专利名称：带有阀盖的活板输送阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的活板输送阀(flap transfer valve)，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基 板工艺处理室中。
背景技术：
由EP 0554522已知一种这样的活板输送阀。各种真空阀特别地用在集成电路和半导体制造领域中，集成电路和半导体制造必 须尽可能地在没有污染颗粒的受保护环境中进行。例如，在制造半导体晶片或液晶基板的 制造设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个处理室，其中位于处理室内 的半导体元件各自通过处理装置来处理。在处理室内的加工处理期间以及从一个处理室至 另一个处理室的输送期间，高度敏感的半导体元件必须总是处于受保护环境中，特别是处 于没有空气和微粒的环境中，或者处于阻气环境中。作为实施例，处理室经由输送管道相互连接。这些处理室可借由真空输送阀开启， 以便将零件从一个处理室输送至下一个处理室，并能以气密方式关闭，以便执行相应的制 造工序。此外，使用移动的输送室，其与处理室对接并可在处理室之间在阻气环境下输送半 导体元件。从现有技术例如US 5，275，303,WO 00/45422,US 5，076，205 或 US 5，292，393，已
知用于制造半导体元件尤其是半导体晶片的多室系统，其中多个处理室绕中心输送室设置 成星形形式。中心输送室经由管道连接至第二输送室，更多处理室绕第二输送室设置为星 形形式，使得可借由多个这种处理岛来产生结合在一起的大型半导体制造系统。半导体元 件借由设置在输送室内的操纵系统从一个处理室经由输送室进入下一个处理室。此外，由现有技术已知真空室系统，其处理室成行设置并具有能以真空密闭方式 关闭并面向相同方向的开口。可与处理室线平行地线性移动的输送室能够与各个处理室对 接，并用于将部件从一个处理室输送至下一个处理室。为此，抽空的输送室以真空密闭方式 借由其输送室开口与处理室开口对接。在例如US-2007-0186851-A1 (Geiser)中以概述形 式描述了这种系统。此外，可将处理室顺序设置在处理室联合系统中，这种系统在相邻的处理室之间 具有连接开口，该连接开口可借由输送阀以气密方式关闭。在此情况下，每个处理室具有至 少两个开口，每一个处理室的出口均为处理室链中的下一个处理室的入口。在每两个处理 室之间以及处理室链的开端和末端均定位有输送阀，这些输送阀均具有两个阀开口，这些 阀开口可以在其阀壳体内以气密方式相互分离。所述真空室系统用于半导体和基板制造的不同领域，并已用于小型至中型半导体 部件和基板部件的制造和处理。但是，新技术领域需要更大的集成半导体部件和基板，从而 迫使购买新的制造系统。这种背景下的例子是太阳能板或荧屏面板，特别是等离子和IXD 面板，其宽度超过一米。要求使用具有相应大尺寸的处理室和输送阀来加工这种大型的半导体部件、液晶基板或其它基板。通常并且就材料科学而言，基板是指待处理的材料，特别是对基板的表面进行细 化或涂敷。这可以是半导体技术领域的晶片、印刷电路板的基材或一些其它材料，特别是 板形或带形材料，这些材料借由必须在真空或处理气体环境中进行的涂敷、细化或处理工 艺而适当地处理。术语“基板”也表示待涂敷的玻璃板，例如厚度从小于0. 5毫米至大于5 毫米的平板荧屏或太阳能板，或厚度从小于0. 05毫米至大于0. 2毫米的不锈钢箔或不锈钢带。例如用于开启和关闭处理室的这种输送阀因此根据不同的工艺以超大尺寸、长的 密封长度和某些情况下具有宽度超过1000毫米的超大开口横截面为特色。特别地，开口 横截面是细长的并且是狭缝形的，开口的宽度大大超过其高度。由于所述应用领域以及与 此相关的尺寸，这些阀被称为输送阀，且由于它们的矩形的开口横截面，它们还被称为矩形 阀，而根据它们的操作方法，还被称为滑动阀、矩形滑动阀、输送滑动阀、活板阀、活板输送 阀或旋转闸。在US 6，416，037 (Geiser)或 US 6，056，266 (Blecha)中描述了具有小尺寸并且为 真空滑动阀或滑动阀形式的输送阀(还被称为阀滑片或矩形滑片)。在现有技术中，关闭和 开启通常分两个步骤进行。在第一步骤中，阀关闭装置(特别是关闭板)在开口上大致平 行于阀座线性移动，在该过程期间阀关闭装置和阀壳体的阀座之间不发生任何接触。在第 二步骤中，阀关闭装置的关闭面压靠在阀壳体的阀座上，因此以气密方式关闭开口。例如可 借由设置在阀关闭装置的关闭面上并被压靠在包围开口的阀座上的密封环来实现密封，或 借由位于阀座上的密封环来实现密封，该密封环压靠阀关闭装置的关闭面。此外，已知相对较小的滑动阀，其中关闭和密封过程经由单个线性运动进行。 这种阀例如是来自瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG公司的输送阀，其产品名为 "M0N0VAT系列02和03”，并且为矩形插入阀的形式。这种阀的设计和操作方法在例如US 4, 809, 950 (Geiser)和 US 4, 881, 717 (Geiser)中进行了描述。这种驱动机构技术已被现有技术公开，但其仅适于限定范围，用于超大开口横截 面，特别是细长的狭缝形的开口横截面。由于大开口横截面所导致的长的密封长度，对于密封件、阀关闭装置的引导以及 驱动装置的要求是极严苛的。现有技术已知多种密封装置，例如来自US 6，629，682B2 (Duelli)。一种用于密封 环的合适材料例如是已知商标名为Viton 的弹性密封材料。这种长的密封长度以及开口横截面的一种特定要求是即使当压力差特别高时也 会确保整个密封长度上的密封。所使用的密封件的密封性能通常被限制在很窄的范围内。 如果阀关闭装置和阀座之间的距离超过特定的阈值，密封件作用在阀座上的接触力太小， 则不再能确保密封。