专利名称：高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件的制作方法
技术领域：
本发明涉及吸气取放组件，特别涉及一种高速摆杆取放吸气组件。
背景技术：
在对晶片进行检测时，通常是将晶片利用真空吸气的方式，将晶片从供料机构中吸取，然后利用正压气体吹放在检测平台上的检测工位，进行一系列的晶片检测项目。随着晶体向小型化发展，晶体内的晶片越来越小，由于晶片过于微小重量非常轻，在放置晶片的时候正压空气非常容易把晶片吹飞，严重偏离检测位置，并且吹气量难以调整和控制，当把吹气量调小时，由于晶片静电以及晶片表面污染等因素，用传统的方式小晶片非常容易附着在吸头上，使放料失败。
发明内容
本发明的目的在于克服已有技术的不足，提供一种可以实现小晶片的良好定位的高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件。为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是本发明的高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。本发明的优点在于本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的高速取放，实现了小晶片的良好定位。
附图是本发明的高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明进行详细描述。本发明的高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，它包括安装在高速摆杆3上的吸嘴1，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板5上的摆杆马达4的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架9上。使用时所述的组件安装架固定安装在设备基台上。优选的所述的升降驱动装置包括摆杆升降马达8，所述的摆杆升降马达8的转轴通过凸轮连接件与凸轮固定安装，凸轮与安装在双滑轨上的凸轮槽板配合安装组成凸轮连杆机构7，带动摆杆马达及马达安装板和摆杆做升降运动，所述的双滑轨沿竖直方向安装在摆杆马达4侧壁上。当然所述的升降驱动装置也可以采用气缸推杆等结构。优选的沿竖直方向设置的平衡弹簧2的一端固定在凸轮连杆机构上并且平衡弹簧2的另一端固定安装在组件安装架上，用于抵消摆杆马达及马达安装板的重量减少摆杆升降马达8的负重，并保持凸轮连杆机构紧密配合。采用本组件的工作过程如下特制吸嘴I与高速摆杆3连接，通过真空回路连接真空阀产生真空负压吸取微小物体(在本设备中为晶片)；当要取放晶片时，特制吸嘴I通过真空阀产生真空负压，在供料平台上吸取晶片，通过摆杆马达4和摆 杆升降马达8把晶片高速移动到检测位置，真空阀切换为正压吹气，破坏吸嘴内部真空，使晶片掉落在检测平台上，进行放料动作，循环往复。
权利要求
1.高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，其特征在于它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。
2.根据权利要求I所述的高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，其特征在于所述的升降驱动装置包括摆杆升降马达，所述的摆杆升降马达的转轴通过凸轮连接件与凸轮固定安装，凸轮与安装在双滑轨上的凸轮槽板配合安装组成凸轮连杆机构，所述的双滑轨沿竖直方向安装在摆杆马达侧壁上。
全文摘要
本发明公开了高速取放微小轻小物体的高速摆杆组件，它包括安装在高速摆杆上的吸嘴，所述的吸嘴通过安装有真空阀的真空回路连接管与真空泵相连，安装在马达安装板上的摆杆马达的马达转轴与高速摆杆垂直相连，所述的摆杆马达与升降驱动装置相连，升降驱动装置安装在组件安装架上。本组件可以应用到晶体设备中用于晶片的高速取放，实现了小晶片的良好定位。
文档编号H01L21/687GK102832159SQ20121034505
公开日2012年12月19日 申请日期2012年9月14日 优先权日2012年9月14日
发明者李建平, 房桂磊 申请人:天津必利优科技发展有限公司