液体汽化系统的制作方法

专利名称：液体汽化系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及液体汽化系统。
背景技术：
通常，在半导体装置的制造中，为了提高抗蚀液对晶圆的附着性能，采用汽化器对用于将亲水性表面转变为疏水性表面的液体材料进行汽化，并通过该被汽化的液体材料进行晶圆的表面处理。作为这种汽化器，通常采用例如通过加热器加热液体材料从而使该液体材料汽化的汽化器。由汽化器汽化的液体材料一般通过载气供给到容纳于腔室内的晶圆。这种情况下，汽化了的液体材料和载气的混合气体将被供给到晶圆，一旦混合气体中液体材料的浓度在处理时发生变动就会产生处理的稳定性受损等不良状况。因此，为了进行稳定的表面处理有必要使混合气体中液体材料的浓度在处理时保持恒定。为了避免这样的不良状况，例如专利文献1中公开了一种结构，其中，通过在汽化器的内部填充粒状体以在汽化器内形成多孔体，并且在多孔体的外侧设有用于加热液体材料的加热器。由此，使液体材料进入多孔体的间隙中，用加热器通过多孔体对进入该间隙中的液体材料进行加热以使其汽化。这种情况下，由于可以增大多孔体和液体材料的接触面积因而能够促进液体材料的汽化，所以能够期待混合气体中液体材料的浓度在处理时保持恒定。专利文献1 日本国专利申请公开公报“特开2001-295050号”

发明内容
然而，在上述专利文献1的技术中，汽化器内部由多孔体形成，所以能够想到由于具有细微间隙的多孔体等多孔体的构造而使载气无法进入多孔体内部等情况。在此情况下，在多孔体内部被汽化的液体材料不能由载气输出到腔室，所以可能会残留在多孔体的内部。本发明是鉴于以上状况而提出的，主要目的在于提供一种能够解决液体材料的残留问题并能够促进液体材料汽化的液体汽化系统。为了解决上述问题，本发明第1方面的液体汽化系统包括加热并汽化液体材料的汽化器，其特征在于，所述汽化器具有使液体材料附着的大致平坦的液体附着面、使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化的薄膜化装置、及加热所述液体附着面的加热装置。根据本发明，可以通过薄膜化装置将附着于液体附着面的液体材料薄膜化(薄薄地扩散)。此外，通过加热装置对液体附着面加热可以加热上述薄膜化的液体材料。这种情况下，由于可以扩大液体材料和液体附着面的接触面积(即传热面积)并加热液体材料从而可以促进液体材料的汽化。尤其在汽化的液体材料易于成为滴状的情况下，其效果明显。此外，用于加热液体材料的液体附着面基本平坦地形成，因此被汽化的液体材料能够由载气输送到下游侧(例如腔室)而不会残留在液体附着面(甚至汽化器内)。因此，通过以上所述，能够解决液体材料的残留问题，并实现液体材料汽化的促进。另外，本液体汽化系统可用于例如在半导体装置的制造中通过汽化的液体材料来对晶圆等被处理物进行表面处理的情况中。具体地，可以考虑这样一种系统，即，在汽化器的下游侧连接容纳晶圆等被处理物的腔室，通过向腔室内的被处理物提供由汽化器汽化后的液体材料来对被处理物进行表面处理。此外，本液体汽化系统中被汽化的液体材料可以考虑采用可在汽化的状态下涂覆到被处理物的表面处理剂等，例如，疏水化处理液。本发明第2方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第1方面中，所述薄膜化装置是用于促进液体材料对上述液体附着面的润湿的润湿促进装置，通过所述润湿促进装置可以促进液体材料对所述液体附着面的润湿，从而使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化。根据本发明，可以通过促进液体材料对液体附着面的润湿来使附着于液体附着面的液体材料薄膜化。由此，可取得上述本发明第1方面所述的效果而无需另设用于使附着于液体附着面的液体材料薄膜化的驱动装置(例如使液体材料压缩的加压装置)等。本发明第3方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第2方面中，所述润湿促进装置是细微的凹凸部，该凹凸部设置于所述液体材料附着面以提高液体材料的润湿性。根据本发明，在使用与液体附着面的接触角不到90° (即容易润湿液体附着面) 的液体材料时，通过设置在液体附着面上的细微的凹凸部可以提高液体材料对液体附着面的润湿性。由此，能够促进液体材料对液体附着面的润湿。本发明第4方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第3方面中，所述液体附着面置(叠加)有通过将线材编织成网眼状而整体上形成为平板状的筛网，并且，所述液体附着面上设置的所述凹凸部将所述线材作为凸部并将所述线材包围的部分作为凹部。根据本发明，仅通过在液体附着面上叠置平板状的筛网就能形成凹凸部，因此能以简单的结构获得上述本发明第3方面所述的效果。此外，如果筛网以金属制(如不锈钢) 的线材形成，则可以通过加热装置经由液体附着面对筛网进行加热，所以不仅能通过液体附着面还能通过筛网对薄膜化的液体材料进行加热。由此，能够进一步促进液体材料的汽化。另外，这种情况下，如果相对于液体附着面可拆装地构成筛网，则可以根据被汽化液体材料的润湿性更换适当粗细(网眼的细度)的筛网。因此，适用于使不同润湿性的多种液体材料汽化的情况。本发明第5方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第4方面中，所述液体附着面形成有向所述液体附着面和所述筛网之间供给所述液体材料的供给口。根据本发明，由于在液体附着面和筛网之间具有形成于液体附着面的供给口，所以被供给的液体材料可以通过界面张力在筛网和液体附着面之间的间隙中流动。由此，可以将液体材料顺利地供给到筛网的大面积上而不会产生液体材料的飞散(雾散化)。此外， 供给口不一定必须是单个的，也可设置多个供给口。本发明第6方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第5方面中，具备确定所述液体附着面和所述筛网在层叠方向上的相对位置关系的定位部件。根据本发明，可以避免以下问题，S卩，使用例如粘合剂等在液体附着面上贴附筛网时堵塞筛网间隙的问题，或者，采用紧固部件紧固筛网时液体材料可能凝集在紧固部附近而产生固状物的问题。定位部件可以通过例如固定在液体附着面端部上的网状物(网)或绳将筛网推压在液体附着面上。定位部件可以是以下结构例如部分地插入用于在液体附着面和筛网之间形成间隙的隔片。本发明第7方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第6方面中，所述定位部件具备推压部件，该推压部件在以预定间隔设置的多个位置向所述液体附着面推压所述筛网。根据本发明，筛网可在以一定间隔设置的多个位置被推压到液体附着面，因此能以简易的结构实现间隙流动，即，在该预定间隔中利用筛网和液体附着面之间的间隙处的界面张力流动。间隙流动形成于多个推压位置之间，因此可以提供筛网粗细、多个推压位置的位置关系等的设计自由度。由此，能够提供用于实现与所需规格对应的适当间隙流动的设计工具。推压部件可以构成为分别配置在用于推压筛网的多个位置的多个部件，或者，包括具有用于推压的多个凸部的通用部件。本发明第8方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第5至第7方面中，所述液体附着面形成为通过所述加热装置加热的加热板的正面；所述加热板形成有连接背面开口部和所述供给口的孔(orifice)，其中，所述背面开口部形成于所述加热板的与所述液体附着面相反一侧的面、即背面；具有用于开闭所述背面开口部的隔断阀；所述背面开口部形成于夹着所述孔与所述供给口相向的位置。根据本发明，由隔断阀开闭的孔形成于液体附着面，所以能在液体附着面的附近实现液体材料的隔断。因此能够抑制因隔断阀和液体附着面之间残留的液体材料汽化而引起的汽化量的变动。本发明第9方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第8方面中，所述加热板的背面形成有凹部；所述背面开口部形成于所述凹部；所述隔断阀具有关闭所述背面开口部的阀体。根据本发明，背面开口部包括在形成于加热板背面的凹部形成的阀座，该阀座可由阀体实现关闭，因此无论加热板的厚度如何，都能缩短供给口和背面开口部之间的流路长度。另外，通过调整凹部的深度，能自由设定所述流路的长度。本发明第10方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第9方面中，所述阀体具有密封部，所述密封部为在所述背面开口部被关闭的状态下包围所述背面开口部的环状的突起部。根据本发明，阀体具有密封部，因此能够抑制阀座凸起所导致的气泡滞留且能够提高密封性。本发明第11方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第9方面中，所述背面开口部具有形成于所述凹部的阀座。由此，也可以构成为背面开口部具有形成于凹部的阀座。本发明第12方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第9方面中，所述背面开口部具有在包围所述背面开口部的环状区域与所述阀体相向的平面。这样，可以构成为具有与阀体相对的平面而不必设计阀座或突起部来提高面压力。这是因为，在本发明中，隔断时不施加背压力的缘故。但是，为了提高密封性，优选地使包围背面开口部的环状区域的表面粗糙度减小。