专利名称：供气装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有对流路中流通的气体进行加热的加热器的供气装置。
背景技术：
以往，在半导体制造工序中，使用供气装置向薄膜生成装置、干式蚀刻装置等处理 设备供给处理气体(例如，参考专利文献1)。专利文献1中记载的供气装置包括多列相互 平行设置的供气部。在各供气部中，内部形成有气体流路的多个流路块配置在直线上，且在 流路块上设有分别开闭各流路块的气体流路的开闭阀。专利文献1 日本国专利申请公开公报“特开2003-91322号”专利文献2 日本国专利申请公开公报“特开平7-74113号”
发明内容
然而，根据专利文献1中记载的供气装置，有时会使用在常温下易液化的处理气 体。这种情况下，为了抑制处理气体的液化，如专利文献2中所述，可以考虑采用以下结构 将带状的加热器缠于气体配管的结构、从流路块的长度方向观察两侧面贴有片状的加热器 的结构、和将棒状的加热器埋设于流路块的结构等。但是，由于供气装置的小型化及高度集成化，可能难以确保用于安装上述带状加 热器或片状加热器的空间或者用于将棒状的加热器埋设于流路块所需的空间。本发明是鉴于以上情况而提出的，主要目的在于提供一种具有对流路内流通的气 体进行加热的加热器的、能够实现小型化及高度集成化的供气装置。为了解决上述问题，本发明第1方面提供一种供气装置，包括内部设有流路的多 个流路块、分别改变各流路块的所述流路中流通的气体的流通状态的开闭阀、以及对所述 流路中流通的气体进行加热的加热器，其特征在于，所述各流路块形成为长条状延伸的长 方体状并包括搭载有多个开闭阀的阀搭载面，所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行 直列式排列，所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面彼此相 邻，在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下所述多个流路块形成为一 体。根据上述结构，气体在设置于各流路块内部的流路中流通，这些气体的流通状态 分别通过开闭阀进行改变。此外，通过加热器对流路块的流路中流通的气体进行加热。各流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，多个开闭阀在阀搭载面上沿长度方向 进行直列式排列。并且，所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两 侧面彼此相邻，因此，能够集成多个流路块使得流路块整体呈长方体状。这里，在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下所述多个流路 块形成为一体，因此，可以通过1个加热器的两面加热相邻的2个流路块。因此，不必在相 邻流路块之间分别设置加热各流路块的加热器，能够缩小用于安装加热器的空间。此外，由 于无需在流路块之间设置间隙，所以能够缩小流路块与流路块之间的间隔。其结果，具有对
3流路内流通的气体进行加热的加热器的供气装置能够实现小型化及高度集成化。此外，由于流路块与加热器两侧抵接，所以，较之于流路块与加热器的单侧抵接的 情况，本发明能够有效地将加热器的热量传给流路块。换言之，能够减少从加热器向流路块 以外的部分逃逸的热量。本发明第2方面在于，在本发明第1方面中，所述加热器形成为片状或膜状，其两 面与所述流路块的所述侧面相向并沿所述长度方向延伸，所以，能够减小加热器本身的厚 度并能沿着流路块的侧面配置加热器。因此，能够缩小流路块与流路块之间的间隔，并能够 提高加热器向流路块侧面的热传导效率。进而，在加热器中，和与流路块侧面抵接部分的面 积相比，未与流路块侧面抵接的部分即端面的面积变小，因此能进一步地减少从加热器向 流路块以外的部分逃逸的热量。本发明第3方面在于，在本发明第2方面中，包括在所述加热器被所述多个流路块 的所述相邻侧面挤压的状态下固定所述多个流路块的固定机构，因此，能够抑制在所述流 路块的侧面和加热器之间形成间隙。所以，能够进一步提高加热器向流路块侧面的热传导效率。