专利名称：气密容器和图像显示设备的制造方法
技术领域：
本发明涉及气密容器的制造方法和图像显示设备的制造方法。更特别地，本发明涉及从一对衬底制造多个气密容器的方法。
背景技术：
传统地，已知通过接合彼此面对的玻璃衬底来形成具有气密性的内部空间的技木。该技术被应用于制造要在诸如有机发光二极管(OLED)显示器、场致发射显示器(FED)、 等离子体显示面板(PDP)等的平板显示器中使用的气密容器(机売)，并且也被应用于制造真空绝热玻璃。在制造像这样的气密容器的情况下，间隔距离限定部件和局部粘合剂根据需要被布置在彼此面对的玻璃衬底之间，接合材料被布置到玻璃衬底的周边部分，并且随后通过加热等使玻璃衬底彼此接合。顺便说一下，作为使玻璃衬底彼此接合的方法，已经提出了由加热炉加热(烘烤)通过临时组装玻璃衬底获得的组装体的全体的整体加热方法、以及由局部加热装置仅仅选择性地加热组装体的周边部分的局部加热方法。一般，从加热和冷却组装体所需的时间、加热所需的能量的减少以及防止布置在容器中的功能器件的热劣化的观点来看，局部加热方法比整体加热方法更有利。在制造小型的气密容器的情况下，还可以由ー对玻璃衬底和插在该对玻璃衬底之间的大量的框状的玻璃接合材料来形成大量的均已经被密封的气密容器，并且随后通过切断玻璃衬底来获得单独的气密容器。作为同时制造大量有机发光图像显示设备的方法，日本专利申请公开No. 2010-037194公开了ー种通过利用激光束作为局部加热光熔化多个玻璃接合材料来使母体玻璃(mother glass)接合的方法。在该方法中，接合的母体玻璃被切断并且被分割成単独的单位显示元件。在通过激光束接合母体玻璃时，激光束被同时照射到多个玻璃接合材料。由于同时照射激光束，因此可以使施加到母体玻璃的应カ偏差最小化，借此因此可以抑制切割面上的突起、微细的碎片等出现。作为同时制造大量的气密密封的图像显示设备的方法，美国专利申请公开No. 2007/0128965公开了ー种通过利用激光束作为局部加热光熔化多个玻璃接合材料来使母体玻璃接合的方法。为了制造图像显示设备，激光束被依次照射到相邻的接合材料。因此，可以提高图像显示设备的生产率。如刚刚所描述的，为了通过利用局部加热光使玻璃衬底接合来制造大量的气密容器，已知不是将局部加热光简单地照射到接合材料而是将局部加热光同时或依次照射到多个接合材料的方法。因此，通过在像这样的方法中形成封闭的空间，可以提高气密容器的气密性的可靠性以及气密容器的制造中的生产率。在传统的图像显示设备的制造方法中，预先在玻璃衬底中的ー个玻璃衬底上形成玻璃接合材料。然后，在另ー个玻璃衬底被布置为面对玻璃衬底中的所述ー个玻璃衬底吋，玻璃接合材料接触所述另ー个玻璃衬底。然而，在以这样的方式保持玻璃接合材料的情况下，在局部加热光被照射到玻璃接合材料的时候从玻璃接合材料到玻璃衬底中的所述ー个玻璃衬底的传热量不同于在局部加热光被照射到玻璃接合材料的时候从玻璃接合材料到所述另ー个玻璃衬底的传热量。因此，在该对玻璃衬底之间出现温度差。因此，由于基于上述温度差的热膨胀差别而在接合材料和玻璃衬底之间出现具有摩擦的相对移动，由此存在有时出现玻璃衬底的损伤和微细的碎片的可能性。因此，本发明g在提供一种气密容器的制造方法，其可以减少在玻璃衬底和接合材料之间出现的上述摩擦,并且减少玻璃衬底的损伤和微细的碎片的出现
发明内容
根据本发明的一种气密容器的制造方法包括获得组装体的步骤，所述组装体包括彼此面对地布置的ー对玻璃衬底以及均被布置在所述ー对玻璃衬底之间的多个框状的接合材料；以及通过将局部加热光照射到所述接合材料中的至少一部分来熔化所述接合材料中的所述至少一部分的步骤。进一歩，熔化接合材料的步骤包括将所述局部加热光照射到所述接合材料中的一部分以使得至少ー个未被所述局部加热光照射的接合材料存在于通过直线地连结(link)由所述局部加热光照射的接合材料而假定的一个封闭区域内的第一照射步骤、以及将所述局部加热光照射到存在于所述一个封闭区域内的未被所述局部加热光照射的接合材料的第二照射步骤。