专利名称：用于半导体衬底上的大面积的基于氮化镓或其它氮化物的结构的应力补偿的制作方法
技术领域：
本发明大体上涉及半导体装置。更特定来说，本发明涉及用于半导体衬底上的大面积的基于氮化镓或其它氮化物的结构的应力补偿。
背景技术：
各种III-V族化合物正经调查以用于高功率电子应用。这些化合物包括“III族氮化物”，例如氮化镓(GaN)、氮化铝镓(AWaN)及氮化铝铟镓(AlInGaN)。这些化合物通常通过衬底(例如硅、蓝宝石及碳化硅)上的外延生长来制造。归因于硅衬底的较低的制造成本，使用硅衬底通常是优选的。同样，硅衬底适于与其它基于硅的装置(例如CMOS及 BiCMOS装置)的单片集成。一个问题是硅<111>衬底上的III族氮化物的外延生长通常导致大的晶格及热系数失配。晶格失配可引起所述外延生长层及衬底的凹面弯曲，以及大穿线位错密度形成。当外延层的厚度超过临界值时，还可发生断裂及分层(delamination)。外延层与衬底之间的高热失配可在冷却期间产生张应力，其可导致额外的断裂及分层。作为实例，通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)来生长的氮化镓膜通常遭受每微米的氮化镓约IGI^a的张应力。发生的断裂及分层可基于硅衬底的直径、硅衬底的厚度及外延层的厚度而改变。 对于较小直径的硅衬底(例如三英寸及四英寸直径晶片)，在没有断裂的情况下，可实现的最大外延层厚度通常为约2. 5 μ m-3 μ m。对于较大直径的硅衬底(例如六英寸直径晶片或更大)，在没有断裂的情况下，针对约650 μ m-700 μ m的衬底厚度可实现的最大外延层厚度通常为1 μ m-2 μ m。具有高击穿电压(例如大于1000V)的高功率装置通常需要超过3. 5 μ m 的外延层厚度，其通过使用当前方法的较大硅衬底通常是不能实现的。
发明内容
为了对本发明及其特征的更完整的理解，现在结合附图参考以下描述，在附图中图1说明根据本发明的具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的实例性半导体结构；图2说明根据本发明的具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的实例性半导体结构的横截面图3A至3D说明根据本发明的用于形成具有III族氮化物岛状物的半导体结构的实例性技术；以及图4说明根据本发明的用于形成具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的半导体结构的实例性方法。
具体实施例方式下述的图1至4及本专利文献中的用于描述本发明的原理的各种实施例是仅作为说明的且不应以任何限制本发明的范围的方式解释。所属领域的技术人员将理解，本发明的原理可在任何类型的经合适地布置的装置或系统中实施。一般来说，本发明描述用于在半导体衬底(例如硅或绝缘体上硅(SOI)衬底)上形成III族氮化物外延层或其它层的技术。“III族氮化物”指代使用氮及至少一种III族元素形成的化合物。实例性III族元素包括铟、镓及铝。实例性III族氮化物包括氮化镓 (GaN)、氮化铝镓(AWaN)、氮化铟铝(InAlN)、氮化铟铝镓(IniUGaN)、氮化铝(AlN)、氮化铟 (InN)及氮化铟镓(InGaN)。可使用衬底上的氧化物及氮化物层的堆叠来实现应力补偿，例如二氧化硅(SiO2)及氮化硅(Si3N4)层的堆叠。作为特定实例，此技术可用于在六英寸、八英寸、十二英寸或更大的硅或SOI晶片上形成氮化镓、氮化铝镓、氮化铟铝镓或其它III族氮化物外延层。图1说明根据本发明的具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的实例性半导体结构100。在此实例中，半导体结构100包括半导体衬底102，其表示在其上面形成其它层或结构的任何合适的衬底。举例来说，半导体衬底102可表示硅<111>衬底或 SOKllD衬底(其中硅<111>作为顶层且硅<100>作为处置衬底)。半导体衬底102还可表示蓝宝石、碳化硅或其它半导体衬底。半导体衬底102可具有任何合适的尺寸，例如三英寸、四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸或其它直径。氧化物及氮化物层的堆叠104形成在半导体衬底102上。任何合适的氧化物及氮化物材料可用于堆叠104中，例如二氧化硅及氮化硅。