专利名称：晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属晶体硅太阳能电池片生产技术领域，特别是涉及一种晶体硅太阳能
电池片制绒液的自动循环补液系统。
背景技术：
晶体硅太阳能电池片生产工艺过程中，需要采用制绒的工艺，其原理为利用混合 化学药液与硅片反应在硅片表面形成织构化的形状。混合液的浓度和温度是否均匀直接影 响制绒的效果，从而影响电池片的优劣性。
目前，保持制绒液浓度和温度均匀的常用装置有以下2种方式 1、鼓泡+反应槽加热+手动补液 2、槽内循环+反应槽加热+手动补液 鼓泡的方式是通过管路将高压纯净气体均匀输送到槽体内部，利用气体的流动来 搅拌液体，使混合液也流动起来，从而达到浓度均匀的目的。 槽内循环的方式是通过泵作为动力让反应槽内的液体流动起来，目前一般采用反 应槽体内部做循环的方式。 在实践中发现，这两种方式对制绒混合液的浓度和温度均匀性控制效果一般，各 槽体间药液浓度不相同，无法实现对自动补液的良好控制，自动化程度不高。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种提高制绒混合液的浓度和温度均匀 性，改善工艺条件，从而提高电池片的品质晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系 统。 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种晶体硅太阳能电池
片制绒液的自动循环补液系统，包括输液管路、储液箱和反应槽，所述的输液管路与储液箱
相连，储液箱、泵、至少3个反应槽、储液箱依次相连形成循环回路，所述的储液箱依次通过
泵、手动阀门、自动阀门及流量计与反应槽相连，所述的储液箱和反应槽内部都有加热系统
和液位传感器，所述的储液箱通过手动阀门和自动阀门与药液定量箱相连。 所述的输液管路中有自动阀门和流量计，其数目与药液配方中的药液种类相对应。 所述的加热系统包括加热器、温度传感器及温控器，加热器为不锈钢材质，表面经 处理后具有耐腐蚀性。 所述的反应槽材质为不锈钢或PVDF或PP，槽体容积100-120L，槽内药液控制温度 为75-85t:之间一值，槽内加热器功率为4KW，反应槽有低液位，高液位两个液位点。 所述的储液箱材质为不锈钢或PVDF或PP，箱体容积350-500L，箱内药液控制温度 为75-85t:之间一值或高l-2t:，箱内加热器功率为80KW，储液箱有空液位、低液位、工作低 液位、工作高液位、高液位五个液位点。
3[0015] 所述的药液定量箱材质为不锈钢或PVDF或PP，槽体容积45L，箱内药液温度为室 温，定量箱有低液位、工作液位、高液位三个液位点。 所述的泵为大流量耐高温耐腐蚀性电动泵，出口流量及扬程满足每分钟置换至少 3个反应槽内液体至少一次；所述的手动阀门和自动阀门为耐高温耐腐蚀性手动隔膜阀及 自动隔膜阀。 有益效果 —、药液浓度均匀性好本装置中各反应槽药液浓度均相同，晶体硅太阳能电池片 制绒后的一致性好； 二、药液补液浓度变化率低本装置中药液总容积为单个反应槽容积的6-8倍，补 充相同容积的药液时，本装置的浓度变化率为现有补液装置的1/6-1/8 ; 三、药液温度变化率低本装置中药液总容积为反应槽总容积的2-3倍，同一段时 间内产生反应热对药液温度的影响，本装置的温度变化率为现有补液装置的1/2-1/3 ; 四、自动化程度高本装置中加入自动补液功能，自动按需定时定量补充药液，提 高生产效率。
图1为本实用新型的机构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容 之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。 如图1所示，本实用新型装置的系统主要组成部分有反应槽8，储液箱2，药液定 量箱ll，泵5，阀门，加热系统，流量计9，液位计10及管路系统。所述的反应槽8材质为不 锈钢或PVDF或PP，槽体容积100-120L，槽内药液控制温度为75-85°C之间某一点，槽内加 热器功率为4KW，反应槽8有低液位，高液位两个液位点；所述的储液箱2材质与反应槽一 致，箱体容积350-500L，满足同时一次性供给多个反应槽，箱内药液控制温度与反应槽一致 或高1-2°C ，箱内加热器功率为80KW，储液箱2有空液位、低液位、工作低液位、工作高液位、 高液位五个液位点；所述定量箱11材质与反应槽一致，槽体容积45L，满足单次补液最大所 需容量，箱内药液温度为室温，定量箱有低液位、工作液位、高液位三个液位点；所述泵5为 大流量耐高温耐腐蚀性电动泵，出口流量及扬程满足每分钟置换多个反应槽内液体至少一 次；所述阀门为耐高温耐腐蚀性手动隔膜阀及自动隔膜阀；所述加热系统包含加热器、温 度传感器及温控器，加热器为不锈钢材质，表面经特殊处理，具有耐腐蚀性特性，温度传感 器用于检测药液温度，温控器用于控制药液温度，满足控温精度rc ;所述流量计9为检测 管路流量是否满足要求的装置，具有输入输出信号功能；所述液位计10为检测各槽体、箱 体液位是否正常的装置，具有异常报警功能；所述管路系统为满足药液循环、自动补液功能 的管道配置，根据需求不同作相应调整。 系统根据药液配制需要分别从输液管路往储液箱注入一定量的DIW、1#药液、2#