作为第一照射步骤的结果，获得了已经通过直线地连结由局部加热光照射的接合材料而假定的一个封闭区域。在该封闭区域中，由于由局部加热光照射并且随后变硬的接合材料的粘结性(或接合力)而约束了玻璃衬底的相对位移。在这种状态中，由于局部加热光被照射到在封闭区域中的还未被照射的接合材料，因此即使在这些玻璃衬底之间出现温度差，玻璃衬底的相对位移也被约束。因此，变得难以出现在接合材料和玻璃衬底之间的不对准以及由该不对准引起的摩擦。结果，可以减少玻璃衬底的损伤和微细的碎片的出现。因此，根据本发明，可以提供气密容器的制造方法，其可以减少在玻璃衬底和接合材料之间的摩擦的出现，并且还减少玻璃衬底的损伤和微细的碎片的出现。根据以下參考附图的示例性实施例的描述，本发明更多的特征将变得清晰。
图IA和图IB分别是均示出了要由根据本发明的制造方法制造的OLED显示器的平面图和截面图。图2是用于详细描述第一玻璃衬底和发光部分的截面图。图3是用于描述根据本发明的处理流程的示例的玻璃衬底的截面图。图4是用于描述对于每个气密容器照射局部加热光的方法的透视图。图5A和图5B是用于描述对于多个气密容器照射局部加热光的方法的截面图。图6A、图6B和图6C是分别示出了在第一照射步骤中获得的封闭区域的示例的平面图。图7A和图7B分别是用于描述在示例中照射局部加热光的方法的平面图和截面图。
具体实施例方式在下文中，现在将參考附图详细描述本发明的示例性实施例。本发明的气密容器的制造方法可以被应用于均在其内部空间中具有要求相对于外部气氛气密地(密闭地)密封的装置的FED、OLED显示器、PDP等的容器的制造方法。特别地，在包括在水和氧气中脆弱的有机发光材料的诸如OLED显示器等的图像显示设备中，要求用于使图像显示设备的内部与外部隔离的高气密性。这里，根据本发明，可以以长期的方式保证高气密性。顺便说一下，根据本发明的气密容器的制造方法不限于供上述显示器使用的气密容器的制造。也就是说，本发明可以被广泛地应用于具有对于彼此面对的玻璃衬底的周边部分要求气密性的接合材料的气密容器的制造。图IA和图IB分别是均示出了要由根据本发明的制造方法制造的OLED显示器的平面图和截面图。更具体地说，图IA是显示器 的示意性平面图，而图IB是显示器的示意性截面图。如图IB中所示出的，OLED显示器10包括第一玻璃衬底I、第二玻璃衬底2以及设置在第一玻璃衬底I与第二玻璃衬底2之间的发光単元3和接合材料4。如图IA和图IB中所示出的，在第一玻璃衬底I上设置多个发光単元3。此外，每个接合材料4被设置为包围每个发光单元3，由此如图IA中所示出地密封发光单元3，并且还如图IB中所示出地使第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2彼此接合。随后，将详细描述发光単元3。图2是示出了由图IB中的虚线四边形指示的部分的局部放大截面图。发光单元3包括OLED元件34以及覆盖OLED元件34的上表面和侧表面的保护层35，在该OLED元件34中依次层叠下电极31、OLED层32和上电极33。当电流被施加到发光单元3吋，从阳极(未示出)注入的空穴和从阴极(未示出)注入的电子在OLED层32中的发光层(未不出)中复合。然后，发光层根据包含在发光层内的发光材料的发光颜色而分别发射红光、绿光和蓝光。随后，从发光层发射的光可以被从保护层35的侧面取出。当以有源矩阵方法驱动发光単元3时，给定的事实是，第一玻璃衬底I由衬底11、设置在衬底11上的TFT(薄膜晶体管)电路12和设置在TFT电路12上的平坦化膜13构成。TFT电路12通过接触孔14与下电极31电连接。随后，将描述构成图IA和图IB中示出的OLED显示器10的部件和材料。虽然没有被具体地限制，但是第一玻璃材料I和第二玻璃材料2中的每ー个可以由例如透明玻璃材料形成。当以有源矩阵方法驱动发光単元3时，透明玻璃材料等被用于第一玻璃衬底I和2。发光单元3中的下电极31是用于反射从发光层发射的光的反射电极。下电极31由具有至少50%或更大并且优选地80%或更大的反射率的金属材料构成。