本发明第13方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第9至第12方面中，所述阀体具有开闭所述背面开口部的隔膜(diaphragm)。根据本发明，由于隔膜在流路侧不具有滑动部，所以可以防止流向滑动部分的液体材料蓄积而引起固状物的产生。由此，能够抑制固状物的产生、预防固状物混入到氮气中导致工艺对象的品质恶化。本发明第14方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第1至第13方面中，所述液体附着面形成为通过所述加热装置加热的加热板的正面；所述加热板上具有用于测量所述液体附着面温度的温度传感器。根据本发明，可将液体附着面处的汽化状态作为汽化热所引起的加热板的温度变化进行观测。该温度传感器能够用于汽化工艺监视或故障探查等多种用途。本发明第15方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第1至第14方面中，具备向所述汽化器供给所述液体材料的泵；所述泵包括第1隔膜驱动部、第2隔膜驱动部以及将所述第1隔膜驱动部和所述第2隔膜驱动部在彼此相向的方向上连结的连结部；所述连结部具有与吸入所述液体材料的吸入通路和排出所述液体材料的排出通路连接的泵室；所述第1隔膜驱动部具有构成所述泵室的一部分的第1隔膜；所述第2隔膜驱动部具有构成所述泵室的一部分的第2隔膜；所述第1隔膜和所述第2隔膜在所述泵室中形成彼此相向的面；所述第1隔膜驱动部具有第1位移限制部，该第1位移限制部限制所述第1隔膜可进行机械位移的第1位移量并对所述第1位移量进行调整；所述第2隔膜驱动部具有第2位移限制部，该第2位移限制部限制所述第2隔膜可进行机械位移的第2位移量并对所述第 2位移量进行调整。根据本发明，能够可调整地限制第1隔膜和第2隔膜可机械变位的位移量，所以， 通过控制使得所述隔膜按照最大机械位移进行动作并计数单位时间内的动作次数，就能简单且准确地控制液体材料的供给速度。在本发明中，还具有能够省略测量隔膜位移量的传感器的优点。本发明第16方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第15方面中，所述第1 位移限制部以所述第1隔膜的位移方向作为轴线并相对于所述泵进行旋转即第1旋转来调整所述第1位移量；所述第2位移限制部以所述第2隔膜的位移方向作为轴线相对于所述泵进行旋转即第2旋转来调整所述第2位移量；所述泵设置有测量部，表示根据所述第1旋转的角度和所述第2旋转的角度测出的与排出量相关的值。根据本发明，无需实际测量排出量，就能准确且简便地设定排出量(每1次行程的量)。与排出量相关的值广义上包括例如由第1旋转或第2旋转引起的第1位移限制部或第2位移限制部的进给量等与排出量相关的值。本发明第17方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第3或第4方面中，所述凹凸部包括多个凹部和多个凸部，沿着与所述液体附着面平行的两个不同的方向分别交替地配置所述各凹部和所述各凸部。根据本发明，沿着与液体附着面平行的两个不同方向交替地配置凹部和凸部，所以能在上述两个方向上提高液体材料对液体附着面的润湿性(即易于润湿)。即由于能够在上述两个方向上促进液体材料对液体附着面的润湿，因此能进一步增加液体材料和液体附着面的接触面积。由此，能够进一步促进液体材料的汽化。本发明第18方面的液体材料汽化系统，其特征在于，在本发明第2方面中，所述汽化器具备一对所述液体附着面，且该各个液体附着面以预定的间隙相向配置，所述润湿促进装置通过毛细管现象促进所述间隙内的液体材料对所述各液体附着面的润湿。根据本发明，在使与液体附着面的接触角不到90° (即易于润湿液体附着面)的液体材料汽化时，通过对相向的液体附着面之间的间隙内供给液体材料，可以通过毛细管现象(换言之，利用表面张力)使液体材料呈薄膜状地附着于各液体附着面。这种情况下， 如果由加热装置加热该一对液体附着面，则能够进一步促进液体材料的汽化。本发明第19方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第1至第18的任一方面中，具备泵和供给量调节装置，所述泵经由供给通路向所述汽化器供给液体材料，所述供给量调节装置用于调节所述泵向所述汽化器供给液体材料的供给量。根据本发明，能够通过供给量调节装置调节由泵向汽化器供给的液体材料的供给量。因此，例如，在向容纳有晶圆的腔室供给由汽化器汽化后的液体材料的系统中，通过调节由泵向汽化器供给的液体材料的供给量，可以调节向腔室供给的由汽化器汽化后的液体材料的供给量。即，在此情况下，在向腔室供给预定量的汽化后的液体材料时，通过泵从储存有液体材料的液体罐向汽化器供给与上述预定量相应的供给量的液体材料即可，所以， 液体罐内的液体材料不会被汽化从而能保持新鲜状态。此外，这种情况下，还可以在供给通路的中途设置用于开闭该供给通路的开闭阀， 以在泵不向汽化器供给液体材料的情况下使开闭阀处于关闭状态。这样的话，由于可以通过开闭阀防止位于上游侧的液体材料接触到空气，因而对于马上要被供给到汽化器的供给通路内(位于开闭阀上游侧的供给通路内)的液体材料也可以保持新鲜状态。本发明第20方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第19方面中，具有回吸控制装置，该回吸控制装置进行控制使得在所述泵借助于所述供给通路向所述汽化器供给液体材料之后对残留在所述供给通路内的液体材料进行吸引。根据本发明，在通过泵经由供给通路向汽化器供给液体材料后，即使一部分液体材料残留在供给通路内，也能通过泵对这些残留的液体材料进行吸引(即，回吸)。由此，通过使供给通路内(例如汽化器侧的通路端)残留的液体材料发生汽化，能够避免液体材料的汽化量发生变动等不良状况。本发明第21方面的液体汽化系统，其特征在于，在本发明第19或第20方面中，具有包括所述泵、所述汽化器及所述供给通路并被单元化的液体汽化装置。根据本发明，液体汽化装置包括泵和汽化器且被单元化。因此，例如在向容纳有晶圆的腔室供给被汽化器汽化后的液体材料的系统中，可以紧凑地构成要设置在腔室上游侧的该装置，从而能够将该装置配置在腔室附近。这种情况下，能够使连接液体汽化装置(汽化器)和腔室的配管的长度相对较短，从而可抑制在汽化器汽化后的液体材料被供给到腔室之前在配管内被再次液化。


图1是表示第1实施方式的液体汽化系统的整体结构的回路图。图2(a)是液体汽化装置的侧面图；图2(b)是表示液体汽化装置的结构的纵向截面图。图3是表示汽化器的结构的立体图。
图4是将蓄热板上的筛网(mesh)放大表示的平面图。图5是表示第2实施方式的液体汽化装置120的结构的平面图。图6是表示泵的内部结构的截面图。图7是表示连结体的内部结构的放大截面图。图8是表示汽化器的外观的立体图。图9是表示汽化器的截面的截面图。图10是表示汽化器的蓄热板的立体图。图11是从下方(装备状态下的重力基准)对汽化器的内部进行观察得到的内部结构图。图12是表示从下方观察到的汽化器的加热器的状态的底面图。图13是表示从下方观察到的汽化器的背盖的状态的底面图。图14是表示汽化器截面的截面图。图15是表示隔断阀关闭了孔时的放大截面图。图16是表示隔断阀开启了孔时的放大截面图。图17是表示隔断阀的开闭状态与根据热电偶获得的测量温度的关系的图表。图18是表示另一例子中汽化器的结构的纵向截面图。图19是表示另一例子中隔断阀关闭了孔时的放大截面图。图20是表示又一例子中隔断阀关闭了孔时的放大截面图。附图标记说明10液体汽化系统11、111 泵12、112 汽化器16作为供给通路的排出通路20、120液体汽化装置22、120作为加热装置的加热器23、123 蓄热板23a、123a作为液体附着面的蓄热板的顶面24,124作为薄膜化装置及润湿促进装置的筛网24a 线材40作为控制装置的控制器53 凸部54 凹部
具体实施例方式(第1实施方式)以下，结合附图对将本发明具体化的第1实施方式进行说明。本实施方式是对用于半导体装置等生产线上的药液供给系统进行具体化。首先，根据图1的概略图对本系统的基本结构进行说明。本实施方式中，为了汽化作为液体材料的疏水化处理液，采用了液体汽化系统。本系统中，通过将被汽化的液体材料涂布在半导体晶圆(以下简称晶圆)的表面，以提高抗蚀液对晶圆的附着性能。如图1所示，本液体汽化系统10中设置有用于汽化液体材料的液体汽化装置20。 液体汽化装置20包括泵11、汽化器12、吸入侧阀13及排出侧阀14。泵11是进行液体材料吸引及排出的部件，由隔膜式泵构成。泵11与电动气动调节器34连接，该电动气动调节器 34调节向该泵11供给的空气的压力。通过该电动气动调节器34对空气压力进行调整，来进行对液体材料的吸引和排出。泵11通过吸入通路15吸引贮留在液体罐X的液体材料，并通过排出通路16将吸引的液体材料供给(排出)到汽化器12。吸入通路15设置有允许或阻止液体材料流通的吸入侧阀13，排出通路16同样设置有允许或阻止液体材料流通的排出侧阀14。该各阀13、 14通过电动操作执行开闭动作。汽化器12是使液体材料汽化的部件，被构成为具有后述的加热器22等。由泵11 供给到汽化器12的液体材料在该汽化器12中被汽化。汽化器12与气体导入配管28和气体排出配管29连接。作为载气的氮气从氮气源经由气体导入配管28供给到汽化器12，该供给的氮气在汽化器12中与被汽化后的液体材料混合。