专利名称：运行稳定的用于倒片的变节距夹具的制作方法
技术领域：
本发明属于光伏硅片生产设备技术领域，尤其涉及光伏硅片生产设备中的运行稳定的用于倒片的变节距夹具。
背景技术：
为了提高光伏硅片扩散工艺的产能，在不改变工艺主设备的情况下，将硅片载具石英舟节距变小(如从4. 76mm变为4. 05mm)是最为便捷和广泛采用的方法。扩散工艺进行之前，硅片需要从另一种载具花篮倒入石英舟；工艺完成之后，硅片需要从石英舟倒入花篮以便将硅片传送到下一道工艺。因为工艺间的硅片传 送都采用4. 76mm的花篮，所以当石英舟节距为4. 76mm时，人工倒片时，只需将两个载具对齐就可以将硅片从一个载具推至另一个载具。但是当石英舟节距不是4. 76_时，就不能采用这种方法。目前采用的人工倒片方法是用吸盘一片一片将硅片从一个载具吸起然后插入另外一个载具。这种方法效率低下，劳动强度大，且碎片率不可控。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题是提供一种运行稳定的用于倒片的变节距夹具，该变节距夹具可以快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片，以克服现有技术存在的不足。为解决上述技术问题，本发明采用如下的技术方案一种运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述硅片搁置板具有厚部和薄部，所述厚部的厚度等于小节距高度，所述相邻层硅片搁置板在薄部位置形成间隙；所述多层硅片搁置板两侧还分别对应每层间隙位置设有间隔固定在调节板上的间距垫片，所述间距垫片的厚度与硅片搁置板的薄部的厚部之和等于大节距高度，所述下层间距垫片至顶层间距垫片的长度逐层等差递减；另外，还包括有驱动所述调节板使得间距垫片插入或拔出所述间隙的驱动机构。在本发明的具体实施方式
中，所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽，所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。这样，侧板能够约束硅片搁置板能够沿侧板内表面上下竖向滑动。为了减小与硅片的摩擦，以使得硅片能够容易的推入和推出硅片搁置板，所述搁置板具有掏空区域。所述薄部位于硅片搁置板的纵向中间位置，两侧边缘为楔形，所述间距垫片的首端也为楔形。这样的结构，有利于间距垫片插入薄部下方。所述驱动机构包括安装在框架上的调节螺杆，所述调节板具有螺纹孔，套在所述调节螺杆上。采用上述技术方案，本发明的运行稳定的用于倒片的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距，从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明进行详细说明图I为本发明的立体示意图；图2为侧板的结构示意图；
图3为硅片搁置板的结构示意图；图4为间距垫片的结构示意图；图5为调节板的结构示意图；图6为本发明的硅片搁置板、间距垫片以及调节板相互配合简易示意图；图7为图6右端的局部放大示意图。
具体实施例方式如图I所示，本发明的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，包括框架100、多层硅片搁置板200、间距垫片300以及驱动机构。其中，框架100由一个顶板110、一个底板120以及两块分立于左右两侧的侧板130合围而成，框架100的前后形成开口，可以让硅片进出。如图2所示，侧板130的内表面位于两侧具有竖向延伸的滑槽131，中间具有竖向延伸的条状缺口 132。如图3所不，每块娃片摘直板200整体厚度为4. 05mm,即厚部210，等于小节距闻度。硅片搁置板200在纵向中间位置具有薄部220，其厚度为2. 76_，边缘制作成楔形。这样，相邻层的硅片搁置板在薄部位置形成间隙。硅片搁置板200两端分别具有两个凸出滑块201，该凸出滑块201装配时，位于侧板130的滑槽131内。这样，硅片搁置板200在侧板130的滑槽131的约束下，可沿着侧板130上下运动。为减小与硅片的摩擦，以使得硅片能够容易的推入和推出硅片搁置板，硅片搁置板200的前后侧均具有掏空区域202。在多层硅片搁置板的两侧对应薄部的位置设有间距垫片300，如图4所示，间距垫片300为长条形垫片，厚度为2mm,首端301为楔形。再如图I结合图6所示，驱动机构包括螺杆401、旋钮402以及导向杆404。两个调节板403在同一高度位置具有与螺杆401配合的螺纹孔，两个螺纹孔的方向相反。