专利名称:一种多折叠式激光光路结构的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及高功率激光器的技术领域,尤其涉及激光器光路结构的 技术领域。
背景技术:
激光光路结构是激光器的重要组成部分。光路结构热稳定性高低直接影 响激光器的输出功率和模式稳定性。谐振腔架由低膨胀系数管、前端板和后 端板组成。由于激光器是采用多段放电管串联方式,然后再分段电激励,产 生的光子在输出镜与尾镜之间振荡,中间通过折反镜把光路串^来。现有 的激光谐振腔两折腔结构,腔架比较长,光腔稳定性差,造成整个激光器体
积较大,在生产制造过程中^b啦达到所有放电管同轴度要求,从而影响激光 器光束质量。
发明内容
本实用新型目的是提供一种激光器光路结构稳定性高,各根放电管之间 能够达到同轴度的要求,减小了激光器体积便于机床集成,直接产生圆偏振 光,解决大台面激光切割质量不一致和高反射材料切割问题的多折叠式激光 光if各结构。
本实用新型为实现上述目的采用如下技术方案
本实用新型包括前端板与后端板,中间由低膨胀系数管连接,在输出镜 和尾镜光路中间设置多个折返镜,输出镜和尾镜之间用放电管连接形成封闭 系统;其特征在于还包括光束反向隔离装置、光束束腰置远器、导光防护筒,输出镜的外侧设置光束反向隔离装置,导光防护筒上设置光束束腰置远器。 本实用新型设置在谐振光路中间的折返镜不少于两个。
本实用新型采用上述技术方案,与现有技术相比具有如下优点激光器 谐振腔架短,刚性强,保证激光器光路结构稳定性,解决了制造上难题,又 保证激光器的光束质量,再就减小了激光器体积便于机床集成。通过内部光 路调整直接产生圆偏振光,并且可以增加改变激光光束束腰置位置及光束反 向隔离装置,解决大台面激光切割质量不一致和高反射材料切割难题。
图l是现有技术中激光光路结构的结构示意图。 图2是本实用新型的一种结构示意图。 图3是图2的左一见图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的技术方案进行详细说明 如图2、图3所示,本实用新型包括前端板3与后端板6,中间由低膨 胀系数管4连接,在输出镜2和尾镜1光路中间设置多个折返镜7,之间用 放电管5连接形成封闭系统;其特征在于还包括光束反向隔离装置8、光束 束腰置远器9、导光防护筒10,输出镜2的外侧设置光束反向隔离装置8, 导光防护筒10上设置光束束腰置远器9。
本实用新型设置在谐振光路中间的折返镜7不少于两个。 本实用新型激光器的谐振腔架由前端板3,后端板6和低膨胀系数短管 4组成,激光器光路采用少数几根放电管5串联方式,然后再分段电激励, 产生的光子在输出镜2与尾镜1之间振荡。可以选择在前镜输出口增加光束 反向隔离装置8,激光束通过光束反向隔离装置8后进入光束束腰置远器9, 再从激光器输出。
权利要求1、一种多折叠式激光光路结构,包括前端板(3)与后端板(6),中间由低膨胀系数管(4)连接,在输出镜(2)和尾镜(1)光路中间设置多个折返镜(7),输出镜(2)和尾镜(1)之间用放电管(5)连接形成封闭系统;其特征在于还包括光束反向隔离装置(8)、光束束腰置远器(9)、导光防护筒(10),输出镜(2)的外侧设置光束反向隔离装置(8),导光防护筒(10)上设置光束束腰置远器(9)。
2、 根据权利要求1所述的多折叠式激光光路结构,其特征在于上述设 置在谐振光路中间的折返镜(7)不少于两个。
专利摘要一种多折叠式激光光路结构,涉及高功率激光器的技术领域,尤其涉及激光器光路结构的技术领域。本实用新型包括前端板与后端板,中间由低膨胀系数管连接,在输出镜和尾镜光路中间设置多个折返镜,之间用放电管连接形成封闭系统;其特征在于还包括光束反向隔离装置、光束束腰置远器、导光防护筒,输出镜的外侧设置光束反向隔离装置,导光防护筒上设置光束束腰置远器。本实用新型实现了激光器光路结构稳定性高,各根放电管之间能够达到同轴度的要求,减小了激光器体积便于机床集成,直接产生圆偏振光,解决大台面激光切割质量不一致和高反射材料切割问题的目的。
文档编号H01S3/101GK201392987SQ200920039660
公开日2010年1月27日 申请日期2009年4月17日 优先权日2009年4月17日
发明者张梅松, 张立文, 峰 揭, 杨和逸 申请人:南京东方激光有限公司