然后，该混合所得到的混合气经由气体排出配管29从汽化器12排出。本液体汽化系统10具有容纳晶圆30的腔室18。腔室18通过气体排出配管29与汽化器12连接，从汽化器12排出的混合气通过气体排出配管29供给到腔室18。具体地， 气体排出配管29的下游侧(腔室18侧)端部成为排出喷嘴29a，混合气从排出喷嘴29a朝向晶圆30排出。此外，腔室18连接有用于排出腔室18内的混合气的排气管道19。腔室 18中使用后的混合气由排气风机等吸引并通过排气管道19排到外部。此外，本液体汽化系统10还具有作为控制装置的控制器40。控制器40通过对电动气动调节器34进行驱动控制来控制泵11的吸引排出动作，并对各阀13、14进行动作控制。此外，后面将对以控制器40为中心的本系统10的电气结构细节进行描述。下面，根据图2对液体汽化装置20的结构进行说明。图2(a)是液体汽化装置20 的侧面图，图2(b)是表示液体汽化装置20的结构的纵向截面图。如图2所示，液体汽化装置20具有本体31、缸体32及盖33，这些部件31 33以上述顺序在基本水平的方向(图2(b)的左右方向)上层叠的状态下通过螺栓等紧固部件组装成一体。本体31例如由氟系树脂形成，缸体32及盖33例如由聚丙烯树脂形成。本体 31、缸体32及盖33具有沿其层叠方向延伸的中空部，阀部件47可往返移动地设置在该中空部中。本体31形成有向缸体32侧开口的大致圆柱形的圆柱凹部35，并形成有与该圆柱凹部35连通的2个通路16、37。该2个通路16、37中，一个通路37通到用于吸入液体材料的吸入口 36，另一个通路16通到汽化器12。吸入口 36连接有通到液体罐X的吸入配管 (图示略)，由该吸入配管和通路37构成图1的吸入通路15。在本体31的上方，吸入侧阀13和排出侧阀14以上下位置稍微错开的状态横向并排设置。吸入侧阀13具有开闭吸入通路37的阀体38，通过使该阀体38在开闭方向上移动以允许或阻止液体材料流通。另一方面，排出侧阀14具有开闭排出通路16的阀体39，通过使阀体39在开闭方向上移动以允许或阻止液体材料流通。
本体31的、与缸体32侧相反的一侧形成有向该侧及下侧连续开放的大致长方体状的汽化器空间S。该汽化器空间S成为用于设置汽化器12的设置空间。缸体32形成有向本体31侧开口的大致圆板状的圆板凹部41。圆板凹部41与本体31的圆柱凹部35共同形成连续的圆柱状空间。此外，缸体32形成有向盖33侧开口的大致圆柱形的缸部42、及使缸部42与圆板凹部41连通的阀支撑孔43。阀支撑孔43被形成为与缸部42同轴(中心位置相同)且其直径小于汽缸直径。盖33安装有具有阀支撑孔45a的导向器45。该阀支撑孔45a成为与上述缸体32 的阀支撑孔43同轴的贯通孔。通过使阀杆(rod)48和隔膜阀体49 一体化来形成阀部件47，阀杆48的一端连结有隔膜阀体49。阀杆48形成有外径与缸部42的内径尺寸相同的大致圆板状的活塞部51。 活塞部51可滑动地容纳于缸部42且其外周部与缸部42的内表面接触。阀杆48插穿设于盖33的导轨45的阀支撑孔45a且插穿设于缸体32的阀支撑孔43。缸体32的缸部42由阀杆48的活塞部51划分为两个空间。在该两个空间中，较之于活塞部51更靠近本体31侧的空间成为压力控制室54。工作空气通过形成于缸体32 的空气导入通路32a从外部导入到压力控制室54，由此调节压力控制室54内的空气压力。 另一方面，上述两个空间中较之于活塞部51更靠近盖33侧的空间成为弹簧室55，该弹簧室 55内配置有螺旋盘绕状的弹簧56。因此，压力控制室54内的空气压力和弹簧56施加的力沿相反方向作用在阀杆48上，通过这些力的平衡来调节阀杆48的位置。隔膜阀体49连结到阀杆48的本体31侧的端部，例如由氟系树脂形成。隔膜阀体 49具有夹在本体31和缸体32之间的外缘部49a、及将本体31的圆柱凹部35和缸体32的圆板凹部之间的连续空间分割成两个空间的隔膜49b。上述被分割的两个空间中较之于隔膜49b更靠近本体31侧的空间成为泵室58，上述吸入通路37和排出通路16连通到该泵室 58。在上述结构中，如果阀部件47在轴方向上动作，则隔膜阀体49的隔膜49b也随之在相同方向上位移，从而泵室58的容积大小发生变化。由此，能够通过吸入通路37将液体材料吸引泵室58，或将泵室58内的液体材料通过排出通路16排出。即，在本液体汽化装置 20中，按照以上方式构成隔膜式泵11。本体31和缸体32的上方设置有用于检测阀部件47的移动量的位置检测器61。 位置检测器61包括固定在缸体32顶面的箱体62、及容纳在该箱体62内的位置传感器63。 位置传感器63包括传感器本体63a、以及可相对于该传感器本体63a在突出方向或没入方向上移动的可动杆63b。可动杆63b被图中未示出的施力装置(弹簧等)推向从传感器本体63a突出的方向，通过推压前端部改变轴向的位置。关于检测阀部件47的移动量的结构，具体而言，阀部件47中与隔膜阀体49相反一侧的端部从盖33中突出，该突出部分通过螺钉65与臂66连结。臂66被设置成沿与阀部件47的轴向垂直的方向延伸，在与阀部件47的连接侧相反的一侧的端部设置有位置调节螺钉67。位置调节螺钉67的前端部和位置传感器63的可动杆63b的前端部相互抵接，如果阀部件47移动，臂66随之在相同方向上移动且可动杆63b的轴向上的位置改变。由此， 通过位置传感器63可检测阀部件47的移动量。
箱体62形成有空气通路62a，该空气通路62a与缸体32的空气导入通路32a连通。工作空气从图中未示的外部装置(例如电动气动调节器)供给到空气通路62，该工作空气通过空气通路62a及空气导入通路32a供给到压力控制室54。通过该工作空气的供给，可以调整压力控制室54内的空气压力，进而控制阀部件47的移动量。此外，通过控制阀部件47的移动量可以控制泵室58的容积，从而对泵11吸引和排出液体材料进行控制。此外，本装置20设置有用于覆盖位置检测器61和阀部件47的连结结构(臂66 等)的盖68、69，以防止连结结构外露。形成于本体31的汽化器空间S设置有汽化器12。本实施方式中，该汽化器12的结构具有显著特点，下面参照图2、图3及图4对其具体特点进行说明。图3是表示汽化器 12的结构的立体图，图4是对蓄热板上的筛网放大表示的平面图。如图2及图3所示，汽化器12包括形成汽化室的箱体21、设置在箱体21内部作为加热装置的加热器22、由加热器22加热的蓄热板23、及设置在蓄热板23上的筛网 (mesh)24。箱体21由耐蚀性能良好的不锈钢形成，并包括呈圆筒状的圆筒部21a、设置在圆筒部21a下端部的底板部21b、及设置在圆筒部21a上端部的凸缘部21c。箱体21的凸缘部 21c与本体31中的汽化器空间S的顶面抵接。凸缘部21c的四角设置有贯通孔部21d，凸缘部21c通过插穿该贯通孔部21d的螺栓固定到本体31上。此外，蓄热板也称为加热板。箱体21的底板部21b形成有气体导入口 25和气体排出口 26。气体导入口 25和气体排出口 26俯视观察时配置在夹着加热器22的两侧。气体导入口 25连接有气体导入配管28，气体排出口 26连接有气体排出配管29。该各配管28、29例如由不锈钢制成的管构成。箱体21设置有用于容纳加热器22的加热器容纳部44。加热器容纳部44例如由热传导性良好的铝形成。加热器容纳部44被设置成确保汽化器12的气密性且使圆筒部 21a贯通箱体21的内外。具体地，加热器容纳部44包括呈水平板状且相向的上板部和下板部、以及将该各板部宽度方向上的两端部近距离连接的端部，并整体上呈薄型四方筒状。此夕卜，加热器容纳部44与箱体21的底板部21b间隔开并设置在其上方。加热器22由呈矩形平板状的陶瓷加热器构成。加热器22容纳在所述加热器容纳部44中，且在其容纳状态下与加热器容纳部44的各板部紧贴。通过将加热器22容纳在加热器容纳部44中可以使其与汽化室隔离并将其配置在箱体21的内部。即，这种设计不会将加热器22暴露在由汽化室汽化后的液体材料中。蓄热板23由热传导性良好的碳化硅形成的矩形形状的板材构成。蓄热板23在层叠于加热器容纳部44的顶面的状态下用螺钉等固定到加热器容纳部44。蓄热板23的顶面 23a成为用于附着液体材料的液体附着面，加热器22通过加热器容纳部44对蓄热板23进行加热从而使其顶面23a的整个区域维持恒定温度。此外，在本实施方式中用于汽化的液体材料与蓄热板23的顶面23a的接触角不到90°。如图4所示，筛网24由多个纵横排列的不锈钢制线材24a编制为网格状来形成， 整体上呈平板状。本实施方式中，采用线径(线材24a的直径)0.1mm、线距0.15mm的筛网 (即所谓的100目筛网)作为筛网24。筛网24层叠于蓄热板23的顶面23a，且在层叠状态下用螺钉等可拆装地固定到蓄热板23。此外，通过将筛网24层叠于蓄热板23的顶面23a，从而在蓄热板23上由筛网24形成细微的凹凸。具体地，蓄热板23上设置有以筛网24的线材24a作为凸部52、以由线材 24a包围起来的内侧区域作为凹部53的凹凸，沿正交的两个方向交替地设置这些凸部52和凹部53。此外，本实施方式中凹部53俯视观察时呈正方形形状。筛网24的上方设置有用于向蓄热板23(筛网24)排出(滴下)液体材料的喷嘴 27。具体地，喷嘴27设置于筛网24的大致中央部的上方位置。喷嘴27连接到排出通路16 的汽化器12侧的端部，并固定到例如本体31的汽化器空间S的顶面。以上是关于液体汽化装置20的结构的说明。回到图1的说明，控制器40是以由CPU和各种存储器等形成的微型计算机为本体而构成的电子控制装置。