专利名称：半导体制品检验台的制作方法
技术领域：
本申请涉及检验台，尤其涉及半导体制品的检验台。
背景技术：
半导体制品在生产过程中需要进行抽检，传统的检验方式是抽取样品进行定点检验，多种不同型号的半导体制品在抽检完成后往往出现混淆放置的情况，造成产品制造风险。而且抽检人员折返次数与路程较长，影响了抽检效率。另外，半导体制品在物流运送过程中可能会出现损伤。
发明内容
在下文中给出关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念， 以此作为稍后论述的更详细描述的前序。本发明的一个主要目的在于提供一种可对半导体制品进行现场检验的可移动的检验台。根据本发明的一个方面，一种半导体制品检验台，包括移动台车；检验装置，安装在移动台车上；照明装置，安装在检验装置上；以及便携电池，放置在移动台车上并连接至照明装置以为照明装置供电。根据本发明的一个方面，移动台车的底部安装有多个可固定式万向轮。根据本发明的一个方面，移动台车为不锈钢材料制成。根据本发明的一个方面，移动台车上设置有防静电腕带插孔以及不锈钢接地链。根据本发明的一个方面，检验装置包括承载底座以及位于承载底座上方的光学器件。根据本发明的一个方面，检验装置为显微镜。根据本发明的一个方面，照明装置位于检验装置的承载底座的上方。根据本发明的一个方面，照明装置包括环设在检验装置的光学器件下端用以向承载底座发光的多个发光二极管。根据本发明的一个方面，便携电池为照明装置提供12V直流电压。本发明的半导体制品检验台可在抽检时将移动台车移动至待检验半导体制品处， 通过安装在移动台车上的检验装置进行现场抽检，抽检完成后可将制品放回原处，避免了与其它半导体制品的混淆放置、提高了抽检效率同时不会造成物流引起的产品损坏。
参照下面结合附图对本发明实施例的说明，会更加容易地理解本发明的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本发明的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。图1为本发明半导体制品检验台一种实施方式的结构图。
具体实施例方式下面参照附图来说明本发明的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。参考图1，本发明半导体制品检验台的一种实施方式包括移动台车10、检验装置 20、照明装置30以及便携电池40。可选地，移动台车10的底部安装有多个可固定式万向轮12，如图1所示，本发明的实施例中，移动台车10具有四个可固定式万向轮12，分别安装在移动台车10底部的四个角处。可选地，移动台车10为不锈钢材料制成。可选地，移动台车10上设置有防静电腕带插孔(图中未示出)以及不锈钢接地链 (图中未示出)。检验装置20安装在移动台车10上，用以检验半导体制品。可选地，检验装置20 包括承载底座22以及位于承载底座22上方的光学器件M，承载底座22用于放置待检验的半导体制品，检验员可通过光学器件M观察放置在承载底座22上的半导体制品，例如，观察半导体制品的整体外观、表面平整度等。可选地，检验装置20为显微镜。照明装置30安装在检验装置20上用以照亮检验中的半导体制品。可选地，照明装置30位于检验装置20的承载底座22的上方。可选地，照明装置30包括环设在检验装置20的光学器件M下端用以向承载底座22发光的多个发光二极管。便携电池20放置在移动台车10上并连接至照明装置30以为照明装置30供电。 可选地，便携电池20为照明装置30提供12V直流电压。本发明的实施例的半导体制品检验台可移动至待检验半导体制品处进行现场抽检，抽检完成后可将制品放回原处，避免了与其它半导体制品的混淆放置、提高了抽检效率、同时不会造成物流引起的产品损坏。在本发明的设备中，显然，各部件可以分解、组合和/或分解后重新组合的。这些分解和/或重新组合应视为本发明的等效方案。在上面对本发明具体实施例的描述中，针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、要素、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、要素、步骤或组件的存在或附加。虽然已经详细说明了本发明及其优点，但是应当理解在不超出由所附的权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下可以进行各种改变、替代和变换。而且，本申请的范
4围不仅限于说明书所描述的过程、设备、手段、方法和步骤的具体实施例。本领域内的普通技术人员从本发明的公开内容将容易理解，根据本发明可以使用执行与在此所述的相应实施例基本相同的功能或者获得与其基本相同的结果的、现有和将来要被开发的过程、设备、 手段、方法或者步骤。因此，所附的权利要求旨在在它们的范围内包括这样的过程、设备、手段、方法或者步骤。
权利要求
1.一种半导体制品检验台，其特征在于，包括移动台车；检验装置，安装在所述移动台车上；照明装置，安装在所述检验装置上；以及便携电池，放置在所述移动台车上并连接至所述照明装置以为所述照明装置供电。
2.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车的底部安装有多个可固定式万向轮。
3.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车为不锈钢材料制成。
4.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述移动台车上设置有防静电腕带插孔以及不锈钢接地链。
5.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述检验装置包括承载底座以及位于所述承载底座上方的光学器件。
6.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述检验装置为显微镜。
7.如权利要求6所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述照明装置位于所述检验装置的承载底座的上方。
8.如权利要求7所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述照明装置包括环设在所述检验装置的光学器件下端用以向所述承载底座发光的多个发光二极管。
9.如权利要求1所述的半导体制品检验台，其特征在于，所述便携电池为所述照明装置提供12V直流电压。
全文摘要
本申请涉及一种半导体制品检验台，包括移动台车；检验装置，安装在移动台车上；照明装置，安装在检验装置上；以及便携电池，放置在移动台车上并连接至照明装置以为照明装置供电。本发明避免了抽检的半导体制品与其它半导体制品的混淆放置、提高了抽检效率、同时不会造成物流引起的产品损坏。
文档编号H01L21/66GK102509710SQ201110316199
公开日2012年6月20日 申请日期2011年10月18日 优先权日2011年10月18日
发明者许海渐 申请人:南通富士通微电子股份有限公司