专利名称：一种夹具及带夹具的样品盒的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体行业的测试分析技术领域，尤其涉及一种用于传送透射电 子显微镜(TEM)样品的夹具及带夹具的样品盒。
背景技术：
透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，利用电子透镜聚焦成像的一 种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。由于其具有高分辨成像的能力，因而被广泛地运 用于固体材料的组织结构及晶体缺陷等方面的研究，在半导体集成电路(IC)的失效分析 和工艺监控过程中也有着不可替代的作用。由于透射电子显微镜狭小样品室的限制，制作的透射电子显微镜样品的尺寸自然 也就受到相应限制，一般只能做成直径为3mm，厚度在100 μ m以下的薄片样品。目前，为了降低晶片的报废率，半导体集成电路(IC)行业中的透射电子显微镜样 品通常是在超洁净晶圆代工厂(Fab)中利用聚焦离子束(FIB)来制作的。由于所制作的样 品的尺寸很小(0. Iym厚)，通常在样品制作完成后用钨将其焊接在一个载体上，该载体的 形状为栅状，可同时承载三个样品，如图IA及图IB所示，其中样品即焊接在载体的任一个 栅上(图IA及图IB中用圆圈标示的部位)。由于透射电子显微镜样品是在超洁净晶圆代工厂中制作的，需把焊接有样品的载 体放在培养皿中送到失效分析实验室才能拍摄透射电子显微镜影像。但是在传送过程中， 载体本身在培养皿中的滑动，可能造成样品的脱落，并且实验室人员用镊子夹取载体的时 候，由于载体本身平躺在培养皿中，导致操作十分不便，容易触碰到样品而使样品折损。因 此，目前透射电子显微镜样品的报废率很高，达到15 20%，严重浪费了相关的资源和人 力。为了解决这个问题，目前通常是在培养皿中加垫滤纸，以防止样品载体的滑动，但 由于夹取载体时的触碰，样品的报废率依然很高。
实用新型内容本实用新型提供一种夹具及一种带夹具的样品盒，以解决在传送透射电子显微镜 样品的过程中，样品载体在样品盒中的滑动以及夹取样品载体的触碰，导致样品报废率高、 资源和人力浪费严重的问题。为解决上述问题，本实用新型提出一种夹具，所述夹具包括底座和固定在所述底 座上的两个弹簧片。可选的，所述底座为长方体。可选的，所述两弹簧片的形状都是弯折形的。可选的，所述两弹簧片的一端固定在所述底座上，另一端通过两弹簧片自身的弹 力相接触。可选的，所述两弹簧片相接触的部分为一平面。
3[0013]可选的，所述两弹簧片在相接触部分的斜上方形成有两个把手。为解决上述问题，本实用新型还提出一种带夹具的样品盒，所述样品盒包括盒体 和盒盖，所述盒体内设置有上述的夹具。可选的，所述盒体的底面和盒盖的形状是圆形的。可选的，所述盒体内夹具底座的长度和宽度分别等于所述样品盒底面圆形的内接 矩形的长度和宽度。与现有技术相比，本实用新型所提供的夹具具有两个弹簧片，所述两弹簧片的一 端固定在所述底座上，另一端通过两弹簧片自身的弹力相接触，待固定的样品载体可插置 于两弹簧片相接触的部分之间，所述两弹簧片相接触的部分为一平面，从而减少了对样品 的损坏。与现有技术相比，本实用新型所提供的带夹具的样品盒内设置有上述的夹具。使 用本实用新型所提供的带夹具的样品盒进行透射电子显微镜样品传送的过程中，样品的载 体可竖直固定，可防止载体的移动，方便载体的取出，避免样品的脱落或破损，从而简化了 操作，降低了样品的报废率，节约了生产成本。
图IA 图IB为透射电子显微镜样品载体的示意图；图2A为本实用新型实施例提供的夹具的立体图；图2B为本实用新型实施例提供的夹具的主视图；图3为本实用新型实施例提供的带夹具的样品盒的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的夹具及带夹具的样品盒作进一 步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的 是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实 用新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，提供一种用于固定透射电子显微镜样品载体的夹 具，以减少对样品的触碰，防止样品的折损，方便载体的取出。同时提供一种用于传送透射 电子显微镜样品的带夹具的样品盒，以使在样品传送的过程中，样品的载体可竖直固定，可 防止载体的移动，方便载体的取出，避免样品的脱落或破损，从而简化了操作，降低了样品 的报废率，节约了生产成本。请参考图2A和图2B，其中，图2A为本实用新型实施例提供的夹具的立体图，图2B 为本实用新型实施例提供的夹具的主视图，如图2A至图2B所示，该夹具100包括底座110 和两个弹簧片120，所述两弹簧片120的一端通过两个螺钉固定在所述底座110上，另一端 通过两弹簧片自身的弹力相接触，且所述两弹簧片120相接触的部分为一平面，同时所述 两弹簧片120在相接触部分的斜上方形成两个把手130。待固定的透射电子显微镜样品载 体可插置于两弹簧片相接触的部分之间，通过两弹簧片之间的弹力可把样品载体夹紧，保 持样品载体的竖直固定，从而减少了对样品的损坏。