由统一管理本系统的管理计算机等预先将表面处理时涂布在晶圆 30上的液体材料的量，即，通过泵11提供给汽化器12的液体材料的量(以下称为设定供给量)，输入控制器40中并储存在存储器(图示略)中。此外，由位置传感器63检测的阀部件47的移动量也逐次被输入控制器40中。控制器40基于以上各输入对电动气动调节器 34进行驱动控制并对各阀13、14进行动作控制以将设定供给量的液体材料通过泵11供给到汽化器12。此外，本实施方式中，通过泵11的1次吸引动作和1次排出动作(即1周期的动作)将液体材料供给到汽化器12。S卩，泵11仅从液体罐X中吸引要提供给汽化器12的供给量的液体材料并将其供给到汽化器12。下面，对通过本液体汽化系统10使液体材料汽化时的作用进行说明。另外，在此， 作为液体材料的疏水化处理液假定为六甲基二硅胺(HMDS液)。首先，对使液体材料汽化时由控制器40执行的控制内容进行说明。首先，当由管理计算机等对控制器40输入开始信号以使得开始向汽化器12供给液体材料时，控制器40使吸入侧阀13为开启状态并使排出侧阀14为关闭状态。然后，控制器40根据存储于存储器的设定供给量和来自位置传感器63的检测信号来驱动电动气动调节器34，并使泵11进行吸引动作。由此，将液体材料从液体罐X通过吸入通路15吸入泵室58内。接下来，控制器40使排出侧阀14处于开启状态并使吸入侧阀13处于关闭状态。 然后，控制器40根据存储于存储器的设定供给量和来自位置传感器63的检测信号驱动电动气动调节器34并使泵11进行排出动作。由此，设定供给量份额的液体材料从泵室58通过排出通路16提供给喷嘴27，并从喷嘴27滴落至汽化器12内的蓄热板23(筛网24)上。 此外，在此，液体材料的设定供给量被设定为90 μ L。 然后，控制器40在维持各个阀13、14的开闭状态原封不动的情况下驱动电动气动调节器34并使泵11进行吸引动作。由此，在排出通路16内滞留有液体材料的情况下，该滞留的液体材料将被吸引至泵室58侧。更详细地，滞留的液体材料至少被吸引至排出侧阀 14的上游侧。由此，即使在液体材料滴下之后液体材料的一部分残留在排出通路16的喷嘴 27侧的通路端等的情况下，也可以避免出现该残留的液体材料汽化使液体材料的汽化量改变等不良状况。此外，控制器40在泵11的吸引动作进行之后使排出侧阀14处于关闭状态。接下来，对滴至蓄热板23(筛网24)上的液体材料汽化时的情况进行说明。从喷嘴27滴至蓄热板23上的液体材料以滴落处为中心迅速在蓄热板23的顶面 23a扩散成俯视观察时的大致正方形状。具体地，液体材料扩散为垂直相交的两边分别与筛网24的纵横线材24a平行的正方形。由此，液体材料以俯视观察大致正方形形状的薄膜状附着到蓄热板23的顶面23a。具体地，在该薄膜状的状态下，液体材料通过筛网24进入到设置在蓄热板23上的凹部53的内侧，且该凹部53内的液体材料附着到蓄热板23的顶面 23a ο扩散为薄膜状的液体材料与由加热器22加热的蓄热板23的顶面23a、及通过蓄热板23的顶面23a同样由加热器22加热的筛网24这两者接触。因此，在此情况下，液体材料被该两者23a、24加热并快速地汽化。此外，液体材料汽化后，液体材料进入的凹部53的内侧成为空的状态。根据上面详述的本实施方式的构成，可以取得以下良好效果。通过在蓄热板23的顶面23a叠置筛网24以在蓄热板23上设置凹凸，并由该凹凸促进液体材料对蓄热板23的顶面23a的润湿，从而使附着到蓄热板23的顶面23a的液体材料薄膜化。然后，通过加热器22加热蓄热板23的顶面23a，加热呈薄膜状的液体材料。 在这种情况下，由于能够增大液体材料和蓄热板23的顶面23a的接触面积(即传热面积) 并加热液体材料，因而能够促进液体材料汽化。此外，用于加热液体材料的蓄热板23的顶面23a基本平坦地形成，因而汽化后的液体材料可通过氮气输送至腔室18而不会残留在蓄热板23的顶面23a上。因此，既可以解决液体材料残留的问题，又能促进液体材料汽化的。此外，像本实施方式那样要汽化的液体材料为微量(例如90 μ 1)的情况下，如果是使液体材料附着于无凹凸的蓄热板23上并加热的结构，则可以设想将出现以下情况， 艮口，液体材料将在蓄热板23上呈从其顶面23a鼓起的形状，从而无法保证液体材料和蓄热板23的顶面23a之间的大接触面积。因此，可以看出在此情况下难以快速使液体材料汽化。基于此点，根据上述在蓄热板23上设置凹凸的结构，即使液体材料是微量的，也可以使液体材料在蓄热板23上薄膜化，因而能够增大液体材料和蓄热板23的顶面23a的接触面积，从而可以使液体材料快速汽化。通过促进液体材料对蓄热板23的顶面23a的润湿，从而使附着到蓄热板23的顶面23a的液体材料薄膜化。因此，无需另设用于使附着到蓄热板23的顶面23a的液体材料薄膜化的驱动装置(例如使液体材料压缩的加压装置)等就可取得上述效果。由于是通过在蓄热板23的顶面23a上叠置筛网23从而在蓄热板23上形成凹凸的结构，因而能够以简单的结构获得上述效果。此外，由于筛网24可拆装地固定到蓄热板 23，因而可根据汽化的液体材料的润湿性更换合适粗细(网目的细度)的筛网24。因此，适于润湿性不同的多种液体材料的汽化。由于由热传导性良好的不锈钢制成的线材形成筛网24，因而可由加热器22通过蓄热板23的顶面23a对筛网24进行加热。这种情况下，由于不仅可以通过蓄热板23的顶面23a还可以通过筛网24对液体材料进行加热，因此，能够进一步促进液体材料汽化。通过将纵横排列的多根线材24a编织成网眼状以形成平板状的筛网24，并将该平板状的筛网24设置于蓄热板23的顶面23a，从而在蓄热板23上沿与蓄热板23的顶面23a 平行的两个正交方向交替配置凸部52和凹部53。由此，能够在上述两个方向上提高液体材料对蓄热板23的顶面23a的润湿性(即易于润湿)，即，能够在上述两个方向上促进液体材料对蓄热板23的顶面23a的润湿。因此能够进一步增大液体材料和蓄热板23的顶面23a 的接触面积。由此，能够进一步促进液体材料的汽化。
基于输入的设定供给量和位置传感器63的检测结果，驱动电动气动调节器34使泵11向汽化器12供给设定供给量的液体材料。在此情况下，由于可通过泵11将表面处理所需量的液体材料从液体罐X供给到汽化器12，因而可以使液体罐X内的液体材料保持新鲜状态而不会使其汽化。本液体汽化系统10设置有包含泵11、汽化器12、吸入侧阀13、排出侧阀14、以及排出通路16的液体汽化装置20。在此情况下，由于可将设置在腔室18上游侧的本装置 20设置成紧凑型，从而能够将本装置20配置在腔室18的附近。因此，可以使连接本装置 20 (详细地为汽化器12)和腔室18的气体排出配管29的长度变得相对较短，从而可以抑制汽化器12中被汽化的液体材料在提供给腔室18之前会在该配管29内被再液化。为加热液体材料而使其附着的液体附着面(蓄热板23的顶面23a)形成为平坦状，所以，即使蓄热板23的顶面23a因液体材料的汽化而丧失顶面热量并导致该顶面23a 局部变为低温，也能迅速向该变为低温的部位供热。由此，能够使用于加热液体材料的加热面(液体附着面)的温度保持均勻。(第2实施方式)下面，参照图5对本发明的第2实施方式进行说明，并主要说明其与第1实施方式的不同点。本实施方式的液体汽化系统10在液体汽化装置120的构成和控制器40的控制内容这两个方面与第1实施方式不同，除此之外均相同。图5是表示第2实施方式的液体汽化装置120的构成的平面图。本实施方式的液体汽化装置120在使用筛网124汽化液体材料这点上与第1实施方式存在相同之处，但是，在本实施方式中，液体材料被供给到筛网 124和液体附着面(后述)之间，这一点不同于第1实施方式。液体汽化装置120具有泵111、汽化器112、吸入侧阀113及排出侧阀114，相互由供给液体材料的流路16连接。泵111经由吸入侧阀113和吸入通路15连接到液体罐X，且经由排出侧阀114和排出通路16连接到汽化器112。与第1实施方式同样，通过控制器40 对泵111、吸入侧阀113和排出侧阀114进行控制，以向汽化器112供给液体材料。汽化器 112通过加热器122和筛网124使液体材料汽化，并将该汽化气体与从气体导入配管128供给的氮气混合，从气体导入配管129排出该混合气体。图6是表示泵111的内部构成的截面图。泵111是双隔膜式泵，包括具有阀部件 147L的第1阀单元111L、具有阀部件147R的第2阀单元111R、以及连结体131。在连结体 131的两端，第1阀单元11IL和第2阀单元11IR相向并通过螺纹方式连结。为提高装备配置的效率(后述)，泵111呈厚度Ll受到限制的薄型长方体的外形。连结体131例如由氟系树脂形成，也可称作连结部。第1阀单元IllL及第2阀单元IllR具有相同的构成(或对称的构成)，且在彼此相向的方向上紧固(螺纹连接)到连结体131。阀部件147L通过使隔膜阀体149L和阀杆148L—体化的方式来形成，隔膜阀体149L与阀杆148L的一端连结。阀部件147R通过使隔膜阀体149R和阀杆148R —体化的方式来形成，隔膜阀体149R与阀杆148R的一端连结。隔膜阀体149L及隔膜阀体149R例如由氟系树脂形成。连结体131中，隔膜阀体149L和隔膜阀体149R形成有在泵室158中彼此相向的面。由此，可以确保泵室的容积变化量且可以抑制隔膜阀体149L和隔膜阀体149R的直径。 这种直径的抑制可以通过减小泵室158的尺寸来提供用于抑制厚度Ll的设计自由度。