相反地，如果阀关闭装置和阀座之间的距离太小，密封件作用在阀座上 的接触力因而太大，则密封件受到极大的磨损，并且在某些环境下将破损。为此，即使当压 力差高时，在阀处于关闭状态下也必须在密封件和阀座之间的整个密封长度上始终维持一 定的接触压力。该一定的接触压力被限制在相对窄的范围内。特别是在具有大尺寸的阀的情形下，特别是具有明显不对称的横截面，例如细长 的狭缝形的开口，当压力差相对高时保持恒定的接触压力是有困难的。为了保持恒定的接触压力，某些输送阀具有阀关闭装置、其驱动机构以及其支承的特别坚固的结构，使得即使 在施加由阀关闭装置上的压力差所导致的高作用力时，阀关闭装置也会保持其正常位置， 且不会无意地改变其位置。无弹性并尽可能地坚固的阀关闭装置以及其驱动机构和支承部 件的设最初是显然的。但是，进一步的问题不仅在于阀关闭装置及其外围的可能的弹性性 能。在大尺寸处理室的情况下，室内部和周围区域之间或两室之间的压力差导致整个室壁 变形。设置并结合在室壁上的输送阀同样地要经受这种室壁的变形。由于结合至室壁的阀 座对应于室壁的曲率而变形，尚未变形的阀关闭装置无法确保沿着密封长度上的密封件接 触压力恒定。EP 0554522A2公开了一种旋转闸，其用于将基板导入处理室和/或从一个处理室 移动到相邻的处理室或者从大气区域移入低压室中，特别是公开了一种狭缝形的闸，其用 于连续流真空涂敷装置，带有被保持在固定位置的支承中的活板状阀板，以及可操作地连 接至阀板的两个关闭电机。阀板铰接在插设有两个弹簧条的阀梁上，并且其自身具有两个 相互径向对置的支承轴颈，所述支承轴颈与电机的轴联接从而一起旋转，电机的轴以抗压 方式穿过室壁。这种设置旨在确保可以在阀板的整个长度上产生均勻的关闭力和接触力。 在进行维护和维修时，应该能更换压力级和驱动单元而不出现问题，其中相当笨重的阀单 元保持完全组装在接纳部中。所述旋转间的一个缺点是，如果室壁变形，装置的弹性不足以 确保恒定的接触力。更换笨重的阀单元非常费劲。US 5，275，303公开了一种用于半导体装置的关闭机构。此关闭机构是活板阀形 式，阀板直接安装，使得其可在沿待关闭的开口延伸的壁部分上枢转。换言之，阀板因此设 置成使得其可在形成有待关闭的开口的壁上枢转。枢转机构位于支承座上，该支承座不直 接与壁结合。枢转机构和阀板的维护或更换非常费劲，因为不同部分上的设置不同。此外， 因为关闭板安装在壁上，壁的变形也导致关闭板运动，从而导致关闭板和支承座之间的相 对运动。这加长了枢转机构并改变了关闭板作用在阀座上的接触力。因此存在泄漏或破坏 密封的危险。WO 00/4M22公开了一种可线性移动的输送阀，其具有窄开口和可线性移动的关 闭板，为了进行维修，关闭板可从半导体制造装置的室中线性抽出。借由这种设计成用于具 有窄开口宽度的开口横截面的阀，无法确保在沿着细长的宽开口的阀开口周围的阀座上作 用恒定的垂直接触力。即使在阀座和阀关闭装置不可避免地弹性变形的情况下，例如特别地发生在细长 的特别是狭缝形的开口横截面情形下，沿着输送阀的密封件的密封长度的接触力需要尽可 能恒定，这成为现有技术尚未恰当解决的问题。在阀操作期间以及再次气密地关闭和开启期间，所使用的密封件要经受动态负载 并因此必须经受一定量的机械磨损。因此需要定期更换密封件或整个密封支撑件，特别是 阀关闭装置，特别是当对于阀的密封和无颗粒有严格要求时。一些在处理室内的处理在腐蚀性处理气体环境中进行。一些情况下，特定的处理 导致处理室内部严重污染。这些腐蚀性气体在某些情况下也侵蚀输送阀的阀关闭装置及其 密封件。某些情况下，为了确保气密性和处理环境的纯度，定期维护真空输送阀特别是更换 密封件或整个关闭装置是不可避免的。在多数应用中，输送阀设置在两个处理室之间的狭窄居间空间内。为了维护输送阀，特别是为了更换密封件或关闭板，现有技术已知的具有细长的特别是狭缝形的开口横 截面的输送阀，需要整个阀从处理室脱离。为此，处理室之间的距离必须临时增加，以便允 许接近阀。当装有阀时简单地更换阀关闭装置是不可能的。
发明内容
因此，本发明基于的目的是，设计具有细长的特别是狭缝形的开口的输送阀，使得 其易于维修，容易维护，并且当对阀关闭装置进行维护和维修时可将其更换，而无需将输送 阀从处理室移除。另一目的是该输送阀能够在整个阀关闭装置的整体长度上产生均勻的接 触力和密封力。这些目的是通过独立权利要求的全部特征来实现的。以替代或优选方式改进本发 明的特征记载在从属权利要求中。本发明涉及一种易于维修的活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板 输送到能以气密方式隔离的半导体或基板工艺处理室。换言之，本发明涉及一种输送阀，该 输送阀具有活板驱动机构以开启并气密地关闭半导体或基板工艺处理室的输送开口，该输 送开口设计成用于输送半导体元件或基板。所述活板输送阀具有细长的特别是狭缝形的第一开口，该第一开口沿着第一纵向 轴线延伸并且被第一密封表面以框架的形式包围。细长形和狭缝形意味着特别是矩形的 第一开口的沿着其第一纵向轴线的宽度是与第一纵向轴线成直角的第一开口的高度的至 少三倍，并且特别是四倍、五倍、六倍、八倍、十倍或十二倍。作为例子，第一开口的宽度大于 500毫米，特别是大于800毫米，特定情况下大于1000毫米。第一纵向轴线沿着开口的宽度 延伸并与开口轴线成直角，该开口轴线垂直于开口横截面。为了允许第一开口以气密方式关闭，设置细长的阀关闭梁。该细长的阀关闭梁优 选地具有矩形横截面，该矩形横截面与第一开口的优选矩形横截面相对应并在第一开口周 围重叠，使得阀关闭梁可完全盖住第一开口。第一开口的所述宽度和高度的比因此也适用 于阀关闭梁。该阀关闭梁沿着大致平行于第一纵向轴线的第二纵向轴线延伸。换言之，第 二纵向轴线沿着阀关闭梁的宽度延伸，并且平行于第一纵向轴线。通常，阀关闭梁意味着细 长的阀关闭装置，特别是宽的阀板。