样品载体取放时，可通过所述把手130 拉开两弹簧片，帮助样品载体的左右移动，从而方便样品载体的取放。[0026]在本实用新型的一个具体实施例中，所述两弹簧片120的形状是弯折形的，近似 为两个背靠背的“S”形，从而可以通过调整两弹簧片之间的空间的高度来调整两弹簧片相 接触的平面部分的弹力大小。在本实用新型的一个具体实施例中，所述底座110的底面的形状是长方形。然而 应该认识到，根据实际需要，所述底座110的底面的形状还可以是其它形状，例如正方形。在本实用新型的一个具体实施例中，所述夹具100是描述成用来固定透射电子显 微镜样品载体的，然而应该认识到，所述夹具100还可以用于固定其它小型物品。请继续参考图3，图3为本实用新型实施例提供的带夹具样品盒的俯视图，如图3 所示，该样品盒200包括盒体210、盒盖220和设置在所述盒体内的夹具100。所述盒体的 底面和盒盖的形状是圆形的。所述盒体内夹具底座的长度和宽度分别等于所述样品盒底面 圆形的内接矩形的长度和宽度，从而可防止夹具底座在盒体内的移动。待传送的透射电子 显微镜样品可焊接在样品载体上，继而把样品载体固定于样品盒内的夹具上进行传送。因 此，样品的载体可竖直固定，可防止载体的移动，方便载体的取出，避免样品的脱落或破损， 从而简化了操作，降低了样品的报废率，节约了生产成本。在本实用新型的一个具体实施例中，所述盒体210的底面和盒盖220的形状是圆 形的，然而应该认识到，根据实际需要，所述盒体210的底面和盒盖220的形状还可以是其 它形状。在本实用新型的一个具体实施例中，所述带夹具的样品盒200是描述成用来传送 透射电子显微镜样品的，然而应该认识到，所述样品盒200还可以用于传送其它小型物品。一般的，使用现有的样品盒传送透射电子显微镜样品时，传送十次样品当中，样品 从样品载体上脱落的次数为一次，而使用本实用新型实施例所提供的带夹具的样品盒200 传送透射电子显微镜样品时，传送30次都没有造成样品从样品载体上脱落。可以得知，使 用本实用新型实施例所提供的样品盒200后，极大地降低了样品的报废率，并且样品载体 可保持竖直放置，方便了样品的夹取，简化了操作，节约了资源和人力。综上所述，本实用新型提供了一种夹具，该夹具包括底座以及固定于所述底座上 的两个弹簧片，所述两弹簧片的一端固定在所述底座上，另一端通过两弹簧片自身的弹力 相接触，且所述两弹簧片相接触的部分为一平面，同时所述两弹簧片在相接触部分的斜上 方具有两个把手。使用该夹具固定样品载体的过程中，样品载体可方便取放，从而减少了对 样品的损坏，简化了操作。同时，本实用新型还提供了一种带夹具的样品盒，该样品盒包括盒体、盒盖和设置 在所述盒体内的夹具。使用该样品盒传送透射电子显微镜样品时，样品的载体可竖直固定， 可防止载体的移动，方便载体的取出，避免样品的脱落或破损，从而简化了操作，降低了样 品的报废率，节约了生产成本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种夹具，其特征在于，包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片。
2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述底座为长方体。
3.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述两弹簧片的形状都是弯折形的。
4.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述两弹簧片的一端固定在所述底座上，另 一端通过两弹簧片自身的弹力相接触。
5.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述两弹簧片相接触的部分为一平面。
6.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述两弹簧片在相接触部分的斜上方形成 有两个把手。
7.一种样品盒，其特征在于，包括盒体和盒盖，所述盒体内设置有如权利要求1至6中 任一项所述的夹具。
8.如权利要求7所述的样品盒，其特征在于，所述盒体的底面和盒盖的形状是圆形的。
9.如权利要求8所述的样品盒，其特征在于，所述盒体内夹具底座的长度和宽度分别 等于所述样品盒底面圆形的内接矩形的长度和宽度。
专利摘要本实用新型揭露了一种夹具及带夹具的样品盒，所述夹具包括底座和固定在所述底座上的两个弹簧片，所述带夹具的样品盒包括盒体，盒盖以及设置于所述盒体内的夹具。使用本实用新型所提供的带夹具的样品盒进行透射电子显微镜(transmission electron microscope，TEM)样品传送的过程中，样品的载体可竖直固定在夹具上，可防止载体的移动，方便载体的取出，避免样品的脱落或破损，从而简化了操作，降低了样品的报废率，节约了生产成本。
文档编号H01L21/677GK201623016SQ20092021217
公开日2010年11月3日 申请日期2009年11月10日 优先权日2009年11月10日
发明者何明森, 黄金成 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司