此外，第1阀单元IllL及第2阀单元IllR也可分别称作第1隔膜驱动部和第2 隔膜驱动部。隔膜阀体149L及隔膜阀体149R也可分别称作第1隔膜及第2隔膜。连结体131与隔膜阀体149L和隔膜阀体149R—起形成泵室158，吸入通路137和排出通路138与该泵室158连接。如图5及图6所示，连结体131呈具有顶面131t和底面 131b的长方体的外形。泵111被构成为以装备状态的重力方向为基准，顶面131t配置于上侧，底面131b配置于下侧，成为与水平面平行的面。如此，在泵111中，隔膜阀体149L和隔膜阀体149R配置于从两侧夹着泵室158的位置(相向位置)。根据这种装备配置，可以在沿第1阀单元11IL和第2阀单元IllR的相向方向延伸的方向上有效利用用于配置该阀单元111L、111R的构成要素的空间。由此，通过减小顶面131t和底面131b之间的距离，可减小重力方向上泵111的高度Li。此外，在水平面内，在与隔膜阀体149L和隔膜阀体149R的动作方向(相向方向) 垂直的方向上配置有吸入通路137和排出通路138，且如图5所示分别连接有吸入侧阀113 和排出侧阀114。由此，在与配置用于驱动隔膜的构成要素的空间垂直的方向上，可以有效利用用于配置与吸入通路和排出通路连接的阀等构成要素的空间。“水平面内”是指以重力方向为基准呈水平的平面。由此，本发明人通过抑制泵室158的尺寸，实现基本不浪费水平面内空间这样的有效装备配置，从而成功地减小了泵111的厚度Li，其中，泵室158的尺寸与隔膜阀体149L 和隔膜阀体149R的相向动作相关。此外，上述实施方式中，在与隔膜阀体149L和隔膜阀体149R动作的方向(相向方向)垂直的方向上配置有吸入通路137和排出通路138，但不一定非要垂直只要是交叉的方向即可。但是，越接近垂直装备效率越好。图7是表示连结体131的内部结构的放大截面图。连结体131中，内径彼此不同的多个贯通孔在阀杆148L和阀杆148R的移动方向(相向方向)上连通。多个贯通孔从连接体131的外侧依次为一对外侧贯通孔135a、135e、一对内侧贯通孔135b、135d、以及中心贯通孔135c，这些贯通孔作为同轴(中心轴线相同)的贯通孔而连通。在本实施方式中，该连通被构成为共中心轴线的同轴连通状态。外侧贯通孔135a、135e及内侧贯通孔135b、135d分别形成为具有的一定内径的圆筒形状。另外，中心贯通孔135c呈越靠近中央部(最里部)内径越大的形状。在中心贯通孔135c的中央部，在重力方向上排出通路138连接到最顶部，吸入通路137连接到最低部。 根据这种中心贯通孔135c的内部形状和连接状态，即使泵室158内部起泡，也可通过从吸入通路137吸入的液体材料被顺利地从排出通路138排出。外侧贯通孔135a与第1阀单元所具有的阀柄(stem) 132L螺纹连接。阀柄132L 形成有可供阀杆148L插穿的阀支撑孔143L。隔膜阀体149L的中央部侧连接到阀杆148L。 隔膜阀体149L的端部侧的外缘部150L由阀柄132L和连接体131的支撑部135f夹持。隔膜阀体149L的中央部侧和端部侧之间的环状区域(膜区域)被构成为朝阀杆148L侧凸起的凸状以能够随阀杆148L的往复移动顺利进行弹性变形。另一方面，连结体131的外侧贯通孔135e与第2阀单元IllR的阀柄132R螺纹连接。隔膜阀体149R的端部侧的外缘部150R由阀柄132R和连结体131的支撑部135g夹持。第2阀单元IllR的各构成要素即阀柄132R、阀杆148R及外缘部150R具有与第1阀单
1元IllL的各构成要素对称的结构。由于第2阀单元IllR具有与第1阀单元IllL的各构成要素对称的结构，所以关于第2阀单元IllR的详细结构，下面将以第1阀单元IllL的说明代替第2阀单元IllR的说明。阀柄132L的螺纹部与第1阀单元本体131L螺纹连接。如图6所示，第1阀单元本体131L形成有向连结体131侧开口的大致圆柱状的缸部142L以及与缸部142L连通的阀杆支撑孔144L。阀杆支撑孔144L的螺纹部与阀柄132L螺纹连接。第1阀单元本体131L 例如由聚丙烯树脂或铝等轻质材料形成。如图6所示，阀柄132L在与连结体131相对的一侧形成有导向器支撑部146L。导向器支撑部146L被构成为具有支撑导向器145L的筒状形状的凸部。导向器145L是配置在导向器支撑部146L的内部呈筒状形状的部件，在其内部沿阀杆148L的移动方向可滑动地支撑阀杆148L。阀杆148L形成有外径与缸部142L的内径尺寸相同的大致圆板状的活塞部151L。活塞部151L可滑动地容纳于缸部142L且其外周部与缸部142L的内面接触。缸部142L由阀杆148L的活塞部151L划分为两个空间。该两个空间中，相对于活塞部151L位于行程限制部件157L—侧的空间成为压力控制室141L。工作空气从外部经由形成于第1阀单元本体131L的空气导入通路134L导入到压力控制室141L，由此，通过对压力控制室141L内加压，能够使阀部件147L向连结体131侧移动。另一方面，阀柄132L借助于活塞部151L通过螺旋盘绕状的弹簧156L在连结体131相反侧的方向上对阀杆148L 施力。由此，能实现阀杆148L的往复移动。阀杆148L向连结体131相反侧方向的移动受到行程限制部件157L限制。行程限制部件157L具有螺纹部155L，通过该螺纹部155L与第1阀单元本体131L螺纹连接。螺纹部155L通过行程限制部件157L和第1阀单元本体131L之间的相对旋转，可使行程限制部件157L相对于第1阀单元本体131L进行相对移动(调整)。行程限制部件157L通过该相对移动能够在连结体131的相反侧可调整地限制阀杆148L的移动范围。在连结体131侧， 阀杆148L的移动范围由导向器支撑部146L固定地限制。阀杆148L及阀杆148R的移动范围可分别称为第1位移量和第2位移量。行程限制部件157L通过采用了上螺母159L和下螺母160L的双螺母来固定。并且，使用柱螺栓164L抑制上螺母159L和行程限制部件157L的相对旋转。可以在松缓柱螺栓164L的状态下拧松上螺母159L后，在松缓下螺母160L的状态下对行程限制部件157L
进行调整。行程限制部件157L和行程限制部件157R的旋转角度可分别根据形成于第1阀单元本体131L及第1阀单元本体131R的刻度(图示省略)来确认。该刻度可通过能以微米单位测量行程限制部件157L及行程限制部件157R的移动量范围的与千分尺相同的结构 (角度测量部)来实现。行程限制部件157L及行程限制部件157R也分别称为第1位移限制部和第2位移限制部。行程限制部件157L及行程限制部件157R的旋转也分别称为第1 旋转和第2旋转。由此，可以对根据汽化量的规格设定为各种量的排出量进行简易地设定而无需实际检测。该排出量表示每1次的行程的量。此外，这种构成也可通过千分表或数字千分尺等表示根据旋转角度测量的、与排出量相关的值的各种形式来实现，也可称为测量部。此外， 与排出量相关的值广义上包括例如由旋转角度引起的行程限制部件157L及行程限制部件157R的进给量等与排出量相关的值。本实施方式中，阀杆148L及阀杆148R的行程被设定为一次往复动作仅排出液体材料100 μ L。在该设定中，例如，如果在1分钟内进行6个周期的往复动作，那么就能以一分钟600 μ L的速率(速度)进行汽化。下面，参照图8至图13对第2实施方式的汽化器112进行说明，并主要说明其与第1实施方式的汽化器12的不同点。图8是表示第2实施方式的汽化器112的外观的立体图。图9是表示第2实施方式的汽化器112的截面的截面图。图10是表示汽化器112 的蓄热板123的立体图。图11是从下方观察第2实施方式的汽化器112的内部所获得的内部结构图。图12是表示从下方观察汽化器112的加热器122时的状态的仰视图。图13 是表示从下方观察汽化器的背盖136时的状态的仰视图。“下方”表示在汽化器112的装备状态下以重力为基准的方向，即与盖121相反的一侧。第2实施方式的汽化器112，如图8所示，具有依次层叠盖121、蓄热板123及汽化器本体133的构造，与泵111 一样呈厚度L2被抑制的薄型长方体的形状。盖121在本实施方式中以透明的树脂构成，但亦可采用不透明的材料来构成。蓄热板123与第1实施方式一样由热传导性良好的碳化硅或铝材料所形成的矩形形状的板材构成。如果采用透明的材料来构成，则具有可目视确定汽化状态的优点。如果汽化器112与泵111被配置在同一平面内，则可以将液体汽化装置120的整体构成为薄型的系统。第2实施方式的汽化器112中，液体材料经由形成于蓄热板123的孔127供给到液体附着面123a和筛网124之间，这一点与液体材料从液体附着面123a的相反侧(上侧) 从上方滴至筛网24的第1实施方式(参照图2)不同。在以下所述的构成中，由于液体材料能够通过界面张力在筛网124和液体附着面123a之间的间隙中流动，因而能够将液体材料供给到筛网124的大面积上。如图9所示，蓄热板123的大致中央部形成有孔127，能从液体附着面123a的大致中央部供给液体材料。孔127连接有隔断阀180，可以在孔127隔断液体材料流动。如图 11所示，形成有用于供给液体材料的内部流路115的流路单元116及提供用于控制液体材料供给的工作空气的配管191在夹着隔断阀180的方向上与隔断阀180连接。该方向基本垂直于气体导入配管128和气体导入配管129夹着蓄热板123的方向。在隔断阀180的周围，在蓄热板123下面的汽化器本体133的内表面，向蓄热板 123供热的2个加热器122 (参照图12)安装于汽化器本体133的凹部139。如图11所示， 流路单元116及配管191配置于凹部139中2个加热器122的下面。在隔断阀180、流路单元116及配管191的周围，在各加热器122的下面，如图9所示，分别配设具有弹性的隔热材料192。背盖136(参照图13)在隔热材192发生了弹性变形的状态(施加了负荷的状态) 下固定在汽化器112的内表面。此外，图11中，为了表示内部构造而省略了一部分部件(背盖136及隔热材料192)的图示。如图12所示，加热器122由呈L字形的平板状橡胶加热器构成。所谓橡胶加热器， 是指用具有柔软性的薄硅胶覆盖发热线的加热器，具有能够可靠地贴合加热面且易于安装的优点。筛网124如图5所示，与第1实施方式同样，通过将多个纵横排列的不锈钢制成的线材24a编织成网眼状来形成，整体上呈平板状。