堆叠104可包括具有任何合适的布置或图案的任何数目的氧化物及氮化物层。堆叠104还可以任何合适的方式来形成，例如通过物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)或等离子体增强CVD (PECVD)。一个或一个以上III族氮化物岛状物106也形成在衬底102上。取决于制造工艺，III族氮化物岛状物106可形成在堆叠104内，或堆叠104可形成在III族氮化物岛状物106周围。III族氮化物岛状物106 —般表示已选择性地或非选择性地生长或以其它方式形成至少一种III族氮化物材料的区域。III族氮化物岛状物106可包括任何合适的材料，例如氮化镓或氮化铝镓。在一些实施例中，III族氮化物岛状物106可包括III族氮化物材料的一个或多个外延层。III族氮化物岛状物106还可以任何合适的方式来形成，例如通过使用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)或分子束外延(MBE)技术。III族氮化物岛状物106可在形成堆叠104之前或之后形成。在特定实施例中，可在形成岛状物106之前图案化及蚀刻堆叠104。功率晶体管或其它装置可使用III族氮化物岛状物106来制造。作为特定实例， 功率装置(如III族氮化物场效应晶体管(FET)或高电子迁移率晶体管(HEMT))可使用岛状物106来形成。
一般来说，III族氮化物外延层是处在张应力之下的。张应力的量可基于(例如) 岛状物106的密度及尺寸来改变。岛状物106的密度可确定有效应变，且岛状物106的尺寸可基于所形成的功率装置所需的有效面积。图1中的堆叠104用于提供应变补偿。更特定来说，堆叠104中的氧化物及氮化物层用于共同地提供压应力以便帮助缓解由岛状物106产生的张应力。在此实例性实施例中，堆叠104可具有有压缩力的氧化物(例如SiO2)及有张力的氮化物(例如Si3N4)的层。 堆叠104的特性可经选择以提供所要的应力补偿。举例来说，堆叠104中的氧化物及氮化物层的厚度可经选择以提供所要的量的压应力，其帮助抵消由岛状物106产生的张应力。以此方式，(例如)当堆叠104中的Si02/Si3N4层通过在0. 5-2. 5GPa的范围内的压应力制备时，添加有压缩力的堆叠104可调节III族氮化物张应力。在特定实施例中，所述堆叠层的总压应力可在绝对值上接近或等于通过III族氮化物材料的生长及冷却每微米的III族氮化物材料而产生的张应力。此可帮助减少或最小化晶片弯曲，从而允许在减少断裂或没有断裂的情况下将III族氮化物厚度增加到及超过3. 5 μ m。这又可减少或最小化穿线位错密度且可导致具有较高质量及较高装置性能(例如较高的击穿电压及驱动电流)的外延膜。此外，晶片级制备的合格率可为较高的，从而降低这些功率装置的制造成本。当此技术与衬底(例如硅<111>或SOI衬底)一起使用时，III族氮化物装置与基于硅<100>的装置或其它基于硅的装置的单片集成是可行的。虽然图1说明具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的半导体结构 100的一个实例，但是可对图1做出各种改变。举例来说，衬底102可具有任何合适的尺寸、 形状及组成。同样，任何数目的III族氮化物岛状物可以任何合适的布置形成在衬底102 中。举例来说，III族氮化物岛状物的数目及布置可基于所述结构中需要形成III族氮化物装置的地方而改变。此外，虽然上文描述特定材料及制造工艺，但是可使用任何其它材料及制造工艺来形成半导体结构100的各个层或其它组件。此外，虽然图1中展示特定形状或相对尺寸，但是半导体结构100中的每一组件可具有任何合适的尺寸、形状及大小。图2说明根据本发明的具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的实例性半导体结构的横截面200。在此实例中，所述半导体结构包括衬底102(例如硅或SOI晶片)、应力补偿堆叠104及III族氮化物岛状物106(例如氮化镓或氮化铝镓岛状物)。应力补偿堆叠104包括下氧化物层202、氮化物层204及上氧化物层206。氧化物层202及206可包括任何合适的氧化物材料，例如二氧化硅。氮化物层204可包括任何合适的氮化物材料，例如氮化硅。堆叠104中的层202-206可以任何合适的方式形成，例如通过使用PVD、CVD或PECVD。堆叠104中的层202-206共同地具有压应力，所述压应力大体上或完全地补偿一个或一个以上III族氮化物岛状物106的张应力。