专利名称：一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置的制作方法
技术领域 本实用新型涉及半导体器件生产领域，尤其涉及一种晶元测量中的手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置。
背景技术：
手动探针台经常使用于晶元测量中的电路参数测量和离线打点等场景，发挥着重要的作用。
目前，在应用手动探针台进行参数测量时，晶片的传输是使用皮带来实现的，通常情况下，由于每传输一个晶片的时间都是固定的，并为确保晶片能够传输到位，所以晶片传输到挡板处后，皮带还会再滚动一段时间，此时，皮带与晶片之间的摩擦改变为滑动摩擦，很容易在晶片背面划出皮带痕，影响美观，并且容易对晶片造成后续污染。
实用新型内容本实用新型实施例提供一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，以实现控制皮带以不同速度传输晶片的目的。
一种手动探针台中皮带传输速率调节装置，包括 控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚； 所述输出管脚连接二极管的正极，所述二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，所述第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源； 所述低触发管脚和所述高触发管脚连接所述第二电阻的另一端以及第一电容的一端，所述第一电容的另一端接地； 所述电压控制管脚接地，所述放电管脚连接带动皮带转动并根据输入信号的频率控制转速的电机，所述放电管脚和所述输出管脚的输出波形频率由所述低触发管脚和所述高触发管脚的输入电压控制。
进一步，还包括第二电容，连接在所述控制芯片的电压控制管脚和地之间。
较佳的，还包括整频电路，连接在所述控制芯片的放电管脚和所述电机之间。
进一步，所述控制芯片的复位管脚连接用于控制所述控制芯片工作状态的控制电路的信号输出端。
较佳的，所述第二电阻的阻值为1K欧姆，所述第一电阻的可调范围为0-100K欧姆。
进一步，所述控制芯片为555芯片。
一种手动探针台中的传输系统，包括 皮带，用于传输晶片； 电机，用于根据输入信号的频率控制转速，并带动所述皮带进行传输； 传输速率调节装置，控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；所述输出管脚连接二极管的正极，所述二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，所述第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；所述低触发管脚和所述高触发管脚连接所述第二电阻的另一端以及第一电容的一端，所述第一电容的另一端接地；所述电压控制管脚接地，所述放电管脚连接所述电机，所述放电管脚和所述输出管脚的输出波形频率由所述低触发管脚和所述高触发管脚的输入电压控制。
进一步，所述传输速率调节装置还包括第二电容，连接在所述控制芯片的电压控制管脚和地之间。
进一步，所述传输速率调节装置还包括整频电路，连接在所述控制芯片的放电管脚和所述电机之间。
较佳的，还包括用于控制所述控制芯片工作状态的控制电路，其输出端连接所述控制芯片的复位管脚。
本实用新型实施例提供一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，通过调节可变电阻的阻值，即可调节输入给控制芯片中低触发管脚和高触发管脚的电压，进而调节控制芯片输出的波形的频率，实现调节电机的转速，从而控制皮带以不同的速度传输晶片，进而使传输速度适应所传输的晶片大小和传输距离，减少皮带和晶片间的滑动摩擦。
图1为本实用新型实施例提供的手动探针台中皮带传输速率调节装置电路示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，通过调节与电机串联的电阻阻值，实现调节提供给电机的电压，使得电机的转速适应所传输的晶片，进而减少皮带和晶片间的滑动摩擦。
如图1所示，本实用新型实施例提供的手动探针台中皮带传输速率调节装置，包括控制芯片101、二极管102、第一电容103、第一电阻104和第二电阻105，其中 控制芯片101包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚； 二极管102的正极连接控制芯片101的输出管脚，负极连接第一电阻104一端和第二电阻105的一端； 第一电阻104的另一端连接电源，第二电阻105的另一端连接控制芯片101的低触发管脚、高触发管脚和第一电容103一端，第一电容103的另一端接地； 控制芯片101的电压控制管脚接地，放电管脚连接用于带动皮带的电机； 其中，第一电阻104为可变电阻。
第二电阻105使用1K欧姆的电阻即可，第一电阻104可以采用范围是0-100K欧姆的可变电阻。
控制芯片101可以采用555芯片，也可以采用具有同样功能的其它芯片，555芯片共有8个管脚，第一管脚为接地管脚，在使用该芯片时第一管脚接地，第二管脚为低触发管脚，第三管脚为输出管脚，第四管脚为复位管脚，第五管脚为电压控制管脚，一般直接接地即可，第六管脚为高触发管脚，第七管脚为放电管脚，其输出与第三管脚一致，第八管脚为电源管脚，在使用该芯片时第八管脚连接合适的电源。
控制芯片101的复位管脚在接高电平时正常工作，在接低电平时，输出端输出为低电平，所以在使用控制芯片时，可以将控制芯片的复位管脚接高电平，使得控制芯片一直在工作，也可以将控制芯片的复位管脚连接到控制电路的信号输出端，通过控制电路输出的电平来控制该芯片的工作状态。
当控制芯片101正常工作时，其状态转移表如表1所示 表1 控制芯片的状态转移表 当复位管脚为高电平时，控制芯片101的输出管脚和放电管脚的输出状态受低触发管脚和高触发管脚的输入电平的控制，当低触发管脚和高触发管脚同时输入高电平时，输出管脚和放电管脚输出低电平，当低触发管脚和高触发管脚的输入电平不同时，输出管脚和放电管脚的输出电平不变，当低触发管脚和高触发管脚同时输入低电平时，输出管脚和放电管脚输出高电平。
由于输出管脚连接二极管的正极，所以当输出管脚输出低电平时，二极管导通，图1中A点的电平为低电平，低触发管脚和高触发管脚的输入电平也降低为低电平，此时输出管脚的输出电平变为高电平，二极管断开，A点的电平变为高电平，低触发管脚和高触发管脚的输入电平也升高为高电平，从而使得控制芯片的输出管脚输出低电平，二极管再次导通。如此循环，即可使得电路输出一定频率的矩形波。
