专利名称：卡匣的制作方法
技术领域：
本发明涉及收纳基板的卡匣，特别是涉及收纳在平板显示器(例如，液晶面板)的制造方法中使用的薄型基板(例如，玻璃基板)的卡匣。
背景技术：
作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对玻璃基板在确保规定空隙的状态下相对的结构。伴随着液晶面板的大型化、批量化生产，液晶面板用的玻璃基板逐年大型化。在搬运这样的第二代大型液晶玻璃基板的基板搬运系统中，使用收纳多层液晶玻璃基板的收纳卡匣(例如，专利文献1 3等)。收纳玻璃基板的收纳卡匣使用于如下情况在净化间内的制造工序中从液晶面板制造装置的载置部向别的制造装置的载置部搬运或者保管玻璃基板。另外，收纳卡匣也使用于如下情况在液晶面板制造装置的载置部与卡匣保管库的保管部之间搬运/保管玻璃基板。在净化间内的气氛中，确保了充分的空气清洁度，但有时在搬运/保管收纳卡匣时从操作者、地板面等飞散的灰尘等异物附着于基板表面，或者处理基板时的有机气体等的雾在净化间内漂浮而附着于基板表面。并且，在异物、雾附着的状态下对基板进行工艺处理时，液晶面板的质量有可能降低。因此，玻璃基板以在收纳卡匣中被遮蔽的状态进行搬运 /保管，以使得异物等不附着。现有技术文献专利文献专利文献1 特开平9-115997号公报专利文献2 特开2005-142480号公报专利文献3 特开2005-145628号公报
发明内容
发明要解决的问题伴随着近年的玻璃基板的大型化，在搁片伸出形式的收纳卡匣中，支撑玻璃基板的搁片的面积小，因此在收纳大型的玻璃基板的情况下，有时由于其重量而在玻璃基板上产生变形。因此，这种形式的收纳卡匣不能使用于大型的玻璃基板。因此，最近在收纳/搬运大型的玻璃基板的情况下，为了抑制这种变形，有时使用在收纳卡匣的内壁前后并列地配置多层线的线卡匣。但是，在使用线卡匣收纳/搬运玻璃基板的情况下，在线卡匣的下面具有用于插入辊式输送机的开口部，因此不能确保密闭性。在将收纳了玻璃基板的线卡匣始终放置于净化间的情况下，线卡匣的下面不密闭的方面的问题少，但就搬运玻璃基板这方面而言，有时不能总是仅在净化间中使用线卡匣。在这种状况中，能简单密闭线卡匣的底面的开口的结构能在技术上提供较大的价值。
本发明是鉴于这样的方面完成的，其主要目的在于提供能简便地密闭底面的卡匣结构。用于解决问题的方案本发明的卡匣是收纳基板的卡匣，具备卡匣主体部，其内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的侧面，用于取放上述基板；底面开口部，其形成于上述卡匣主体部的底面；底板，其封堵上述底面开口部；以及底板支撑部，其支撑上述底板，设于上述卡匣主体部的内壁。在某优选的实施方式中，上述底板支撑部以沿上述卡匣主体部的内壁一周的方式形成。在某优选的实施方式中，上述底板支撑部是截面具有L字形状的板状构件。在某优选的实施方式中，上述底板具有能由从上述底面开口部插入的基板搬运装置从上述卡匣开口部搬出的形状。在某优选的实施方式中，在上述卡匣开口部设有能封堵上述卡匣开口部的挡板。在某优选的实施方式中，在上述卡匣主体部的内部排列着多根线，上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述线支撑，在上述底面开口部插入使上述玻璃基板移动的基板搬运装置。在某优选的实施方式中，上述基板搬运装置是辊式输送机。发明效果根据本发明的卡匣，因为具备在卡匣主体部的底面形成的底面开口部、封堵底面开口部的底板、以及支撑该底板而设于卡匣主体部的内壁的底板支撑部，所以能提供简便地密闭和开闭底面的卡匣结构。
