专利名称：用于多晶槽式制绒设备的补液系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体技术领域中的制绒设备，具体地说，涉及的是一种用
于多晶槽式制绒设备的补液系统。
背景技术：
制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀，形成微沟，降低硅片表面的反射率，促使太 阳在硅片表面进行多级反射，提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备工艺中，制绒工艺 是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分，也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。 在太阳能电池迅速发展应用的今天，对于目前占主要市场的晶体硅太阳能电池， 未经表面处理的发射率一般超过30%，经过碱液等各向异性化学腐蚀形成表面微米级随机 金字塔结构绒面后单晶硅电池表面发射率可以降到10%，多晶硅电池由于表面晶粒的晶向 差异，目前普遍采用的各向行化学腐蚀只能将发射率降低到20%。 现有技术中，制绒设备的补液系统存在药液不稳定，从而会导致产品的不一致性， 降低了效率。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供了一种用于多晶槽式制绒设备的补液系 统，该系统可以大大提高效率，确保药液的稳定性，达到在无人为干扰的情况下制绒效果的
一致性。 为实现以上目的，本实用新型提供了一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，该 系统包括原液箱、管路系统、称量槽、混液槽、隔膜泵、流量计、气控阀。原液箱与分别称量 槽、混液槽连接，称量槽、混液槽相连，其中原液箱与称量槽之间依次设有隔膜泵、管路系 统，原液箱与混液槽之间设置气控阀；称量槽、混液槽相连，两者之间设有流量计。 本实用新型中，原液箱作为储液系统，出口经过泵、流量计、气控阀进入混液槽内， 通过流量计及气控阀来控制加液的精确性，从而确保混液槽内部的药液浓度的稳定性，完 成初补液操作。初补主要针对第一次补液对药液的需求量大而定制的，进而縮短补液时间， 使设备在开启后可以迅速进入生产状态、提高效率。 本实用新型中，称量槽在制绒设备内部，后排风的旁边，出口经过气控阀、流量计 进入反应槽内，通过流量计、气控阀确保每次补液的一致性(保证偏差在1%左右)，完成精 补液操作。精补液操作主要是针对每次反应消耗药液的补充作用，这些消耗很少，间隔时间 充足，精确度高，确保补液的精确性。
图1为本实用新型一个实施例结构示意图； 图中1、原液箱；2、管路系统；3、称量槽；4、混液槽；5、隔膜泵；6、流量计；7、液位感应器；8、气控阀。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明，以下的描述仅用于理解本实 用新型技术方案之用，不用于限定本实用新型的范围。 本实用新型提供一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，如图1所示，在该系统 的一个实施例中，包括原液箱1、管路系统2、称量槽3、混液槽4、隔膜泵5、流量计6、气控阀 8。原液箱1与分别称量槽3、混液槽4连接，其中原液箱1与称量槽3之间依次通过隔膜泵 5和管路系统2连接，原液箱1与混液槽4之间通过气控阀8连接，称量槽3、混液槽4之间 通过流量计6连接。 进一步的，所述原液箱1设有液位感应器7 ;所述称量槽3也设有液位感应器，液 位感应器测量液体的位置并将信息反馈给控制系统进行报警提示。 较佳的，所述液位感应器7可以采用光电液位感应器。 本实施例的系统工作时，分为一下两个操作 (1)初补液操作在控制系统的操作界面上设定好所需的数据(单位升)按确认 药液通过隔膜泵5从原液箱1经流量计6、气控阀8后到称量槽3和混液槽4，配液时混液 槽4和称量槽3只有一个流量计6，补液时只能执行一组，补完后再执行另一组。但不分先 后次序补液。 (2)精 补液操作在控制系统的操作界面上设定好所需的精补液数据(单位升) 按确认药液通过自身重力从称量槽3经气控阀8后到混液槽4，自动补液时系统收到补液信 号自动补充药液，但称量槽4也会自动根据消耗的药液自动补充药液。原液箱1和称量槽 3都设有光电液位感应器7，欠液时返溃给控制系统报警提示。 本实用新型通过流量计控制隔膜泵、阀门定量补充药液，可以定量控制药液加入 量，保证工艺浓度要求，将药液浓度始终保证在工艺曲线范围内，从而保证了产品的一致 性。本实用新型可以大大提高效率，确保药液的稳定性，达到在无人为干扰的情况下制绒效 果的一致性。
权利要求一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，其特征在于，包括原液箱、管路系统、称量槽、混液槽、隔膜泵、流量计、气控阀；原液箱与分别称量槽、混液槽连接，称量槽、混液槽相连，其中原液箱与称量槽之间依次设有隔膜泵、管路系统，原液箱与混液槽之间设置气控阀；称量槽、混液槽相连，两者之间设有流量计。
2. 根据权利要求1所述的用于多晶槽式制绒设备的补液系统，其特征在于所述原液 箱设有液位感应器。
3. 根据权利要求1所述的用于多晶槽式制绒设备的补液系统，其特征在于所述称量 槽设有液位感应器。
4. 根据权利要求2或3所述的用于多晶槽式制绒设备的补液系统，其特征在于所述 液位感应器采用光电液位感应器。
专利摘要本实用新型公开一种用于多晶槽式制绒设备的补液系统，包括原液箱、管路系统、称量槽、混液槽、隔膜泵、流量计、气控阀；原液箱与分别称量槽、混液槽连接，称量槽、混液槽相连，其中原液箱与称量槽之间依次设有隔膜泵、管路系统，原液箱与混液槽之间设置气控阀；称量槽、混液槽相连，两者之间设有流量计。本实用新型可以大大提高效率，确保药液的稳定性，达到在无人为干扰的情况下制绒效果的一致性。
文档编号H01L21/00GK201478278SQ200920208699
公开日2010年5月19日 申请日期2009年8月31日 优先权日2009年8月31日
发明者周柏林, 大石满, 袁佩君 申请人:北京中联科伟达技术股份有限公司