专利名称：带有翻盖装置的槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种带有翻盖装置的槽。
背景技术：
随着电子工业的发展，对电子元件的需求数量越来越多。为了满足日益增长的电子元件生产需要，电子元件生产的各个阶段的自动化操作成为提高供应数量的关键。另外， 为节省人力成本，电子元件的自动化生产也成为重要因素之一。半导体生产过程中，需要使用各种不同功能的槽，电镀时使用电镀槽、冲洗时使用浸洗槽等。在有些槽的使用过程中，需要使用盖板将槽口盖住，以免液体溅出或造成其它的浪费。在槽体上设置盖板可将槽口盖住，但由操作工人手工推动盖板的方法，速度慢、工作效率低、劳动强度大，难以满足自动化大规模生产的需要。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供可快速开启或关闭槽口的带有翻盖装置的槽。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现带有翻盖装置的槽，包括槽体，槽体上端设置有盖板，其特征在于，盖板可转动地安装在槽体上端，还包括自动翻盖装置，所述的翻盖装置包括驱动装置和推杆，驱动装置设置有可伸缩的输出杆；推杆一端与输出杆可转动地连接；另一端与盖板可转动地连接。优选地是，盖板数目为两个，分别可转动地安装在槽体上端；输出杆端部安装有连杆，连杆两端分别可转动地连接有一根推杆，每根推杆与一个盖板可转动地连接。优选地是，所述的驱动装置为气缸。本实用新型中的带有翻盖装置的槽，利用气缸可驱动盖板快速运动，可快速开启或关闭槽口，操作时间短、自动化操作效率高、劳动强度低。而且本实用新型结构简单，操作、维修方便，且容易制造。
图1为本实用新型第一使用状态时的正视示意图。图2为本实用新型第一使用状态时的右视图。图3为本实用新型第二使用状态时的右视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述如图1、图2和图3所示，带有翻盖装置的槽，包括槽体1。槽体1上端设置有盖板 2和盖板3。盖板2上设置有盖板轴21，盖板轴21两端分别安装在一个盖板轴座22上。盖板3上设置有盖板轴31，盖板轴31两端分别安装在一个盖板轴座32上。[0015]槽体1侧面安装有气缸4，气缸4通过气缸座41安装在槽体1的侧壁板上。气缸 4设置有可伸缩的输出杆42。输出杆42端部与连杆5连接。连杆5两端分别与推杆61和推杆62连接。推杆61和推杆62均与连杆5可转动地连接。推杆61与盖板2可转动地连接。推杆62与盖板3可转动地连接。在图2所示的状态中，气缸4的输出杆42缩短，通过连杆5、推杆61和推杆62分别将盖板2和盖板3盖在槽体1的槽口上，将槽口关闭。需要打开槽口时，如图3所示，气缸4的输出杆42伸长，向上推动连杆5、推杆61和推杆62，进而推动盖板2和盖板3。盖板 2和盖板3可转动地安装在槽体1上端，因此在其受到推力时会转动，打开槽口。本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
权利要求1.带有翻盖装置的槽，包括槽体，槽体上端设置有盖板，其特征在于，盖板可转动地安装在槽体上端，还包括自动翻盖装置，所述的翻盖装置包括驱动装置和推杆，驱动装置设置有可伸缩的输出杆；推杆一端与输出杆可转动地连接；另一端与盖板可转动地连接。
2.根据权利要求1所述的带有翻盖装置的槽，其特征在于，盖板数目为两个，分别可转动地安装在槽体上端；输出杆端部安装有连杆，连杆两端分别可转动地连接有一根推杆，每根推杆与一个盖板可转动地连接。
3.根据权利要求1所述的带有翻盖装置的槽，其特征在于，所述的驱动装置为气缸。
专利摘要本实用新型公开了一种带有翻盖装置的槽，包括槽体，槽体上端设置有盖板，其特征在于，盖板可转动地安装在槽体上端，还包括自动翻盖装置，所述的翻盖装置包括驱动装置和推杆，驱动装置设置有可伸缩的输出杆；推杆一端与输出杆可转动地连接；另一端与盖板可转动地连接。本实用新型中的带有翻盖装置的槽，利用气缸可驱动盖板快速运动，可快速开启或关闭槽口，操作时间短、自动化操作效率高、劳动强度低。而且本实用新型结构简单，操作、维修方便，且容易制造。
文档编号H01L21/00GK201990128SQ201020695509
公开日2011年9月28日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者王振荣, 王洪, 陈概礼 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司