通常，供气装置中设有向多个流路块的各流路分配供给通用的吹扫气体的配管。因此，本发明第4方面在于，在本发明第3方面中，所述固定机构包括将通用的气 体分配供给给所述多个流路块的各流路的供给部件，因此能够利用分配供给气体的供给部 件来形成固定机构。所以，能够防止供给增加供气装置的组成部件，并提高加热器向流路块 侧面的热传导效率。本发明第5发明在于，在本发明第1或第2方面中，所述多个流路块的所述相邻侧 面设有凹部，所述凹部收纳所述加热器，所述相邻侧面以所述凹部以外的部分抵接。根据上述结构，由于所述多个流路块的所述相邻侧面设有凹部、且所述加热器收 纳于所述凹部，所以能够通过凹部吸收加热器的厚度。因此，能进一步缩小流路块彼此之间 的间隔。此外，由于流路块的相邻侧面以所述凹部以外的部分抵接，所以，无论加热器的配 设情况如何，都能使流路块与流路块的相对位置保持一定。有时人们希望不对并行排列的多个流路块的相邻侧面中的一个侧面加热。因此，本发明第6方面在于，在本发明第1至第5任一方面中，所述多个流路块的所 述相邻侧面中的一个侧面和所述加热器之间设置有隔热部件，所以，能够通过隔热部件减少 加热器向一个侧面传导的热量。因此，能够防止对多个流路块的相邻侧面中的一个侧面加热。本发明第7方面在于，在第1至第6任一方面中，所述开闭阀是电磁阀，所述电磁 阀在其线圈的外周具有壳体，且供气装置具有连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载面 的导热部件，所以电磁阀的线圈产生的热能够通过导热部件传导给流路块。因此，能将电磁 阀产生的热用于气体的加热，所以能够使用发热量小的加热器。特别地，在组合本发明第3方面和第7方面的情况下，固定所述多个流路块的固定 机构兼用作连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载面的导热部件，这样能够防止供气装 置的组成部件的增加，并起到本发明上述两方面的作用。
图1是供气装置的立体图。
图2是在宽度方向上剖切供气单元的截面图。图3是图2中3-3线的截面图。图4是供气装置的仰视图。图5是供气装置的主视图。图6是表示供气装置的变形例的主视图。图7是表示供气装置的另一变形例的立体图。附图标记说明10:供气装置20 流路块20a 作为阀搭载面的顶面20c 侧面31 加热器50:开闭阀
具体实施例方式下面，参照附图对具体表现本发明的一实施方式进行说明。如图1所示，供气装置10包括多个相同结构的供气单元11。供气单元11包括形成为以长条状延伸的长方体状的流路块20、及多个开闭阀 50(50A)。流路块20的顶面20a(阀搭载面)搭载有多个开闭阀50。开闭阀50沿顶面20a 的长度方向直列式排列。开闭阀50呈柱状。流路块20的顶面20a的宽度与同方向上的开 闭阀50的宽度大致相等。多个供气单元11并行排列，使得流路块20中在宽度方向夹持顶面20a的两侧面 20c彼此相邻。即，多个供气单元11中，在流路块20的顶面20a的宽度方向(与长度方向 垂直相交的方向)上，流路块20的侧面20c彼此相向。并行排列的流路块20的相邻的两侧面20c之间设有加热器31。此外，在这些流 路块20中配置在宽度方向的两端的流路块20中，在成为供气装置10的外周面的侧面20c 上设有加热器31。加热器31形成为膜状(例如约0. 3mm的厚度)，且具有挠性。加热器31 在未施加力的状态下保持其形状，具有形状保持性。加热器31沿流路块20的长度方向延 伸。加热器31形成为矩形形状。加热器31的长边的长度(长度方向的长度)设定为比流 路块20的长度方向的长度稍长。加热器31的短边的长度(宽度方向的长度)设为与流路 块20的高度方向的长度(侧面20c的宽度方向的长度)相等。加热器31被设置为能够覆盖侧面20c的整个面。具体地，加热器31的宽度方向的 两端与侧面20c的宽度方向的两端一致。加热器31的长度方向的一端与侧面20c的长度 方向的端部一致，加热器31的长度方向的另一端从侧面20c的长度方向的端部稍微伸出。 因此，加热器31设为大致整个面都沿着侧面20c。加热器31中，从侧面20c伸出的部分连 接有向加热器31供电的配线。加热器31的两面通过所提供的电力发热并对流路块20进 行加热。