18
如图10所示，蓄热板123的液体附着面123a的面积要明显大于第1实施方式。液体附着面123a中，其背面形成有用于设置热电偶195的凹部194。由于凹部194形成于蓄热板123的背面(与液体附着面123a相反一侧的面)，所以能够确保液体附着面123a这一侧的气密性。通过将凹部194进一步形成为深凹至液体附着面123a附近的深凹部，即减小其与液体附着面123a之间的板厚，从而能够正确地并以很小的时间延迟来测量液体附着面123a的温度。热电偶195连接到控制器40，本实施方式中，用于监视汽化状态。凹部194安装有用于覆盖热电偶195的热电偶罩193。此外，在图10中，为了便于充分理解说明，示出热电偶罩193拆除后的状态。后面将对状态监视的方法进行说明。如图8及图9所示，通过多个按预定间距设置的销124f将筛网124压附于液体附着面123a以使其不会过分远离液体附着面123a。多个销124f例如为氟系树脂制成，被固定到盖121。根据这种结构，由于液体材料能够通过界面张力在筛网124和液体附着面123a 之间的间隙中流动，因此能将液体材料供给到筛网124的大面积上。多个销124f中的一个被配置在与孔127的出口相向的位置。由此，能够防止液体材料从孔127排出引起筛网变形而导致的对盖121的冲击。孔127的出口又可称作供给口。如此，间隙流动形成于多个推压位置(销124f)之间，所以能够提供筛网粗细和多个销124f的位置关系等设计自由度。由此，可以提供设计工具用于实现与所需规格对应的适当的间隙流动。销124f可以被构成为在推压筛网的多个位置上配置的多个部件，或者构成为包括具有多个用于推压的凸部的共通部件。如图9所示，供氮气通过的汽化流路175面对筛网124，汽化后的液体材料混合到氮气中。氮气依次经由气体导入配管128的导入通路174和槽部123b被供给到汽化流路 175。槽部123b被形成为能够使从导入通路174供给的氮气在水平面内分散并供给到筛网 124。另一方面，混合有液体材料的氮气从汽化流路175依次经由槽部123c和气体导入配管129的排出通路176排出。槽部123c被形成为能够从筛网124的宽大的表面汇集混合气体并将其排到排出通路176。如图5及图9所示，汽化流路175通过装备在盖121和蓄热板123之间的垫片123g呈气密状态。下面，参照图14至图16对向汽化器112的液体附着面123a供给液体材料的方法进行说明。图14为表示汽化器112的截面的截面图。图15是表示隔断阀180关闭孔127 时的放大截面图。图16是表示隔断阀180开启孔127时的放大截面图。如图14所示，第2实施方式的汽化器112在液体材料的供给流路上具备隔断阀 180，这一点与第1实施方式中液体材料的供给方法不同。该隔断阀180能够有效地抑制在停止供给液体材料后由于供给流路内的液体材料汽化所导致的液体材料外漏或供给流路内产生气泡。由于该外漏或气泡的产生是液体材料供给量出现误差的主要原因，所以本实施方式具有能够通过有效地降低该误差来显著提高液体材料的供给量精度的优点。液体材料经由形成于流路单元116中的内部流路115供给到隔断阀180。隔断阀 180能够利用经由配管191供给的工作空气来控制对孔127的液体材料供给。孔127连接有隔膜结构的隔断阀180。如图15及图16所示，隔断阀180通过使隔膜阀181在孔127的流路方向上移动能够对孔127的开闭进行控制。由此，第2实施方式中，形成于蓄热板123内部的孔127直接被隔膜阀181隔断，所以能够防止因液体材料残留于排出通路所引起的汽化量的变动等不良状况。这是因为，液体材料在排出通路的残留量很少，并且立即被加热汽化，所以不会构成变动的主要原因。孔127在蓄热板123的内部形成为筛网124侧的出口和隔断阀180侧的入口之间的流路。筛网124侧的出口亦称作供给口。隔断阀180侧的入口设置在形成流路室ISlr 的凹部，并具有阀座181v。隔断阀180侧的入口亦称作背面开口部，并在孔127处形成于与供给口相向的位置处。通过具有这种凹部的结构，无论蓄热板123的厚度如何，都能缩短供给口和背面开口部之间的流路长度。进一步地，能够通过调节凹部的深度来自由设定该流路的长度。另外，本发明人发现隔膜阀181的动作会给液体材料的排出量带来微小的影响 (降低)。本发明人查明对排出量产生影响的原因是隔膜阀181的动作所导致的流路室181r 的容积增大。流路室181r的容积增大是因为供给到隔断阀180的液体材料中的一部分被吸收使得对孔127的供给量降低。但是，本发明人发现该容积增大是具有再现性的，还发现通过预估上述容积增大所导致的排出量降低来设定排出量就能够简便地解决上述问题。隔膜阀181连接有阀杆182。阀杆182形成有滑动部184和活塞部183。滑动部 184在导向部189的内部滑动，导向部189为形成于隔断阀本体185中的圆筒状凹部。活塞部183在缸部188的内部滑动，并划分压力控制室183a，其中，缸部188被形成为在隔断阀本体185的内部与导向部189连通。在隔膜阀181对孔127进行封闭的方向上螺旋盘绕状的弹簧187对阀杆182施力，通过压力控制室183a的加压使阀杆182在孔127的开启方向上进行动作。弹簧187通过背盖186固定。下面，参照图17说明对汽化器112的液体附着面123a供给的液体材料的汽化状态监视。图17是表示隔断阀180的开闭状态与热电偶195 (参照图10)测量的温度之间的关系的图表。图17中，横轴表示时间，纵轴表示阀的开闭状态和测量温度。曲线Cl是表示隔断阀180的开闭状态的曲线。曲线C2是表示热电偶195的测量温度的曲线。通过热电偶195进行温度测量是因为热电偶的响应性高，具有适于检测汽化开始或结束所引起的细微温度变化的理想特性。液体材料的汽化状态通过以下方式监视。在时刻11，控制器40进行控制以从配管 191供给工作空气，并使隔断阀180从关闭状态(参照图15)变为开启状态(参照图16)。 当隔断阀180开启状态开始(开始供给液体材料)时，控制器40开始监视热电偶195的测量温度，并测量至热电偶195检测到汽化所引起的温度降低时的经过时间P1。控制器40能够根据上述至汽化开始前的经过时间Pl和预先设定的基准范围来确认从开始供给液体材料到汽化开始的过程是否正常。接着，当隔断阀180的关闭状态的开始(液体材料的供给结束)时，控制器40开始监视热电偶195的测量温度，并测量至热电偶195检测到汽化结束所引起的温度上升时的经过时间P2。控制器40能够根据上述经过时间P2和预先设定的基准范围来确认从结束供给液体材料到汽化完毕的过程是否正常。此外，温度上升检测可以用于对汽化过程中发生的汽化意外终止进行检测(故障检测)。另外，在本实施方式中，蓄热板123的温度控制实质上是根据液体材料汽化状态的观测结果来进行的。作为控制对象的液体附着面123a的温度，会因液体附着面123a处的汽化热而变化。可由蓄热板123蓄热以使得上述温度缓慢变化。蓄热板123的温度控制采用液体附着面123a中温度变化最大的区域处所测得的温度来进行温度反馈。由此，通过抑制加热器122的热供给量来实现较小的温度变化以及高适应性的控制。为了实现这种适应性，热电偶195优选配置在孔127的附近。这样做的原因在于， 能够根据液体材料供给的开始来监视被最先供给液体材料的位置的汽化状态，并能够根据液体材料供给的停止来监视液体材料最后残留的位置的汽化状态。这种配置还具有能够对汽化过程自始至终进行监视的优点。但是，应优先考虑缩短孔127的长度，因而优选将热电偶195设置于避开隔断阀 180的位置中最靠近孔127的位置，即，配置在与隔断阀180相邻的位置。在蓄热板123的温度控制为通断控制的情况下，在通电操作(通电接通或通电断开)引起的瞬态响应的影响小的状态下，优选对隔断阀180进行开闭。具体而言，优选地， 设定隔断阀180的开闭操作和通电操作在预先设定的时间内不重复的控制原则或联锁逻辑。这是因为考虑到当液体材料供给的开始或停止的时间与通电操作重复时难以进行判别这样的情况。另一方面，在蓄热板123的温度控制为比例控制的情况下，由于很难产生与液体材料供给的开始或停止所引起的剧烈变化类似的温度变化，所以，能以高可靠性实现对液体材料供给开始或停止的观测。此外，在能够预先了解液体材料供给的开始或停止所引起的变化的特性(温度变化的波形)的情况下，也可以使用提取该波形的滤波器。具体地，也可以为这样的结构，即 例如，取得隔断阀180开闭后一定期间内的温度的时间序列数据，并以快速傅里叶变换检测特定波长的波形峰值。这样的话，能够以高精度实现汽化状态的监视。如上所述，第2实施方式中，能够利用由汽化热引起的蓄热板123的温度变化来监视汽化状态。这样，能够准确监视汽化进程，并能通过实现故障探查来提高半导体加工工艺的品质。第2实施方式与第1实施方式的供给方法相比，能够取得与第1实施方式相同的效果，并且还具有抑制液体材料的飞散、增大液体材料的汽化面积以及使液体材料供给量稳定(高精度化)的优点。