在反射率变高时，变得可以提高光取出效率，由此它是期望的。虽然没有被具体地限制，但是例如，具有上述反射率的金属材料包括诸如银、铝、铬、金、钼等的金属材料。下电极31可以仅仅通过由上述金属材料制成的金属薄膜构成。然而，如果仅仅通过该金属薄膜难以将电荷注入到OLED层32中，则可以在该金属薄膜上进ー步设置透明电极层。这里，由金属氧化物制成的导电膜被用作透明电极层。更具体地说，由氧化铟和氧化锡制成的化合物膜(ΙΤ0(氧化铟錫))或者由氧化铟和氧化锌制成的化合物膜(ΙΖ0(氧化铟锌))被用作导电膜。构成发光単元3的一部分的OLED层32的构造没有被具体地限制。例如，使用如下的构造，在该构造中从阳极侧开始依次层叠空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。
作为构成空穴注入层的空穴注入材料和构成空穴传输层的空穴传输材料，期望的是，使用具有使来自阳极的空穴容易注入并且在注入的空穴到发光层的传输方面优秀的空穴迁移率的材料。由于空穴注入材料和空穴传输材料没有被具体地限制，因此能够使用各种低分子材料和高分子材料。作为低分子材料，例如，使用三烯丙基胺衍生物、苯ニ胺衍生物、三唑衍生物、恶ニ唑衍生物、咪唑衍生物、吡唑啉衍生物和吡唑啉酮衍生物。作为其它低分子材料，例如，使用恶唑衍生物、芴酮衍生物、腙衍生物、ニ苯こ烯衍生物、酞菁衍生物和ロ卜啉衍生物。此外，作为高分子材料，例如，使用聚こ烯咔唑、聚娃烯(polysilylene)和聚噻吩。作为构成发光层的发光材料，使用具有高发光效率的荧光材料和磷光材料。构成电子传输层的电子传输材料可以任意地选自具有用于将从阴极注入的电子传输到发光层的功能的材料。更具体地说，实际上考虑到与空穴传输材料的空穴迁移率的平衡等来选择电子传输材料。作为电子传输材料，使用恶ニ唑衍生物、恶唑衍生物、噻唑衍生物、噻ニ唑衍生物、吡嗪衍生物、三唑衍生物、三嗪衍生物、ニ萘嵌苯衍生物、喹啉衍生物等。此外，使用喹喔啉衍生物、芴酮衍生物、蒽酮衍生物、菲咯啉衍生物、有机金属络合物等。然而，电子传输材料不限于它们。作为构成电子注入层的电子注入材料，使用通过在上述电子传输材料中以O. 1%到百分之几十地添加碱金属、碱土金属或者碱金属和碱土金属的化合物而获得的材料。通过将碱金属等添加到电子传输材料，可以给予电子注入性能。发光单元3中的上电极33优选地是具有80%到100%的透射率的材料，使得从发光层发射的光可以被充分地取出。构成上电极33的材料没有被具体地限制。例如，可以使用被形成为具有使光透射通过诸如银、铝、铬、金、钼等的金属材料的程度的膜厚的金属薄膜、诸如ITO、IZO等的氧化物导电膜或者由上述金属材料形成的薄膜和氧化物薄膜的层叠体。出于防止OLED元件34直接接触大气中的氧气、水汽等的目的，设置构成发光单元3的一部分的保护层35。保护层35的材料没有被具体地限制，只要它是具有与OLED元件34的粘合性的有机化合物即可。优选地，使用热固性树脂、紫外线固化树脂或者双液混合固化树脂。更具体地说，使用环氧树脂、丙烯酸树脂等。保护层35可以紧紧地附着于第二玻璃衬底。为了提高防潮特性，可以在上电极33和保护层35之间进一歩设置诸如硅氮化物、硅氧氮化物等的金属氮化物膜、诸如氧化钽等的金属氧化物膜或者金刚石薄膜。此外，吸湿材料可以被包含在保护层35内。当OLED显示器10是从第二玻璃衬底2侧向外发射由OLED元件34产生的光的顶部发射显示器时，保护层35由透明材料构成。图3是用于描述根据本发明的制造气密容器的具体处理的处理流程的玻璃衬底的截面图。在下文中，将參考图3中指示的处理流程具体地描述根据本发明的气密容器的制造方法。(步骤I)制备第一玻璃衬底的步骤(图3中的(a))在根据本发明的气密容器的制造方法中，首先制备第一玻璃衬底I。更具体地说， 制备为设置稍后描述的发光単元3所必需的衬底。在要制造的OLED显示器10是有源矩阵显示设备的情况下，在该步骤中顺序地设置全部在图2中示出的TFT电路12、平坦化膜13和接触孔14。(步骤2)制备发光単元的步骤(图3中的(b))随后，形成发光单元3。