在流路块20的相邻的两侧面20c之间夹持加热器31的状态下，在流路块20的宽 度方向(顶面20a的宽度方向)上集成多个供气单元11。并且，多个流路块20及多个加热器31整体上呈长方体状。具体地，各流路块20的顶面20a的高度(位置)一致，且各流路 块20的长度方向的端面的位置一致。下面，参照图2、图3，以1个供气单元11的结构为代表对其进行说明。此外，图2 是在宽度方向上剖切供气单元11所获得的截面图。图3表示图2中3-3线的截面图，其中 省略了开闭阀50。流路块20的内部设有沿其长度方向(顶面20a的长度方向)直线状延伸的载气 流路21(主流路)。载气流路21形成为具有大致圆形的流路截面，且其粗细(直径)一定。 具体地，通过用钻孔机等从流路块20的长度方向的端面20d进行加工来形成载气流路21。 此外，其加工孔通过栓27进行关闭。载气流路21中与栓塞27相反一侧的端部连接有载气 的输出端口 29。流路块20的内部设有多个分别与载气流路21连通的处理气体流路22(副流路)。 处理气体流路22(22A)在流路块20的底面20b (副流路开口面)开口。处理气体流路22 在底面20b的宽度方向(图3的左右方向)的中央开口。即，处理气体流路22的开口部以 虚拟平面F为中心均等地配置，其中，虚拟平面F在宽度方向上将流路块20 二等分。在流路块20的顶面20a沿着流路块20的长度方向(顶面20a的长度方向)以 预定间隔设有上述开闭阀50的阀室24。并且，上述各处理气体流路22与各阀室24连通。 即，对每一处理气体流路22设置有开闭阀50。阀室24沿载气流路21的延伸方向以预定间隔进行设置，且设置在流路块20的宽 度方向(流路块20的顶面20a的宽度方向)的中央。阀室24形成为大致圆形的凹部。并 且，为了缩小流路块20的宽度，与流路块20的宽度方向的大致整个长度一致地设置阀室 24。换言之，流路块20的宽度设定为与阀室24的直径大致相等或稍大于阀室24的直径。阀室24的中央设有阀座24a，开闭阀50的阀体51可与该阀座24a抵接或脱离。 阀座24a形成为大致圆环状的突部。阀室24的中央即由阀座24a包围的部分与连接流路 26连通。在流路块20内，连接流路26向远离流路块20的顶面20a的方向延伸并连接上述 载气流路21。即，连接流路26与阀室24和载气流路21连接。因此，上述处理气体流路22 通过阀室24及连接流路26连接载气流路21。为了尽量缩短隔断处理气体后形成死腔(dead space)的连接流路26，将载气流 路21设置在阀室24附近。连接流路26从流路块20的顶面20a垂直地延伸并连接到载气 流路21。具体地，关于顶面20a的宽度方向，连接流路26连接到载气流路21的端部附近。 此外，连接流路26配置于流路块20的宽度方向的中央。因此，流路块20中多个连接流路 26的中心轴线位于虚拟平面F中，该虚拟平面F在宽度方向上将流路块20 二等分。载气流路21被形成为比连接流路26及处理气体流路22粗。因此，即使是载气流 路21在流路块20的长度方向上直线状延伸的结构，也能较为容易地进行加工。开闭阀50是电磁驱动式阀，通过对线圈52的通电控制来往复驱动阀体51。并且， 通过使阀体51抵接或脱离设于阀室24的阀座24a，能够阻断或连通阀室24和连接流路26。 流路块20的长度方向上，设在与输出端口 29相反一侧的端部上的开闭阀50A用于改变载 气的流通状态。即，在多个处理气体流路22中，在流路块20的长度方向上在与载气(吹扫 气体)的输出端口 29相反一侧的端部上设置的处理气体流路22A被用作载气的流路。其 他开闭阀50用于改变各处理气体的流通状态。