关于对液体材料飞散的抑制，第1实施方式中通过使用筛网24来促进液体材料对液体附着面23a的润湿，与现有技术相比在扩大汽化面积方面获得了成功。并且，第2实施方式中，从筛网124的里侧供给液体材料，这样，即使加压供给液体材料也能抑制因排出的液体材料冲击筛网124引起的液体材料在液状状态下的飞散(雾散化)。在进行液体材料的加压供给时，来自设于与供给口相向的位置处的销124f的反作用力将使筛网124的网眼更加细致，这样能够防止发生泄漏。根据这种机制，在第2实施方式中能够进一步提高供给速度。本发明人发现液体材料的飞散将对加工对象带来负面影响。液体材料撞击筛网24 产生飞散并附着在未加热的排出侧(例如，喷嘴27(参照图2)的附近)，因此液体材料的飞散成为液体材料固化而无法使其蒸发的原因。液体材料固化后的固形物随后将脱落并与氮气一起提供给加工对象，因此成为加工对象品质恶化的原因。关于液体材料汽化面积的增大，第2实施方式中，由于几乎没有液体材料飞散的可能性，所以能够提高液体材料的供给速度。此外，液体材料通过界面张力从孔127流到筛网124和液体附着面123a之间的间隙中，并顺利地供给到筛网124的较大的区域中，因此能能够显著扩大液体材料的汽化面积。另外，由于无需担心液体材料会附着到排出侧，所以还可通过增大液体材料的汽化面积且在上下方向(重力基准)上使汽化流路变薄或者缩小盖121和液体附着面123a的间隔来实现汽化器112的薄型化。关于液体材料供给量的稳定化，第2实施方式中，如上所述在被加热的蓄热板123 的内部所形成的孔27直接被隔膜阀181隔断，因此，能够防止由排出通路中残留的液体材料所引起的汽化量变动等不良状况。另外，隔膜阀181的滑动部分未暴露在流路中，所以能够防止因液体材料蓄积到滑动部分所产生的固形物。由此，能够通过抑制固形物的产生来预防固形物混入氮气中而引起加工对象的品质恶化。由此，第2实施方式的汽化器112通过向筛网124和液体附着面123a之间供给液体材料，抑制液体材料飞散并有效利用界面张力来实现液体材料的高速供给。此外，对隔断阀180进行设置使其与形成于蓄热板123的凹部整合，因而能够维持蓄热板123的蓄热量且还能减小汽化器112的厚度。(其他实施方式)本发明不限于上述实施方式，例如还可以如下实施。(1)上述实施方式中，虽然使用筛网24、124来使液体材料扩散为薄膜状，但也可以使用其他方式使液体材料扩散为薄膜状。例如，也可以以预定的间隙设置相向的两个液体附着面，并将液体材料注入该间隙的内部，从而利用毛细管现象将液体材料扩散成薄膜状。下面，参照附图18对该具体示例进行说明。本示例中，将图18所示的汽化器70设置在液体汽化系统中以代替上述实施方式中的汽化器12。本示例中的汽化器70包括构成该汽化器70基底的固定部71、以及设置于固定部71上侧且可在上下方向上移动的移动部72。固定部71包括呈圆板状的基部73、作为加热装置的下部加热器74、及隔热材料 75。基部73例如由热传导性良好的铝形成，并以基本水平的状态设置。基部73设置有向上方突出的突出部76。突出部76整体上呈环状，由该突出部76包围的内侧区域成为配设移动部72的一部分的配设空间81。突出部76形成有经由导入通路77与配设空间81连通的导入口 79、和经由排出通路78与配设空间81连通的排出口 80。导入口 79连接有通到氮气源的导入配管(图示省略)，排出口 80连接有通到腔室的排出配管(图示省略)。此外，基部73以上下贯通基部73的方式设置有用于供给液体材料的供给配管83。 在俯视观察时，在配设空间81的大致中央位置处，供给配管83与配设空间81连通。下部加热器74例如由片状的橡胶加热器构成，以大于配设空间81外径(换言之， 即突出部76的内径)的直径形成为圆板状。下部加热器74叠置于基部73的底面，具体而言被设置成俯视观察时与配设空间81的整个区域重叠。隔热材料75由呈圆板状的玻璃棉构成。在基部73及下部加热器74的下方，隔热材料75被设置为遍及基部73的整个区域上。另外，移动部72包括容纳部件86、容纳于容纳部件86中的蓄热板87及上部加热器88。容纳部件86具有上下开放的筒状的容纳部86a、设于容纳部86a的上端部的凸缘部 86b。蓄热板87由与基部73相同的材料形成，并由外径尺寸与容纳部件86的容纳部86a 的内径尺寸基本相同的圆板构成。蓄热板87设于容纳部件86的容纳部86a的内侧处的下端部，其侧面与容纳部86a的内侧面相向。具体而言，蓄热板87被设置为其底面处于与容纳部86a的下端部基本相同高度的位置或比其低的位置。与下部加热器74 一样，上部加热器88例如由片状的橡胶加热器构成，以与蓄热板 87基本相同的外形尺寸形成为圆板状。上部加热器88设置于容纳部件86的容纳部86a 内，并叠置于蓄热板87的顶面。上部加热器88之上设置盖部91，盖部91具有上侧开口的凹部91a并在该凹部91a 设有隔热材料92。隔热材料92上设置有板状的盖93，盖93通过螺栓101固定到容纳部件 86的凸缘部86b。此外，在容纳部件86的凸缘部86b的顶面设置有从该凸缘部86b向两侧突出的平板状的板部件94。板部件94沿凸缘部86b的外周方向以预定间隔设置有多个 (例如4个)，且分别通过螺栓102固定到凸缘部86b。按照上述方式构成的移动部72在其一部分落入配设空间81的状态下设于固定部 71上。具体地，该配置状态下，蓄热板87的底面与基部73的顶面隔着预定的间隙相互相向，该间隙(详细地，也包括容纳部件86的容纳部86a和基部73的突出部76之间的间隙) 成为用于使液体材料汽化的汽化室97。容纳部件86的凸缘部86b配置在基部73的突出部76上，在凸缘部86b和突出部 76之间设置有横跨两者76、86b的波纹管98。波纹管98是用于将汽化室97的内外隔开的隔断部件，可在上下方向上伸缩。汽化室97通有上述供给配管83。液体材料经由供给配管83供给到汽化室97。此夕卜，汽化室97经由导入通路77与导入口 79连通，经由排出通路78与排出口 80连通。氮气经由导入口 79供给到汽化室97，被供给的氮气和被汽化的液体材料经由排出口 80供给到腔室。在各板部件94的下方设置有使移动部72上下移动的空气压力缸式升降装置99。 升降装置99包括固定到固定部71的基部73上的缸本体部99a、及通过在缸本体部99a内导入工作空气而进行升降的活塞杆99b。各板部件94用螺栓固定到活塞杆99b的顶面，由此构成为当活塞杆99b上下移动时各板部件94上下移动，进而移动部72也上下移动。具体地，移动部72可在蓄热板87的底面与基部73的顶面接近的下位置(参照图18(b))和位于下位置上方的上位置(参照图18(a))之间移动。本实施方式中，移动部72位于下位置时，蓄热板87的底面和基部73的顶面之间的空隙为20 60 μ m，移动部72位于上位置时，上述间隙为2mm。下面，对通过上述结构的汽化器70使液体材料汽化时的作用进行说明。此外，本示例中，假设使用与液体附着面(详细地，基部73和蓄热板87的板面)之间的接触角大于 90°的材料作为液体材料。首先，如图18(b)所示，驱动升降装置99使移动部72向下位置移动。然后，使泵进行排出动作从而经由供给配管83向汽化室97供给液体材料。这种情况下，汽化室97中， 液体材料通过蓄热板87的底面和基部73的顶面之间的空隙在远离供给配管83的供给口 (图示省略)一侧通过毛细管现象扩散为薄膜状。此外，俯视观察时，液体材料以供给配管 83的供给口为中心扩散为圆形。接着，驱动升降装置99使移动部72向上位置移动。这种情况下，液体材料以扩散为薄膜状的状态附着于蓄热板87的底面和基部73的顶面，附着到各表面的液体材料分别借助各个面由加热器74、88加热并汽化。此外，在移动部移动到上位置后，从导入口 79将氮气导入到汽化室97。由此，汽化后的液体材料与导入到汽化室97的氮气一同经由排出口 80供给到腔室。根据上述结构，由于可在蓄热板87的底面和基部73的顶面之间的空隙中通过毛细管现象将液体材料扩散成薄膜状，因此，能使液体材料薄膜状地附着到蓄热板87的底面和基部73的顶面。此外，附着到该各个面的液体材料可借助各个面由加热器74、88加热， 艮口，能够借助两个液体附着面对液体材料进行加热，所以能进一步促进液体材料的汽化。(2)上述实施方式中，采用了使用筛网24、124在液体附着面上设置凹凸部的结构，但设置凹凸部的结构并不限于此。例如，也可以不使用筛网24，而是通过将液体附着面的表面加工成凹凸来设置凹凸部。这种情况下，由于无需设置用于设置凹凸部的其他部件， 所以能够降低部件数量。(3)上述实施方式中，凸部52和凹部53沿着与蓄热板23的顶面23a平行的两正交方向交错地配置于蓄热板23上。但是不一定必须是正交的两个方向，只要是不同的两个方向即可。此外，也可以是将凸部52和凹部53只沿着与蓄热板23的顶面23a平行的一个方向配置的结构。(4)上述实施方式中，使用不锈钢制的筛网24、124，但是筛网不一定必须是不锈钢制成的，也可以使用由其他金属形成的筛网。此外，也可以使用由氟系树脂等形成的树脂筛网。此外，上述实施方式中，使用了具有100目的粗细度的筛网作为筛网24，但也可使用其他粗细度的筛网。总之，根据汽化的液体材料的种类(详细地为润湿性)使用适当粗细度的筛网即可。(5)上述实施方式中，采用了通过泵11向汽化器12供给液体材料的结构，但是也可使用泵11以外的装置向汽化器12供给液体材料。例如，可以考虑使液体罐密闭并将配管连接到液体罐，通过该配管对液体罐内进行加压从而将液体材料压送至汽化器12。