两个调节板403分别安装在硅片搁置板的两侧，对应着侧板的条状缺口 132位置，条状缺口 132可以让调节板403通过。而螺杆401则穿过侧板，其端头上安装有旋钮402。基于人机工程学，旋钮位于夹具右侧上端以便人工调节。在底板120的两端具有分别具有一个支撑块406，支撑块406之间固定有一根导向杆405，该导向杆405从侧板的条状缺口 132中穿过，调节板403的下端具有导向孔，套在导向杆405上。从而使得在旋转402时，调节板403能够沿着导向杆405左右运动，从而驱动间距垫片300的厚部能够插进或拔出硅片搁置板200之间间隙。采用这样的结构，能够保证左右调节同步而不会有机构卡住的问题，除了采用上述螺杆外，还可以采用气缸推拉调节板。采用这样的结构，能够保证左右调节同步而不会有机构卡住的问题，除了采用上述螺杆外，还可以采用气缸推拉调节板。
间距垫片300是均匀间隔固定如图5所示的调节板403上。如图6和图7所示，下层间距垫片至顶层间距垫片的长度逐层等差递减。以上就是本发明的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，结合图6所示，其工作方式如下通过旋动旋钮402，螺杆401旋转，会驱动两侧的调节板403向两侧或者中心方向运动。在起始状态，在没有间距垫片插入时，节距是硅片搁置板的厚度，即4. 05mm。 当调节板403向中心方向运动时，首先是最底层的间距垫片插入到硅片搁置板的最底层的间隙中，使得节距变为4. 76mm，然后再依次向上间距垫片插入每层间隙，使每层的节距变依次变为4. 76mm。当调节板403向两侧运动时，首先是最顶层间隙中的间距垫片退出，使得最顶层的节距变回到4. 05mm，然后再依次向下使得间距垫片退出，节距依次变回到4. 05mm。从上述可以发现，节距的调节是从下层到上层的调节是逐步完成的。因此，整个夹具节距的节距的平稳性非常好。
权利要求
1.一种运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述硅片搁置板具有厚部和薄部，所述厚部的厚度等于小节距高度，所述相邻层硅片搁置板在薄部位置形成间隙；所述多层硅片搁置板两侧还分别对应每层间隙位置设有间隔固定在调节板上的间距垫片，所述间距垫片的厚度与硅片搁置板的薄部的厚部之和等于大节距高度，所述下层间距垫片至顶层间距垫片的长度逐层等差递减；另外，还包括有驱动所述调节板使得间距垫片插入或拔出所述间隙的驱动机构。
2.根据权利要求I所述的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽，所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。
3.根据权利要求I所述的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于所述搁置板具有掏空区域。
4.根据权利要求I所述的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于所述薄部位于硅片搁置板的纵向中间位置，两侧边缘为楔形，所述间距垫片的首端也为楔形。
5.根据权利要求I所述的运行稳定的用于倒片的变节距夹具，其特征在于所述驱动机构包括安装在框架上的调节螺杆，所述调节板具有螺纹孔，套在所述调节螺杆上。
全文摘要
本发明公开了一种运行稳定的用于倒片的变节距夹具，包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述硅片搁置板具有厚部和薄部，所述厚部的厚度等于小节距高度，所述相邻层硅片搁置板在薄部位置形成间隙；所述多层硅片搁置板两侧还分别对应每层间隙位置设有间隔固定在调节板上的间距垫片，所述间距垫片的厚度与硅片搁置板的薄部的厚部之和等于大节距高度，所述下层间距垫片至顶层间距垫片的长度逐层等差递减；另外，还包括有驱动所述调节板使得间距垫片插入或拔出所述间隙的驱动机构。本发明的运行稳定的用于倒片的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距，从而能够实现快速、半稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。
文档编号H01L21/687GK102881624SQ20121038288
公开日2013年1月16日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者朱绍明, 戴军 申请人:苏州罗博特科自动化设备有限公司