阀关闭梁具有正面和背面。第一开口可借由正面关闭。 为此，在正面上设置有用于封闭第一开口的关闭表面，以及与第一密封表面对应并可与之 气密接触的第二密封表面。换言之，与绕第一开口的第一密封表面的气密接触，可通过大致 以直角压在阀关闭梁的第二密封表面上来实现。在一个可能的实施方式中，第一密封表面为绕第一开口的阀座，该阀座尤其是平 坦的。第二密封表面由密封件形成，该密封件例如是弹性的，并设置在阀关闭梁的正面上的 关闭表面上。但是，密封件也可由第一密封表面形成。阀关闭梁可借由枢转支承件而绕枢转轴线在关闭位置和开启位置之间进行枢转， 该枢转轴线大致平行于阀关闭梁的第二纵向轴线并因此也大致平行于第一开口的第一纵 向轴线。在关闭位置处，阀关闭梁的关闭表面覆盖第一开口，并以气密方式关闭第一开口， 第一密封表面和第二密封表面气密地相互接触。换言之，阀关闭梁在关闭位置枢转到第一 开口上，并将第一开口关闭。在开启位置中，阀关闭梁枢转离开第一开口。阀关闭梁因此释放了第一开口。在开启位置中，阀关闭梁优选地完全枢转出开口横截面的投影，从而允许基板和半导体元件 不受阻碍地被输送穿过第一开口。阀关闭梁在开启位置和关闭位置之间的枢转角优选地约 为90度，特别是介于60度与105度之间。通常，枢转支承件在功能上意味着允许阀关闭梁绕枢转轴线枢转的支承件。本发 明的进一步扩展到方面涵盖这样的枢转支承件可借以实现的结构特征。此外，活板输送阀具有轴杆，该轴杆安装成可绕沿轴杆在中心延伸的轴杆轴线进 行旋转。轴杆轴线大致平行于阀关闭梁上的第二纵向轴线，并因此也大致平行于第一开口 的第一纵向轴线。该轴杆操作连接至阀关闭梁，使得轴杆绕轴杆轴线的旋转引起阀关闭梁 绕枢转轴线进行枢转。这种操作连接的本质同样地由本发明的更宽泛的方面所涵盖，并且 将在下文中更详细描述。至少一个驱动机构联接到轴杆以便驱动轴杆绕轴杆轴线进行旋转。由于轴杆操作 连接至阀关闭梁，阀关闭梁通过轴杆的旋转而在开启位置和关闭位置之间运动。作为实施 例，驱动机构可为旋转驱动机构，该旋转驱动机构产生的旋转运动直接或间接引起轴杆的 旋转运动，驱动机构也可为线性驱动机构，特别是借由直接或间接设置在轴杆上的杆件，该 线性驱动机构的轴向运动转化为轴杆的旋转运动。根据本发明，活板输送阀具有气密的阀壳体。如上已详述的第一开口形成在阀壳 体中的第一开口表面上。在一个可能的实施方式中，第一开口与阀壳体中的第二开口相对。这些开口均使 阀壳体内部与阀壳体外部连接，在这种情况下至少第一开口可借由阀关闭梁的关闭来关 闭，从而可阻断阀内部和阀外部之间与此相关的连接。当组装阀时，优选地以气密方式关闭 除了两开口之外的阀壳体，第一个开口可以气密方式关闭，而第二个开口可以开启或者可 另选地同样被关闭。阀壳体的与外侧的第一开口表面相对的外侧面被称为阀壳体的第二开 口表面。在本文中，相对并非必须意味着几何学上的精确相对，而是通常地意味着第一开口 表面和第二开口表面朝向不同的方向。但是，阀壳体也可不具有这种第二开口。在一个可能的变型中，第一开口表面和第二开口表面相互平行，特别是两个开口 的两个开口轴线平行，特别是相互共线。阀关闭梁、枢转支承件和轴杆设置在气密的阀壳体中。在一个细长的侧壁上，阀壳 体具有阀盖，该阀盖以气密方式结合至阀壳体的其余部分并能沿平行于第一开口表面的横 向方向被移除。换言之，阀壳体具有修理开口，该修理开口优选地在与第一开口表面成直角的表 面上，并特别是与第二开口表面成直角的表面上。所述修理开口在阀壳体的细长的表面上 延伸，也就是说大致平行于第一纵向轴线和第二纵向轴线，并大致平行于轴杆轴线。修理开 口因此设置在当阀壳体已被装配至处理室时可接近的表面上。即使阀壳体设置在两个处理 室之间的中间空间中，其中两个开口表面均与处理室相邻且所述两个开口通向处理室，阀 壳体的细长的侧壁仍是可接近的。修理开口借由所述阀盖以气密方式关闭。作为实施例， 阀盖借由螺钉设置在阀壳体上以气密地关闭修理开口，并且可沿着修理开口所面向的上述 横向方向移除。轴杆操作连接至阀关闭梁，使得轴杆绕轴杆轴线的旋转引起阀关闭梁绕枢转轴线 进行枢转，轴杆在阀盖上安装成可以旋转。枢转支承件、轴杆和阀关闭梁设置在阀盖上，使得也可通过沿横向方向分离和移除阀盖而从阀壳体分离轴杆、枢转支承件和阀关闭梁。换 言之，阀关闭梁在阀盖上安装成可枢转，在此情况下，阀关闭梁借以绕枢转轴线枢转的枢转 支承件和允许阀关闭梁枢转的轴杆均结合至阀盖。因此也通过从阀壳体移除阀盖而将阀关闭梁从活板输送阀的其余部分分离。通过 移除阀盖，因此可以维修阀关闭梁，特别是更换其密封件或以新的阀关闭梁来更换整个阀 关闭梁。作为阀盖的部件，对污染特别敏感的枢转支承件也可不费力地在远离处理室的地 点进行维修。这种设置的一个主要优点不仅在于实际上活板输送阀的所有要经受更多磨损 和污染的部件均可通过移除阀盖而被送到远离敏感处理的修理点，还在于通过将分离的修 理盖更换为具有新部件的新的修理盖可容易地更换所有这些部件。在本发明的一个实施方式中，驱动机构设置在阀壳体的与阀盖分离的部分上。为 了使未安装在阀盖上的驱动机构从安装在阀盖上的轴杆分离，可在轴杆和驱动机构之间设 置可沿横向方向拆卸的联轴器。这种联轴器被设计成使得轴杆可从驱动机构分离以便于移 除阀盖。换言之，联轴器形成可沿移除阀盖所沿的横向方向断开的连接。作为实施例，联轴器由轴杆的第一部分和驱动机构的驱动轴杆的第二部分形成， 该第二部分以互锁方式结合至该第一部分。可通过沿横向方向移除阀盖来解除这种互锁， 因此允许轴杆从驱动机构分离。作为实施例，这两部分可由啮合的齿轮形成。在一个具体 实施方式中，轴杆轴线和驱动轴杆的驱动轴杆轴线相互平行或共线，也就是说它们相互重 合。作为实施例，轴杆的第一部分由轴杆的一个端部形成，其中该轴杆的该端部具有第一成 型部，当轴杆处于基本位置时，该第一成型部至少部分地与轴杆轴线成直角并沿横向方向 延伸。