图1是本发明的实施方式的线卡匣100的立体图。图2是示出本发明的实施方式的线卡匣100的侧面构成的截面图。图3(a)和(b)是分别示出底板支撑部22的周边的立体图。图4是用于说明从线卡匣100搬出基板40的步骤的截面图。图5是用于说明从线卡匣100搬出基板40的步骤的截面图。图6是用于说明从线卡匣100搬出基板40的步骤的截面图。图7是比较例的线卡匣1000的截面图。图8是比较例的线卡匣1100的截面图。图9是示出本发明的变更例的线卡匣100的侧面构成的截面图。图10(a)和(b)是分别示出本发明的变更例的卡匣100的正面构成和侧面构成的截面图。图11 (a)和(b)是分别示出本发明的变更例的卡匣100的正面构成和侧面构成的截面图。
具体实施例方式下面一边参照附图一边说明本发明的实施方式。在下面的附图中，为了说明的简洁化，用相同的附图标记表示实质上具有相同功能的构成要素。此外，本发明不限于下面的实施方式。首先，一边参照图1至图4 一边对本发明的实施方式的线卡匣100进行说明。图1是示意性示出本实施方式的线卡匣100的整体构成的立体图。本实施方式的线卡匣100是通过由线支撑基板40而能收纳基板40的收纳卡匣。此外，在图1中，线未图
示ο本实施方式的基板40是例如液晶面板用的玻璃基板。该玻璃基板40既可以是切制成液晶面板的尺寸前的母玻璃基板，也可以是切制后的液晶面板的尺寸的玻璃。而且，玻璃基板40既可以是制成薄膜晶体管(TFT)的阵列基板(或者其制作中途的)，也可以是形成彩色滤光片(CF)的CF基板(或者其制作中途的)。另外，基板40除了可以是玻璃基板外，也可以是晶片这样的其它的薄板。而且，不限于液晶面板用的基板40，也可以是在制作PDP、有机EL面板、其它的平板显示器时采用的薄型基板(不限于玻璃，能以片状保管于线卡匣中即可)。本实施方式的线卡匣100包括卡匣主体部10 ；卡匣开口部12，其形成于卡匣主体部10的侧面；底面开口部14，其形成于卡匣主体部10的底面；以及底板20，其封堵底面开口部14。在卡匣主体部10的内部能配置基板40。另外，从卡匣开口部12能取放基板 40。图2是示意性示出本实施方式的线卡匣100的侧面构成的截面图。在图2所示的例子中，在卡匣主体部10的内部排列着支撑基板40的线60。具体地，由多根线60支撑一张基板40，该多根线60排列成多层。通过将线60排列成多层，能在卡匣主体部10的内部收纳多层玻璃基板40。在该例子中，收纳4层基板40，但基板40的收纳张数与线60的层数对应，能适当设定合适的该层数。另外，线60在卡匣主体部10的内部的相对的壁面(内壁)之间被拉伸，由其张力支撑基板40。在卡匣主体部10的底面形成的底面开口部14中插入与升降框架62连结的辊式输送机61。辊式输送机61具有从线60之间与基板40接触，并且，从卡匣开口部12取出基板40的功能。在底面开口部14设有封堵该开口的底板20。此外，也可以构成为不是使辊式输送机61升降，而是辊式输送机61固定，使卡匣主体部10下降(或者升降)。在该情况下，使卡匣主体部10下降，由此在卡匣主体部10的底面开口部14中插入辊式输送机61。另外，底板20由设于卡匣主体部10的内壁的底板支撑部22支撑。底板20载置于底板支撑部22上，两者彼此不进行粘接、焊接等，典型地，底板20利用其自重固定于底板支撑部22上。因此，底板20在能利用辊式输送机61移动的状态下由底板支撑部22支撑。在卡匣主体部10的侧面形成的卡匣开口部12设有用于封堵该开口的挡板15。在图1和图2所示的例子中，挡板15使用能在与卡匣主体部10的高度方向(重力方向或者铅垂方向)平行(或者实质上平行)的上下方向52移动的构成。此外，如果是能封堵卡匣开口部12的构成，挡板15也能使用其它构成。本实施方式的卡匣主体部10具有箱形形状。例如，能用框架结构制作卡匣主体部10的边的部分，用面板结构制作卡匣主体部10的面的部分。在该情况下，框架结构的部分能包含金属(例如，铝、铁、不锈钢等)，面板结构的部分能包含树脂板、金属板(例如，铝板)等。在图1和图2所示的构成例中，卡匣主体部10的骨架具有框架结构，并且，卡匣主体部10的侧面(左面/右面)IlA和上面IlB由面板结构(例如，金属板)覆盖。在该例子中，卡匣开口部12形成于卡匣主体部10的前面，但除了前面外，也可以形成于后面。