这里，载气流路21设置在关于流路块20的宽度方向从阀室24的中央偏向一侧的 部分、即，偏离虚拟平面F的部分处。即，载气流路21的中心轴线偏离虚拟平面F，载气流路 21偏离流路块20的宽度方向的中央。换言之，在流路块20中，载气流路21设置得靠近从 宽度方向夹持顶面20a的两侧面20c中的一个侧面。因此，在流路块20中，能够在与设有 载气流路21的部分相反侧的部分确保用于配设其他流路的体积(空间)。此外，载气流路 21在能够与从阀室24的中央垂直于顶面20a延伸的连接流路26连接的范围内，关于流路 块20的宽度方向从阀室24的中央偏向一侧。此外，载气流路21的流路截面积(直径)设 为能够在供气单元11中使所需量的载气流通。并且，处理气体流路22从下述部分中通过，即通过设置载气流路21使其偏离虚 拟平面F而在相反一侧所确保的部分。在流路块20中，处理气体流路22在从虚拟平面F 偏向与载气流路21相反一侧的部分中通过后连接到上述阀室24。因此，无需在侧面20c设 置处理气体的输入端口，该侧面20c与设置开闭阀50 (阀室24)的顶面20a垂直。处理气体流路22包括相对于流路块20的顶面20a垂直延伸的垂直部分22b。并 且，该垂直部分22b通过载气流路21的旁侧。因此，流路块20内，能够设置垂直部分22b使 得载气流路21和侧面20c之间的间隔保持一定。在处理气体流路22中，通过载气流路21 旁侧的垂直部分22b比其他部分即倾斜部分22a细。通过这些结构，即使在流路块20的宽 度受限制的情况下，也易于在流路块20内设置处理气体流路22 (垂直部分22b)使其不干 扰载气流路21。此外，处理气体流路22的开口形成在流路块20的底面20b的宽度方向的 中央，且弯曲以避开载气流路21并连接到阀室24。下面，参照附图4、5对供给块41的结构进行说明，该供给块41向供给各供气单元 11的载气流路21 (处理气体流路22A)将分配供给载气供给。此外，图4是供给供气装置 10的仰视图，图5是供气装置10的主视图。从供气装置10的宽度方向(流路块20的宽度方向)观察，所有流路块20的处理 气体流路22A的开口部都排列在直线上。在并行排列的流路块20的底面20b，在排列在直 线上的处理气体流路22A的开口部设有供给块41 (供给部件)。供给块41包括内部设有 载气的导入流路42 (图5中用虚线示意性地表示)的流路部41a、及设有贯通孔的安装部 41b。流路部41a形成为长方体形状，且以从流路部41a的两侧面伸出的方式设置长方体形 状的安装部41b。2个安装部41b分别沿着流路部41a的侧面延伸。并且，供给块41的安 装部41b通过螺栓43固定到流路块20。流路部41a安装有载气的输入端口 28。输入端口 28安装在流路部41a的长度方 向的端面上。在流路部41a内部的导入流路42中，其上游侧的端部连通到输入端口 28。导 入流路42从其与输入端口 28连通的连通部向下游侧延伸并分岔为多个。导入流路42下 游侧的各端部在流路部41a中在流路块20的底面20b侧的面上开口。在该各开口部，导入 流路42下游侧的各端部连接到在各流路块20的底面20b开口的处理气体流路22k。导入 流路42下游侧的各端部与各处理气体流路22A之间的连接部通过密封部件密封。此外，从 输入端口 28向所有流路块20的各处理气体流路22A分配供给通用的吹扫气体。这里，并行排列的供气单元11相互固定，且整体上形成为一体。具体地，并行排列 的流路块20通过托架46和上述供给块41进行固定。在各流路块20的底面20b，沿着长度方向以预定间隔设有螺孔47。螺孔47设置在各流路块20的底面20b的宽度方向的中央。托架46形成为长条状，具体呈大致为矩形的板状。托架46的长度方向的长度设 为大致等于供气装置10具有的多个流路块20以及介于流路块20之间的加热器31的宽度 (厚度)总和。这里，托架46的长度方向的长度设为大致等于4个流路块20的宽度与3个 加热器31的厚度相加之和。此外，在加热器31的厚度较之于流路块20的宽度可以忽略不 计的情况下，也可以只考虑流路块20的宽度。对托架46进行设置使其长度方向与供气装置10的宽度方向(流路块20的宽度方 向)一致，并越过多个流路块20的底面20b。托架46配置于流路块20的长度方向的端部 设有上述螺孔47的位置上。在流路块20的底面20b，对每一处理气体流路22设有连接部 件。在上述端部以外的螺孔47处，通过螺栓将连接部件固定到流路块20。该连接部件设有 从其底面贯通到顶面的直线形的导入流路。这些导入流路及处理气体流路22的连接部通 过密封垫密封。在托架46的与螺孔47对应的位置处设有贯通孔。在托架46的长度方向 的两端部设有缺口 46a以代替贯通孔。这些贯通孔及缺口 46a形成得比螺孔47大。因此， 在将螺栓43插入到这些贯通孔及缺口 46a中并将螺栓43临时紧固到螺孔47的状态下，能 够使流路块20和托架46进行相对移动。