这里，可以以已知的方法形成下电极31、OLED层32、上电极33和保护层35。(步骤3)制备第二玻璃衬底的步骤(图3中的(C))随后，制备第二玻璃衬底2。在制备的第二玻璃衬底2上，在接下来的步骤中形成多个框状的接合材料4。(步骤4)在第二玻璃衬底上形成接合材料的薄膜的步骤(图3中的(d))随后，在第二玻璃衬底2上形成包括接合材料4的薄膜。这里，多个接合材料4被 形成为使得沿着矩形区域的四边布置最外周的接合材料4。在这种处理中，玻璃料(glassfrit)被用作接合材料4。接合材料4的粘度具有负温度系数，并且接合材料4的软化点低于第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2中的每ー个的软化点。更具体地说，适当的液体物质被混合到玻璃料，由此制备玻璃料浆料。然后，制备的玻璃料浆料被施加到第二玻璃衬底2上以便包围发光単元3中的每ー个，由此形成薄膜。顺便说一下，作为施加玻璃料浆料的方法，使用分配(dispensing)方法、丝网印刷法等。随后，对包括玻璃料浆料的薄膜执行前供，由此获得接合材料4。这里，优选的是在前烘的阶段处将接合材料4的高度设定为5μπι至Ij 300 μ m0(步骤5)将第一玻璃衬底和第二玻璃衬底布置为彼此面对的步骤(图3中的(e))随后，第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2被布置为彼此面对。更具体地说，第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2彼此对准以使得设置在第一玻璃衬底I上的每个发光単元3由第二玻璃衬底2和设置在第二玻璃衬底2上的对应的接合材料4包围。然后，使接合材料4与第一玻璃衬底I接触。在这时候，为了保证接合材料4与第一玻璃衬底I之间的靠接状态或者接触状态，期望的是由玻璃衬底5支援性地覆盖玻璃衬底I和2并且因此将接合材料4压到第一玻璃衬底I。通过这样做，玻璃料被置于第一玻璃衬底I与第二玻璃衬底2之间。在本实施例中，在第二玻璃衬底2侧形成接合材料4。然而，可以在第一玻璃衬底I侧形成接合材料4的一部分或全部。在任一种情况下，可以获得如下的组装体15，在该组装体15中，该对玻璃衬底I和2被彼此面对地布置，并且均被形成在玻璃衬底之一上并且接触玻璃衬底中的另ー个的多个框状的接合材料4在置于该对玻璃衬底I和2之间的空间16中被相互分离地放置。(步骤6)使第一玻璃衬底和第二玻璃衬底彼此接合的步骤(图3中的(f)和(g))随后，局部加热光被顺序地局部地照射到放置在彼此面对布置的该对玻璃衬底I和2之间的多个接合材料4，由此熔化接合材料4。因此，可以使第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2彼此接合。顺便说一下，激光束9优选地被用作局部加热光。更具体地说，如图4中所示出的，从激光头8产生的激光束9被沿着多个接合材料4移动并且照射到多个接合材料4，由此使彼此面对地布置的第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2接合。在示出的示例中，激光束9从第二玻璃衬底2侧产生，并且随后通过第二玻璃衬底2照射到接合材料4。然而，激光束9可以从第一玻璃衬底I侧产生，并且随后通过第一玻璃衬底I照射到接合材料4。在任何情况下，激光束9沿着接合材料4延伸的框状的方向D移动，并且因此完全地照射到接合材料4。激光束9仅仅必须能够局部地加热接合材料4的接合区域的邻近，并且半导体激光器优选地用作光源。更具体地说，从局部加热接合材料4的性能、玻璃衬底I和2的透射性能等方面来说，优选地使用具有红外区中的波长的用于加工的半导体激光器。如上所述，当激光束9透射通过第二玻璃衬底2吋，该光束的能量被接合材料4吸收。基于此，如图5A和图5B中所示出的，接合材料4被加热，并且产生的热被扩散到第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2。