驱动轴杆的第二部分由驱动轴杆的一个端部形成，其中驱动轴杆的该端部具有第二 成型部，当轴杆处于基本位置时，该第二成型部至少部分地与驱动轴杆轴线成直角并沿横 向方向延伸。第二成型部与第一成型部相对应，以便形成互锁。作为实施例，轴杆的基本位 置是阀关闭梁处于开启位置时轴杆的位置。特别地，第二成型部呈在驱动轴杆的所述端部 处的槽的形式，而第一成型部呈在轴杆的所述端部处的舌状部的形式。可替代地，第一成型 部呈在轴杆的所述端部处的槽的形式，而第二成型部呈在驱动轴杆的所述端部处的舌状部 的形式。当阀盖装配时，舌状部和槽以互锁的方式相互接合，因此允许扭矩从驱动机构传到 轴杆，并且当轴杆处于基本位置时，两者均沿横向方向延伸，也就是说沿与修理开口的平面 成直角的方向延伸。在本发明的一个实施方式中，驱动轴杆以气密方式穿出阀壳体，驱动机 构设置在阀壳体的外侧并且设置在阀壳体的未结合至阀盖的部分上。可替代地，根据本发明，驱动机构也可结合至阀盖，从而其可与阀盖一起从阀壳体 分离。换言之，驱动机构直接地或间接地安装在阀盖上，并且特别地直接驱动轴杆。这种设 置的一个优点在于也可通过移除阀盖而从阀壳体分离驱动机构，因此如果需要的话允许对 驱动机构进行简单的维修和更换。但是，这种设置的一个缺点在于在多数应用中阀盖是相 对笨重的部件，该阀盖要经受特别是比具有密封件的阀关闭梁少得多的磨损。但是，本实施 方式特别有利的是设置成在执行定期维护并且合适时定期更换驱动机构。根据本发明，有多种可能的方式设计枢转支承件以及轴杆与阀关闭梁之间的操作 连接的形式。在一个可能的简单的实施方式中，阀关闭梁直接设置在轴杆上并通过轴杆进 行枢转。例如，阀关闭梁至少设置在至少一个臂上，所述至少一个臂连接到轴杆以便与轴杆 一起转动。枢转轴线和轴杆轴线由此共线并形成公共轴线。阀关闭梁的功能性枢转支承件由旋转的轴杆以及特别是所述至少一个臂形成。例如从EP 0554522中已知这种传统的枢 转支承件。本发明的一个实施方式包括阀关闭梁的有利的枢转支承件。根据发明的该实施方 式，枢转支承件由至少三个，特别是至少五个，尤其是至少八个支承元件形成。这些支承元 件在阀壳体内沿着轴杆轴线和枢转轴线彼此相距一定距离地分布。这些支承元件优选地均 勻分布，并大致等距离相互隔开。阀关闭梁在支承元件上安装成可绕公共枢转轴线枢转，其中该枢转轴线位于第一 开口侧，特别是靠近第一密封表面的平面，并且尤其是大致位于第一密封表面的平面上。换 言之，阀关闭梁连接至支承元件，从而可枢转，在支承元件上的枢转支承允许阀关闭梁绕枢 转轴线运动。枢转轴线位于第一开口表面侧，在一个具体实施方式
中靠近第一和第二密封 表面的平面的交叉线或位于该交叉线上。轴杆安装在所述支承元件中的至少一些支承元件中。所有支承元件优选地具有供 安装轴杆的径向支承，特别是轴杆穿过支承元件。轴杆轴线在与第一密封表面的平面成直 角的方向上与枢转轴线相距一定距离。换言之，枢转轴线和轴杆轴线没有重合，而是在第一 开口的开口轴线方向上分离，也就是说，在垂直于第一密封表面的平面的方向上分离。特别 地，枢转轴线位于阀壳体的设置有第一开口的一侧上，而轴杆轴线位于阀壳体的特别是设 置有第二开口的相反侧上。每个支承元件均与至少一个第一臂相关联，所述至少一个第一臂在轴杆上设置成 与轴杆一起旋转。特别地，第一臂相互平行地延伸并与轴杆轴线成直角。在它们的自由端 处，每个第一臂均直接地或间接地与阀关闭梁的背面相接合，使得通过轴杆的旋转并因此 通过第一臂绕轴杆轴线的枢转，可向阀关闭梁的背面施加力，以便使阀关闭梁绕枢转轴线 在开启位置与关闭位置之间进行枢转。换言之，轴杆经由第一臂操作连接至阀关闭梁，以便 使阀关闭梁绕枢转轴线枢转，其中借由第一臂在阀关闭梁的背面上施加关闭力。这种设置提供了在阀关闭梁的枢转轴线和轴杆轴线之间的分离以及阀关闭梁和 轴杆二者所用的支承，这在阀的负载能力和密封方面与现有技术相比具有很大的优势。由 于关闭力作用在阀关闭梁的背面而臂被支撑在与枢转轴线相距一定距离的轴杆上，因此与 现有技术的情况相比可沿着阀关闭梁导入显著增大的关闭力。在支承元件相互分离的情况 下，由于轴杆和阀关闭梁均支撑在沿纵向轴线分布的分离的支承元件上，阀关闭梁的接触 力沿着第一纵向轴线分散地分布。例如，如果由于阀关闭梁的弯曲而使得与两侧的支承元 件相比在设置在中央的支承元件上施加更大的力，则中央的支承元件可能响应于该压力而 弹性弯曲，而两侧的支承元件不受此影响。因而，由于阀关闭梁的背面上的第一臂的杠杆效 应，轴杆不经受任何显著的扭矩，而仅仅具有轻微的弯曲量，该弯曲量取决于第一臂相对于 支承元件中的支撑点的位置，轴杆在负载时几乎不使支承元件相互结合。在本发明的一个实施方式中，每个第一臂均与第二臂相关联，该第二臂在阀关闭 梁的背面上安装成能绕平行于枢转轴线的第二臂轴线枢转。第一臂和第二臂在它们的自由 端处相互连接从而绕与第二臂轴线大致平行的第一臂轴线进行铰接。轴杆、第一臂和第二 臂因此形成杆驱动机构，特别是肘节杆或应力杆机构。优选地，第一臂的长度和第二臂的长 度以及公共轴杆轴线、公共第一臂轴线和公共第二臂轴线之间的距离使得在关闭位置中轴 杆轴线、第一臂轴线以及第二臂轴线大致位于公共平面上，并且第一臂和第二臂在死点处大致对齐。该死点对齐意味着当在阀关闭梁上有压力差时在关闭位置中不施加扭矩，因此 在轴杆上没有扭矩。如果第一臂被设置成靠近支承元件，也就是说，在轴杆上在支承元件的 区域内，也可大大避免轴杆弯曲，因此即使在存在超高压力差时，根据本发明的活板输送阀 仍会保持其需要的密封性。但是，可替代地，例如为了故意允许由该轴杆弯曲导致的一定量 的挠曲，也可将每个第一臂在轴杆上设置在两个支承元件的中央。本发明一个实施方式规定阀关闭梁、枢转支承件以及轴杆设置在阀壳体中。第一 开口设置在阀壳体的第一开口表面上。与第一开口相对的第二开口设置在阀壳体的与第一 开口表面相对的第二开口表面上。支承元件在阀壳体的大致成直角在两个开口表面之间延 伸的细长侧壁上延伸。