专利名称：多功能石英舟的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种石英舟，尤其涉及一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟，属于石英制品技术领域。
背景技术：
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时的常用工具。扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN结的工艺环节，是太阳能电池制造的关键技术。现有的石英舟通常在连接杆上开槽为硅片形成一个置放区间，用于扩散时对硅片的承载。如申请号为200920068241. 4的中国实用新型专利，提供了一种石英舟，它包括支撑框架和支杠组件，支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠共四根支杠组成，该对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成，该对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成，该对上支杠所在的平面与该对下 支杠所在的平面相平行。该石英舟仅适合承载单种规格的硅片，当需要扩散的硅片的大小与上次扩散不同时，则需要另外提供一个与之大小相适的石英舟，不仅使用时麻烦，还得配备多种型号的石英舟。
发明内容
本发明的目的是为解决上述技术问题，提供一种多功能石英舟，该石英舟可以适应各种大小不同的娃片。本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的
多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨和龙筋，所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽，所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本发明上述技术方案中，内上角的内是相对舟体而言的内部，内上角的上是相对于龙骨或龙筋而言的上方，内上角的角则明确了龙骨或龙筋与承载的硅片具有接触点，该接触点谓为角。因此，所述卡槽设置在龙骨或龙筋与承载的硅片的接触点上，并且该接触点位于舟体的内部并且是龙骨或龙筋的上方。作为上述技术方案的优选，所述舟首和舟尾上均设置有相同轨槽；所述龙筋有两个，其中一个龙筋通过所述轨槽活动连接在所述舟首和舟尾上。作为上述技术方案的一种优选，所述轨槽的横截面为“一”字形。进一步的，与所述轨槽活动连接的龙筋，它的轴伸出所述轨槽，并且，其中一端，伸出部分粗于未伸出部分，另一端，未伸出部分粗于伸出部分。作为上述技术方案的另一种优选，所述轨槽的横截面为“I”字形。作为上述技术方案的再一种优选，所述轨槽的横截面为“T”字形。作为上述技术方案的优选，所述石英舟还具有4个支撑脚，所述支撑脚设置在舟首和舟尾的下部。进一步的，所述龙骨之间的间距为L，所述支撑脚高度为h，则满足以下关系h > 1/2L。通常情况下，L的大小还与硅片尺寸相适应，若硅片为圆形，则L大于半径小于直径；若硅片为方形，则L通常与边长相近。作为上述技术方案的优选，所述龙骨和龙筋之间还连接有肋骨。作为上述技术方案的优选，所述石英舟的舟首和舟尾上均设置有便于两根红外线穿透的两个小孔；所述石英舟的舟首和舟尾上还各设置有一对把柱，其中一对把柱的下缘还设置有洼口。本发明上述技术方案中，小孔的设置是让红外线可以穿透，所述红外线可以用于检测硅片的插槽情况。把柱的设置是便于石英舟工作时的固定。其中一对把柱上设有洼口，是便于在扩散完成时可以用手把石英舟拿出。综上所述，本发明具有以下技术效果· 本发明创造性地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式较之以往发生了改变，使得原本石英舟只适应一种规格大小的硅片变成了可以适应多种大小规格的硅片。
图I是对比例结构示意 图2是本发明实施例一的结构示意 图3是本发明实施例二的结构示意 图I中，I'-舟首，2'-舟身，3'-舟尾，21'-龙骨，22'-龙筋，201'-卡槽；
图2中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龙骨，22-龙筋，23-肋骨，201-卡槽，101-支撑脚，103-小孔，104-把柱，1041-洼口 ；
图3中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龙骨，22-龙筋，23-肋骨，201-卡槽，102-轨槽，211-轴，101-支撑脚，103-小孔，104-把柱，1041-洼口。
具体实施例方式以下结合附图对本发明做进一步的说明。本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出任何修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。对比例
如图I所示，一种石英舟。包括舟首r、舟身2'和舟尾3'，所述舟身2'由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨21'和龙筋22'，所述龙骨21'和龙筋22'上均设置有成排的卡槽201'。实施例一
如图2所不,多功能石英舟，包括舟首I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨21和龙筋22，所述龙骨21和龙筋22上均设置有成排的卡槽201，所述龙骨21和龙筋22上的卡槽201均设置在内上角。所述石英舟还具有4个支撑脚101，所述支撑脚101设置在舟首I和舟尾3的下部。所述龙骨21之间的间距为L，所述支撑脚101高度为h，则满足以下关系h > 1/2L。通常情况下，L的大小还与硅片尺寸相适应，若硅片为圆形，则L大于半径小于直径；若硅片为方形，则L通常与边长相近。所述龙骨21和龙筋22之间还连接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均设置有便于两根红外线穿透的两个小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上还各设置有一对把柱104，其中一对把柱104的下缘还设置有洼口 1041。 实施例二