更具体地说，图5A是示出激光束被照射的状态的示意图，并且图5B是示出由图5A中的虚线四边形指示的部分的放大图。接合材料4被形成在第二玻璃衬底2上，并且仅仅接触第一玻璃衬底I。因此，到第二玻璃衬底2的热扩散(即，传热量)6比到第一玻璃衬底I的热扩散(即，传热量)7大，由此由于第一玻璃衬底I和第二玻 璃衬底2之间的温度差而出现热膨胀差別。結果，当沿任意方向E顺序地执行通过激光束9的照射的接合时，在还没有被激光束照射的接合材料4与第一玻璃衬底I之间发生摩擦。例如，当第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2的热膨胀系数相同时，由于第二玻璃衬底2的温度比第一玻璃衬底I的温度高，因此第二玻璃衬底2的热膨胀比第一玻璃衬底I的热膨胀大。为此，没有被激光束照射的接合材料4的位置沿方向E从位置Pl移动到位置P2 (图5B)。另ー方面，由于第一玻璃衬底I的热膨胀不大于第二玻璃衬底2的热膨胀，因此接合材料4最初接触第一玻璃衬底I的位置仅仅从位置Pl移动到位置Pl与P2之间的中间位置P3。这里，由于接合材料4仅仅接触第一玻璃衬底I而不被固定于第一玻璃衬底1，因此接合材料4接触第一玻璃衬底I的位置最终从位置P3移动到位置P2。在那时，由于在接合材料4与第一玻璃衬底I之间出现具有摩擦的相对移动，因此存在第一玻璃衬底I和/或接合材料4被损伤并且因此出现微细的碎片的可能性。此外，存在由于微细的碎片而使接合部分的气密性降低的可能性。在根据本实施例的制造方法中，熔化接合材料的步骤(即，照射激光束9的步骤)被分成两个步骤，即，第一照射步骤和第二照射步骤。在第一照射步骤中，如图6A中所示出的，局部加热光被顺序地照射到特定的多个接合材料42。这里，选择特定的多个接合材料42，以使得当由局部加热光照射的多个接合材料42被彼此直线地连结时形成一个封闭区域41,并且至少ー个没有被局部加热光照射的接合材料43存在于该ー个封闭区域41内。应当注意，该ー个封闭区域41的范围取决于如何连结接合材料42,即，应当连接相邻的接合材料42的哪些角。该ー个封闭区域41由被画为在其中包括由局部加热光照射的每个接合材料42并且具有最小长度的闭合线段(其部分由虚线表示)来划界(demarcate)。例如，该线段与通过围绕各个接合材料42的外侧伸展线并且拉紧所伸展的线而获得的线段一致。这里，连接相邻的接合材料42的线经过尽可能靠近已经形成有接合材料4的区域的周边的位置。在第二照射步骤中，如图6A中所示出的，激光束9被照射到包括在由接合材料42包围的区域41内的还没有被照射的接合材料43。这里，由于激光束已经被照射到接合材料42，因此这些材料将也被称为已经接合的部分42。通过已经接合的部分42使第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2彼此接合。在如图6A中所示出的本实施例中，激光束9可以被照射到存在于通过三个已经接合的部分42包围的区域41中的13个接合材料43。如上所述，由于在通过已经接合的部分42包围的区域41中第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2已经在一定程度上被相互地约束，因此可以減少由于上述温度差而出现的摩擦。结果，可以减少接合材料4和第一玻璃衬底I的损伤。如刚刚所描述的，在本实施例中，通过已经接合的部分42包围向其照射激光束9的接合材料43，并且在第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2已经被相互地约束的状态下照射激光束9。因此，可以减少由于接合材料4与第一玻璃衬底I之间的摩擦而出现的接合材料4和第一玻璃衬底I的损伤。顺便说一下，已经接合的部分的位置和数量不限于如图6A中所示出地放置的那三个已经接合的部分。