专利名称：一种减少浅沟槽隔离缺陷的方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体集成电路制造中的半导体器件领域，特别涉及一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法。
背景技术：
高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)技术由于具有较好的填充能力，仍然广泛应用于45nm以上的浅沟槽隔离(STI)填充。但由于高密度等离子体(HDP)是通过对有源区上方的二氧化硅薄膜进行等离子体的轰击甚至是蚀刻而改变其形貌来扩大高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)的填充能力，因此对于不同结构的浅沟槽隔离(STI)需要进行一定周期的工艺调整来达到无空洞填充(void free)与无有源区Si损伤(clipping free)的平衡。当器件持续缩小至深亚微米的范围时，栅极的宽度持续减小，从而造成作为隔离两个MOS管的浅沟槽绝缘(STI)变得深且窄，尤其对高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)制程而言，高的深宽比意味着更高的填洞能力，更好的设备性能。早期制程中，工程师发现经过了浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体(HDP)制程，在去除SiN之后，浅沟槽隔离(STI)原本填充作为绝缘层Si02表面，出现了不规则的孔洞。这些不规则的孔洞很容易导致后续制程中作为导体的多晶硅残留其内而使本应相互隔离的 NMOSE和PMOSE连接导通，浅沟槽隔离(STI)失去原有的绝缘作用。因此，浅沟槽隔离(STI) 孔洞对产品良率的提升极具杀伤率。简单而言，出现浅沟槽隔离(STI)孔洞是由于高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)中，用Si02填充沟道时，洞口被过早封死，在填充物Si02内部空洞现象。进一步深入研究，可以用业内衡量高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺填孔能力的指标淀积刻蚀比(DS ratio)来解释浅沟槽隔离(STI)孔洞形成机理。淀积刻蚀比(D/S ratio)= 总淀积速率/刻蚀速率=(净淀积速率+刻蚀速率)/刻蚀速率。高密度等离子体(HDP)制程是采用边淀积边刻蚀的方法来填充介质。这里的总淀积速率指的是在假定没有刻蚀的条件下的淀积速率，而净淀积速率则是在同步淀积和刻蚀过程中的淀积速率。实现对间隙的无孔填充的理想条件是在整个淀积过程中始终保持间隙的顶部开放以使反应物能进入间隙从底部开始填充，也就是说，我们希望在间隙的拐角处淀积刻蚀比为1，即净淀积速率为零。对于给定的间隙来说，由于高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)工艺通常以 SiH4作为绝缘介质中Si的来源，而SiH4解离产生的等离子体对硅片表面具有很强的化学吸附性，导致总淀积速率在间隙的各个部位各向异性，在间隙拐角处的总淀积速率总是大于在间隙底部和顶部的总淀积速率，另一方面，刻蚀速率随着溅射离子对于间隙表面入射角的不同而改变，最大的刻蚀速率产生于45°到70°之间，正好也是处于间隙拐角处。 如果间隙拐角处的淀积刻蚀比远大于1，间隙的顶部会由于缺乏足够的刻蚀而迅速关闭，在间隙内就会形成空洞，反之，如果间隙拐角处的淀积刻蚀比小于1，在间隙拐角处的过度刻蚀会产生剪断效应破坏绝缘介质下的金属层或抗反射涂层，严重者会导致漏电流和器件的失效
中国专利CN03119437. O涉及一种制造浅沟槽隔离结构(STI)的方法，是关于一种在半导体基底上，具有良好填沟能力的浅沟槽隔离结构制造方法。首先，在半导体基底上形成沟槽，并在该沟槽的底部与侧壁依序形成内衬氧化物层与内衬氮化硅层；接着在该沟槽中顺应性的沉积部分高密度电浆氧化物层(HDP oxide);接着，在半导体基底表面顺应性的形成一多晶硅层，再将半导体基底进行热处理以氧化该多晶硅层；接着将该半导体基底表面进行平坦化制程，以形成浅沟槽隔离结构(STI)。借由该高密度电浆氧化物与氧化后的多晶硅层，可以在沟槽中形成填充良好无孔洞的隔离结构。中国专利CN200510056199涉及一种用于检测缺陷的设备，包括半导体元件。在半导体元件中，通过正常状态的绝缘膜，将导电薄膜构成在对延伸进半导体区域中的浅沟槽进行填充的STI (浅沟槽隔离)绝缘膜之上，从而浅沟槽没有被处于缺陷状态的STI绝缘膜完全或充分地填充。此外，该设备包括控制电路，对其配置以便响应检测模式指示信号来设置检测模式；第一施压电路，对其配置以便在检测模式中输出第一电压给导电薄膜；以及第二施压电路，对其配置以便在检测模式中输出第二电压给半导体区域。第一电压高于第二电压，并且第一电压和第二电压之间的电压差足以在导电薄膜和处于缺陷状态的半导体区域之间导致击穿。在实际的工艺调整中，通常采用TEM来判定是否有损伤，但是由于内衬氧化物同 HDP氧化物性质相似，在TEM中很难分辨，因此很难判断HDP制程是否已经损伤到了内衬氧化物甚至是有源区Si，只能通过大量的工艺微调来确定最佳工艺，这样的工艺调整周期就相对比较长。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，应用该方法可缩短高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)填充浅沟槽隔离(STI)的工艺调整周期，非常适于实用。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明提出的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，该工艺步骤如下
1)进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；
2)进行浅沟槽隔离(STI)刻蚀；
3)进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；
4)进行含氮的等离子体处理；
5)进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；
6)进行透射电镜(TEM)空洞检测；
7)如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施步骤(5)浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现
所述的含氮的等离子体为下列之一 N2，N20, NH3。所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，操作时间范围为5 30秒。
4
所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，操作压力范围为2 Storr。所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，操作温度范围为300 500°C。所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，射频电功率范围为100 1000W。所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，喷头与衬底间距离范围为200 SOOmil。所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理，气体流量范围为2000 20000SCCm。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。
图I绘示本发明涉及的一种减少浅沟槽隔离缺陷的方法的工艺流程图。
具体实施例方式为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合较佳实施例，对依据本发明提出的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，详细说明如下。本发明的不同实施例将详述如下，以实施本发明的不同的技术特征，可理解的是， 以下所述的特定实施例的单元和配置用以简化本发明，其仅为范例而不限制本发明的范围。实施例I
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N20 (流量2000SCCM)
压力3Torr 射频电功率200W 喷头与衬底间距离200Mil 温度300°C 时间30秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例2
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N20 (流量20000SCCM)
压力3Torr 射频电功率300W 喷头与衬底间距离400Mil 温度400°C时间10秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例3