在卡匣主体部10的前面和后面两处形成有卡匣开口部12的情况下，能从前后两处取放基板 40。此外，可以不必在卡匣开口部12以外的卡匣主体部10的所有侧面设置面板。例如，即使是在卡匣主体部10的侧面没有面板的方式中设有底板20的构成，也能得到如下效果抑制承载着卡匣主体部10的卡匣搬运车行驶时的大气(灰尘)的缭绕上升。图3(a)是将支撑底板20的底板支撑部22的一部分放大的立体图。底板支撑部 22从卡匣主体部10的内壁IOa朝向中央延伸。底板支撑部22包含例如金属，在一个例子中，也可以包含与卡匣主体部10的一部分材料相同的材料。在图3(a)所示的例子中，底板支撑部22的宽度W是50mm 60mm程度，底板支撑部22的厚度T 1是2mm 3mm程度。另外，底板支撑部22以沿卡匣主体部10的内壁IOa—周的方式形成。因此，如图 3 (b)所示，当在底板支撑部22的上面22t承载底板20时，能封堵从底面开口部14连续的开口，能利用底板20遮住卡匣主体部10的内部和外界气体(大气)。此外，在图3(b)所示的例子中，底板20包含金属(例如，铝)，在一个例子中，也可以包含与卡匣主体部10的一部分(和/或底板支撑部22)的材料相同的材料。另外，底板20的厚度T2是例如2mm 3mm程度。此外，在底板20上产生的挠曲较大的情况下，也能在底板20的上部设置加强件 (例如，L字角材)。该加强件不限于设于底板20的上部，也可以设于其它部位。而且，也可以不在底板20设置分体构件的加强件，而在底板20上使用将底板的端部折弯的形态的一体物的板状构件(例如，钢板)，由此提高底板20的强度。在此，假设液晶面板用的玻璃基板40的尺寸是:3mX;3m程度的情况来说明上述的 W、Tl和T2的尺寸。此外，在处理比其更小的尺寸的玻璃基板40的线卡匣100中，玻璃基板40的重量变得更轻，所以能采用更小的尺寸(W、T1、T2)。而且，与液晶面板用玻璃基板比较，在PDP用玻璃基板中，由于玻璃厚度增加，玻璃基板40的重量有增加的倾向，与其相应，能使用此时合适的W、Tl、T2。参照图4至图6对从本实施方式的线卡匣100搬出基板40的步骤进行说明。首先，从图2所示的状态使辊式输送机61上升，使辊式输送机61和底板20接触。 接着，如图4所示，进一步使辊式输送机61上升，利用辊式输送机61抬起底板20。由此，底板20从底板支撑部22分离。此外，如上所述，也可以固定辊式输送机61，另一方面，使卡匣主体部10下降。接着，如图5所示，使辊式输送机61的辊部旋转，使底板20在水平方向移动，由此，从卡匣开口部12取出底板20。从卡匣开口部12取出的底板20移动到搬运装置64。然后，底板20在规定的位置上被保管。接着，执行基板(玻璃基板)40的取出。在图5所示的状态之后，从卡匣主体部10 取出底板20。接着，使辊式输送机61上升，在线60之间通过，使辊式输送机61和基板40 接触，接着，利用辊式输送机61抬起基板40。然后，如图6所示，在使基板40和线60分离的状态下使辊式输送机61的辊部旋转，使基板40在水平方向移动。由此，基板40从卡匣开口部12被取出，移动到位于线卡匣100外的搬运装置64上。然后，基板40或者被供给需要的工序，或者被保管于需要的场所。当最下层的基板40的取出结束时，接着，执行其上方的基板40的取出。具体地， 使辊式输送机61进一步上升，在线60之间通过，使该辊式输送机61的辊部旋转，从卡匣开口部12取出基板40 (倒数第2基板40)。依次地反复进行该工序，完成所有层的基板40的取出。此外，卡匣开口部12的开闭程度只要利用挡板15进行调整即可。根据本实施方式的线卡匣100，因为具备形成于卡匣主体部10的底面上的底面开口部14、封堵底面开口部14的底板20、以及设于卡匣主体部10的内壁IOa的底板支撑部 22，所以能实现简便地密闭和开闭底面开口部14的线卡匣结构。在能利用这样的简便的结构进行底面开口部14的密闭和开闭时，即使不将线卡匣100始终放置于净化间，也能根据需要用底板20密闭底面开口部14，将线卡匣100移动到净化间外。