也就是说，如图6B和图6C中所示出的，更期望的是，通过四个或更多个已经接合的部分42形成一个封闭区域41，以便约束第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2。图6B示出了在第一照射步骤中对于其中布置有接合材料4的矩形区域的每ー边由局部加热光照射ー个接合材料42的示例。作为替代，可以对于任意边由局部加热光照射两个或更多个接合材料。图6C示出了在第一照射步骤中由局部加热光仅仅照射分别放置在其中布置有接合材料的矩形区域的四个角处的接合材料42的示例。因此，由局部加热光照射放置在该对玻璃衬底I和2之间的多个接合材料4中的至少一部分。如果已经接合的部分42的数量大，则如上所述的这种约束效果増大。此外，如果区域41变宽，则可以具有约束效果的范围变宽。然后，可以进ー步增强第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2的约束力，并且因此可以获得具有高可靠性的气密容器。(示例I)在下文中，将通过例示特定的示例来更详细地描述在本发明中的主要处理。在示例I中，通过应用參考图6C描述的制造方法，通过气密地接合第一玻璃衬底和第二玻璃衬底并且切出七行和七列的切片来制造49个有源矩阵OLED显示器(显示单元)。处理I (制备第一玻璃衬底I以及在第二玻璃衬底2上形成接合材料4的处理)在第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2中，具有O. 7mm的厚度的玻璃衬底(AN100 由Asahi Glass Co. ,Ltd制造)被制备并且被切出为具有570mmX500mmXO. 7mm的外部尺寸。然后，第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2的表面通过有机溶剂清洗、纯水漂洗和UV-臭氧清洗而被脱脂。图2中示出的TFT电路12、平坦化膜13和接触孔14被形成在第一玻璃衬底I (玻璃衬底中的ー个玻璃衬底)上。然后，形成发光单元3。在该示例中，玻璃料被用作接合材料4。在玻璃料中，具有a = 45X10_7/°C的热膨胀系数和348°C的软化点的P2O5类型的无铅的玻璃料(LFP-A50Z :由Asahi Glass Co.，Ltd.制造)被用作基体材料，并且有机物质被分散和混合于其中的浆料被用作结合剂(binder)。如图3的(d)所示，在第二玻璃衬底2 (玻璃衬底中的另ー个玻璃衬底)上，在丝网印刷中以具有Imm的宽度、20 μ m的厚度和50mm长X 40mm宽的尺寸的框的形状来形成浆料。相邻的显示単元之间的间隔被设定为20mm。然后，物理对象被在460°C加热并且烘烤，以便烧掉有机物质(图3的(a)到⑷)。 处理2 (使接合材料4与第一玻璃衬底I接触的处理) 随后，其上形成有接合材料4的第二玻璃衬底2与第一玻璃衬底I对准，并且它们被临时组装以使得接合材料4接触第一玻璃衬底I的其上形成有发光单元3的表面。因此，形成多个组，每个组由发光単元和包围发光単元的接合材料组成。然后，辅助地布置玻璃衬底5(PD200 :由Asahi Glass Co.，Ltd.制造)，以便补偿对接合材料4的熔接压力。此外，为了补充压力，利用未示出的加压装置通过大气压对第一玻璃衬底I、第二玻璃衬底2和接合材料4加压。通过这样做，使第一玻璃衬底I通过接合材料4与第二玻璃衬底2接触(图3中的(e))。处理3 (将激光束9照射到第二玻璃衬底2的四个角处的接合材料4的处理)随后，将參考图3、图4和图6A 6C详细描述作为本发明的特征部分的使用局部加热光的接合处理。在第一照射步骤中，局部加热光(激光束9)被照射到在图3的(e)示出的处理中形成的包括第一玻璃衬底I、第二玻璃衬底2和接合材料4的临时组装结构(组装体15)。在该示例中，制备ー个用于加工的半导体激光器系统。这里，激光束9的光轴被设定为与玻璃衬底I和2垂直，并且激光头8被布置为在激光束窗口和第二玻璃衬底2之间具有8cm的距离(图4)。如图6C中所示出的，激光束9被照射到在第二玻璃衬底2的角中的一个角处形成的接合材料42。