专利名称：排气装置及其单向排气阀的制作方法
技术领域：
一种排气装置及排气阀，特别是指一种具有单向排气功能的排气装置及其单向排气阀。
背景技术：
于半导体制造产业中，依其制程，大致上可分为晶圆、显影、蚀刻、沉积等多项制程步骤。而于蚀刻步骤中，随着化学药液的使用，多半产生有毒性废气，而所产生的废气将沿着排气管路排出，将其作净化处理后再排放至大气中。而公知的排气装置，请参照图1及图2所示，其为公知技术排气装置的第一示意图及第二示意图。图中，该排气装置1具有一转动杆体11及一逆止阀体12。该转动杆体11 的两端分别可旋转地固定于排气管路的管壁上，该逆止阀体12对应管路的通口。当废气的气流流速不高时，该逆止阀体12密壁该管路通口。当该废气的气流流速偏高时，则气流推抵该逆止阀体12，使该废气能顺利由排气口排出。然而，此种排气装置1的缺点在于由于该转动杆体11作动时相对管壁相对旋转，而于管壁上必然留有一余隙，导致废气可能由此余隙排出，造成泄气污染。此外，此种排气装置1，由于其废气推动该逆止阀体12的压力值为固定值，而无法随需求加以调整，于实际使用上仍有不便的处。
发明内容本实用新型的主要目的，旨在提供一种排气装置及其单向排气阀，其可用于排放及调控半导体制程的废气，并避免废气从管路管壁泄漏出。为达上述目的，本实用新型的单向排气阀，其包含一固定杆、一转动杆、一螺杆、一配重块及一逆止件。该固定杆具有一第一端部及一第二端部，该第一端部固定于该排气管路的管壁。该转动杆的一端枢接于该第二端部。该螺杆插设于该转动杆的另一端。该配重块螺设于该螺杆的一端。该逆止件螺设于该螺杆的另一端，该逆止件对应该排气管路的通
气管口。其中，该转动杆的另一端设有一螺孔，该螺杆螺设于该螺孔内。其中，该单向排气阀更具有一垫圈环片，该垫圈环片环设于该逆止件的一侧。其中，该固定杆具有一枢接座，该转动杆具有一枢接孔，该枢接座及该枢接孔穿设一螺栓，以枢接该固定杆及该转动杆。其中，该逆止件为一盘体。为达上述目的，本实用新型排气装置包含一排气管路；一如权利要求1所述的单向排气阀，设于该排气管路内；及一通风机。该通风机设于该排气管路内。其中，该排气装置更具有一垫圈环片，该垫圈环片设于该排气管路通气管口的一侧，该垫圈环片对应该逆止件。
[0012]图1为公知技术排气装置第一示意图；图2为公知技术排气装置第二示意图；图3为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例立体图；图4为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例设置示意图；图5为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例的第一作图示意图；图6为本实用新型排气装置其单向排气阀第一实施例第二作动示意图；图7为本实用新型排气装置其单向排气阀排气示意图；图8为本实用新型排气装置其单向排气阀的立体示意图。附图标记说明1-排气装置；11-转动杆体；12-逆止阀体；2-单向排气阀；21-固定杆；211-第一端部；212-第二端部；213-枢接座；22-转动杆；221-枢接孔；222-螺孔；23-螺杆；231-螺纹；24-配重块；25-逆止件；3-废水槽；4-通风机；5-垫圈环片；6-单向排气阀；61-固定杆；62-转动杆；63-螺杆；64-配重块；65-逆止件；66-垫圈环片；7-排气管路。
具体实施方式
为使审查员能清楚了解本实用新型的内容，谨以下列说明搭配图式，敬请参阅。请参阅图3及图4所示，其为本实用新型排气装置第一实施例的立体图及设置示意图。图中，该排气装置具有一排气管路7、一单向排气阀2设于该排气管路内及一垫圈环片5。该单向排气阀2包含一固定杆21、一转动杆22、一螺杆23、一配重块M及一逆止件25。该固定杆21具有一第一端部211、一第二端部212及一枢接座213。该第一端部固设于一排气管路7的管壁上。该枢接座213则形成于该第二端部212，并呈一π字型。该转动杆22具有一枢接孔221及一螺孔222。该枢接孔221形成于该转动杆22 的一端并对应该枢接座213，该螺孔222形成于该转动杆22的另一端。该枢接座221及该枢接孔221穿设一螺栓26，以枢接该固定杆21及该转动杆22。该螺杆23上形成多个螺纹231，并插设于该螺孔222内。该配重块M则螺设于该螺杆23的一端，并可以以该转动杆22为支点，以产生一力矩。在本实施例中，该配重块M可供转动于该螺杆23上，以靠近或远离该转动杆22，以产生不同大小的力矩。该逆止件25则螺设于该螺杆23的另一端。在本实施例中，该逆止件25为一盘体， 其用以密封该排气管路7的管口并作为单向逆止废气排放方向所使用。