支承元件被安装在可移除的阀盖上，特别是安装在如上所述的可移 除的阀盖上。在本发明的进一步的实施方式中，每个支承元件均在阀壳体内在第一开口表面和 第二开口表面之间延伸。特别地，支承元件均相互平行地对齐。支承元件可分成两个半部 分，具体地说分成面向第一开口表面的半部分，以及背向第一开口表面的半部分，也即面向 第二开口表面的半部分。支承元件在面向第一开口表面的那半部分上固定至阀壳体，而相 反地，在面向第二开口表面的半部分上至少部分地不固定，并可与侧壁成直角地沿着离开 侧壁的方向移动。换言之，支承元件仅仅通过它们的面向第一开口表面的那半部分在垂直 方向上固定至阀壳体，准确地说优选固定在侧壁的面向第一开口表面的那半部分上和/或 固定在阀壳体的第一开口表面上。相反地，支承元件的背向第一开口的半部分不固定，且可 沿着远离侧壁的方向至少部分地运动。枢转轴线穿过支承元件的面向第一开口表面的半部 分。轴杆轴线穿过支承元件的面向第二开口表面的半部分。支承元件的面向第一开口表面 的半部分优选地靠在侧壁上并且在垂直方向上固定到侧壁，而相反地，支承元件的面向第 二开口表面的半部分靠在侧壁上并在远离侧壁的垂直方向上不固定。这种设置使得支承元件结合至阀壳体的与第一开口和第一开口表面相邻的部分， 活板输送阀通过阀壳体的该部分而设置在处理室中。如果大压力差引起阀壳体的位于第一 开口表面上的整个壁沿着阀内部方向弯曲，则阀关闭梁通过利用臂、轴杆和支承元件使其 第一密封表面围绕第一开口而沿该阀关闭梁的整个宽度支撑该整个壁。这种情况下，主要 地经由支承元件的面向第二开口表面的半部分沿着与供支承元件的面向第二开口表面的 半部分靠置的侧壁成直角的方向来提供支撑。在存在相反的压力差从而阀壳体的靠在第一开口表面上的整个壁沿着阀外部方 向弯曲的情况下，当阀关闭梁静止不动时这会导致第一密封表面抬离第二密封表面。但是， 根据本发明，由于支承元件结合至阀壳体的经受弯曲的部分，具体地结合至侧壁的面向第 一开口表面的半部分和/或结合至阀壳体的第一开口表面，但是不与阀壳体的另一半部分 结合，所以绕第一开口的壁的变形也作用在支承元件上。由于支承元件在背向第一开口的 那一面上未固定，所以支承元件可响应于壳体的弯曲而弯曲，并可沿着第一开口的方向翘 起。支承元件因此响应于壳体变形而挠曲，使得阀关闭梁的第二密封面与围绕第一开口的 第一密封面之间沿第一纵向轴线的距离保持恒定。因此这防止了密封表面抬离。由于各个 支承元件相互分离，因此可均勻地补偿壁沿着第一开口的第一纵向轴线的的不均勻弯曲。 因此即使是在超大开口横截面和大纵向长度的情况下，根据本发明的活板输送阀也能以所 需密封经受住高压力差。
在下文中将仅以实施例的方式参照具体实施方式
来详细描述根据本发明的活板 输送阀，在附图中示意性地示出了这些具体实施方式
，详细地说其中图1示出了在带有分离阀盖的情况下根据本发明的活板输送阀的斜视图；图2示出了分离阀盖的斜视图；图3示出了在阀关闭梁的中间位置中，带有装配的阀盖的活板输送阀的部分斜视 图；图4示出了在阀关闭梁的开启位置中，带有装配的阀盖的活板输送阀的侧剖视 图；图5示出了分离阀盖的侧视图；图6示出了在轴杆的端部处以舌状部的形式作为联轴器的元件的第一成型部的 详细斜视图；图7示出了在驱动轴杆的端部处以槽的形式作为联轴器的元件的第二成型部的 详细斜视图；图8a示出了在阀关闭梁的中间位置中，带有装配的阀盖的活板输送阀的侧剖视 图；图8b示出了在阀关闭梁的关闭位置中，带有装配的阀盖的活板输送阀的侧剖视 图；以及图8c示出了在阀关闭梁的关闭位置中，穿过带有装配的阀盖的活板输送阀的支 承元件的侧剖视图。
具体实施例方式图1至8c以不同状态、不同视角以及不同的详细程度示出了根据本发明的活板输 送阀的同一示意性实施方式。因此将一并描述这些附图，并且在一些情况下在前面的附图 中已经说明的附图标记和特征将不再赘述。用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板工艺处理室 的活板输送阀具有气密阀壳体14，气密阀壳体14的形状基本为长方体，该长方体包括四个 细长的矩形和两个实际上方形的小矩形。两个相对的细长侧表面形成阀壳体14的第一开 口表面15和第二开口表面16。在图中下细长表面标注为侧壁18，如图4所示。细长的、狭 缝形的第一开口 1形成在阀壳体14的第一开口表面15上并具有矩形横截面，如在图3和4 中可见。第二开口 17与第一开口 1相对并且位于阀壳体14的第二开口表面16上。两个 开口 1和17具有大致相同的细长的、狭缝形的横截面并在投影图中对齐。换言之，两个开 口 1和17具有公共开口轴线36。第一开口 1沿着第一纵向轴线2延伸并且被框架形式的 第一密封表面3围绕，如图4所示。第一密封表面3在平面观上延伸，并且形成平坦的阀 座，且面向阀的内部。细长的阀关闭梁4设置在阀壳体中，并且沿着大致平行于第一纵向轴线2的第二 纵向轴线5延伸，和其它部件一起如图1和4所示。阀关闭梁4具有与开口 1和17的横截 面大致相对应的横截面，但是阀关闭梁4的横截面稍大一些，因此它能够盖住第一开口 1。
