专利名称：一种砂轮主轴倾角调整结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体晶片加工设备技术领域，具体为一种砂轮主轴倾角调整结构。
(二)
背景技术：
现有的砂轮主轴倾角调整结构采用三点式调整方法，即分别调整三点高度后定砂轮主轴与水平面的夹角，调整时由于要分别调整三点的高度,调整比较复杂,且由于现有的调整结构是支杆结构，稳定性相对低，其调整的分辨率低，又由于该调整结构一般位于主轴座底部，手动调整不方便。
(三)
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种砂轮主轴倾角调整结构，其调整简单、方便，稳定性高，且调整的分辨率高。 其技术方案是这样的其包括砂轮主轴、砂轮、主轴座、三个支脚,所述砂轮紧固于所述砂轮主轴下端面，所述砂轮主轴通过均布于其砂轮主轴法兰圆周的所述三个支脚连接所述主轴座，其特征在于所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的双头螺杆的两头分别连接紧固于所述砂轮主轴法兰、主轴座上的连接件，所述双头螺杆两头的螺距不相等； 其进一步特征在于所述可调支脚具体包括调节部分、预紧部分,所述预紧部分对称排布于所述调节部分对于所述主轴座的圆周向两侧； 所述调节部分具体包括所述紧固于所述砂轮主轴法兰上的连接件、所述紧固于所述主轴座上的连接件、所述双头螺杆，所述预紧部分具体包括预紧螺钉、预紧弹簧；
所述紧固于所述砂轮主轴法兰上的连接件具体为方螺母座,所述紧固于所述主轴座上的连接件具体为圆螺母座； 所述方螺母座压装于所述砂轮主轴法兰上端面，螺钉紧固连接所述方螺母座、所述砂轮主轴法兰，所述圆螺母座套装于所述主轴座的安装孔内，所述圆螺母座上部套装有连接螺母,所述连接螺母支承于所述主轴座上端面，螺钉紧固连接所述连接螺母、所述主轴座上端面； 所述双头螺杆的上端部加工有内六角凹槽，所述双头螺杆的下部螺纹端与所述方螺母座螺纹连接，所述双头螺杆的上部螺纹端与所述圆螺母座螺纹连接；[■] 所述双头螺杆中部凸起处具体为所述方螺母座、所述圆螺母座的轴向限位结构；
所述预紧螺钉依次连接所述砂轮主轴法兰、所述主轴座，所述预紧螺钉的螺钉端
紧固连接所述砂轮主轴法兰,所述预紧螺钉的头部与主轴座上端面之间的空隙处套装有预
紧弹簧； 两个所述预紧螺钉对称排布于所述双头螺杆相对于所述主轴座的圆周向两侧；
所述固定支脚具体包括球头、球头座、连接螺钉、碟形弹簧，所述砂轮主轴法兰、主轴座上均开有固定支脚的安装孔，所述球头座的非调节端与所述砂轮主轴法兰的上端面的安装孔嵌套连接，所述球头的球形端配合安装于所述球头座的调节腔内，所述球头的非球形端与所述主轴座下端面的安装孔嵌套连接，所述连接螺钉依次连接所述主轴座、球头、球头座、砂轮主轴法兰,所述连接螺钉的螺钉端紧固连接所述砂轮主轴法兰，连接螺钉头部与主轴座上端面之间的空隙处套装有碟形弹簧,所述球头、球头座位于所述连接螺钉的轴向位置固定。 采用本发明的上述结构后，通过外部工具扳动双头螺杆，所述双头螺杆带动所述紧固于所述砂轮主轴法兰上的连接件上下调整，进而带动所述砂轮主轴上下调整，达到调
整砂轮主轴倾角的目的，传动双头差动螺杆转动一周的调整量为所述双头螺杆两头宽螺距和窄螺距的螺距之差，由于实际调整量一般为0 500um,调整量非常小，所述两个固定支脚处的弹性变形量足以使所述砂轮主轴平面和水平面产生一定的倾角。综....匕所述，由于本发明的结构只需调整一个可调支脚，其调整简单、方便，且其稳定性好,调整的分辨率高。
(四)