由于电路的充放电时间和输入的电压相关，所以当第一电阻104阻值较高时，输入给低触发管脚和高触发管脚的电压就较低，此时，充电时间较慢，形成的矩形波的频率也较低，反之，当第一电阻104阻值较低时，电路所输出的矩形波的频率也较高。
控制皮带转动的电机是根据矩形波的频率来调节转速的，矩形波的频率越大，电机的转速也越大，矩形波的频率越小，电机的转速也越小。这样，只要调节第一电阻104的阻值，就可以实现调节电机的转速。
在传输一种晶片时，由于传输时间是固定不变的，所以通过几次测试即可得出最佳的电机转动速度，使得晶片刚好到达挡板处或者在晶片到达挡板处后再进行很短时间的转动，这样，就减少了皮带与晶片之间滑动摩擦的时间，避免了晶片的磨损。
进一步，电路中还包括第二电容，连接在控制芯片101的电压控制管脚和地之间，以使得控制芯片101工作更加稳定。
进一步，电路中还可以包括一个整频电路，连接在控制芯片101的放电管脚和电机之间，对放电管脚输出的矩形波进行整频。
本实用新型实施例还提供一种手动探针台中的传输系统，系统中包括 皮带，用于传输晶片； 电机，用于根据输入信号的频率控制转速，并带动皮带进行传输； 传输速率调节装置，控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；输出管脚连接二极管的正极，二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；低触发管脚和高触发管脚连接第二电阻的另一端以及第一电容的一端，第一电容的另一端接地；电压控制管脚接地，放电管脚连接电机，放电管脚和输出管脚的输出波形频率由低触发管脚和高触发管脚的输入电压控制。
其中，为使得控制芯片工作更加稳定，传输速率调节装置还包括第二电容，连接在控制芯片的电压控制管脚和地之间。
进一步，传输速率调节装置还包括整频电路，连接在控制芯片的放电管脚和电机之间，对放电管脚输出的矩形波进行整频。
进一步，系统中还包括用于控制控制芯片工作状态的控制电路，其输出端连接控制芯片的复位管脚。
本实用新型实施例提供一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，通过调节输入给控制芯片中低触发管脚和高触发管脚的电压，来调节控制芯片输出的波形的频率，进而实现调节电机的转速，使其适应所传输的晶片，进而减少皮带和晶片间的滑动摩擦。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种手动探针台中皮带传输速率调节装置，其特征在于，包括
控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；
所述输出管脚连接二极管的正极，所述二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，所述第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；
所述低触发管脚和所述高触发管脚连接所述第二电阻的另一端以及第一电容的一端，所述第一电容的另一端接地；
所述电压控制管脚接地，所述放电管脚连接带动皮带转动并根据输入信号的频率控制转速的电机，所述放电管脚和所述输出管脚的输出波形频率由所述低触发管脚和所述高触发管脚的输入电压控制。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括第二电容，连接在所述控制芯片的电压控制管脚和地之间。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括整频电路，连接在所述控制芯片的放电管脚和所述电机之间。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制芯片的复位管脚连接用于控制所述控制芯片工作状态的控制电路的信号输出端。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二电阻的阻值为1K欧姆，所述第一电阻的可调范围为0-100K欧姆。
6.如权利要求1-5所述的装置，其特征在于，所述控制芯片为555芯片。
7.一种手动探针台中的传输系统，其特征在于，包括
皮带，用于传输晶片；
电机，用于根据输入信号的频率控制转速，并带动所述皮带进行传输；
传输速率调节装置，控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；所述输出管脚连接二极管的正极，所述二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，所述第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；所述低触发管脚和所述高触发管脚连接所述第二电阻的另一端以及第一电容的一端，所述第一电容的另一端接地；所述电压控制管脚接地，所述放电管脚连接所述电机，所述放电管脚和所述输出管脚的输出波形频率由所述低触发管脚和所述高触发管脚的输入电压控制。
8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述传输速率调节装置还包括第二电容，连接在所述控制芯片的电压控制管脚和地之间。
9.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述传输速率调节装置还包括整频电路，连接在所述控制芯片的放电管脚和所述电机之间。
10.如权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括用于控制所述控制芯片工作状态的控制电路，其输出端连接所述控制芯片的复位管脚。
专利摘要本实用新型公开了一种手动探针台中的传输系统和皮带传输速率调节装置，涉及半导体器件生成领域，装置包括控制芯片，包括低触发管脚、高触发管脚、电压控制管脚、输出管脚和放电管脚；输出管脚连接二极管的正极，二极管的负极分别连接第一电阻一端和第二电阻的一端，第一电阻为可变电阻，其另一端连接电源；低触发管脚和高触发管脚连接第二电阻的另一端以及第一电容的一端，第一电容的另一端接地；电压控制管脚接地，放电管脚连接带动皮带转动的电机，放电管脚和输出管脚的输出波形频率由低触发管脚和高触发管脚的输入电压控制。通过调节低触发管脚和高触发管脚的输入电压，调节输出波形的频率，实现调节电机的转速，控制皮带以不同速度传输晶片。
文档编号H01L21/66GK201556612SQ20092027788
公开日2010年8月18日 申请日期2009年11月30日 优先权日2009年11月30日
发明者高健, 霍荣标 申请人:北大方正集团有限公司, 深圳方正微电子有限公司