专利名称：嵌入式pecvd载片器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种载片器，具体地说是一种嵌入式PECVD载片器，属于太阳能电池镀膜技术领域。
背景技术：
我国对太阳能电池的研究开发工作一向高度重视，早在七五期间，非晶硅半导体的研究工作已经列入国家重大课题；八五和九五期间，我国把研究开发的重点放在大面积太阳能电池等方面。2003年10月，国家发改委、科技部制定出未来5年太阳能资源开发计划，发改委“光明工程”将筹资100亿元用于推进太阳能发电技术的应用，计划到2015年全国太阳能发电系统总装机容量达到300兆瓦。我国已成为全球光伏产品最大制造国，我国即将出台的《新能源振兴规划》，我国光伏发电的装机容量规划为2020年达到20GW，是原来《可再生能源中长期规划》中1. 8GW的10多倍。目前国内太阳能硅生产企业主要有洛阳单晶硅厂、河北宁晋单晶硅基地和四川峨眉半导体材料厂等厂商，其中河北宁晋单晶硅基地是世界最大的太阳能单晶硅生产基地，占世界太阳能单晶硅市场份额的25%左右。随着光伏行业的迅猛发展，人们对太阳能电池片的质量提出了越来越高的要求，其中硅片的表面质量、是否残留污染等不仅影响电池片的外观而且也影响太阳能电池片的转换效率，下镀膜板式PECVD目前采用4组挂钩支撑硅片，4组档片挡住硅片的方式进行镀膜，则此时在镀膜时，由于挂钩与硅片的接触使得被挂钩钩尖覆盖区域的硅片无法镀膜而使太阳能电池产生表面瑕疵，这样既影响了电池片的外观也影响了电池片的转化率。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处，提供一种嵌入式PECVD载片器，使硅片在镀膜时免受因下镀膜方式挂钩对工艺气体阻挡而在硅片上形成的瑕疵，改善了电池片的外观也提高了电池片的转化效率；另外也省去了下镀膜挂钩的安装，降低了载片器的维护成本
按照本发明提供的技术方案，嵌入式PECVD载片器，包括正方形的框体，所述框体的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体一面为第一正方形，另一面为第二正方形，两者在高度上形成台阶；且第一正方形大于第二正方形。所述第一正方形尺寸大于待加工硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。所述第二正方形为镂空正方形。本发明具有如下优点省去了下镀膜方式需在载片器上面安装的挂钩；
S采用上镀膜方式，工艺气体直接在硅片的上表面产生沉积物，所以不会形成像下镀膜方式中挂钩对硅片遮挡而形成的镀膜瑕疵、改善了硅片的外观，提高了硅片的转化效率；
3③涉及的嵌入式载片器加工性好，便于维护，对用户而言也降低了产品的维护成本。
图1本发明结构示意图。图2本发明结构剖面图。
具体实施例方式如图1-2所示，嵌入式PECVD载片器，包括正方形的框体1，所述框体1的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体1 一面为第一正方形2，另一面为第二正方形3，两者在高度上形成台阶；且第一正方形2大于第二正方形3。所述第一正方形2的尺寸大于待加工硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。所述第二正方形3为镂空正方形。目前的载片器由于采用4个挂钩承载待镀膜的硅片，由4个档片限制载片器运动过程中的载片器震动，防止硅片滑落。由于硅片与挂钩的接触，则挂钩钩尖会对硅片形成覆盖而使共工艺气体无法到达该被覆盖的区域，因此电池片会形成瑕疵、影响外观和转化率。本发明嵌入式PECVD载片器，采用上镀膜方式对硅片进行镀膜，镀膜时，只需将待加工的硅片放入该台阶槽中，工艺气体直接对硅片上表面进行沉积，避免了下镀膜载片器中挂钩对硅片遮盖而产生的瑕疵。
权利要求
1.嵌入式PECVD载片器，包括正方形的框体(1)，其特征是所述框体(1)的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体(1) 一面为第一正方形(2)，另一面为第二正方形 (3)，两者在高度上形成台阶；且第一正方形(2)大于第二正方形(3)。
2.根据权利要求1所述嵌入式PECVD载片器，其特征是所述第一正方形(2)的尺寸大于待加工的硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。
3.根据权利要求1所述嵌入式PECVD载片器，其特征是所述第二正方形(3)为镂空正方形。
全文摘要
本发明涉及一种载片器，具体地说是一种嵌入式PECVD载片器，属于太阳能电池镀膜技术领域。其包括正方形的框体，所述框体的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体一面为第一正方形，另一面为第二正方形，两者在高度上形成台阶。所述第一正方形尺寸大于待加工硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。所述第二正方形为镂空正方形。本发明省去了下镀膜方式需在载片器上面安装的挂钩；采用上镀膜方式，工艺气体直接在硅片的上表面产生沉积物，所以不会形成像下镀膜方式中挂钩对硅片遮挡而形成的镀膜瑕疵、改善了硅片的外观，提高了硅片的转化效率；涉及的嵌入式载片器加工性好，便于维护，对用户而言也降低了产品的维护成本。
文档编号H01L31/18GK102392227SQ20111033813
公开日2012年3月28日 申请日期2011年10月31日 优先权日2011年10月31日
发明者代宁, 尤耀明, 李文虎 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司