专利名称：一种太阳能电池片刻蚀装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的设备，特别是太阳能电池片湿法刻蚀装置。
背景技术：
在晶体硅太阳电池的生产过程中，刻蚀是制备晶体硅太阳电池片的重要工序，其目的是将硅片背表面和周边的PN结去掉，同时需要保证电池片正面的PN结不被破坏。目前，湿法刻蚀设备广泛应用于生产中，如SCHMID刻蚀机通过滚轮沾液的形式将刻蚀液带到硅片背面(非扩散面)，通过化学反应将背面及边缘的PN结去除，使正反面PN结断开，减小漏电。但其刻蚀槽内的所有滚轮均在同一高度，并且所有滚轮的外径都一样，硅片在同一平面运动进行背面和侧面的刻蚀，由于刻蚀液表面张力和与硅片的接触问题，导致硅片前进方向的一边刻蚀效果不佳，并容易导致电池片漏电。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池片刻蚀装置，通过调整现有设备刻蚀槽内滚轮的支撑卡槽，或通过安装不同直径的滚轮，来实现高低滚轮刻蚀，提高产品质量，降低生产成本。本实用新型的技术方案是一种太阳能电池片刻蚀装置，包括设置在设备刻蚀槽内的滚轮支撑卡槽，滚轮，其中，所述滚轮安装在所述支撑卡槽上，呈高低交替排列结构。所述滚轮的高低交替排列是由相同直径的滚轮安装在所述支撑卡槽上的支撑位置高低交替排列构成。 所述滚轮的高低交替排列是由安装在所述支撑卡槽上不同直径的滚轮交替排列构成。所述滚轮高低交替相邻的高度差最大不超过滚轮直径的五分之二，最小不小于O. Imm0本实用新型在现有刻蚀设备上，通过调整刻蚀槽内滚轮的支撑卡槽的支撑高度，或通过安装不同直径的滚轮，来实现高低滚轮刻蚀。实现滚轮上硅片的高低起伏“波浪”式运行，加大了硅片与刻蚀槽内滚轮的总接触面积，使得刻蚀溶液更容易接触到硅片的表面进行刻蚀，提高了产品合格率，同时不需要另外制作设备零件，也无特殊的安装操作。
图I是本实用新型相同直径滚轮刻蚀槽内结构示意图；图2是本实用新型不同直径滚轮刻蚀槽内结构示意图；图中1_刻蚀槽，2-太阳能电池片，3-滚轮，4-支撑卡槽，5-高低滚轮之间的高度差，6_滚轮。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。如图1、2，本实用新型提供的一种太阳能电池片刻蚀装置，包括设置在设备刻蚀槽I内的滚轮支撑卡槽4，滚轮3，其中，所述滚轮3安装在所述支撑卡槽4上，呈高低交替排列结构。优选的，所述滚轮的高低交替排列是由相同直径的滚轮3安装在所述支撑卡槽4上的支撑位置高低交替排列构成。优选的，所述滚轮的高低交替排列是由安装在所述支撑卡槽4上不同直径的滚轮
3、滚轮6交替排列构成。优选的，所述滚轮高低交替相邻的高度差5最大不超过滚轮3直径的五分之二，最小不小于O. 1mm。本实用新型是在现有刻蚀机上进行改造的，滚轮的高低交替是任意的排列组合，比如I根高滚轮和I根低滚轮的连续交替组合结构，或连续4根高滚轮和4根低滚轮的连续交替组合结构，或连续5根高滚轮和3根低滚轮的连续交替组合结构,或连续3根高滚轮和5根低滚轮的连续交替组合结构。主要的目的在于实现刻蚀槽内硅片的高低起伏“波浪”式运行。本实用新型结构简单、可靠，在现有刻蚀机上，只需通过调整刻蚀槽内滚轮的支撑卡槽的支撑高度，或通过安装不同直径的滚轮，来实现高低滚轮刻蚀，改造简单，不需要另外制作设备零件，也无特殊的安装操作。实现滚轮上硅片的高低起伏“波浪”式运行，加大了硅片与刻蚀槽内滚轮的总接触面积，使得刻蚀溶液更容易接触到硅片的表面进行刻蚀，提高了产品合格率，降低了生产成本。当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型做出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种太阳能电池片刻蚀装置，包括设置在设备刻蚀槽(I)内的滚轮支撑卡槽(4)，滚轮(3)，其特征在于所述滚轮(3)安装在所述支撑卡槽(4)上，呈高低交替排列结构。
2.根据权利要求I所述的太阳能电池片刻蚀装置，其特征在于所述滚轮的高低交替排列是由相同直径的滚轮(3)安装在所述支撑卡槽(4)上的支撑位置高低交替排列构成。
3.根据权利要求I所述的太阳能电池片刻蚀装置，其特征在于所述滚轮的高低交替排列是由安装在所述支撑卡槽上不同直径的滚轮(3、6)交替排列构成。
4.根据权利要求I所述的太阳能电池片刻蚀装置，其特征在于所述滚轮高低交替相邻的高度差(5)最大不超过滚轮(3)直径的五分之二,最小不小于O. 1_。
专利摘要本实用新型提供一种太阳能电池片刻蚀装置，包括设置在设备刻蚀槽内的滚轮支撑卡槽，滚轮，其中，所述滚轮安装在所述支撑卡槽上，呈高低交替排列结构；所述滚轮的高低交替排列是由相同直径的滚轮安装在所述支撑卡槽上的支撑位置高低交替排列构成，或由安装在所述支撑卡槽上不同直径的滚轮交替排列构成；所述滚轮高低交替相邻的高度差最大不超过滚轮直径的五分之二，最小不小于0.1mm。本实用新型结构简单、可靠，在现有刻蚀机上，只需通过调整刻蚀槽内滚轮的支撑卡槽的支撑高度，或通过安装不同直径的滚轮，来实现高低滚轮刻蚀，提高产品质量，降低生产成本。
文档编号H01L31/18GK202384378SQ20112055612
公开日2012年8月15日 申请日期2011年12月27日 优先权日2011年12月27日
发明者包崇彬, 夏伟, 张凤鸣, 李质磊, 段甜健, 盛雯婷, 程曦, 马熠隆 申请人:保定天威集团有限公司, 天威新能源控股有限公司