在所示的示意性实施方式中，两个开口 1和17的宽度和阀关闭梁4的宽度比各自 的高度大六倍。因此横截面大致在宽度上(也就是说在长度上)比在高度上延伸更多，因 为这个原因，横截面被称为是细长的。用于关闭第一开口 1的关闭表面8位于阀关闭梁4的正面6上。另外，第二密封 表面9以0型圈的形式设置在关闭表面8上。该0型圈9对应于第一密封表面3，也就是说 它能与第一密封表面3进行气密接触，如图8a所示。阀壳体14的细长的侧壁18由阀盖20形成，该阀盖20以气密方式关闭修理开口 37。阀盖20以气密方式与阀壳体14的其余部分结合，并且能沿横向方向19被移除，该横 向方向19平行于第一开口表面15并且与开口轴线36成直角。以实施例的方式，阀盖20 通过未示出的螺钉连接至阀壳体14的其余部分，通过同样未示出的0型圈密封件来确保修 理开口 37在阀盖20与阀壳体14的其余部分之间以气密方式被关闭。三个支承元件27相互等距地设置在阀盖20上，并且因此设置在侧壁18上。支承 元件27相互平行地对齐，并且每个支承元件在阀壳体14中的第一开口表面15与第二开口 表面16之间大致以直角延伸。支承元件逻辑上由两半部分构成，具体地为面向第一开口表 面15的半部分34以及面向第二开口表面16的半部分35，如图4和8c所示。两个半部分 34和35靠在阀盖20上。支承元件27以面向第一开口表面15的半部分34固定在阀盖20 上。为此，每个支承元件27的面向第一开口表面15的半部分34上的两个螺钉38各自穿 过支承元件27，并且与阀盖20中的螺纹孔39接合。这些螺纹孔39形成在阀盖20的面向 第一开口表面15的半部分上。如此，每个支承元件27沿着垂直方向和横向方向19固定在 阀盖20上，并且不能向上移动。相反地，在面向第二开口表面16的半部分35上，支承元件 27在相对于阀盖20的垂直方向上和远离阀盖20的方向上也即向上方向上并未固定，并且 因此当阀盖20和/或阀壳体的壁弯曲时，支承元件27能在第一开口表面15上移动，如图 8c所示。轴杆11径向地安装，并使得它可在支承元件27中旋转，并可绕轴杆轴线12旋转， 该轴杆轴线12大致平行于阀关闭梁4的第二纵向轴线5，特别地如图1所示。因此轴杆11 在阀盖20上安装成可旋转。阀关闭梁4在支承元件27上安装成可绕公共枢转轴线10枢转，特别地如图4、图 5和图8a至8c所示。枢转轴线10在第一开口 1侧延伸，具体地大致位于第一密封表面3 的平面观上，如图4所示。阀关闭梁4绕大致平行于第二纵向轴线5的枢转轴线10的枢转支承在功能上形 成了枢转支承件，通过该枢转支承件，阀关闭梁4可绕枢转轴线10枢转过约90。的枢转角， 即在图8b和图8c所示的关闭位置C与图4所示的开启位置0之间进行枢转。在图8b和 图8c的关闭位置C中，阀关闭梁4的关闭表面8盖住第一开口 1并将其关闭。在此关闭位 置C中，第一密封表面3和第二密封表面9相互气密接触。在开启位置0中，阀关闭梁4枢 转离开第一开口 1，而释放第一开口 1。轴杆轴线12在与第一密封表面3的平面观成直角的方向距枢转轴线10 —定距 离。枢转轴线10穿过支承元件27的面向第一开口表面15的半部分34，而相反地，轴杆轴 线12穿过支承元件27的面向第二开口表面16的半部分35，如图4所示。第一臂四均在支承元件27的区域内设置在轴杆11上，从而与轴杆11 一起旋转。三个第一臂四都相互平行并且与轴杆轴线12成直角地延伸。第一臂四可通过轴杆11的 旋转而绕轴杆轴线12枢转。每个第一臂四均具有相关联的第二臂30。第二臂30被安装成使得可在阀关闭梁 4的背面7上绕平行于枢转轴线10延伸的第二臂轴线32枢转。相应的第一臂四和第二臂 30在其自由端处以绕第一臂轴线31铰接的方式相互连接，该第一臂轴线31大致平行于第 二臂轴线32。轴杆11、第一臂四和第二臂30因此形成杆驱动机构。相应的第一臂四因 此经由第二臂30与阀关闭梁4的背面7接合，使得通过轴杆11的旋转并因此通过第一臂 29绕轴杆轴线12的枢转，可向阀关闭梁4的背面7施加力，以便使阀关闭梁4绕枢转轴线 10在开启位置0与关闭位置C之间进行枢转。第一臂四和第二臂30的长度，以及公共轴杆轴线12、公共第一臂轴线31和公共 第二臂轴线32之间的距离，使得轴杆轴线12、第一臂轴线31和第二臂轴线32在关闭位置 C中大致位于公共平面33上，如图8b所示，且第一臂四和第二臂30在死点处大致对齐。可绕轴杆轴线12旋转的轴杆11经由臂四和30操作连接至阀关闭梁4，使得轴杆 11绕轴杆轴线12的旋转引起阀关闭梁4绕枢转轴线10枢转。阀关闭梁4、支承元件形式的枢转支承件、臂四和30以及轴杆11设置成在阀壳体 14中位于阀盖20上的单元的形式，使得轴杆11、支承元件27、臂四和30以及阀关闭梁4 可通过沿横向方向19分离和移除阀盖20而作为公共单元与阀壳体14分离。这些元件因 此形成了位于阀盖20上的可与阀壳体14的其余部分分离的公共单元，如图1、图2和图5 所示。因此能够维修这些元件或替换整个单元，如图2和图5所示。为了使轴杆11旋转并使阀关闭梁4在开启位置0和关闭位置C之间运动，在阀壳 体14与阀盖20分离的那一部分上设置呈电动机形式的驱动机构13。联轴器21位于轴杆 11和驱动机构13之间，联轴器21可沿横向方向19拆除并设计成使得轴杆11可与驱动机 构13分离以便移除阀盖20。在图6和7中示出了该联轴器21。联轴器21由轴杆11的第一部分22和驱动机 构13的驱动轴杆M的第二部分23构成，其中第二部分23以互锁方式结合至第一部分22。驱动轴杆M以气密方式穿出阀壳体14并且由驱动机构13来驱动，驱动机构13 安装在阀壳体14的外部，如图7所示。当阀盖20安装在阀壳体14上时，轴杆轴线12和驱 动轴杆M的驱动轴杆轴线25相互共线，并因此形成公共轴线。轴杆11的第一部分由轴杆11的一个端部形成，其中轴杆11的该端部具有第一成 型部22，当轴杆11处于基本位置时，第一成型部22至少部分地与轴杆轴线12成直角并沿 横向方向19延伸。该第一成型部呈在轴杆11的所述端部处的舌状部22的形式，如图6所 示。驱动轴杆M的端部提供驱动轴杆M的第二部分23。驱动轴杆M的该端部具有第二 成型部23，当轴杆11处于基本位置时，该第二成型部至少部分地与驱动轴杆轴线25成直角 并沿横向方向19延伸。第二成型部23对应于第一成型部22，以便产尘互锁，因为第二成型 部为槽23的形式，当阀盖20安装在阀壳体14上时，舌状部22以互锁方式接合到槽23中， 以便将扭矩从驱动机构13传递至轴杆11。此互锁可通过沿横向方向19移除阀盖20而释 放。为此，当轴杆11处于基本位置时，舌状部22和槽23与轴杆轴线12成直角并沿横向方 向19延伸，如图4至7所示。轴杆11的基本位置是阀关闭梁处于开启位置0时的位置，如 图4至7所示。