III族氮化物岛状物106可以任何合适的方式形成。举例来说，III族氮化物岛状物106可使用至少一种III族氮化物的选择性外延生长来形成。注意，形成岛状物106的 III族氮化物材料的选择性外延生长可减少衬底102上的有效张应力。然而，III族氮化物材料也可非选择性地形成，例如通过沉积所述材料且接着抛光、蚀刻或以其它方式移除过量材料来形成岛状物106。虽然图2说明具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的半导体结构的一个实例的横截面200，但是可对图2做出各种改变。举例来说，虽然上文描述特定材料及制造工艺，但是可使用任何其它材料及制造工艺来形成所述半导体结构的各个层或其它组件。同样，虽然图2中展示特定形状或相对尺寸，但是所述半导体结构的每一组件可具有任何合适的尺寸、形状及大小。图3A至3D说明根据本发明的用于形成具有III族氮化物岛状物的半导体结构的实例性技术。如图3A中所展示，氧化物/氮化物堆叠104形成在衬底102上。氧化物/氮化物堆叠104可包括任何数目的氧化物层及任何数目的氮化物层。所述氧化物及氮化物层的厚度可基于所需要的应力缓解的量来选择。举例来说，如果更多的III族氮化物岛状物正更紧密地形成在一起，那么堆叠104可经修改以产生更大量的压应力。如果更少的III 族氮化物岛状物正更远地间隔而形成，那么堆叠104可经修改以产生更小量的压应力。在一些实施例中，堆叠104可基于若干因素来设计，例如待形成的III族氮化物岛状物106的数目、相邻的III族氮化物岛状物106之间的距离或III族氮化物岛状物106的面积与衬底102的总面积的比率。如图:3B中所展示，堆叠104经蚀刻或以其它方式经处理以形成至少一个开孔302。 每一开孔302可具有任何合适的尺寸及形状，且多个开孔302可具有不同的尺寸或形状。开孔302可以任何合适的方式形成。举例来说，开孔302可通过在堆叠104上沉积光致抗蚀剂材料层且蚀刻所述光致抗蚀剂材料以产生穿过所述光致抗蚀剂材料的开孔来形成。接着可执行蚀刻以穿过所述光致抗蚀剂材料中的开孔来蚀刻堆叠104。然而，注意，可使用任何其它合适的技术来形成具有至少一个开孔302的堆叠 104。举例来说，堆叠104的氧化物及氮化物层可形成在选择性区域中而使得其它区域不具有氧化物及氮化物材料。作为特定实例，一个或一个以上光致抗蚀剂材料层可形成在衬底 102上且经图案化为堆叠104的所要形状。可沉积堆叠104的氧化物及氮化物层且可移除光致抗蚀剂材料。此工艺可产生具有一个或一个以上开孔302的堆叠104。不管开孔302是如何形成的，一个或一个以上III族氮化物岛状物均可形成在堆叠104的开孔302中。在一些实施例中，使用一个或一个以上III族氮化物外延层的选择性生长。举例来说，此可通过在如图3C中展示的开孔302内形成成核层304来实现。成核层304可由任何合适的材料且以任何合适的方式来形成。举例来说，成核层304可由低温氮化铝层来形成，其可具有若干纳米到IOOnm的厚度。如图3D中所展示，一种或一种以上 III族氮化物材料306接着沉积在开孔302内(可能在开孔302上方及周围)。III族氮化物材料306使用成核层304来选择性地生长。III族氮化物材料306可以任何合适的方式形成，例如通过使用MOCVD或MBE。此时，III族氮化物材料306可经进一步处理(例如使用抛光或蚀刻来平坦化)以完成至少一个III族氮化物岛状物106的形成。此表示形成III族氮化物岛状物106的一个实例性方式，其特定来说牵涉到外延 III族氮化物材料306的选择性生长的使用。然而，也可使用其它实施例。举例来说，III 族氮化物材料306可经非选择性地沉积且接着经蚀刻以形成岛状物306。然而，注意，此可在外延层形成的时间与所述外延层经蚀刻以形成岛状物106的时间之间产生衬底102上的较大的张应力。堆叠104可因此经设计以在蚀刻外延层之前产生足够的抵消应力而不会产生在蚀刻外延层之后将产生问题的过量应力。此时，可使用如图3D中展示的结构来制造至少一个集成电路元件308。集成电路元件308可包括用于形成一个或一个以上功率装置的任何合适的结构。举例来说，元件308可包括形成III族氮化物FET或HEMT的组件。注意，可使用如图3A至3D中所展示而制造的结构来制造任何合适数目及类型的III族氮化物装置或其它装置。虽然图3A至3D说明用于形成具有III族氮化物岛状物的半导体结构的技术的一个实例，但是可对图3A至3D做出各种改变。