图1是本发明的主视图结构示意 图2是本发明的可调支脚结构放大剖视图；[酬 图3是本发明的固定支脚结构放大剖视(五)
具体实施例方式
见图1、图2、图3，其包括砂轮主轴1 、砂轮2、主轴座3、三个支脚，砂轮2紧固于砂轮主轴1下端面，砂轮主轴1通过均布于其砂轮主轴法兰4圆周的三个支脚连接主轴座3，三个支脚中其中--个为可调支脚5、其余两个为固定支脚6，可调支脚5的双头螺杆7的两头分别连接紧固于砂轮主轴法兰4、主轴座3上的连接件，双头螺杆7两头的螺距不相等；可调支脚5具体包括调节部分、预紧部分,预紧部分对称排布于调节部分的相对于主轴座3的圆周向两侧；调节部分具体包括紧固于砂轮主轴法兰4上的连接件、紧固于主轴座3上的连接件、双头螺杆7，预紧部分具体包括预紧螺钉8、预紧弹簧9 ;紧固于砂轮主轴法兰4上的连接件具体为方螺母座IO，紧固于主轴座3 ....匕的连接件具体为圆螺母座11 ;方螺母座10压装于砂轮主轴法兰4上端面,螺钉12紧固连接方螺母座10、砂轮主轴法兰4,圆螺母座11套装于主轴座3的安装孔内，圆螺母座11上部套装有连接螺母2()，连接螺母20支承于主轴座3上端面，螺钉13紧固连接连接螺母20、主轴座3上端面；双头螺杆7的上端部加工有内六角凹槽18，双头螺杆7的F部螺纹端与方螺母座10螺纹连接，双头螺杆7的上部螺纹端与圆螺母座11螺纹连接；双头螺杆7中部凸起处具体为方螺母座、圆螺母座的轴向限位结构；预紧螺钉8依次连接砂轮主轴法兰4、主轴座3，预紧螺钉8的螺钉端紧固连接砂轮主轴法兰4，预紧螺钉8的头部与主轴座3上端面之间的空隙处套装有预紧弹簧9 ;两个预紧螺钉8对称排布于双头螺杆7相对于主轴座3的圆周向两侧；固定支脚6具体包括球头14、球头座15、连接螺钉16、碟形弹簧17，砂轮主轴法兰4、主轴座3上均开有固定支脚6的安装孔，球头座15的非调节端与砂轮主轴法兰4的上端面的安装孔嵌套连接，球头14的球形端配合安装于球头座15的调节腔内，球头14的非球形端与主轴座3下端面的安装孔嵌套连接，球头14的球形端上端面与主轴座3 F端面的间隙装有紧固件19，连接螺钉16依次连接主轴座3、球头14、球头座15、砂轮主轴法兰4,连接螺钉16的螺钉端紧同连接砂轮主
4轴法兰4，连接螺钉16头部与主轴座3上端面之间的空隙处套装有碟形弹簧17，球头14、球头座15位于连接螺钉16的轴向位置固定。 其工作原理如下用扳手插入传动双头螺杆7的上端的内六角凹槽14内，旋转带动双头螺杆7转动,双头螺杆7通过螺纹连接带动方螺母座l()上升或下降，带动砂轮主轴1上升或下降，即双头螺杆7旋转--周，方螺母座10上升或下降一个差动螺距(宽螺距与窄螺距之差)，固定支脚6的球头14、球头座15根据上升或下降的距离进行调整，进而完成调整砂轮主轴1的倾角。举其中一个应用案例为例说明调整的调整量双头螺杆7上端宽螺距为1. 5mm，传动双头差动螺杆10下端窄螺距为1. 25iran,若扳手转动双头螺杆7顺时钟或逆时针旋转10° ，则砂轮主轴1下降或上升(1. 5-1. 25) X (10° Z36(T ) = 0. 0069mm，即为6.9u m，则轻易实现了微米级的角度调整。
权利要求
一种砂轮主轴倾角调整结构，其包括砂轮主轴、砂轮、主轴座、三个支脚，所述砂轮紧固于所述砂轮主轴下端面，所述砂轮主轴通过均布于其砂轮主轴法兰圆周的所述三个支脚连接所述主轴座，其特征在于所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的双头螺杆的两头分别连接紧固于所述砂轮主轴法兰、主轴座上的连接件，所述双头螺杆两头的螺距不相等。
