专利名称：一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及提高化学药液浓度、温度均匀性的一种多晶太阳能电池片的链式
制绒的装置，为多晶太阳能电池片的链式制绒工艺，属于太阳能电池片的加工制造领域。
背景技术：
现有的多晶太阳能电池片的制造工艺中，制绒工艺是关键的一步，制绒的好坏直接关系到电池片的性能，其中对药液的浓度、温度均匀性的要求最为关键；传统多晶链式制绒工艺采用药液在槽体两侧溢流、药液浸没多晶硅片方式(如图1、2所示)，在制绒槽内，中部的药液置换与其它部位的药液不能同步进行，造成药液浓度、温度的不均匀，无法控制Wafer的反应速度，进而影响制绒的效果。
发明内容为了克服现有技术结构的不足，本实用新型提供一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，很好的解决了这一 问题。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法，含有以下步骤 步骤1 ;采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出； 步骤2 ;采用上喷淋方式；在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管，药液由上部直接补充到硅片的周围；这样使药液和硅片接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果； 步骤3 ;采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，使药液进
入内槽后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性， 步骤4 ;控制调节流量，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达
到要求。 —种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，含有槽体，喷淋装置， 槽体分为内、外槽，进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体内部空
间，在进液管路上钻两列小孔，两列小孔在管路的圆周上成60°角分布，两列小孔之间夹角
朝向槽体底部。 内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内，外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽。[0012] 喷淋装置包括喷淋管和流量调节机构两部分；喷淋管由塑料管制成，在上面开有一定直径和距离的孔； 流量调节机构由流量计和控制阀组成流量计与控制阀通过管路相连，根据流量
计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。 本实用新型的有益效果 1、温度控制更容易，温控精度达到士rc以内；[0016] 2、有效改善制绒效果，提高产品品质，降低反射率，制绒后反射率达到20%以下。 本实用新型的槽体四面溢流，使得反应后液体快速溢出；加了上喷淋方式，这样使 药液和Wafer接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效 果。 在原有的槽体两面溢流的基础上，为了加快药液的流动，并保证各流动部分相对 而言更加均匀流动，在槽体的侧面开出通道，这样在槽体的中部药液就不必流向两端的堰 口回到药液供给箱，减少了中部反应后的药液流向槽体的两端时对其它硅片的影响，尽量 保证每一片硅片周围的药液是新的药液，而不是刚反应后的药液，降低了反应带来的温度 升高，补充了反应后药液的损耗，更利于药液的温度、浓度的控制，保证药液在硅片周围的 均一性，进而保证制绒的均一性。 其次，为了进一步保证硅片周围药液(特别是槽体中部的药液)的温度、浓度的均
一性，在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管，药液由上部直接补充到硅片的周围。一
个是新药夜的补充降低了硅片反应后大量放热而造成的温度增加，有利于温度的恒定；另
外，由于有新药夜补充了反应时药液成分的消耗，有利于硅片周围药液浓度的恒定。 总之，采取上述方法后，进一步加强了对药液温度、浓度均一性的控制，保证药液
温度、浓度在要求的范围内变化，保证了制绒的效果达到生产要求，并有所提高。
图1为现有技术示意图； 图2为现有技术示意图； 图3为本实用新型结构示意图； 图4为本实用新型结构示意图。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
具体实施方式
实施例1 :如图3所示，采用四面溢流的形式，加速药液的流动和更新，带走硅片反 应所放的热量，保证硅片反应温度和浓度的均一性，从而保证制绒的效果更佳。
—种多晶太阳能电池片的链式制绒的方法，含有以下步骤 步骤1 ;采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出； 步骤2 ;采用上喷淋方式；在药液槽的上部，增加了一定数量的喷淋管2，药液由上 部直接补充到硅片3的周围；这样使药液和Wafer接触更加充分，同时也使药液温度更有利 于控制，保持均匀一致，改善制绒效果； 步骤3 ;采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，使药液进 入内槽后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性，温度控制在
8士rc、药液浓度为h20 : hf : hno3 = 4:3:6; 步骤4 ;控制调节流量，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达 到要求。通过对药液流量、流向、范围的控制，及时补充新鲜药液到需要的地方，更好的控制 温度、浓度的均一性。 —种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，含有槽体，喷淋装置，[0033] 槽体分为内槽1、外槽，内槽1底部进液，进液口向下，并对进液管路5进行处理，使药液进入内槽1后均匀的流向槽体的各部位，保证槽体内部各部位温度、浓度的均一性。[0034] 进液管路由槽体外部穿过内槽1槽体侧板进入内槽1槽体内部空间，在进液管路5上钻两列小孔，两列小孔在管路的圆周上成60。角分布，两列小孔之间夹角朝向内槽l的槽体底部。 内槽1的上部的四面开有堰口 4，实现药液的四面溢流，使药液在槽体内形成良好
的均匀流动状态，有利于药液的温度、浓度的控制；由进液管路5进入的液体，向上溢出堰
口 4流到外槽内，外槽底部开有回液口 ，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使
药液流回药液循环供给槽。内槽1溢流出的药液在外槽停留时间比两面溢流时间长，反应
后温度升高的药液会自然降温，减少了温控系统的负担，有利于温度的控制。 喷淋装置包括喷淋管2和流量调节机构两部分；喷淋管2由塑料管制成，在上面开
有一定直径和距离的孔；控制药液的流向、范围的分布。 流量调节机构由流量计和控制阀组成流量计与控制阀通过管路相连，根据流量计的读数，通过控制阀调整管路中液体的流量达到要求。通过对药液流量、流向、范围的控制，及时补充新鲜药液到需要的地方，更好的控制温度、浓度的均一性。
权利要求一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，其特征是含有槽体，喷淋装置，槽体分为内、外槽，进液管路由槽体外部穿过内槽槽体侧板进入内槽槽体内部空间，在进液管路上钻两列小孔，两列小孔在管路的圆周上成60°角分布，两列小孔之间夹角朝向槽体底部；内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内，外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽；喷淋装置包括喷淋管和流量调节机构两部分；喷淋管由塑料管制成，在上面开有一定直径和距离的孔；流量调节机构由流量计和控制阀组成，流量计与控制阀通过管路相连。
2. 根据权利要求1所述的一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，其特征是内槽 的上部的四面开有堰口。
专利摘要一种多晶太阳能电池片的链式制绒的装置，采用槽体四面溢流方式，使得反应后液体快速溢出；采用上喷淋方式；药液由上部直接补充到硅片的周围；这样使药液和硅片接触更加充分，同时也使药液温度更有利于控制，保持均匀一致，改善制绒效果；采用槽体内槽底部进液，进液口向下，并对进液管路进行处理，控制调节流量，内槽的上部开有堰口，由进液管进入的液体，向上溢出堰口流到外槽内，外槽底部开有回液口，回液口通过管路与药液循环供给槽相连，靠重力使药液流回药液循环供给槽。本实用新型的有益效果温度控制更容易，温控精度达到±1℃以内；有效改善制绒效果，提高产品品质，降低反射率，制绒后反射率达到20％以下。
文档编号H01L31/20GK201523023SQ20092017315
公开日2010年7月7日 申请日期2009年8月26日 优先权日2009年8月26日
发明者刘烨, 孙良欣 申请人:北京中联科伟达技术股份有限公司