然而，另选地，驱动机构13也可结合至阀盖20，使得它可与阀盖20 —起与阀壳体 14分离。在此情况下，驱动机构13也是图2和5中所示的单元中的部件，并因此可与阀盖 20 一起与阀壳体14的其余部分分离。在此情况下，不需要联轴器21，轴杆11和驱动轴杆 M可牢固地相互连接，或者可成一体的。图1至8c中所示出和说明的具体实施方式
旨在仅基于示意性的说明作为本发明 的示例性说明。本发明当然不限于这些示例性实施方式以及其特征的组合。
权利要求
1.一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔 离的半导体或基板工艺处理室中，该活板输送阀具有细长的特别是狭缝形的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线(2)延伸并且被第 一密封表面(3)以框架的形式包围；细长的阀关闭梁G)，该阀关闭梁沿着大致平行于所述第一纵向轴线O)的第二纵向 轴线(5)延伸，并且所述阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表 面(8)以及对应于所述第一密封表面( 并且能与所述第一密封表面( 气密地接触的第 二密封表面(9)；枢转支承件，所述阀关闭梁(4)能借由该枢转支承件绕大致平行于所述第二纵向轴线 (5)的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(0)之间特别是以60°至105°的枢转角 进行枢转；在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁(4)的所述关闭表面( 覆盖并关闭所述 第一开口(1)，并且所述第一密封表面C3)与所述第二密封表面(9)形成气密接触；而在所述开启位置(0)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)从而释放所述第一开口 ⑴；轴杆(11)，该轴杆能绕大致平行于所述第二纵向轴线(5)的轴杆轴线(12)旋转，并且 所述轴杆(11)操作连接至所述阀关闭梁G)，使得所述轴杆(11)绕所述轴杆轴线(12)的 旋转致使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转轴线(10)枢转；以及至少一个驱动机构(13)，所述至少一个驱动机构结合至所述轴杆(11)以便使所述轴 杆(11)旋转，从而使所述阀关闭梁⑷在所述开启位置(0)与所述关闭位置(C)之间运 动；所述活板输送阀包括气密的阀壳体(14)，该阀壳体具有位于所述阀壳体(14)的第一开口表面(15)上的所述第一开口(1)；以及 与所述第一开口(1)相对的第二开口(17)，该第二开口位于所述阀壳体(14)的与所述 第一开口表面(15)相对的第二开口表面(16)上； 其中所述阀关闭梁G)、所述枢转支承件和所述轴杆(11)设置在所述阀壳体(14)中； 在细长的侧壁(18)上，所述阀壳体(14)具有阀盖(20)，该阀盖以气密方式结合至所 述阀壳体(14)的其余部分并且能沿与所述第一开口表面(1 平行的横向方向(19)被移 除；所述轴杆(11)在所述阀盖(20)上安装成能旋转；并且所述枢转支承件、所述轴杆(11)和所述阀关闭梁(4)在所述阀盖(20)上布置成通过 沿所述横向方向(19)分离并移除所述阀盖(20)而使所述轴杆(11)、所述枢转支承件和所 述阀关闭梁⑷能从所述阀壳体(14)分离。
2.根据权利要求1所述的活板输送阀，其中所述驱动机构(13)设置在所述阀壳体(14)的与所述阀盖00)分离的部分上；并且 能沿所述横向方向(19)拆除的联轴器设置在所述轴杆(11)与所述驱动机构 (13)之间，并且所述联轴器设计成使得所述轴杆(11)能从所述驱动机构(13)分离以便将 所述阀盖(20)移除。
3.根据权利要求2所述的活板输送阀，其中所述联轴器由所述轴杆(11)的第一部分0 和所述驱动机构(1 的驱动轴杆 (24)的第二部分形成，该第二部分以互锁方式与所述第一部分0 结合，其中 通过沿所述横向方向(19)移除所述阀盖OO)能解除这种互锁。
4.根据权利要求3所述的活板输送阀，其中所述轴杆轴线(1 和所述驱动轴杆04)的驱动轴杆轴线0 相互平行或共线； 所述轴杆(11)的所述第一部分由所述轴杆(11)的一个端部形成，其中所述轴杆(11) 的该端部具有第一成型部0 ，当所述轴杆(11)处于基本位置时，所述第一成型部02)至 少部分地与所述轴杆轴线(12)成直角并沿所述横向方向(19)延伸；并且所述驱动轴杆04)的所述第二部分由所述驱动轴杆04)的一个端部形成，其中所述 驱动轴杆04)的该端部具有第二成型部，当所述轴杆(11)处于所述基本位置时，所述 第二成型部03)至少部分地与所述驱动轴杆轴线05)成直角并沿所述横向方向(19)延 伸，并且所述第二成型部与所述第一成型部0 相对应以便产生所述互锁。
5.根据权利要求4所述的活板输送阀，其中所述第一成型部0 和所述第二成型部 (23)呈在所述轴杆(11)的所述端部处和所述驱动轴杆04)的所述端部处的槽和舌状部的 形式。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的活板输送阀，其中所述驱动轴杆04)以气密方 式穿出所述阀壳体(14)，并且所述驱动机构(1 设置在所述阀壳体(14)的外部。