由此，在净化间外搬运/保管基板40也变得容易，能大幅减少涉及净化间的工厂(例如，液晶面板制造工厂)的设备成本。在此，比较本实施方式的线卡匣100和其它线卡匣(比较例)进行探讨研究。图7示出具备滑动式结构的底面盖120的线卡匣1000，底面盖120具有滑动部 125。在图7所示的线卡匣1000中，在卡匣主体部110的内部设有线160，并且，用于取放基板40的卡匣开口部112由前面盖115覆盖。另外，在卡匣主体部110的底面开口部114 设有滑动结构(滑动部)125。并且，封堵底面开口部114的底面盖120 —边利用滑动结构 125滑动一边进行水平动作(箭头54)。在该情况下，在收纳有基板40的卡匣主体部110 的内部附近，该滑动结构125成为灰尘产生源。因此，在此不适于净化间中的使用。另外，图8示出底面盖121具有门开闭结构127的方式的线卡匣1100。在具有图 8所示的门开闭结构127的线卡匣1100的情况下，在底面盖121的开闭中需要确保转动空间(56)，因此，成为需要较多的占有面积的卡匣。因此，在该构成中，不会成为具有占有面积小的开闭结构的线卡匣。如上所述，与本实施方式的线卡匣100比较，线卡匣1000和1100均具有缺点，难以在结构上解决该缺点。另一方，本实施方式的线卡匣100能避免那样的缺点。另外，在线卡匣1000和1100中，在开闭底面盖(120、121)的方面必须安装独立的机构(125、127)，与此相对，在本实施方式的线卡匣100中，即使不安装那样的独立的机构，也能如图4和图5 所示，利用辊式输送机61的动作简便地执行卡匣主体部10的底面开口部14的开闭。在该方面，本实施方式的构成也在技术上具有较大的价值。而且，在本实施方式的线卡匣100中，在底面开口部14的开闭中，能实现占有空间小的结构。即，在图7所示的线卡匣1000的情况下，需要用于使底面盖120活动的占有空间 (水平方向M的空间)。并且，在图8所示的线卡匣1100的情况下，为了使底面盖121活动，在卡匣主体部110的下方需要较大的空间，由此也妨碍辊式输送机的动作。另一方面， 根据本实施方式的线卡匣100，因为线卡匣100的底板20从卡匣开口部12被搬出，所以能使线卡匣100的底面的周围简化，并且，能实现占有空间小的结构。此外，本实施方式的线卡匣100也能进行如下变更。图9是本实施方式的线卡匣 100的变更例。在图9所示的线卡匣100中，底板支撑部22与图2所示的不同，底板支撑
7部22的形状是截面呈L字型。即，该例子的底板支撑部22包括从卡匣主体部10的内壁水平延伸的部位2 和从此处垂直延伸的部位22b。此外，如果是能支撑底板20的底板支撑部，则底板支撑部22的形状也没有特别限定，能适当采用合适的形状。而且，优选卡匣主体部10的底面开口部14由底板支撑部22和底板20完全封堵， 但即使具有少量一部分未被封堵的部位，而如果成为外界气体(大气)难以向卡匣主体部 10的内部侵入的结构，则仅此也具有技术上的价值。另外，底板支撑部22从卡匣主体部10 的内壁延伸，但未必需要底板支撑部22的一部分与卡匣主体部10的内壁直接接触。即，也可以在卡匣主体部10的内壁与底板支撑部22的一部分之间隔着其它构件将底板支撑部22 设于卡匣主体部10的内壁。上面利用优选的实施方式说明了本发明，但这样的记述不是限定事项，当然能进行各种变更。例如，在图9所示的构成中，如果在L字型的底板支撑部22上附加具有弹性的树脂，则能利用底板20的自重提高与隔着树脂的底板支撑部22的密闭度。而且，当该树脂使用摩擦程度高的材料时，能抑制底板20相对于搬运卡匣的加速、振动而发生偏移。而且，在本实施方式中，对能利用多根线收纳基板40的线卡匣的构成例进行了说明，但能利用底板20简便地密闭/打开底面开口部14的本实施方式的技术不限于线卡匣， 能应用于用线以外的装置收纳基板40的基板收纳卡匣(例如，搁片伸出形式的收纳卡匣)。另外，图10示出使杆67排列在杆60'上的卡匣(杆型的基板收纳卡匣)100的构成，本实施方式的技术也能应用于这样的卡匣100中。