将上述供给块41的长度方向的长度(流路部41a及安装部41b的长度方向的长 度)设为与托架46相同的长度。对供给块41进行配置使供给块41的长度方向与供气装 置10的宽度方向一致，并越过多个流路块20的底面20b。对供给块41进行配置使得在流 路块20的长度方向上安装部41b的位置与螺孔47的位置一致。在安装部41b的与螺孔47 对应的位置设有贯通孔。这些贯通孔形成得比螺孔47大。具体地，这些贯通孔被形成为直 径大于螺孔47的直径的圆孔，或宽度方向的长度与螺孔47的直径相等且长度方向的长度 大于螺孔47的直径的长孔。因此，在将螺栓43插入到这些贯通孔中并将螺栓43临时紧固 到螺孔47的状态下，能够使流路块20和供给块41进行相对移动。此外，在螺栓43被临时紧固的状态下，从宽度方向挤压供气装置10，S卩，进行挤压 以使多个流路块20之间的间隙缩小，之后拧紧螺栓43。具体地，托架46及供给块41的安 装部41b通过螺栓43紧固到流路块20。通过流路块20、托架46和螺栓43之间的摩擦力、 及流路块20、供给块41和螺栓43之间的摩擦力，可使这些部件的相对位置保持不变。因 此，在通过流路块20的相邻侧面20c挤压加热器31的状态下，多个流路块20被固定。由 流路块20的相邻侧面20c夹持的加热器31成为沿着侧面20c进行配置的状态，能够抑制 侧面20c和加热器31之间形成空隙。此外，通过设置于流路块20的螺孔47、托架46及螺 栓43形成固定机构。此外，通过设于流路块20的螺孔47、供给块41及螺栓43形成固定机 构。除了在流路块20的长度方向上从流路块20伸出的部分以外，加热器31的两面都 处于与流路块20的侧面20c抵接的状态。即，除了该伸出的部分以外，加热器31中没有与 流路块20的侧面20c抵接的部分仅为端面(外周面)。并且，由于加热器31形成为膜状， 所以较之于与流路块20的侧面20c抵接的部分的面积，该端面的面积非常小。此外，在供气装置10的外周面即流路块20的侧面20c上设置的加热器31，即，在 供气装置10的宽度方向的两端配置的加热器31，通过粘合剂粘接到流路块20的侧面20c 上。
在上述结构的供气装置10中，从输入端口 28供给载气(吹扫气体)。通过供给块 41向各供气单元11的载气流路21 (处理气体流路22A)被分配供给载气。并且，通过与该 处理气体流路22A对应的开闭阀50A可使载气阻断或流通。在各供气单元11中，各处理气 体被供给到各处理气体流路22，且通过各自对应的开闭阀50阻断或流通各处理气体。这 里，在各供气单元11的载气流路21及处理气体流路22中流通的气体通过加热器31加热。 因此，能够防止处理气体液化。以上详述的本实施方式具有以下优点。气体在设置于各流路块20内部的载气流路21及处理气体流路22中流通，通过开 闭阀50分别改变上述气体的流通状态。并且，通过加热器31对流通于流路块20的载气流 路21及处理气体流路22的气体进行加热。各流路块20形成为呈长条状延伸的长方体状，多个开闭阀50在顶面20a上沿长 度方向进行直列式配置。并且，多个流路块20并行排列使得在宽度方向夹持顶面20a的两 侧面20c彼此相邻，从而集成多个流路块20使得流路块整体呈长方体状。这里，在流路块20的侧面20c未形成有载气流路21及处理气体流路22的开口， 各供气单元11中，各流路块20的气体流路21、22是相互独立的。并且，在多个流路块20 的相邻侧面20c夹持加热器31的状态下，多个流路块20形成为一体，因此，可以通过1个 加热器31的两面对相邻个2个流路块20加热。因此，无需在相邻流路块20之间分别设置 加热各流路块20的加热器，能够缩小用于安装加热器31的空间。并且，由于无需在流路块 20之间设定间隙，所以流路块20与流路块20之间的间隙可被缩小。所以，供气装置10能 够实现小型化和高度集成化。此外，加热器31的两面通过供给的电力发热并对流路块20进行加热。并且，加热 器31的两面与流路块20的侧面20c抵接，所以，较之于加热器31的单面与流路块20的侧 面20c抵接的情况，能够有效地将加热器31的热量向流路块20传递。换言之，能够减少从 加热器31向流路块20以外的部分逃逸的热量。