专利名称：用于石墨晶舟的固定柱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种固定柱，特别涉及一种用于承载太阳能电池芯片的石墨晶舟的固定柱。
背景技术：
太阳能电池的光照面一般都会有抗反射层或纹理结构，来减少入射阳光的反射。如果没有这样的话，入射阳光会有约30%的反射损失，这对太阳电池而言是相当严重的。硅晶太阳电池一般是使用氮化硅(SiN)来形成抗反射层，它不仅能有效的减少入射光的反射，而且还有钝化的作用，甚至能保护太阳电池，有防刮伤、防湿气等功能。抗反射层一般在等离子体化学气相沉积反应器中制作，等离子体化学气相沉积反应器属于水平炉管的形式，进行沉积前先将太阳能电池芯片垂直堆叠在长方形的石墨晶舟 中，石墨晶舟是由多个石墨板组合而成，用来当作产生等离子体的电极板及放置芯片的载具，这些电极板的形状也是被设计成在每片芯片上能提供一个均匀的等离子体环境以确保镀出来的薄膜非常均匀。这些垂直方向的石墨电极板，以一片接着一片，彼此互相平行的方式排列着，而且以间隔方式当作射频能量及接地的电极，因此等离子体就在每对的空间中产生。使用多个长的平板即可使得在一个工艺中，放入120片以上的芯片到反应器中。将芯片垂直放置在石墨电极板上时，须使用固定柱固定。请参照图I、图2与图3。图I为现有的石墨晶舟I承载太阳能电池芯片2的不意图。图2为图I中的固定柱10的俯视图。图3为图2中的固定柱10的侧视图。如图I至图3所示，现有的固定柱10包含有本体部100、颈部102以及头部104。固定柱10主要应用于生产太阳能电池芯片2的石墨晶舟I上，其功能是使太阳能电池芯片2承载于石墨晶舟I的固定柱10上而不掉落，并使太阳能电池芯片2能垂直地进出上述的等离子体化学气相沉积反应器进行镀膜。然而，在固定柱10承载太阳能电池芯片2时，太阳能电池芯片2的部分面积会受到固定柱10遮蔽。换言之，太阳能电池芯片2受到固定柱10遮蔽的部分面积将会因无法有效溅镀上氮化硅而产生固定柱痕(Pi n Mark)，使太阳能电池芯片2的外观有缺陷。
实用新型内容为解决前述问题，本实用新型的目的在于提供一种用于石墨晶舟的固定柱，在有效地防止太阳能电池芯片脱离固定柱的前提下，可将太阳能电池芯片上的固定柱痕尺寸有效地缩小。为达上述目的，本实用新型提供一种用于石墨晶舟的固定柱，该石墨晶舟用以承载一芯片，该固定柱包含—本体部，用以与该石墨晶舟结合，并承载该芯片；一颈部，与该本体部连接，用以供该芯片的边缘抵靠，该颈部的轮廓为一圆柱体，该圆柱体具有一第一半径；以及一头部，与该颈部连接，用以限制该芯片远离该本体部的移动，该头部的轮廓为一截头圆锥体，该截头圆锥体具有一第二半径及一第三半径，且该第三半径大于该第二半径。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中该头部的第二半径等于该颈部的该第一半径。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中该颈部的宽度范围为O. 2至O. 5毫米。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中该颈部与该头部的两侧形成两平行的侧壁。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中该颈部与该头部进一步截为具有两对平行的 侧壁。本实用新型固定柱的头部轮廓设计为截头圆锥体，与圆柱体的颈部连接，提供等离子体态反应气体进入的空间，可有效地大幅缩小芯片上的固定柱痕尺寸。而且，头部的截头圆锥体侧边斜面有助于芯片顺利导入。此外，可借着截去固定柱的颈部与头部的一部分，使颈部与头部的两侧形成两平行的侧壁，于镀膜时达到缩小芯片上的固定柱痕尺寸。另外，可借着截去固定柱的颈部与头部的一部分，使颈部与头部的四边形成两对平行的侧壁，于镀膜时达到缩小芯片上的固定柱痕尺寸。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
图I为现有的石墨晶舟承载太阳能电池芯片的不意图；图2图I中的固定柱的俯视图；图3为图2中的固定柱的侧视图；图4依据本实用新型的较佳实施例的石墨晶舟承载太阳能电池芯片的示意图；图5依据本实用新型的一实施例的固定柱的外观立体图；图6为图5的固定柱的俯视图；图7为图5的固定柱的侧视图；图8为图4中的固定柱承载芯片的局部正面放大图；图9为图4中的固定柱承载芯片的局部侧面放大图；图10依据本实用新型的另一实施例的固定柱的外观立体图；图11为芯片抵靠于图10的固定柱的局部正面放大图；图12依据本实用新型的又一实施例的固定柱的外观立体图；图13为芯片抵靠于图12的固定柱的局部正面放大图。其中，附图标记I石墨晶舟2芯片10固定柱100本体部102颈部104 头部4石墨晶舟[0040]40固定柱400本体部402颈部404 头部Rl第一半径R2第二半径R3第三半径50固定柱500本体部502颈部504头部506侧壁 508遮蔽区域60固定柱600本体部602颈部604头部606侧壁608遮蔽区域
具体实施方式
