颜色跳变了 m次后，片库240到达了目标位置D。实施例三本发明提供的垂向升降片库定位的控制方法实施例三中采用的色带由颜色各不相同的色段按三原色RGB值的排列组合顺序连接而成，每一色段在色带内垂向的宽度都为 L，RGB值的排列组合方式有很多种，例如可以将三原色RGB中的一种原色按数值平均分为 多个数值段，该数值段的数量与片库MO的个数相同，每条色带包含该种原色的一个数值 段，同时对应一个片库，三原色RGB中另外两种原色的数值排列组合标示片库240在垂向的 位置。也可以用三原色RGB中的一种原色的一个数值代表一个片库，另外两种原色的数值 排列组合标示片库240在垂向的位置，并不限于本实施例所述。此时，颜色传感器220探测 的颜色信号就是色带中色段的三原色RGB值。举例来说，假设有η个片库，三原色R、G、B的数值范围都为0 255。将蓝色B的 数值范围平均分为η段，每一段用于一条色带，对应一个片库，每条色带的蓝色数值自下而 上逐渐增大。例如取η = 2，则1号片库和2号片库对应的两条色带的蓝色为数值段分别为 0 127和1 255。每条色带平均分为1 个蓝色段，每一蓝色段内的颜色具有一个相 同的蓝色数值，不同蓝色段内的颜色的蓝色数值不同，且自下而上逐渐增大。每一条色带的 又平均分成256绿色段，每一绿色段内的颜色具有一个相同的绿色数值，不同绿色段内的 颜色的绿色数值不同，且自下而上逐渐增大；每一绿色段再次平均分成256红色段，每一红 色段内的颜色具有一个红色数值，不同红色段内的颜色的红色数值不同，且自下而上逐渐 增大。自下而上，红色R与绿色G的数值排列组合方式为两者构成数组(G，R)，其中R值每 增加到最大(25 ，则G值加一，R值清零。以此种形式共计形成了 255*255 = 65025个编 码，即每条色带都均勻等分为65025段，每一段对应一个RGB值。以1号片库为例，1号片库 对应的色带500颜色构成如图和图恥所示，色带500 —共分为65025个色段502，每一 色段502具有相同的垂向宽度，每一色段502的颜色各不相同，可以用该颜色的RGB值来表 示和区分。色带500的蓝色数值自下而上逐渐增大并均勻分布，色带500平均分为256个 绿色值互不相同的绿色段501，并且绿色数值自下而上逐渐增大(图fe所示)；绿色段501 按照红色数值平均分为256个色段502，色段502的红色数值互不相同并且自下而上逐渐增 大。红色R与绿色G的数值排列组合方式也可以为两者构成数组(R，G)，其中G值每 增加到最大(255)，则R值加一，G值清零，并不限于本实施例所述。色带中蓝色、红色、绿色的数值可以按照自下而上逐渐增大的规律分布，并不限于 本实施例中所述的按照自下而上逐渐增大的规律分布，并且蓝色、红色、绿色的数值变化规 律可以相同，也可以不相同。对于每条色带和与其配套的片库240之间要确定初始化时的位置对应关系。本实 施例中初始化时，片库240和颜色传感器220处于自由升降所能到达的最低位置，颜色传感 器220探测得到色带的底端。初始化时，片库240还可以处于自由升降所能达到的最高位 置，而相应地颜色传感器220探测到该色带顶端，并不限于本实施所述。颜色传感器220探测色带颜色的RGB值，就能唯一地确定该RGB值对应的片库240 的垂向位置所在的范围，该范围大小等于色段的垂向宽度L。对于图fe、图恥所示的色带， 当颜色传感器220探测到得颜色RGB值为(0，0，1)时，片库240在距其最低位置L 2L高 度范围内；当颜色传感器220探测到得颜色RGB值为(p，m, η)时，片库240在距其最低位 置(256m+n*L) [256m+(n+1) L]高度范围内。控制系统向片库240发送目标位置命令，该命令指出了目标位置对应的色带颜色的RGB值，当颜色传感器220垂向升降过程中探测色带的颜色RGB值与目标的颜色RGB值 相同时到达目标位置。另外，一般片库的有效移动距离约为500毫米，由此可得到垂向的步距为 500/65025 = 0. 00769毫米=7. 69微米。即每一色段垂向宽度为7. 69微米，完全可以满足 片库垂向位移的精度要求。以上是本发明提供的垂向升降片库定位装置以及三种控制方法的实施例。但是本 发明不只是应用于升降片库的定位，还可以用于对其他升降物体的定位。在不偏离本发明的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的实施例。应 当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本发明不限于在说明书中所述的具体实施例。
权利要求
1.一种垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述垂向升降片库的定位装置包括颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变；色带，沿垂向放置且固定不动，与所述片库相对位置随所述片库升降而变化；所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带，并且反射光被所述颜色传感器接收。
2.根据权利要求1所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述反射光包含颜 色信号，所述颜色传感器分辨所述颜色信号以确定所述片库的垂向位置。
3.根据权利要求1所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述片库至少有一 个，每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。