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N20 (流量5000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离500Mil 温度500°C 时间15秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例4
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N20 (流量10000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离800Mil 温度500°C 时间20秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例5
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N2 (流量2000SCCM)
压力3Torr 射频电功率200W 喷头与衬底间距离200Mil 温度300°C
6时间30秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例6
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N2 (流量20000SCCM)
压力3Torr 射频电功率300W 喷头与衬底间距离400Mil 温度400°C 时间10秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例7
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N2 (流量5000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离500Mil 温度500°C 时间15秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例8
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体N2 (流量10000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离800Mil 温度500°C时间20秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例9
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体NH3 (流量2000SCCM)
压力3Torr 射频电功率200W 喷头与衬底间距离200Mil 温度300°C 时间30秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例10
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体NH3 (流量20000SCCM)
压力3Torr 射频电功率300W 喷头与衬底间距离400Mil 温度400°C 时间10秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例11
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体NH3 (流量5000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离500Mil 温度500°C时间15秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。实施例12
首先进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；然后进行浅沟槽隔离 (STI)刻蚀；再进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；进行含氮的等离子体处理；
等离子体处理的条件如下
等离子体NH3 (流量10000SCCM)
压力8Torr 射频电功率1000W 喷头与衬底间距离800Mil 温度500°C 时间20秒
完成等离子体处理后进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；再进行透射电镜 (TEM)空洞检测；如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。本发明在高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)填充浅沟槽隔离(STI)之前， 预先利用含氮元素的等离子体进行处理，使得STI内衬二氧化硅同后续高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)填充浅沟槽隔离(STI) 二氧化硅之间生成一层SiON界面层，可缩短高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD)填充浅沟槽隔离(STI)的工艺调整周期，非常适于实用。通过说明，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容， 都应认为仍属本发明的意图和范围内。
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权利要求
1.一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于该工艺步骤如下.1)进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；.2)进行浅沟槽隔离(STI)刻蚀；.3)进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；.4)进行含氮的等离子体处理；.5)进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；.6)进行透射电镜(TEM)空洞检测；.7)如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施步骤(5)浅沟槽隔离 (STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。
2.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述的含氮的等离子体为下列之一 N2，N20, NH3。
3.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤 (4)进行含氮的等离子体处理的操作时间范围为5 30秒。
4.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤 (4)进行含氮的等离子体处理的操作压力范围为2 Storr。
5.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤 (4)进行含氮的等离子体处理的操作温度范围为300 500°C。
6.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤 (4)进行含氮的等离子体处理的射频电功率范围为100 1000W。
7.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤 (4)进行含氮的等离子体处理的喷头与衬底间距离范围为200 SOOmil。
8.如权利要求I所述的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，其特征在于所述步骤(4)进行含氮的等离子体处理的气体流量范围为2000 20000sccm。
全文摘要
本发明提出的一种减少浅沟槽隔离缺陷的工艺方法，该工艺步骤如下1)进行有源区氧化物沉积，氮化硅(SIN)沉积，形成衬底；2)进行浅沟槽隔离(STI)刻蚀；3)进行浅沟槽隔离(STI)内衬氧化物层沉积；4)进行含氮的等离子体处理；5)进行浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；6)进行透射电镜(TEM)空洞检测；7)如检测结果不符合要求，则对工艺参数进行调整，再次实施步骤(5)浅沟槽隔离(STI)高密度等离子体沉积；如检测结果符合要求，则确认工艺参数，确定工艺流程。本发明的工艺方法可缩短高密度等离子体化学气相淀积(HDPCVD)填充浅沟槽隔离(STI)的工艺调整周期，非常适于实用。
文档编号H01L21/66GK102610551SQ20111030974
公开日2012年7月25日 申请日期2011年10月13日 优先权日2011年10月13日
发明者张文广, 徐强, 郑春生, 陈玉文 申请人:上海华力微电子有限公司