如图3所不,多功能石英舟，包括舟首 I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨21和龙筋22，所述龙骨21和龙筋22上均设置有成排的卡槽201，所述龙骨21和龙筋22上的卡槽201均设置在内上角。所述舟首I和舟尾3上均设置有相同轨槽102 ;所述龙筋22有两个，其中一个龙筋22通过所述轨槽102活动连接在所述舟首I和舟尾3上。所述轨槽102的横截面为“一”字形。与所述轨槽102活动连接的龙筋22，它的轴211伸出所述轨槽102，并且，其中一端，伸出部分粗于未伸出部分，另一端，未伸出部分粗于伸出部分，由于该设置，便可以通过横向平移该龙筋22调整龙筋22之间的距离，以适应不同形状的硅片的承载；通过纵向平移该龙筋22使所述龙筋22与舟首I和舟尾3预紧。所述石英舟还具有4个支撑脚101，所述支撑脚101设置在舟首I和舟尾3的下部。所述龙骨21之间的间距为L，所述支撑脚101高度为h，则满足以下关系h > 1/2L。现有技术中由于硅片是边与水平面平行的方式放置的，因此不需要这个设置，而本发明中，由于硅片相对于现有技术转过一定角度放置，如图3所示，因此会有一部分伸出石英舟底部，如此设置便是为了避免在硅片插入时由于底部被顶住而无法插入的情况发生。通常情况下，L的大小还与娃片尺寸相适应，若娃片为圆形，则L大于半径小于直径；若娃片为方形,则L通常与边长相近。如此设置，不仅是适应与固定一定范围大小的硅片，还能增强硅片插入后的稳定性。所述龙骨21和龙筋22之间还连接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均设置有便于两根红外线穿透的两个小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上还各设置有一对把柱104，其中一对把柱104的下缘还设置有洼口 1041。在本技术领域里，洼口 1041的设置就可以有效减轻工人的劳动强度，而且只需要在其中一对把柱104上设置所述哇口1041即可。
权利要求
1.多功能石英舟，包括舟首(I)、舟身(2)和舟尾(3)，所述舟身(2)由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨(21)和龙筋(22)，所述龙骨(21)和龙筋(22)上均设置有成排的卡槽(201)，其特征在于所述龙骨(21)和龙筋(22)上的卡槽(201)均设置在内上角。
2.根据权利要求I所述的多功能石英舟，其特征在于所述舟首(I)和舟尾(3)上均设置有相同轨槽(102);所述龙筋(22)有两个，其中一个龙筋通过所述轨槽(102)活动连接在所述舟首(I)和舟尾(3 )上。
3.根据权利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述轨槽(102)的横截面为“一”字形。
4.根据权利要求3所述的多功能石英舟，其特征在于与所述轨槽(102)活动连接的龙筋(21)，它的轴(211)伸出所述轨槽(102)，并且，其中一端的伸出部分粗于未伸出部分，另一端的未伸出部分粗于伸出部分。
5.根据权利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述轨槽(102)的横截面为“I”字形。
6.根据权利要求2所述的多功能石英舟，其特征在于所述轨槽(102)的横截面为“T”字形。
7.根据权利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述石英舟还具有4个支撑脚(101)，所述支撑脚(101)设置在舟首(I)和舟尾(3 )的下部。
8.根据权利要求7所述的多功能石英舟，其特征在于所述龙骨(21)之间的间距为L，所述支撑脚(101)高度为h，则满足以下关系h > 1/2L。
9.根据权利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述龙骨(21)和龙筋(22)之间还连接有肋骨(23)。
10.根据权利要求I或2所述的多功能石英舟，其特征在于所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上均设置有两个小孔(103 );所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上还各设置有一对把柱(104)，其中一对把柱(104)的下缘还设置有洼口(1041)。
全文摘要
本发明涉及一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟，属于石英制品技术领域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨和龙筋，所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽，所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本发明创造性地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式较之以往发生了改变，使得原本石英舟只适应一种规格大小的硅片变成了可以适应多种大小规格的硅片。
文档编号H01L21/673GK102709219SQ20121007384
公开日2012年10月3日 申请日期2012年3月20日 优先权日2012年3月20日
发明者宋伟宏, 沈根法, 计斌, 陆建国 申请人:湖州奥博石英科技有限公司