专利名称：一种石英舟结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种集成电路制造设备，特别是涉及一种用于垂直氧化炉管的石英舟结构。
背景技术：
在集成电路制造厂中，采用常压高温氧化炉工艺，以热氧化生长的方式在硅片上生成二氧化硅，用于栅氧化、垫层氧化、牺牲氧化或场氧化，也可以用作退火和阱驱动等工 艺。常压高温氧化炉管工艺在垂直炉管中进行，垂直炉管内部的反应腔体为常压高温条件，石英舟垂直设置于垂直炉管的反应腔体内，硅片则水平放置于石英舟上。如图I所示，一种四柱石英舟包括顶盖、底板、四根垂直立柱，顶盖和底板为尺寸相同的环形，垂直立柱的顶端连接环形顶盖，底端连接环形底板。立柱内侧设有多个硅片托，用于支撑硅片。这种四柱石英舟在高温中垂直立柱易发生变形的情况，变形发生后多余的一个石英舟垂直立柱(三立柱支撑一个平面)易造成硅片从石英舟上脱落，影响产品合格率，从而造成这种四柱石英舟使用寿命短，其使用寿命约为140炉。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种石英舟结构能延长常压高温氧化炉工艺中石英舟的使用寿命。为解决上述技术问题，本发明的石英舟结构，包括顶盖、底板、主立柱和硅片托，主立柱在环形的顶盖和底板之间垂直设置，主立柱内侧设有硅片托，所述主立柱为三根，分为是第一主立柱、第二主立柱和中心主立柱；其中，所述第一主立柱、第二主立柱相对于中心主立柱对称设置,所述中心主立柱与第一主立柱、第二主立柱之间分别设有一根加强柱。所述主立柱的直径大于加强柱的直径。所述加强柱的截面为圆形或半圆形。所述两根加强柱相对于中心主立柱对称设置。所述加强柱和第一主立柱、第二主立柱之间设置有连接肋。本实用新型的石英舟结构投入生产使用，其产生技术效果如下I.提高石英舟利用率4. 285倍，石英舟年消耗降低。2.节能减排，延长石英舟使用寿命，节约了清洗石英舟消耗的材料。3.设备正常运行时间提高约1%。本实用新型的石英舟结构通过在中心主立柱和第一主立柱、第二主立柱之间对称设置两根加强柱的方法，采用加强柱辅助主立柱能延长石英舟在常压高温氧化炉工艺中的使用寿命。
以下结合附图
与具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明[0016]图I是ー种现有四柱石英舟的结构示意图；图2是本实用新型的结构示意图；图3是沿图2中线段A-A的剖视图。附图标记说明1是顶盖2. I是第一王立柱 2. 2是第二主立柱2. 3是中心主立柱3是底板4是加强柱5是连接肋6是垂直立柱
具体实施方式
如图2、图3所示，本实用新型ー实施例，包括顶盖1、底板3、主立柱和硅片托，主立柱在环形的顶盖1和底板3之间垂直设置，主立柱内侧设有硅片托，所述主立柱为三根，分为是第一主立柱2.1、第二主立柱2. 2和中心主立柱2. 3 ;其中，第一主立柱2. 1、第二主立柱2. 2相对于中心主立柱2. 3对称设置，中心主立柱2. 3与第一主立柱2. 1、第二主立柱
2.2之间分别设有一根加强柱4。加强柱4的直径小于第一主立柱2. 1、第二主立柱2. 2和中心主立柱2. 3的直径，加强柱4的截面为圆形，两根加强柱4相对于中心主立柱2. 3对称设置。加强柱4和第一主立柱2. 1、第二主立柱2. 2之间设置有连接肋5。以上通过具体实施方式
和实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.ー种石英舟结构，包括顶盖、底板、主立柱和硅片托，主立柱在环形的顶盖和底板之间垂直设置，主立柱内侧设有硅片托，所述主立柱为三根，分为是第一主立柱、第二主立柱和中心主立柱；其特征是所述第一主立柱、第二主立柱相对于中心主立柱对称设置,所述中心主立柱与第一主立柱、第二主立柱之间分别设有ー根加强柱。
2.如权利要求I所述的石英舟结构，其特征是所述主立柱的直径大于加强柱的直径。
3.如权利要求I所述的石英舟结构，其特征是所述加强柱的截面为圆形或半圆形。
4.如权利要求I所述的石英舟结构，其特征是所述两根加强柱相对于中心主立柱对称设置。
5.如权利要求I所述的石英舟结构，其特征是所述加强柱和第一主立柱、第二主立柱之间设置有连接肋。
专利摘要本实用新型公开了一种石英舟结构，包括顶盖、底板、主立柱和硅片托，主立柱在环形的顶盖和底板之间垂直设置，主立柱内侧设有硅片托，所述主立柱为三根，分别是第一主立柱、第二主立柱和中心主立柱；其中，所述第一主立柱、第二主立柱相对于中心主立柱对称设置，所述中心主立柱与第一主立柱、第二主立柱之间分别设有一根加强柱。本实用新型的石英舟结构通过在中心主立柱和第一主立柱、第二主立柱之间对称设置两根加强柱的方法，采用加强柱辅助主立柱能延长石英舟在常压高温氧化炉工艺中的使用寿命。
文档编号H01L21/673GK202423242SQ201120549639
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月23日 优先权日2011年12月23日
发明者刘波, 姚亮, 杨继业 申请人:上海华虹Nec电子有限公司