加热器31形成为膜状，其两面与流路块20的侧面20c相向并沿着流路块20的长 度方向延伸。因此，加热器31本身的厚度减小且能够沿着流路块20的侧面20c配置加热 器。因此，可以减小流路块20彼此之间的间隔，还能提高从加热器31向流路块20的侧面 20c的热传导率。并且，在加热器31中，较之于与流路块20的侧面20c抵接的部分的面积， 未与流路块20的侧面20c抵接的部分即端面(外周面)的面积变小。因此，能够进一步减 少从加热器31向流路块20以外的部分逃逸的热量。在加热器31由多个流路块20的相邻侧面20c挤压的状态下，多个流路块20被固 定，从而能够抑制在流路块20的侧面20c和加热器31之间形成间隙。因此，可以进一步提 高从加热器31向流路块20的侧面20c的热传导率。由于固定多个流路块20的固定机构包括供给块41，所以能够利用供给载气的供 给块41来形成固定机构，其中，供给块41向多个流路块20的各载气通路21分配供给通用 的载气。因此，能够抑制供气装置10的结构部件的增加，且能够提高从加热器31向流路块 20的侧面20c的热传导率。从载气流路21到加热器31的距离缩短，且从处理气体流路22到加热器31的距 离也缩短，其中，载气流路21配置在偏离虚拟平面F的部分处，处理气体流路22在从虚拟平面F偏向与载气流路21相反一侧的部分中通过。因此，能够有效地对流通于载气流路21 及处理气体流路22的气体进行加热。本发明不限于上述实施方式，例如还可如下进行实施。开闭阀50不限于电磁驱动式阀，还可采用气动式或压电式的阀。供气装置10可以包括2个供气单元11，也可以具备5个以上供气单元11。总之， 供气装置10包括将加热器31夹于其间的至少2个流路块20即可。也可以借助于内部形成有流路的连接部件将开闭阀50搭载于流路块20的顶面 20a (阀搭载面)。流路块20也可以是下述结构，即分割后的流路块形成为一体且形成为呈长条状 延伸的长方体状。根据这种结构，可以灵活应对所采用的处理气体的数量(开闭阀50的数 量)的变化等。也可以构成为流路块20的侧面20c设置有沿长度方向延伸的凹部，将加热器收 纳于该凹部。图6是供气装置110的正面图，供气装置110包括按照上述方式对流路块20 进行变形后所得到的流路块120。此外，图6中省略了供给块41等。在供气装置110中，在 多个流路块120的相邻侧面120c分别设有与长度方向的总长度一致的槽121 (凹部)。矩 形板状的加热器131的大致一半厚度被收纳在各槽121中。因此，加热器131的厚度可以 通过槽121吸收，从而缩小流路块120彼此的间隙。加热器131的两面能发热，且其两面分 别与槽121抵接。并且，由于加热器131的大致一半厚度被收纳于各槽121中，因此，可以 减小槽121的深度。其结果，易于在流路块20内设置载气流路21和处理气体流路22。此 外，相邻的侧面120c以槽121以外的部分抵接。因此，无论加热器131在槽121内的配置 情况如何，都能使流路块120彼此的相对位置保持一定。这种情况下，加热器131的片厚要 大于上述实施方式的加热器31的片厚。此外，如图6所示，在配置于供气装置110的宽度方向的端部(图3中左侧的端 部)的流路块120以及与其相邻的流路块120中，在相邻的侧面120c中的一个侧面120c 与加热器131之间设有薄片状的隔热部件32。优选的是隔热部件32较之于加热器131可 形成为足够小的厚度，且隔热部件32和/或加热器131在厚度方向上具有弹性力。隔热部 件32沿着加热器131的延伸方向延伸以覆盖加热器131。因此，能够通过隔热部件减少从 加热器131传导给侧面120c的热量。所以其结果，能够抑制对多个流路块120的相邻侧面 120c中的一个侧面120c加热。隔热部件32收纳于流路块120的槽121中。此外，也可以 构成为在上述实施方式的流路块20中，在未设槽的侧面20c上设置隔热部件32。也可以如图7所示具有连接开闭阀50 (电磁阀)的壳体50c和流路块20的顶面 20a的金属配件60 (导热部件)。在开闭阀50中，壳体50c设置于线圈52的外周。金属 配件60包括壳体抵接部60b和流路块抵接部60a，壳体抵接部60b分别与多个沿供气装置 210的宽度方向并行排列的开闭阀50的壳体50c抵接，流路块抵接部60a分别与沿供气装 置210的宽度方向并行排列的流路块20的顶面20a抵接。壳体抵接部60b和流路块抵接 部60a分别形成为片状。壳体抵接部60b和流路块抵接部60a通过弯折片状的部件来成形。 开闭阀50因驱动而发热，例如能够升温至比气体的目标温度50 60°C高的60 70°C。并 且，开闭阀50的线圈52产生的热可以通过金属配件60传导给流路块20。其结果，可以将 开闭阀50产生的热用于气体的加热，所以能够使用发热量小的加热器。