(6)上述实施方式中，采用了通过提高液体材料的润湿性来使液体材料扩散成薄膜状的结构，但是也可通过其他方式来将液体材料扩散成薄膜状。例如可以考虑如下结构， 即具有一对相向的形成有间隔的平板状的板部件、及使该各板部件中的任意一个在垂直于其板面的方向上移动的驱动装置的结构。这种情况下，将液体材料供给到两板部件之间， 之后由该驱动装置进行驱动以使任一板部件靠近另一板部件，则可通过两板部件压缩液体材料，从而能在两板部件之间将液体材料扩散成薄膜状。(7)上述实施方式中，本液体汽化系统用于半导体的生产线，但是也可用于其他生产线上。此外，上述实施方式中，本系统10用于使作为液体材料的六甲基二硅胺液体(HMDS 液体)汽化，但是也可用于使四甲基环四氧硅烷(TMCTS)等其他液体材料汽化。(8)上述实施方式中，液体附着面123a具有平面形状，但是也可以不一定必须是平面形状。具体地，例如也可以形成为具有以孔127为中心呈平缓的凹状的形状，或者也可以形成为具有以孔127为中心呈平缓的凸状的形状。(9)上述实施方式中，液体附着面123a不具有槽部或部分的突起部，但是也可以形成例如用于对液体材料在筛网124和液体附着面123a之间的流动进行控制的槽(旁路) 或凸部(迂回要素)。槽例如也可以包含从孔127延伸的放射状的形状。(10)上述实施方式中，液体材料的供给口(喷嘴27或孔127的出口)的个数为一个，但是不一定必须是一个，也可以形成有多个供给口。不过，如果使供给口的个数为一，那么能抑制在隔断阀被关闭后残留在供给口的液体材料的量。(11)上述实施方式中，通过多个销124f将筛网124压附在液体附着面123a上。 例如，也可使用通过固定于液体附着面的端部的网状物(网)或绳将其压附于液体附着面的定位部件。定位部件例如可以是包括为了在液体附着面和筛网之间形成间隙而部分插入的隔片的结构。即使这种结构也能防止发生下述问题，即例如在使用粘着剂等粘合的情况下堵塞筛网空隙等问题；或者，采用紧固部件紧固的情况下液体材料凝聚在紧固部附近并可能产生固形物等问题。(12)上述实施方式中，通过刻度(图示省略)确认行程限制部件157L及行程限制部件157R的旋转角度从而调整排出量。例如，也可以为下述，即使吸入侧阀113及排出侧阀114一起动作并监视排出量，通过确认是否已达到预先设定的排出量来调整泵111。在使第1阀单元本体131L和第2阀单元本体IllR两方都进行动作时，可在例如只有其中之一排出等实际运用中以设想的一个或多个动作状态(动作模式)进行排出量确认。(13)上述实施方式中，在隔断阀180中，阀座ISlv (参照图16)形成有为用于形成流路室181r的凹部。也可以是其他结构，例如，如图19所示，蓄热板123d侧未形成阀座 181v，在隔膜阀181a侧形成有包围背面开口部的环状的突起部181p。环状的突起部181p 也称作密封部。这样，能够防止气泡滞留在形成于背面开口部的阀座181v周围。原因在于， 上述气泡滞留是由阀座181v在重力基准下在下侧凸起所导致的。隔膜阀181a具有的突起部181p的高度例如可以为0. 5mm左右。背面开口部是孔 127在隔断阀180侧的入口。如图19所示，在隔膜阀181a侧设置有环状的突起部181p时， 背面开口部可以形成沿重力方向朝突起部181p上升的斜坡。这样，由于气泡可沿着斜坡上升，所以能够进一步抑制气泡的滞留。此外，如图20所示，也可以构成为省略阀座和密封部等的结构。即，也可以是具有与阀体相向的平面的结构，以取代通过设置阀座和突起部来提高面压力的结构。这是因为， 在本发明中，在隔断时并不施加背压力。不过，为了提高密封性，包围背面开口部的环状区域优先较小的表面粗糙度。
权利要求
1.液体汽化系统，包括对液体材料进行加热使其汽化的汽化器，其特征在于，所述汽化器包括液体附着面，大致平坦地形成以使液体材料附着；薄膜化装置，使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化；以及加热装置，加热所述液体附着面。
2.根据权利要求1所述的液体汽化系统，其特征在于，所述薄膜化装置为促进液体材料对所述液体附着面润湿的润湿促进装置，通过所述润湿促进装置促进所述液体材料对所述液体附着面润湿，使附着于所述液体附着面的液体材料薄膜化。
3.根据权利要求2所述的液体汽化系统，其特征在于，所述润湿促进装置为细微的凹凸部，该凹凸部设置于所述液体附着面以提高液体材料的润湿性。
4.根据权利要求3所述的液体汽化系统，其特征在于，在所述液体附着面置有筛网，所述筛网通过将线材编织为网眼状而整体形成为平板状；并且，所述设置于该液体附着面的凹凸部将所述线材作为凸部并将所述线材包围的部分作为凹部。
5.根据权利要求4所述的液体汽化系统，其特征在于，所述液体附着面形成有向所述液体附着面和所述筛网之间供给所述液体材料的供给口。
6.根据权利要求5所述的液体汽化系统，其特征在于，包括定位部件，确定所述液体附着面和所述筛网在层叠方向上的相对位置关系。
7.根据权利要求6所述的液体汽化系统，其特征在于，所述定位部件包括推压部件，所述推压部件在以预定间隔配置的多个位置向所述液体附着面推压所述筛网。
8.根据权利要求5至7的任一项所述的液体汽化系统，其特征在于， 所述液体附着面形成为由所述加热装置加热的加热板的正面，所述加热板形成有连接所述供给口和背面开口部的孔，该背面开口部形成于所述加热板的与所述液体附着面相反一侧的面、即所述加热板的背面， 具有开闭所述背面开口部的隔断阀，所述背面开口部形成于夹着所述孔与所述供给口相向的位置。
9.根据权利要求8所述的液体汽化系统，其特征在于， 所述加热板的背面形成有凹部，所述背面开口部形成于所述凹部， 所述隔断阀具有关闭所述背面开口部的阀体。
10.根据权利要求9所述的液体汽化系统，其特征在于，所述阀体具有密封部，所述密封部为在所述背面开口部关闭的状态下包围所述背面开口部的环状突起部。
11.根据权利要求9所述的液体汽化系统，其特征在于，所述背面开口部具有形成于所述凹部的阀座。
12.根据权利要求9所述的液体汽化系统，其特征在于，所述背面开口部具有在包围所述背面开口部的环状区域与所述阀体相向的平面。
13.根据权利要求9至12的任一项所述的液体汽化系统，其特征在于，所述阀体具有开闭所述背面开口部的隔膜。
14.根据权利要求1至13的任一项所述的液体汽化系统，其特征在于， 所述液体附着面形成为由所述加热装置加热的加热板的正面，所述加热板设有用于测量所述液体附着面的温度的温度传感器。
15.根据权利要求1至14的任一项所述的液体汽化系统，其特征在于，具有向所述汽化器供给所述液体材料的泵，所述泵具有第1隔膜驱动部、第2隔膜驱动部以及将所述第1隔膜驱动部和所述第2 隔膜驱动部以相向的方向相互连结的连结部，所述连结部具有泵室，所述泵室与吸入所述液体材料的吸入通路和排出所述液体材料的排出通路连接，所述第1隔膜驱动部具有构成所述泵室的一部分的第1隔膜， 所述第2隔膜驱动部具有构成所述泵室的一部分的第2隔膜， 所述第1隔膜和所述第2隔膜在所述泵室中形成相互相向的面， 所述第1隔膜驱动部具有第1位移限制部，该第1位移限制部限制所述第1隔膜可进行机械位移的第1位移量并对该第1位移量进行调整，所述第2隔膜驱动部具有第2位移限制部，该第2位移限制部限制所述第2隔膜可进行机械位移的第2位移量并对该第2位移量进行调整。
16.根据权利要求15所述的液体汽化系统，其特征在于，所述第1位移限制部以所述第1隔膜的位移方向为轴线相对于所述泵进行旋转、即第 1旋转，由此对所述第1位移量进行调整，所述第2位移限制部以所述第2隔膜的位移方向为轴线相对于所述泵进行旋转、即第 2旋转，由此对所述第2位移量进行调整，所述泵设置有测量部，所述测量部表示根据所述第1旋转的角度和所述第2旋转的角度测出的与排出量相关的值。
17.根据权利要求3或4所述的液体汽化系统，其特征在于， 所述凹凸部包括多个凹部和多个凸部，沿平行于所述液体附着面的两个不同的方向分别交替地配置所述凹部和所述凸部。
18.根据权利要求2所述的液体汽化系统，其特征在于，所述汽化器包括一对所述液体附着面，且该各液体附着面以预定的间隙相向配置，所述润湿促进装置通过毛细管现象促进所述间隙内的液体材料对所述各液体附着面的润湿。
19.根据权利要求1至18的任一项所述的液体汽化系统，其特征在于，包括 供给泵，经由供给通路向所述汽化器供给液体材料；以及供给量调节装置，调节所述供给泵向所述汽化器供给液体材料的供给量。
20.根据权利要求19所述的液体汽化系统，其特征在于，包括回吸控制装置，该回吸控制装置进行控制使得在所述泵经由所述供给通路向所述汽化器供给液体材料后对所述供给通路内残留的液体材料进行吸引。
21.根据权利要求19或20所述的液体汽化系统，其特征在于，具有液体汽化装置，所述液体汽化装置包含所述泵、所述汽化器及所述供给通路且所述液体汽化装置被单元化。
全文摘要
本发明提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板23上的筛网24。筛网24通过编织线材24a来形成且整体上呈平板状。蓄热板23的顶面层叠有筛网24，以在蓄热板23上通过筛网24形成细微的凹凸。筛网24的上方设有喷嘴27，液体材料从该喷嘴27滴至蓄热板23(筛网24)上。液体材料在蓄热板23上扩散为薄膜状并在蓄热板23的顶面被加热汽化。
文档编号H01L21/027GK102470282SQ20108002786
公开日2012年5月23日 申请日期2010年3月30日 优先权日2009年9月30日
发明者板藤宽, 纐缬雅之 申请人:Ckd株式会社