举例来说，如上如述，各种技术可用于制造图 3A至3D中所展示的组件中的每一者。图4说明根据本发明的用于形成具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的半导体结构的实例性方法400。如图4中所展示，在步骤402处，在半导体衬底上形成应力补偿堆叠。举例来说，此可包括在衬底102上形成氧化物/氮化物堆叠104。然而，注意，应力补偿堆叠104可由任何其它合适的材料来形成。在步骤404处，在所述应力补偿堆叠中形成一个或一个以上开孔。举例来说，此可包括图案化且蚀刻堆叠104以产生开孔 302。然而，注意，任何其它合适的技术可用于形成具有一个或一个以上开孔302的应力补偿堆叠104。在步骤406处，在所述应力补偿堆叠中形成一个或一个以上III族氮化物岛状物。 举例来说，此可包括使用选择性或非选择性外延生长来形成III族氮化物岛状物106。至少一种III族氮化物材料用于III族氮化物岛状物106的形成过程中，且可使用III族氮化物材料的一个或多个层。在步骤408处，使用所述应力补偿堆叠来产生应力以便补偿来自所述一个或一个以上III族氮化物岛状物的应力。举例来说，此可包括使用来自所述应力补偿堆叠104的压应力来减少或消除来自III族氮化物岛状物106的张应力。此时，在步骤410处，可完成一个或一个以上III族氮化物装置的形成。举例来说， 此可包括使用所述衬底结构来形成一个或一个以上III族氮化物FET或HEMT的源极、漏极及栅极。当然，可使用III族氮化物岛状物106来形成任何其它III族氮化物装置。虽然图4说明用于形成具有III族氮化物岛状物的用于III族氮化物装置的半导体结构的方法400的一个实例，但是可对图4做出各种改变。举例来说，虽然展示为一系列的步骤，但是图4中的各个步骤可重叠、并行地发生或以不同的次序发生。作为特定实例， 可使用用于产生具有III族氮化物材料的一个或一个以上岛状物的应力补偿堆叠的步骤的任何其它组合。阐述已用于此专利文献中的某些词及短语的定义可为有利的。术语“包括”及“包含”，以及其派生词，表示没有限制的包括。术语“或”是包括性的，表示及/或。虽然本发明已描述某些实施例及一般相关联的方法，但是对这些实施例及方法的改变及排列对所属领域的技术人员将是显而易见的。因此，对实例性实施例的以上描述不限定或限制本发明。在不脱离如所附权利要求书限定的本发明的精神及范围的情况下其它变化、代替及改变也是可能的。
权利要求
1.一种方法，其包含在衬底上形成一个或一个以上III族氮化物岛状物，所述一个或一个以上III族氮化物岛状物具有所述衬底上的张应力；在所述衬底上形成应力补偿堆叠，所述应力补偿堆叠具有所述衬底上的压应力；及使用来自所述应力补偿堆叠的所述压应力来至少部分地抵消来自所述一个或一个以上III族氮化物岛状物的所述张应力。
2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述应力补偿堆叠包含在所述衬底上形成一个或一个以上氧化物层及一个或一个以上氮化物层；所述一个或一个以上氧化物层具有压应力； 所述一个或一个以上氮化物层具有张应力；且所述氧化物层及氮化物层共同地具有压应力。
3.根据权利要求2所述的方法，其中基于下列项目中的至少一者来选择所述氧化物层及氮化物层的厚度III族氮化物岛状物的数目；相邻的III族氮化物岛状物之间的距离；及所述III族氮化物岛状物的面积与所述衬底的总面积的比率。
4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含 在所述应力补偿堆叠中形成一个或一个以上开孔；其中形成所述一个或一个以上III族氮化物岛状物包含在所述应力补偿堆叠中的所述一个或一个以上开孔内形成所述一个或一个以上III族氮化物岛状物。
5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述一个或一个以上开孔内形成所述一个或一个以上III族氮化物岛状物包含在所述一个或一个以上开孔中选择性地形成所述一个或一个以上III族氮化物岛状物。
6.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述一个或一个以上III族氮化物岛状物包含形成III族氮化物外延层。
