专利名称：光刻机的激光器控制系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本实用新型涉及一种光刻机的激光器控制系统。
背景技术：
激光器,特别是绿光激光器(green laser)普遍应用于阿斯麦光刻机,其功能为对准(alignment)的激光源,将掩模板(reticle)上的标记(mark)和晶圆上的标记通过对准实现套准。但是，一般的绿光激光器使用I年左右就会出现故障，激光器能量降低且不稳定，导致产品套偏(misalignment),造成返工甚至废片。其套片随机性强,难以发现,在其寿命最后阶段，将导致整批在制品报废，造成光刻机停机，所以一般在I年到期时将激光器更换。然而，激光器的价格昂贵、寿命短、不可替代性，由此致使生产成本上升。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种光刻机的激光器控制系统，能够在不影响设备正常功能的前提下，延长激光器的使用寿命，降低消耗量。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光刻机的激光器控制系统，包括电压模式输出控制模块，与所述激光器相连接，以电压模式控制所述激光器的输出；判断模块，分别与所述激光器和所述电压模式输出控制模块相连接，判断是否应该将所述激光器切换至电流模式控制其输出；模式切换模块，与所述判断模块相连接，根据所述判断模块的切换命令将所述激光器切换至以电流模式控制其输出；电流模式输出控制模块，分别与所述激光器和所述模式切换模块相连接，以电流模式控制所述激光器的输出。可选地，所述激光器是绿光激光器。可选地，所述判断模块包括输出功率检测模块，检测所述激光器的输出功率。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点本实用新型在不影响设备正常功能的前提下，对设备进行改造，改造成本低。改造之后从之前大约每年每台更换I个降低至每两年更换I个，延长了激光器的使用寿命，降低了消耗量，节省了生产成本。另外，激光器的输出更稳定，减少了在制品套偏和报废频率，提闻了广品的良率。
本实用新型的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过
以下结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中[0015]图I为本实用新型一个实施例的光刻机的激光器控制系统的模块结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型显然能够以多种不同于此描述地其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本实用新型的保护范围。图I为本实用新型一个实施例的光刻机的激光器控制系统的模块结构示意图。如图I所示，该光刻机的激光器控制系统100可以包括电压模式输出控制模块102、判断模块103、模式切换模块104以及电流模式输出控制模块105。其中，电压模式输出控制模块102与激光器101相连接，以电压模式控制激光器101的输出。判断模块103分别与激光器101和电压模式输出控制模块102相连接，判断是否应该将激光器101切换至电流模式控制其输出。模式切换模块104与判断模块103相连接，根据判断模块103的切换命令将激光器101切换至以电流模式控制其输出。电流模式输出控制模块105分别与激光器101和模式切换模块104相连接，以电流模式控制激光器101的输出。在本实施例中，该激光器101可以是绿光激光器(green laser)。另外,判断模块103可以包括输出功率检测模块106，用于在激光器101的运行过程期间检测激光器101的输出功率。其正常的输出激光功率为56mW左右，但是随着使用时间越长，其输出的激光功率会开始变小。当输出功率检测模块106检测到激光器101的输出功率小于某一预定阈值时，该判断模块103即可认定该激光器101可被切换至电流模式，从而保持其正常的56mW左右的输出激光功率。本实用新型在不影响设备正常功能的前提下，对设备进行改造，改造成本低。改造之后从之前大约每年每台更换I个降低至每两年更换I个，延长了激光器的使用寿命，降低了消耗量，节省了生产成本。另外，激光器的输出更稳定，减少了在制品套偏和报废频率，提闻了广品的良率。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰，均落入本实用新型权利要求所界定的保护范围之内。
权利要求1.一种光刻机的激光器控制系统(100)，其特征在于，包括 电压模式输出控制模块(102),与所述激光器(101)相连接，以电压模式控制所述激光器(101)的输出； 判断模块(103)，分别与所述激光器(101)和所述电压模式输出控制模块(102)相连接，判断是否应该将所述激光器(101)切换至电流模式控制其输出； 模式切换模块(104)，与所述判断模块(103)相连接，根据所述判断模块(103)的切換命令将所述激光器(101)切換至以电流模式控制其输出； 电流模式输出控制模块(105)，分别与所述激光器(101)和所述模式切换模块(104)相连接，以电流模式控制所述激光器(101)的输出。
2.根据权利要求I所述的激光器控制系统(100)，其特征在于，所述激光器(101)是绿光激光器。
3.根据权利要求2所述的激光器控制系统(100)，其特征在于，所述判断模块(103)包括输出功率检测模块(106)，检测所述激光器(101)的输出功率。
专利摘要本实用新型提供一种光刻机的激光器控制系统，包括电压模式输出控制模块，与激光器相连接，以电压模式控制激光器的输出；判断模块，分别与激光器和电压模式输出控制模块相连接，判断是否应该将激光器切换至电流模式控制其输出；模式切换模块，与判断模块相连接，根据判断模块的切换命令将激光器切换至以电流模式控制其输出；电流模式输出控制模块，分别与激光器和模式切换模块相连接，以电流模式控制激光器的输出。本实用新型在不影响设备正常功能的前提下，对设备进行改造，改造成本低。改造之后延长了激光器的使用寿命，降低了消耗量，节省了生产成本。另外，激光器的输出更稳定，减少了在制品套偏和报废频率，提高了产品的良率。
文档编号H01S3/10GK202372753SQ20112044829
公开日2012年8月8日 申请日期2011年11月14日 优先权日2011年11月14日
发明者刘庆锋, 王诚 申请人:上海先进半导体制造股份有限公司