7.根据权利要求1所述的活板输送阀，其中所述驱动机构(13)结合至所述阀盖(20)， 使得所述驱动机构(1 能与所述阀盖00) —起从所述阀壳体(14)分离。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的活板输送阀，其中所述阀关闭梁(4)设置在至少一个臂上，所述至少一个臂连接至所述轴杆(11)从而与 所述轴杆一起转动；所述枢转轴线(10)和所述轴杆轴线(12)是共线的；并且所述阀关闭梁的所述枢转支承件由能旋转的所述轴杆(11)和所述至少一个臂形成。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的活板输送阀，其中所述枢转支承件由至少三个特别是至少五个支承元件(XT)形成，所述支承元件(XT) 在所述阀壳体(14)中沿着所述轴杆轴线(1 和所述枢转轴线(10)彼此相距一定距离地 分布；所述阀关闭梁(4)在所述支承元件07)上安装成能绕公共的所述枢转轴线(10)枢 转，其中所述枢转轴线(10)位于所述第一开口(1)侧，特别是靠近所述第一密封表面(3) 的平面(观)，特别是大致位于所述第一密封表面(3)的所述平面08)上； 所述轴杆(11)安装在所述支承元件(XT)中的至少一些支承元件上； 所述轴杆轴线(1 在与所述第一密封表面(3)的所述平面08)成直角的方向上与所 述枢转轴线(10)相距一定距离；所述支承元件(XT)均具有至少一个相关联的第一臂( )，所述第一臂09)在所述轴 杆(11)上设置成和所述轴杆(11) 一起旋转；并且各个所述第一臂09)在其自由端处直接地或间接地与所述阀关闭梁的背面(7)接合，从而通过所述轴杆(11)的旋转并因此通过所述第一臂09)绕所述轴杆轴线(12)的 枢转，能向所述阀关闭梁(4)的所述背面(7)施加力，以便使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转 轴线(10)在所述开启位置(0)与所述关闭位置(C)之间枢转。
10.根据权利要求9所述的活板输送阀，其中所述第一臂09)均与第二臂(30)相关联，该第二臂(30)在所述阀关闭梁(4)的所述 背面(7)上安装成能绕与所述枢转轴线(10)平行的第二臂轴线(32)枢转；所述第一臂09)和所述第二臂(30)均在它们的自由端处相互连接，使得所述第一臂 (29)和所述第二臂(30)绕大致平行于所述第二臂轴线(32)的第一臂轴线(31)铰接；并 且所述轴杆(11)、所述第一臂09)和所述第二臂(30)形成杆驱动机构。
11.根据权利要求10所述的活板输送阀，其中所述第一臂09)的长度和所述第二臂(30)的长度以及公共的所述轴杆轴线(12)、公 共的所述第一臂轴线(31)和公共的所述第二臂轴线(32)之间的距离，使得在所述关闭位 置(C)中所述轴杆轴线(12)、所述第一臂轴线(31)和所述第二臂轴线(32)大致位于公共 平面(33)上，并且所述第一臂09)和所述第二臂(30)在死点处大致对齐。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的活板输送阀，其中所述第一臂09)均在所述轴杆(11)上设置在所述支承元件(XT)的区域中。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的活板输送阀，其中所述阀关闭梁G)、所述枢转支承件和所述轴杆(11)设置在阀壳体(14)中；所述第一开口(1)设置在所述阀壳体(14)的第一开口表面(15)上，并且与所述第一 开口(1)相对的第二开口(17)设置在所述阀壳体(14)的与所述第一开口表面(15)相对 的第二开口表面(16)上；所述支承元件(XT)安装在所述阀壳体(14)的细长的侧壁(18)上，特别是安装在可移 除的阀盖OO)上，所述侧壁(18)大致成直角地在所述开口表面(15，16)之间延伸。
14.根据权利要求13所述的活板输送阀，其中所述支承元件(XT)均在所述第一开口表面(15)与所述第二开口表面(16)之间延伸；所述支承元件(XT)在面向所述第一开口表面(1 的半部分(34)上固定至所述阀壳 体(14)，特别是固定在所述侧壁(18)的面向所述第一开口表面(1 的半部分上和/或固 定在所述阀壳体(14)的所述第一开口表面(1 上，并且所述支承元件(XT)在面向所述第 二开口表面(16)的半部分(3 上，特别是在所述侧壁(18)的面向所述第二开口表面(16) 的半部分上至少部分地没有固定并且能与所述侧壁(18)成直角地在离开所述侧壁(18)的 方向上运动；其中，所述枢转轴线(10)穿过所述支承元件(XT)的面向所述第一开口表面(1 的所 述半部分(34)，并且所述轴杆轴线(1 穿过所述支承元件(Xi)的面向所述第二开口表面 (16)的所述半部分(35)。
15.根据权利要求14所述的活板输送阀，其中所述支承元件(XT)的面向所述第一开口表面(1 的所述半部分(34)靠在所述侧壁 (18)上并且在垂直方向上固定至所述侧壁(18)；并且所述支承元件以力的面向所述第二开口表面(16)的所述半部分(3 靠在所述侧壁(18)上并且在远离所述侧壁(18)的垂直方向上没有固定。
全文摘要
本发明涉及一种带有阀盖的活板输送阀。细长的第一开口可借由细长的阀关闭梁来关闭，阀关闭梁可经由枢转支承件绕枢转轴线在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆可借由驱动机构绕轴杆轴线旋转并操作连接至阀关闭梁，使得轴杆的旋转引起阀关闭梁枢转。阀关闭梁、枢转支承件和轴杆在气密的阀壳体中设置在阀盖上，其中轴杆、枢转支承件和阀关闭梁可通过分离和移除阀盖而从阀壳体分离。本发明的一个方面公开了枢转支承件至少由三个支承元件形成，这些支承元件在阀壳体内沿着轴杆轴线彼此相距一定距离地分布，阀关闭梁和轴杆安装在阀壳体上。轴杆轴线与枢转轴线相距一定距离。第一臂设置在轴杆上，借由第一臂可向阀关闭梁的背面施加力，以便枢转阀关闭梁。
文档编号H01L21/683GK102147017SQ20101060940
公开日2011年8月10日 申请日期2010年10月22日 优先权日2009年10月22日
发明者弗里德里克·盖泽 申请人:Vat控股公司