7.根据权利要求6所述的方法，其中所述III族氮化物外延层包含下列项目中的至少一者氮化镓、氮化铝镓、氮化铟铝、氮化铟铝镓、氮化铝、氮化铟及氮化铟镓。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物中的每一者具有大于3.5μπι的厚度。
9.一种设备，其包含 衬底；应力补偿堆叠，其位于所述衬底上，所述应力补偿堆叠具有所述衬底上的压应力； 一个或一个以上III族氮化物岛状物，其位于所述衬底上且在所述应力补偿堆叠内， 所述一个或一个以上III族氮化物岛状物具有所述衬底上的张应力；且其中所述设备经配置以使得来自所述应力补偿堆叠的所述压应力至少部分地抵消来自所述一个或一个以上III族氮化物岛状物的所述张应力。
10.根据权利要求9所述的设备，其中所述应力补偿堆叠包含一个或一个以上氧化物层及一个或一个以上氮化物层；所述一个或一个以上氧化物层具有压应力； 所述一个或一个以上氮化物层具有张应力；且所述氧化物层及氮化物层共同地具有压应力。
11.根据权利要求10所述的设备，其中所述氧化物层及氮化物的厚度是基于下列项目中的至少一者来选择的III族氮化物岛状物的数目；相邻的III族氮化物岛状物之间的距离；及所述III族氮化物岛状物的面积与所述衬底的总面积的比率。
12.根据权利要求9所述的设备，其中所述一个或一个以上氧化物层包含二氧化硅；且所述一个或一个以上氮化物层包含氮化硅。
13.根据权利要求9所述的设备，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物包含选择性III族氮化物外延层。
14.根据权利要求13所述的设备，其中所述III族氮化物外延层包含下列项目中的至少一者氮化镓、氮化铝镓、氮化铟铝、氮化铟铝镓、氮化铝、氮化铟及氮化铟镓。
15.根据权利要求9所述的设备，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物中的每一者具有大于3.5μπι的厚度。
16.一种系统，其包含 半导体结构，其包含应力补偿堆叠，其位于所述衬底上，所述应力补偿堆叠具有所述衬底上的压应力； 一个或一个以上III族氮化物岛状物，其位于所述衬底上且在所述应力补偿堆叠内， 所述一个或一个以上III族氮化物岛状物具有所述衬底上的张应力；及一个或一个以上III族氮化物集成电路装置，其位于所述一个或一个以上III族氮化物岛状物中或上；其中所述半导体结构经配置以使得来自所述应力补偿堆叠的所述压应力至少部分地抵消来自所述一个或一个以上III族氮化物岛状物的所述张应力。
17.根据权利要求16所述的系统，其中所述应力补偿堆叠包含一个或一个以上氧化物层及一个或一个以上氮化物层； 所述一个或一个以上氧化物层具有压应力； 所述一个或一个以上氮化物层具有张应力；且所述氧化物层及氮化物层共同地具有压应力。
18.根据权利要求16所述的系统，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物包含选择性III族氮化物外延层。
19.根据权利要求16所述的系统，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物中的每一者具有大于3. 5 μ m的厚度。
20.根据权利要求16所述的系统，其中所述一个或一个以上III族氮化物集成电路装置包含下列项目中的至少一者III族氮化物场效应晶体管FET及III族氮化物高电子迁移率晶体管HEMT。
全文摘要
本发明涉及一种方法，其包括在衬底(102)上形成(402)应力补偿堆叠(104)，其中所述应力补偿堆叠具有所述衬底上的压应力。所述方法还包括在所述衬底上形成(406)一个或一个以上III族氮化物岛状物(106)，其中所述一个或一个以上III族氮化物岛状物具有所述衬底上的张应力。所述方法进一步包括使用来自所述应力补偿堆叠的所述压应力来至少部分地抵消(408)来自所述一个或一个以上III族氮化物岛状物的张应力。形成所述应力补偿堆叠可包括在所述衬底上形成一个或一个以上氧化物层(202、206)及一个或一个以上氮化物层(204)。所述一个或一个以上氧化物层可具有压应力，所述一个或一个以上氮化物层可具有张应力，且所述氧化物及氮化物层可共同地具有压应力。所述氧化物层及氮化物层的厚度可经选择以提供所要量的应力补偿。
文档编号H01L21/336GK102549729SQ201080042887
公开日2012年7月4日 申请日期2010年11月30日 优先权日2009年12月16日
发明者贾迈勒·拉姆达斯 申请人:国家半导体公司