2. 根据权利要求1所述 -种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于所述可调支脚具体包括调节部分、预紧部分，所述预紧部分对称排布于所述调节部分对于所述主轴座的圆周向两侧。
3. 根据权利要求2所述一种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于所述调节部分具体包括所述紧固于所述砂轮主轴法兰上的连接件、所述紧固于所述主轴座上的连接件、所述双头螺杆，所述预紧部分具体包括预紧螺钉、预紧弹簧。
4. 根据权利要求3所述一种砂轮主轴倾角调整结构,其特征在于所述紧固于所述砂轮主轴法兰上的连接件具体为方螺母座,所述紧固于所述主轴座上的连接件具体为圆螺母座。
5. 根据权利要求4所述一种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于所述方螺母座压装于所述砂轮主轴法兰上端面，螺钉紧固连接所述方螺母座、所述砂轮主轴法兰,所述圆螺母座套装于所述主轴座的安装孔内，所述圆螺母座上部套装有连接螺母,所述连接螺母支承于所述主轴座上端面，螺钉紧固连接所述连接螺母、所述主轴座上端面。
6. 根据权利要求5所述一种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于所述双头螺杆的上端部加工有内六角凹槽,所述双头螺杆的下部螺纹端与所述方螺母座螺纹连接，所述双头螺杆的上部螺纹端与所述圆螺母座螺纹连接。
7. 根据权利要求6所述 -种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于所述双头螺杆中部凸起处具体为所述方螺母座、所述圆螺母座的轴向限位结构。
8. 根据权利要求7所述一种砂轮主轴倾角调整结构,其特征在于所述预紧螺钉依次连接所述砂轮主轴法兰、所述主轴座，所述预紧螺钉的螺钉端紧固连接所述砂轮主轴法兰,所述预紧螺钉的头部与主轴座上端面之间的空隙处套装有预紧弹簧。
9. 根据权利要求8所述一种砂轮主轴倾角调整结构，其特征在于两个所述预紧螺钉对称排布于所述双头螺杆相对于所述主轴座的圆周向两侧。
10. 根据权利要求9所述一种砂轮主轴倾角调整结构,其特征在于所述固定支脚具体包括球头、球头座、连接螺钉、碟形弹簧，所述砂轮主轴法兰、主轴座上均开有固定支脚的安装孔，所述球头座的非调节端与所述砂轮主轴法兰的上端面的安装孔嵌套连接，所述球头的球形端配合安装于所述球头座的调节腔内，所述球头的非球形端与所述主轴座下端面的安装孔嵌套连接，所述连接螺钉依次连接所述主轴座、球头、球头座、砂轮主轴法兰,所述连接螺钉的螺钉端紧固连接所述砂轮主轴法兰,连接螺钉头部与主轴座上端面之间的空隙处套装有碟形弹簧，所述球头、球头座位于所述连接螺钉的轴向位置固定。
全文摘要
本发明为一种砂轮主轴倾角调整结构。其调整简单、方便，稳定性高，且调整的分辨率高。其包括砂轮主轴、砂轮、主轴座、三个支脚，所述砂轮紧固于所述砂轮主轴下端面，所述砂轮主轴通过均布于其砂轮主轴法兰圆周的所述三个支脚连接所述主轴座，其特征在于所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的双头螺杆的两头分别连接紧固于所述砂轮主轴法兰、主轴座上的连接件，所述双头螺杆两头的螺距不相等。
文档编号H01L21/304GK101774155SQ200910217228
公开日2010年7月14日 申请日期2009年12月31日 优先权日2009年12月31日
发明者康仁科, 朱祥龙, 郭东明 申请人:无锡机床股份有限公司