4药液、3#药液…..，然后打开循环管路中各个阀门，启动泵工作，药液由储液箱->泵-> 反应槽- >储液箱，形成循环回路，实现药液配比、混合、供给功能。循环管路中流量计监控 各反应槽流量是否满足要求，确保反应槽药液均匀。正常循环过程时，开启反应槽及储液箱 的加热器，将反应液加热升温，利用温控器控制反应液温度控制在需要的工艺点。当反应槽 内药液消耗后，定量槽内的药液补充至储液槽，药液的补充量相当于槽内该药液损失量，补 液频率按时间或按批次来控制。 本实用新型通过储液箱将各反应槽连接起来，相当于形成一个大容积的反应槽， 从而降低反应消耗及反应发热对药液浓度和药液温度的影响，提高药液的均匀性，并有效 减少了补液时浓度的变化率，使反应一致性更好。
权利要求一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，包括输液管路(1)、储液箱(2)和反应槽(8)，其特征在于所述的输液管路(1)与储液箱(2)相连，储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路，所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀门(6)、自动阀门(7)及流量计(9)与反应槽(8)相连，所述的储液箱(2)、反应槽(8)及药液定量箱(11)内部都有加热系统和液位传感器(10)，所述的储液箱(2)通过手动阀门(6)和自动阀门(7)与药液定量箱(11)相连。
2. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的输液管路(1)中有自动阀门(7)和流量计(9)，其数目与药液配方中的药液 种类相对应。
3. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的加热系统包括加热器(3)、温度传感器(4)及温控器，加热器(3)为不锈钢 材质。
4. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的反应槽(8)材质为不锈钢或PVDF或PP，槽体容积100-120L，槽内药液控制 温度为75-85t:之间一值，槽内加热器功率为4KW，反应槽有低液位，高液位两个液位点。
5. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的储液箱(2)材质为不锈钢或PVDF或PP，箱体容积350-500L，箱内药液控制 温度为75-85t:之间一值或高l-2t:，箱内加热器功率为80KW，储液箱有空液位、低液位、工 作低液位、工作高液位、高液位五个液位点。
6. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的药液定量箱(11)材质为不锈钢或PVDF或PP，槽体容积45L，箱内药液温度 为室温，定量箱有低液位、工作液位、高液位三个液位点。
7. 根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其特 征在于所述的泵(5)为大流量耐高温耐腐蚀性泵，出口流量及扬程满足每分钟置换至少3 个反应槽内液体至少一次；所述的手动阀门和自动阀门为耐高温耐腐蚀性手动隔膜阀及自 动隔膜阀。
专利摘要本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统，其输液管路(1)与储液箱(2)相连，储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路，所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动阀门(6)、自动阀门(7)及流量计(9)与反应槽(8)相连，所述的储液箱(2)和反应槽(8)内部都有加热系统和液位传感器(10)，所述的储液箱(2)通过手动阀门(6)和自动阀门(7)与药液定量箱(11)相连。本实用新型储液箱将各反应槽连接起来，形成一个大容积的反应槽，降低了反应消耗及反应发热对药液浓度和药液温度的影响，提高了药液的均匀性，有效减少了补液时浓度的变化率。
文档编号H01L31/18GK201514952SQ20092021034
公开日2010年6月23日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年9月29日
发明者严俊, 李敏 申请人:上海昕通半导体设备有限公司;上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司