一种硅片倒角承载装置的制作方法

文档序号:6979650阅读:262来源:国知局
专利名称:一种硅片倒角承载装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅片倒角过程中的装置,尤其涉及一种硅片倒角承载装置。
背景技术
在太阳能硅片生产过程中,经线切割后的硅片的边角处常会出现毛刺、崩边,甚至 有小的裂缝或其它缺陷,如果硅片的边角出现上述问题,会使硅片产生一定的内应力,如果 硅片的内应力无法得到释放,硅片就非常容易碎裂或变形,使产品报废,造成较大的损失, 提高了生产成本。为了增加硅片边角处的机械强度,减少残余应力,同时为了避免和减少在后续加 工、运输、检验等工序中产生崩边等问题,就需要对硅片的边角进行倒角处理,倒角后的硅 片由于有了一个比较圆滑平整的边缘,就不易再产生崩角,使后面工序加工的合格率大幅 提尚。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是针对以上不足,提供一种结构简单、使用方便,用 于对硅片进行倒角的硅片倒角承载装置。为了解决以上技术问题,本实用新型采用的技术方案如下一种硅片倒角承载装 置,包括晶舟,其特征是所述硅片倒角承载装置包括定位装置,定位装置设置在晶舟上。作为上述技术方案的进一步改进所述定位装置包括挡块和两个挡板。所述晶舟包括两个支撑板,两个支撑板所在平面夹角为90°。所述两个支撑板之间设有间隙。所述两个支撑板形成夹角为90°的一侧之间设有连接片,连接片设置在两个支撑 板的一端。所述两个支撑板形成夹角为90°的一侧之间设有晶舟固定片,晶舟固定片设置在 两个支撑板的另一端。所述晶舟固定片和连接片之间设有定位片。所述连接片接近间隙处设有圆弧形开口。所述定位片的数量为4个。所述定位片的形状为三角形。本实用新型采取以上技术方案,具有以下优点硅片倒角承载装置包括晶舟和定 位装置,定位装置包括挡块和两个挡板,将晶舟放置在倒角机的晶舟承载盘上,固定时,将 倒角机上的移动轴穿过晶舟的连接片上的圆弧形开口与晶舟固定连接,将挡块放置在晶舟 上,挡块的一侧接触在同一直线上的两个定位片固定,挡块的另一侧设置有两个挡板,两个 挡板之间放置硅片,挡块起固定支撑作用,可以为倒角长度大于规格倒角长度的多晶硅锭,也可以为具有较大体积的长方体,两个挡板起保护和压紧硅片的作用,使硅片在倒角操作 过程中不至于受到损坏,结构简单、使用方便。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

附图1是本实用新型实施例中晶舟的结构示意图;附图2是附图1的左视图;附图3是附图1的右视图;附图4是附图1中A向的结构示意图;附图5是本实用新型实施例中硅片倒角承载装置的使用状态图。图中,1、2_支撑板,3-晶舟固定片,4-连接片,5-定位片,6、11_间隙,7-开口,8-晶舟承 载盘,9-移动轴,10-移动轴座,12-挡块,13、15-挡板,14-硅片。
具体实施方式
实施例,如图1、图2、图3和图5所示,一种硅片倒角承载装置,包括晶舟和定位装 置,定位装置设置在晶舟内。晶舟包括支撑板1和支撑板2,支撑板1和支撑板2所在平面夹角为90°,支撑板 1和支撑板2之间设有间隙6,形成间隙6的支撑板1的一边和支撑板2的一边平行,支撑 板1和支撑板2分别为矩形,支撑板1和支撑板2形成夹角为90°的支撑板1的一侧和支 撑板2的一侧之间分别设有晶舟固定片3、连接片4和4个定位片5,连接片4设置在支撑 板1和支撑板2的一个端部,晶舟固定片3设置在支撑板1和支撑板2的另一个端部,4个 定位片5分别设置在晶舟固定片3和连接片4之间,连接片4接近间隙6处设有圆弧形开 口 7,如图4所示,定位片5的形状为三角形,其中两个定位片5设置在支撑板1上,另外两 个定位片5设置在支撑板2上,设置在支撑板1上的其中一个定位片5与设置在支撑板2 上的其中一个定位片5在同一直线上,设置在支撑板1上的另一个定位片5与设置在支撑 板2上的另一个定位片5在同一直线上,连接片4和与他临近的两个定位片5之间设有间 隙11,间隙11大于间隙6的宽度。定位装置包括挡块12、挡板13和挡板15。使用时,如图5所示,将晶舟放置在倒角机的晶舟承载盘8上,固定时,将倒角机移 动轴座10上的移动轴9穿过晶舟的连接片4上的圆弧形开口 7与晶舟固定连接,将挡块12 放置在晶舟上,挡块12的一侧接触在同一直线上的两个定位片5固定,挡块12的另一侧设 置有挡板13和挡板15,挡板13和挡板15之间设置有硅片14,挡块12起固定支撑作用,可 以为倒角长度大于硅片14要求倒角长度的多晶硅锭,也可以为倒角长度大于硅片14要求 倒角长度的具有较大体积的长方体,挡板13和挡板15起保护和压紧硅片14的作用,使硅 片14在倒角操作过程中不至于受到损坏,结构简单、使用方便。
权利要求1.一种硅片倒角承载装置,包括晶舟,其特征是所述硅片倒角承载装置包括定位装 置,定位装置设置在晶舟上。
2.如权利要求1所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述定位装置包括挡块 (12)和两个挡板(13、15)。
3.如权利要求2所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述晶舟包括两个支撑板 (1、2),两个支撑板(1、2)所在平面夹角为90°。
4.如权利要求3所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述两个支撑板(1、2)之 间设有间隙(6)。
5.如权利要求3或4所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述两个支撑板(1、2) 形成夹角为90°的一侧之间设有连接片(4),连接片(4)设置在两个支撑板(1、2)的一端。
6.如权利要求5所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述两个支撑板(1、2)形 成夹角为90°的一侧之间设有晶舟固定片(3),晶舟固定片(3)设置在两个支撑板(1、2)的另一端。
7.如权利要求6所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述晶舟固定片(3)和连 接片⑷之间设有定位片(5)。
8.如权利要求5所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述连接片(4)接近间隙 (6)处设有圆弧形开口(7)。
9.如权利要求7或8所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述定位片(5)的数 量为4个。
10.如权利要求9所述的一种硅片倒角承载装置,其特征是所述定位片(5)的形状为三角形。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片倒角承载装置,包括晶舟和定位装置,定位装置设置在晶舟上,定位装置包括挡块和两个挡板,晶舟包括两个支撑板,两个支撑板所在平面夹角为90°,两个支撑板之间设有间隙,两个支撑板形成夹角为90°的一侧之间设有连接片,连接片设置在两个支撑板的一端,两个支撑板形成夹角为90°的一侧之间设有晶舟固定片,晶舟固定片设置在两个支撑板的另一端,晶舟固定片和连接片之间设有定位片,连接片接近间隙处设有圆弧形开口,定位片的数量为4个,定位片的形状为三角形。
文档编号H01L21/02GK201788952SQ20102058632
公开日2011年4月6日 申请日期2010年11月2日 优先权日2010年11月2日
发明者管延平, 陈广君 申请人:宇骏(潍坊)新能源科技有限公司
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