在这时候，激光束9的照射条件被设定为具有980nm的波长、40W的激光功率和2. Omm的有效光束直径，并且沿图4中示出的扫描方向D以10mm/S的速度扫描光束。激光功率被定义为通过对来自激光头的所有输出光束进行积分而获得的强度值，并且有效光束直径被定义为其中激光束的强度为峰值强度的e-2倍或更大的范围。在激光束9的扫描期间，包括要由激光束照射的接合材料4的物理对象被固定，激光头8向方向D移动，并且激光束被照射。对于剩下的三个角同样地执行上述照射，并且随后第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2被彼此接合。处理4 (将激光束9照射到区域41中的接合材料4的处理)随后，在第二照射步骤中，激光束9被顺序地照射到在区域41中形成的并且还没有被激光束9照射的接合材料43。然后，通过所有接合材料4使第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2彼此接合。在这时候，设定的激光束9的照射条件与处理3中的照射条件相同。处理5 (切割第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2的处理)在第二照射步骤结束之后，沿着相邻的接合材料之间的间隙切割由第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2组成的接合体，由此获得切出的49个OLED显示单元。更具体地说，通过玻璃切割器在第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2两者上的预定位置处形成切ロ，并且通过施加外力将第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2从切割边分开。因此，形成単独的OLED显示単元，每ー个OLED显示单元由ー个接合材料、一个发光単元和两个玻璃衬底的组形成。当操作如上所述形成的OLED显示器吋，已确认图像显示性能被长期地稳定地维持，并且接合部分保证了可应用于OLED显示器的程度的強度和稳定的气密性。 (示例2)在该示例中，在第一照射步骤中，如图6A中所示出的，激光束9被照射到三个位置处的接合材料42 (处理3和处理4)。随后，在第二照射步骤中，激光束9被照射到在通过三个已经接合的部分42包围的区域41中的十三个接合材料43，并且顺序地接合这些接合材料43。然后，执行与示例I中的那些处理相同的其它处理，由此形成OLED显示器。当操作所形成的OLED显示器吋，已确认图像显示性能被长期地稳定地維持，并且接合部分保证了可应用于OLED显示器的程度的強度和稳定的气密性。(示例3)在该示例中，除在处理2中使用图7A和图7B示出的加压装置之外，处理与示例I中的那些处理相同。如图7B中所示出的，加压部件20被布置在通过照射的激光束彼此接合的第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2之上，并且被用来 从上方对第一玻璃衬底I和第二玻璃衬底2加压。玻璃衬底5被安装在第二玻璃衬底2上，以便防止加压部件20直接接触第二玻璃衬底2。因此，可以防止第二玻璃衬底2被破坏或损伤。加压部件20包括基底(base) 21和接触部分22。基底21构成加压部件20的主体，并且具有一定程度以上的重量，以便将可观程度的压カ施加到玻璃衬底。基底21由不锈钢(SUS)形成。接触部分22补偿直接接触接触部分22的玻璃衬底5的上部的不均匀性，并且防止玻璃衬底5被破坏或损伤。为此，接触部分22由具有预定弹性的材料(例如，橡胶材料或丙烯酸类材料)形成。如图7A中所示出的，加压部件20具有格子结构，并且其格子大小(即，构成格子的相邻条之间的间隔的大小)被设定为大于每一个显示単元的大小。加压部件20被设定为对相邻于并且包围由激光束9照射的显示单元的显示单元加压。