4.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述颜色传 感器与光源设置于同一密闭、无反射的箱子中。
5.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述光源为 白光光源。
6.根据权利要求1或2或3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述片库包 含一外壳，所述颜色传感器和光源固定在所述外壳上。
7.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，每一所述色带由颜 色各不相同的色段连接而成，每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。
8.根据权利要求7所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述色段在所述色 带内垂向的宽度为10 20厘米。
9.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，每一所述色带由两 种颜色的色段交替连接组成，每一色段在所述色带内垂向的宽度相同。
10.根据权利要求9所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，所述色段在所述色 带内垂向的宽度为1 2微米。
11.根据权利要求3所述的垂向升降片库的定位装置，其特征在于，每一所述色带由颜 色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列组合连接而成，每一色段在所述色带内垂向的 宽度相同。
12.一种垂向升降片库的控制方法，包括提供沿垂向放置且固定不动的色带，所述色带由至少2种颜色的色段连接而成，每一 所述色段在所述色带内垂向的宽度相同；提供颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变，所述光源照射所述色带并产生包 含颜色信号的反射光，所述颜色传感器接收所述反射光并分辨所述颜色信号以确定所述片 库垂向位置。
13.根据权利要求12所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述片库至少有 一个，每一片库配备一颜色传感器、一光源和一色带。
14.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，每一所述色带由 颜色各不相同的色段连接而成。
15.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，每一所述色带由 两种颜色的色段交替连接组成。
16.根据权利要求15所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，不同的片库配备的色带含有一种相同的颜色，并且除所述相同的颜色外，所述不同的片库配备的色带的另 外一种颜色各不相同，用以区分不同的片库。
17.根据权利要求16所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述不同的片库 配备的色带含有一种相同的颜色为白色或黑色。
18.根据权利要求14或15所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述颜色信 号为相邻色段交界线处的颜色跳变。
19.根据权利要求18所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述片库中含有 片槽，所述相邻色段交界线与所述片槽一一对应，用以区分不同的片槽。
20.根据权利要求13所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，每一所述色带由 颜色各不相同的色段按三原色(RGB)值的排列组合连接而成。
21.根据权利要求20所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述三原色(RGB) 值的排列组合方式为用三原色(RGB)中的一种原色的一个数值代表一个片库，另外两种 原色的数值排列组合标示片库在垂向的位置。
22.根据权利要求20所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述三原色(RGB) 值的排列组合方式为将三原色(RGB)中的一种原色按数值平均分为多个数值段，该数值 段的数量与片库的个数相同，每条色带包含该种原色的一个数值段，同时对应一个片库，三 原色(RGB)中另外两种原色的数值排列组合标示片库在垂向的位置。
23.根据权利要求20所述的垂向升降片库的控制方法，其特征在于，所述颜色信号为 所述色段的三原色(RGB)值。
全文摘要
本发明提供了一种垂向升降片库的定位装置，包括颜色传感器和光源，与所述片库相对位置不变；色带，沿垂向放置且固定不动，与所述片库相对位置随所述片库升降而变化；所述光源随所述片库沿垂向升降并照射所述色带，并且反射光被所述颜色传感器接收。本发明还提供一种垂向升降片库的定位控制方法。本发明中采用色带，提高了定位精度、简化了安装；占用空间小，可以采用喷涂或者用粘贴的方式，提高了可操作性；不仅可以区分一个片库垂向上的位置，还可以将多个片库区分开来。
文档编号H01L21/68GK102087987SQ20091020009
公开日2011年6月8日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者张鹏远, 王磊 申请人:上海微电子装备有限公司, 上海微高精密机械工程有限公司