在此，图10(a)是示意性地示出本实施方式的卡匣100的构成的正面截面图，并且，图10(b)是示意性地示出本实施方式的卡匣 100的构成的侧面截面图。在该例子的卡匣100中，在杆60'(主杆)上设有杆67(副杆)，杆67用于设置能插入手(机器人的手)65的间隙，手65能移动基板40，基板40由杆67的顶点支撑。具体地，如图10(b)所示，手65能在水平方向(57a、57c)和垂直方向(57b)移动，手65的延长部6 进入杆(或者棒状构件)60'与基板40之间(箭头57a)，接着，手65的延长部65a 抬起基板40后(箭头57b)，能将基板40拿到卡匣100外(箭头57c)。而且，如果是能搬运基板40的搬运装置，则不限于辊式输送机61，能适当使用合适的搬运装置。图11示出在线卡匣式的卡匣100中使用气浮式输送机63作为基板搬运装置搬运基板40的构成。在此，图11 (a)是示意性地示出本实施方式的卡匣(线卡匣)100 的构成的正面截面图，并且，图11(b)是示意性地示出本实施方式的卡匣100的变更例的侧面截面图。在该例子的卡匣100中，在线60上配置有基板40。在搬运基板40的情况下，如图 1Kb)所示，从底面开口部14插入气浮式输送机63，接着，利用从气浮式输送机63喷出的空气(大气)63a使基板40上浮，并且移动到基板移动臂66的一方。基板移动臂66能在水平方向(箭头58)移动，所以能将基板40拿到卡匣100外。工业上的可利用性根据本发明，能提供简便地密闭和开闭底面的卡匣结构。附图标记说明10卡匣主体部IOa卡匣主体部的内壁
IlA卡匣主体部的侧面(左面
IlB卡匣主体部的上面
12卡匣开口部
14底面开口部
15挡板
20底板
22底板支撑部
40基板(玻璃基板)
60线
60'杆
61辊式输送机
62升降框架
64搬运装置
63气浮式输送机
65手
66基板移动臂
67杆
100卡匣
1000线卡匣
权利要求
1.一种卡匣，其收纳基板，具备 卡匣主体部，其内部配置基板；卡匣开口部，其形成于上述卡匣主体部的侧面，用于取放上述基板；底面开口部，其形成于上述卡匣主体部的底面；底板，其封堵上述底面开口部；以及底板支撑部，其支撑上述底板，设于上述卡匣主体部的内壁。
2.根据权利要求1所述的卡匣，上述底板支撑部以沿上述卡匣主体部的内壁一周的方式形成。
3.根据权利要求1或2所述的卡匣，上述底板支撑部是截面具有L字形状的板状构件。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的卡匣，上述底板具有能由从上述底面开口部插入的基板搬运装置从上述卡匣开口部搬出的形状。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的卡匣，在上述卡匣开口部设有封堵上述卡匣开口部的挡板。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的卡匣，在上述卡匣主体部的内部排列着多根线， 上述基板是玻璃基板，上述玻璃基板由上述线支撑，在上述底面开口部插入使上述玻璃基板移动的基板搬运装置。
7.根据权利要求6所述的卡匣，上述基板搬运装置是辊式输送机。
全文摘要
提供能简便地密闭和开闭底面的卡匣结构。收纳基板(40)的卡匣(100)具备卡匣主体部(10)，其内部配置基板(40)；卡匣开口部(12)，其形成于卡匣主体部(10)的侧面，用于取放基板(40)；底面开口部(14)，其形成于卡匣主体部(10)的底面；底板(20)，其封堵底面开口部(14)；以及底板支撑部(22)，其支撑底板(20)，设于卡匣主体部(10)的内壁。
文档编号H01L21/673GK102308376SQ20108000670
公开日2012年1月4日 申请日期2010年2月5日 优先权日2009年2月6日
发明者凑贵行, 岛田浩幸, 有光资, 松山章男 申请人:夏普株式会社, 淀川惠德株式会社