换句话说，当激光束9被首先照射到分别布置在第二玻璃衬底的四个角处的四个接合材料42时，通过カF对与四个接合材料42中的每ー个相邻的三个显示单元的接合材料44加压。接下来，激光束9被顺序地照射到未被加压部件20覆盖的12个接合材料43。然后，加压部件20沿方向X移动一个单位距离，以便设置可以被激光束新近照射的接合材料，并且激光束被顺序地照射到新近设置的接合材料。在这时候，顺序地加压包围由激光束9照射的接合材料的显示单元。继续地，加压部件20沿方向Y移动ー个単位距离，并且激光束9被照射到还没有被激光束照射的所有接合材料。如刚刚所描述的，当使用能够物理地对衬底加压的加压部件来制造OLED显示器的气密容器吋，玻璃料的粘合力増大，并且获得了提高OLED显示器的长期的可靠性的效果。当操作如上所述制造的OLED显示器吋，已确认图像显示性能被长期地稳定地維持，并且接合部分保证了可应用于OLED显示器的程度的強度和稳定的气密性。虽然已经參考示例性实施例描述了本发明，但是应当理解，本发明不限于所公开的实施例。以下权利要求的范围将被给予最宽的解释从而包括所有这样的修改、等同的结构与功能。
权利要求
1.一种气密容器的制造方法，包括 获得组装体的步骤，所述组装体包括彼此面对地布置的一对玻璃衬底以及均被布置在所述一对玻璃衬底之间的多个框状的接合材料；以及 通过将局部加热光照射到所述接合材料中的至少一部分来熔化所述接合材料中的所述至少一部分的步骤， 其中熔化接合材料的步骤包括将所述局部加热光照射到所述接合材料中的一部分以使得至少一个未被所述局部加热光照射的接合材料存在于通过直线地连结由所述局部加热光照射的接合材料而假定的一个封闭区域内的第一照射步骤、以及将所述局部加热光照射到存在于所述一个封闭区域内的未被所述局部加热光照射的接合材料的第二照射步骤。
2.根据权利要求I所述的气密容器的制造方法，其中 所述接合材料的粘度具有负温度系数，并且 所述接合材料的软化点低于所述玻璃衬底的软化点。
3.根据权利要求I或2所述的气密容器的制造方法，其中 所述接合材料被形成在空间中以使得最外周的接合材料沿着矩形区域的四边布置，并且 在所述第一照射步骤中，对于所述矩形区域的每一边，至少一个接合材料被所述局部加热光照射。
4.根据权利要求I或2所述的气密容器的制造方法，其中 所述接合材料被形成在空间中以使得最外周的接合材料沿着矩形区域的四边布置，并且 在所述第一照射步骤中，仅仅位于所述矩形区域的四角处的接合材料被所述局部加热光照射。
5.根据权利要求1-4中的任何一个所述的气密容器的制造方法，其中所述一个封闭区域由被画为在其中包括由所述局部加热光照射的每个接合材料并且具有最小长度的闭合线段来划界。
6.一种图像显示设备的制造方法，在其中使用根据权利要求1-5中的任何一个所述的气密容器的制造方法，其中 所述图像显示设备的制造方法包括在所述玻璃衬底中的一个玻璃衬底上形成多个发光单元以及在所述玻璃衬底中的另一个玻璃衬底上形成所述多个接合材料的步骤， 所述获得组装体的步骤包括将所述一对玻璃衬底彼此面对地布置以使得每一个发光单元由每一个接合材料包围，以及 所述图像显示设备的制造方法包括在第二照射步骤结束之后切断这两个玻璃衬底并且因此将所述玻璃衬底分成一个接合材料和一个发光单元的组的步骤。
全文摘要
本发明涉及气密容器和图像显示设备的制造方法。气密容器制造方法包括获得组装体的步骤，所述组装体包括彼此面对地布置的一对玻璃衬底以及均被布置在所述一对玻璃衬底之间的多个框状的接合材料；以及通过将局部加热光照射到所述接合材料中的至少一部分来熔化所述接合材料中的所述至少一部分的步骤。熔化步骤包括将所述局部加热光照射到所述接合材料中的一部分以使得至少一个未被照射的接合材料存在于通过直线地连结被照射的接合材料而假定的一个封闭区域内的第一步骤、以及将所述局部加热光照射到存在于所述一个封闭区域内的未被照射的接合材料的第二步骤。
文档编号H01L51/56GK102637832SQ20121002947
公开日2012年8月15日 申请日期2012年2月10日 优先权日2011年2月10日
发明者松本真持 申请人:佳能株式会社