专利名称：光罩盒的安装底座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种光罩盒的安装底座，广泛应用于所有具有光罩的生产机台， 如曝光机、显影机、蚀刻机和清洗机等等。
背景技术：
目前，在半导体工艺车间内的曝光机、显影机、蚀刻机和清洗机中都会使用到光罩盒和光罩盒的安装底座。所述光罩盒是指SMIF，即标准机械界面光罩盒，其内部用于设置光罩。所述光罩盒的安装底座是指SMIF port，即标准机械界面端口，用于安装和固定光罩
品.ο请参阅图1，图1是现有的光罩盒的安装底座的剖面示意图。由图1可见，现有的光罩盒的安装底座包括底板101、四块边缘挡板102和若干定位件103，所述边缘挡板102 分别设置于所述底板101的四个角上方。所述边缘挡板102的高度比较高，通常远大于定位件103的高度。在使用过程中发现，由于边缘挡板102的高度过高，当操作人员将光罩盒安装到光罩盒的安装底座上去时，很容易将光罩盒撞到光罩盒的安装底座的四个角的边缘挡板 102上。由此会带来三个问题一方面，光罩盒与光罩盒的安装底座之间的碰撞会导致光罩盒的破损，从而会降低光罩盒的使用寿命；另一方面，光罩盒与光罩盒的安装底座之间的碰撞所产生的颗粒物质会黏附在光罩盒的安装底座上，当光罩盒打开后，这些颗粒物质极容易飘落到光罩上，导致曝光、显影、 蚀刻或者清洗后造成光罩缺陷；再一方面，由于颗粒物质经常飘落到光罩上，因此，需要进行频繁的清机作业，即停止机器，对光罩盒和光罩盒的安装底座等等进行清洗，会占用大量机台时间和人力，导致生产效率低下。因此，如何提供一种可以防止光罩盒与光罩盒的安装底座碰撞的光罩盒的安装底座是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种光罩盒的安装底座，通过降低边缘挡板的高度， 可以有效防止光罩盒在安装时与光罩盒的安装底座发生碰撞，从而保护光罩盒，同时可以避免因碰撞产生的颗粒物质。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种光罩盒的安装底座，用于安装光罩盒，包括底板、四块边缘挡板和若干定位件，所述四块边缘挡板分别设置于所述底板的四个角上方，所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度。优先地，在上述的光罩盒的安装底座中，所述边缘挡板的高度小于1cm。[0013]优先地，在上述的光罩盒的安装底座中，所述边缘挡板的高度小于0. 5cm。优先地，在上述的光罩盒的安装底座中，所述边缘挡板的高度是0. 25cm。优先地，在上述的光罩盒的安装底座中，所述光罩盒的安装底座还包括用于打开光罩盒的启开部件。本实用新型提供的光罩盒的安装底座，结构简单，使用方便，通过降低边缘挡板的高度，使得所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安装时与光罩盒的安装底座发生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受损，延长光罩盒的使用寿命；另一方面，可以避免因碰撞产生的颗粒物质黏附到光罩盒的安装底座上，从而避免当光罩盒打开后这些颗粒物质飘落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因颗粒物质过多而需要频繁进行清机，提高了生产效率。
本实用新型的光罩盒的安装底座由以下的实施例及附图给出。图1是现有的光罩盒的安装底座的剖面示意图；图2是本实用新型一实施例的光罩盒的安装底座的剖面示意图；图3是本实用新型一实施例的光罩盒的安装底座的立体示意图。 图中，101-底板、102-边缘挡板、103-定位件、104-开启件，201-底板、202-边缘挡板、203-定位件、204-开启件。
具体实施方式
以下将对本实用新型的光罩盒的安装底座作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解为本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图2和图3，图2是本实用新型一实施例的光罩盒的安装底座的剖面示意图，图3是本实用新型一实施例的光罩盒的安装底座的立体示意图。这种光罩盒的安装底座，用于安装光罩盒(图中未示意图)，包括底板201、四块边缘挡板202和若干定位件203，所述边缘挡板202分别设置于所述底板201的四个角上方，所述边缘挡板202的高度小于所述定位件203的高度。通过降低边缘挡板202的高度， 使得所述边缘挡板202的高度小于所述定位件203的高度，可以有效防止光罩盒在安装时与光罩盒的安装底座发生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受损，延长光罩盒的使用寿命；另一方面，可以避免因碰撞产生的颗粒物质黏附到光罩盒的安装底座上，从而避免当光罩盒打开后这些颗粒物质飘落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因颗粒物质过多而需要频繁进行清机，提高了生产效率。所述边缘挡板202的高度只要可以对光罩盒起到定位作用即可，越低越好，例如， 所述边缘挡板202的高度h的范围可以是Ocm < h < Icm,即小于1cm，进一步优选地话，所述边缘挡板的高度的范围是Ocm < h < 0. 5cm,即小于0. 5cm。本实施例中，所述边缘挡板的高度的范围是0. 25cm。所述光罩盒的安装底座还包括用于打开光罩盒的启开部件204，借助该启开部件 204可以顺利打开光罩盒。综上所述，本实用新型提供的光罩盒的安装底座，结构简单，使用方便，通过降低边缘挡板的高度，使得所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安装时与光罩盒的安装底座发生碰撞，从而，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受损，延长光罩盒的使用寿命；另一方面，可以避免因碰撞产生的颗粒物质黏附到光罩盒的安装底座上，从而避免当光罩盒打开后这些颗粒物质飘落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因颗粒物质过多而需要频繁进行清机，提高了生产效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种光罩盒的安装底座，用于安装光罩盒，包括底板、四块边缘挡板和若干定位件， 所述四块边缘挡板分别设置于所述底板的四个角上方，其特征在于，所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度。
2.根据权利要求1所述的光罩盒的安装底座，其特征在于，所述边缘挡板的高度小于Icm0
3.根据权利要求2所述的光罩盒的安装底座，其特征在于，所述边缘挡板的高度小于 0. 5cm0
4.根据权利要求3所述的光罩盒的安装底座，其特征在于，所述边缘挡板的高度是 0. 25cm0
5.根据权利要求1 4中任意一项所述的光罩盒的安装底座，其特征在于，所述光罩盒的安装底座还包括用于打开光罩盒的启开部件。
专利摘要本实用新型公开了一种光罩盒的安装底座，用于安装光罩盒，包括底板、四块边缘挡板和若干定位件，所述边缘挡板分别设置于底板的四个角上方，所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度。本实用新型提供的光罩盒的安装底座，结构简单，使用方便，通过降低边缘挡板的高度，使得所述边缘挡板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安装时与光罩盒的安装底座发生碰撞。
文档编号H01L21/677GK202282339SQ20112042925
公开日2012年6月20日 申请日期2011年11月2日 优先权日2011年11月2日
发明者黄金 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司