上述该排气管路以及该单向排气阀2都涂布耐腐蚀材质于表面，所述耐腐蚀材质可为铁氟龙(或称特弗龙)、镍金属及其合金、钛金属及其合金等，于本实用新型排气装置第一实施例中使用铁氟龙涂布于该排气管路7以及该单向排气阀2的表面，以防止该排气管路7以及该单向排气阀2，受废气中所含的酸、碱性或有机化学物质腐蚀。垫圈环片5以软性耐腐蚀材质所制成，以防止废气中所含的酸、碱性或有机化学物质腐蚀，且该垫圈环片5设置于该排气管路7通气管口的一侧并对应该逆止件25。当该逆止件25与该垫圈环片5相贴合时能增加密封功效，以防止废气自该排气管路7的管口与该逆止件25之间外泄。请参照图5、图6及图7，其为本实用新型的单向排气阀第一实施例第一作动示意图、第二作动示意图及排气示意图。当调整组设于该单向排气阀2配重块M 远离该转动杆22时，该配重块M则相对该转动杆22产生一较大的力矩，使的管路中的废气须较大的流速推动该逆止件25，当废气的推力大于该配重块M所产生的力矩时，便能推该逆止件25而使该废气继续流通至单向排气阀2的另一侧。当调整组设于该排气管路7 的单向排气阀2的配重块M靠近该转动杆22时，则相对该转动杆22产生一较小的力矩， 使管路中的废气仅需较小的流速便可推动该逆止件25，使废气持续流动。当废气流通至排气管路7的后端时，可由对管路注入水或水蒸气，以滤除含于废气中的重金属或有机无机物质，并将废水储存至一废水槽3中。处理完毕后的废气便可排放至大气中。为加强排气效果，该排气装置更可于排气管路内设置一通风机4，该通风机4可对设置该单向排气阀2的腔室进行排风，使该腔室形成一具有高低压差的负压区域，进而带动该单向排气阀2的该逆止件25因压力差位移而不再闭锁于该排气管路的通风管口上，可顺利使废气通过该单向排气阀2而导引出。请参照图8，其为本实用新型的单向排气阀第二实施例的示意图。其中，本实施例中，该单向排气阀6具有一固定杆61、一转动杆62、一螺杆63、一配重块64及一逆止件，而于本实施例中，该单向排气阀6的该固定杆61、该转动杆62、该螺杆63、该配重块64与该逆止件65的结构与功能与第一实施例相同，在此不再赘述。本实施例与第一实施例的差异在于原设于排气管路7的通风管口的垫圈环片66环设于该逆止件65的一侧并对应该排气管路7的通风管口，该垫圈环片66的功能与第一实施例相同，用于防止闭锁功能受废气中酸、 碱或有机化学物质的腐蚀而失效。综上所述，本实用新型排气装置及其单向排气阀，其功效在于其使用固定杆固定于排气管路的管壁上，其可密封于管壁，使废气不会由该管壁渗出。本实用新型排气装置及其单向排气阀，其另一功效在于由配重块的辅助，可调整该单向排气阀的闭锁能力，以适应于不同作业情况。以上对本实用新型的描述是说明性的，而非限制性的，本专业技术人员理解，在权利要求限定的精神与范围的内可对其进行许多修改、变化或等效，但是它们都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种单向排气阀，其特征在于，设于一排气管路内，该单向排气阀包含一固定杆，具有一第一端部及一第二端部，该第一端部固定于该排气管路的管壁； 一转动杆，其一端枢接于该第二端部； 一螺杆，插设于该转动杆的另一端； 一配重块，螺设于该螺杆的一端，及一逆止件，螺设于该螺杆的另一端，该逆止件对应该排气管路的通气管口。
2.如权利要求1所述的单向排气阀，其特征在于，该转动杆的另一端设有一螺孔，该螺杆螺设于该螺孔内。
3.如权利要求1所述的单向排气阀，其特征在于，更具有一垫圈环片，该垫圈环片环设于该逆止件的一侧。
4.如权利要求1所述的单向排气阀，其特征在于，该固定杆具有一枢接座，该转动杆具有一枢接孔，该枢接座及该枢接孔穿设一螺栓，以枢接该固定杆及该转动杆。
5.如权利要求1所述的单向排气阀，其特征在于，该逆止件为一盘体。
6.一种排气装置，其特征在于，包含 一排气管路；一如权利要求1所述的单向排气阀，设于该排气管路内；及一通风机，设置于该排气管路内。
7.如权利要求6所述的排气装置，其特征在于，更具有一垫圈环片，该垫圈环片设于该排气管路的通气管口一侧，该垫圈环片对应该单向排气阀的逆止件。
专利摘要一种排气装置及其单向排气阀，该排气装置包含一排气管路、该单向排气阀及一通风机，该单向排气阀包含一固定杆、一转动杆、一螺杆、一配重块及一逆止件。该固定杆具有一第一端部及一第二端部，该第一端部固定于该排气管路的管壁。该转动杆的一端枢接于该第二端部。该螺杆插设于该转动杆的另一端。该配重块螺设于该螺杆的一端。该逆止件螺设于该螺杆的另一端，该逆止件对应该排气管路的通气管口。由调整该配重块所产生的力矩，可控制该逆止件相对于排气管路的止阀能力，以调控排气功能。
文档编号H01L21/00GK202032134SQ201120113529
公开日2011年11月9日 申请日期2011年4月18日 优先权日2011年4月18日
发明者黄元彬 申请人:利达空调股份有限公司