此外，金属配件60包括在宽度方向夹持供气装置210的多个流路块20的夹持部 60c。夹持部60c设置在流路块抵接部60a的两端部。并且，夹持部60c在加热器31被多 个流路块20的相邻侧面20c挤压的状态下固定多个流路块20。即，金属配件60兼用做连 接开闭阀50的壳体50c和流路块20的顶面20a的导热部件、以及固定多个流路块20的固 定机构。因此，能够抑制供气装置210的结构部件的增加，并能够起到导热部件和固定机构 的作用。此外，金属配件60可以省略壳体抵接部60b而只作为固定机构，也可以省略夹持 部60c而只作为导热部件。还可以省略固定多个流路块20的托架46、金属配件60，通过粘合剂等粘接多个流 路块20和加热器31。此外，还可以省略供给块41中固定多个流路块20的固定机构，其中， 供给块41向多个流路块20的各载气流路21分配供给通用的载气。图1至图4中，还可以通过连接多个供气单元11的输出端口 29来组合多个供气 单元11并对气体的种类、流量进行控制。
权利要求
供气装置，包括多个内部设有流路的流路块、对各流路块的所述流路中流通的气体的流通状态分别进行改变的开闭阀、以及对所述流路中流通的气体进行加热的加热器，其特征在于，所述各流路块形成为呈长条状延伸的长方体状，包括搭载有多个所述开闭阀的阀搭载面；所述开闭阀沿所述阀搭载面的长度方向进行直列式配置；所述多个流路块并行排列使得在宽度方向夹持所述阀搭载面的两侧面彼此相邻；在所述多个流路块的所述相邻侧面夹持所述加热器的状态下，所述多个流路块形成为一体。
2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述加热器形成为片状或膜状，其两 面与所述流路块的所述侧面相向并沿所述长度方向延伸。
3.根据权利要求1或2所述的供气装置，其特征在于，包括固定机构，所述固定机构在 所述加热器被所述多个流路块的所述相邻侧面挤压的状态下固定所述多个流路块。
4.根据权利要求3所述的供气装置，其特征在于，所述固定机构包括供给部件，所述供 给部件向所述多个流路块的各流路分配供给通用的气体。
5.根据权利要求1或2所述的供气装置，其特征在于，所述多个流路块的所述相邻侧面 设有凹部，所述凹部收纳所述加热器，并且，所述相邻侧面以所述凹部以外的部分抵接。
6.根据权利要求1至5的任一项所述的供气装置，其特征在于，所述多个流路块的所述 相邻侧面中的一个侧面和所述加热器之间设有隔热部件。
7.根据权利要求1至6的任一项所述的供气装置，其特征在于，所述开闭阀是电磁阀， 所述电磁阀在其线圈的外周具有壳体；所述供气装置包括导热部件，所述导热部件连接所述电磁阀的所述壳体和所述阀搭载
全文摘要
本发明提供一种包括加热器的供气装置，能实现其小型化及高度集成化，所述加热器对流通于流路内的气体加热。供气装置(10)中，各流路块(20)形成为长条状延伸的长方体状并包括搭载有多个开闭阀(50)的顶面(20a)。开闭阀(50)沿顶面(20a)的长度方向直列式排列。多个流路块(20)并行排列使得在宽度方向夹持顶面(20a)的两侧面(20c)彼此相邻。在多个流路块(20)的相邻侧面(20c)夹持加热器(31)的状态下，多个流路块(20)形成为一体。加热器(31)形成为膜状，其两面与流路块(20)的侧面(20c)相向且沿着流路块(20)的长度方向延伸。
文档编号H01L21/00GK101937833SQ201010211469
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月23日 优先权日2009年6月30日
发明者三轮敏一, 加藤启介, 西田成伸 申请人:Ckd株式会社