专利名称：激光调阻机探针保护装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种能避免激光调阻机工作中光刻平
台撞伤探针事故的保护装置。
背景技术：
激光调阻机是片式电阻的关键生产设备，它利用激光修调电阻膜宽度调整电阻 值。为了实时测量电阻值，在电阻光刻时，有上百根极细的探针同时下压在电阻基板上，并 施加一定的压力。此时，如果光刻平台发生运动，纤细的探针由于与电阻的强行摩擦，所有 探针会同时弯曲变形而彻底报废，造成探针撞伤事故。由于探针组非常昂贵，此类事故会导 致重大的经济损失。 造成探针撞伤事故的原因是光刻平台由运动控制器控制，而往往由于运动控制 器电压不稳、器件损坏等原因造成失控，导致在探针下压时光刻平台本应该保持静止，却发 生意外运动。因此，目前存在的探针撞伤事故的设备技术问题亟待解决。
发明内容
本发明的目的在于提出一种激光调阻机探针保护装置，即使在控制器失控的情况 下，也可以保护探针不被撞伤，以有效解决激光调阻机探针撞伤的问题。 本发明激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能 反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电 器，所述的继电器串联在运动控制器与光刻平台电机驱动器的控制电路上，当探针架处于 下压位置时，所述的光电反射式传感器输出高电平，继电器断开；当探针架处于上抬位置 时，光电反射式传感器输出低电平，继电器闭合。 本发明激光调阻机探针保护装置的工作原理是，通过设置在探针系统基座上的光 电反射式传感器时时反馈探针架是处于下压位置状态，还是处于上抬(即探针脱离光刻平 台)状态，当探针架处于下压位置时，光电反射式传感器输出高电平驱动与其连接的继电 器呈断开状态；此时，即或由于运动控制器发出使光刻平台运动的错误控制信号，而因串连 在该控制电路上的呈断开状态的继电器使其信号不能执行，因此，可起到对探针的保护作 用。 采用本发明探针保护装置，即使在运动控制器失控的情况下，也能确保昂贵的探 针不被撞伤，从根本上避免了探针撞伤事故，进一步提高了激光调阻机工作的可靠性。
图1是本发明激光调阻机探针保护装置的示意图。
具体实施例方式
参照图l，一种激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上2设置一能反馈探针架2上下行程位置的光电反射式传感器(KEYENCE PZ-G102N) 3和与该光 电反射式传感器3控制连接的继电器(MATSUSHITA DS2Y-S-DC24V)4，所述的继电器4串联 在运动控制器5与光刻平台电机驱动器1的控制电路上，当探针架2处于下压位置时，所述 的光电反射式传感器3输出高电平，继电器4断开；当探针架2处于上抬位置时，光电反射 式传感器3输出低电平，继电器4闭合。
权利要求
一种激光调阻机探针保护装置，其特征在于包括在激光调阻机的探针系统基座上(2)设置一能反馈探针架(2)上下行程位置的光电反射式传感器(3)和与该光电反射式传感器(3)控制连接的继电器(4)，所述的继电器(4)串联在运动控制器(5)与光刻平台电机驱动器(1)的控制电路上，当探针架(2)处于下压位置时，所述的光电反射式传感器(3)输出高电平，继电器(4)断开；当探针架(2)处于上抬位置时，光电反射式传感器(3)输出低电平，继电器(4)闭合。
全文摘要
本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器，所述的继电器串联在运动控制器与光刻平台电机驱动器的控制电路上，当探针架处于下压位置时，所述的光电反射式传感器输出高电平，继电器断开；当探针架处于上抬位置时，光电反射式传感器输出低电平，继电器闭合。即使在运动控制器失控的情况下，也能确探针不被撞伤，从根本上避免了探针撞伤事故，进一步提高了激光调阻机工作的可靠性。
文档编号H01C17/242GK101710511SQ200910217998
公开日2010年5月19日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者刘立峰, 吴玉斌, 孙继凤, 张德龙, 汤建华 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所