有关本实用新型的详细说明及技术内容，配合附图说明如下，然而所附的附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。请参照图4，图4为依据本实用新型的较佳实施例的石墨晶舟4承载太阳能电池芯片2的示意图。如图4所示，本实用新型的石墨晶舟4可用于承载太阳能电池芯片2，但不以此为限。例如本实用新型的石墨晶舟4也可用于承载圆形的半导体晶圆(圆片)，只要在半导体工艺中是采用垂直堆叠方式承载受载体，均可利用本实用新型的石墨晶舟4。如图4所示，本实施例的石墨晶舟4包含有三个固定柱40。石墨晶舟4的三个固定柱40可分别于太阳能电池芯片2的三个边上进行支撑。至于固定柱40的数量与位置，并不以图4为限，可端视太阳能电池芯片2的重心位置，或者是工艺上所需达到的稳定度而弹性地调整设置。以下将详细介绍本实施例的石墨晶舟4上的固定柱40的详细结构。请参照图5至图7，图5依据本实用新型的较佳实施例的固定柱40的外观立体图。图6为图5的固定柱40的俯视图。图7为图5的固定柱40的侧视图。如图5至图7所示，本实施例中，固定柱40主要包含有本体部400、颈部402以及头部404。本体部400，用以与石墨晶舟4结合，并承载芯片2 ;颈部402，与本体部400连接，用以供芯片2的边缘抵靠，颈部402的轮廓为具有第一半径Rl的圆柱体；以及头部404，与颈部402连接，用以限制芯片2远离本体部400的移动，头部404的轮廓为截头圆锥体，截头圆锥体具有第二半径R2及第三半径R3，且第三半径R3大于第二半径R2。头部404的第二半径R2可等于颈部402的第一半径Rl。颈部402宽度(即R3与R2的尺寸差)较佳范围为0. 2至0. 5毫米，颈部宽度愈小，愈能使芯片的边缘抵靠本体部400，提高镀膜的均匀性。请参照图8与图9，图8为图4中的固定柱40承载芯片2的局部正面放大图。图9为图4中的固定柱40承载芯片2的局部侧面放大图。如图9所示，当芯片2的边缘抵靠固定柱40的颈部402时，由于固定柱40的头部404轮廓设计为截头圆锥体，与圆柱体的颈部402连接，提供等离子体态反应气体进入的空间，可有效地大幅缩小芯片上的固定柱痕尺寸。而且，头部404的截头圆锥体侧边斜面有助于芯片顺利导入。[0058]另外，本实用新型的另一实施例中，如图10与图11所示，可借着截去固定柱50的颈部502与头部504的一部分，使颈部502与头部504的两侧形成两平行的侧壁506，于镀膜时达到缩小芯片2上的固定柱痕尺寸。固定柱50的头部504遮蔽于太阳能电池芯片2上的遮蔽区域508大体上可呈长方形。与图I至图3所示的现有固定柱10的颈部102与头部104均为圆柱体比较，当芯片2的边缘抵靠固定柱10的颈部102时，其遮蔽区域的外型约略为半椭圆形。另外，本实用新型的又一实施例中，如图12与图13所示，可借着截去固定柱60的颈部602与头部604的一部分，使颈部602与头部604的四边形成两对平行的侧壁606，于镀膜时达到缩小芯片2上的固定柱痕尺寸。固定柱60的头部604遮蔽于太阳能电池芯片2上的遮蔽区域608大体上可呈梯形。上述经截去固定柱的颈部与头部的一部分所形成的侧壁外型不以图10与图12为限，可依设计需求而弹性调整。 本实用新型分别以现有的固定柱10与本实用新型依照上述图12制作出的固定柱60承载太阳能电池芯片2垂直地进出上述的等离子体化学气相沉积反应器进行工艺之后，发现采用现有的固定柱10承载的太阳能电池芯片2上的固定柱痕的面积约为I. 1254mm2,而采用本实用新型依照上述图12制作出的固定柱60承载太阳能电池芯片2上的固定柱痕的面积约为O. 7566mm2。换言之,在依然可有效地防止太阳能电池芯片2脱离固定柱60的前提之下，本实用新型通过截去固定柱60的颈部602与头部604的一部分，即可将太阳能电池芯片2上的固定柱痕尺寸有效地缩小30 35%。当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种用于石墨晶舟的固定柱，该石墨晶舟用以承载一芯片，其特征在于，该固定柱包含: 一本体部，用以与该石墨晶舟结合，并承载该芯片； 一颈部，与该本体部连接，用以供该芯片的边缘抵靠，该颈部的轮廓为一圆柱体，该圆柱体具有一第一半径；以及 一头部，与该颈部连接，用以限制该芯片远离该本体部的移动，该头部的轮廓为一截头圆锥体，该截头圆锥体具有一第二半径及一第三半径，且该第三半径大于该第二半径。
2.根据权利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，该头部的第二半径等于该颈部的该第一半径。
3.根据权利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，该颈部的宽度范围为.O. 2至O. 5毫米。
4.根据权利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，该颈部与该头部的两侧形成两平行的侧壁。
5.根据权利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，该颈部与该头部进一步截为具有两对平行的侧壁。
专利摘要本实用新型公开一种用于石墨晶舟的固定柱。固定柱包含本体部、颈部以及头部。本体部用以与晶舟组合，并承载太阳能电池芯片。颈部与本体部连接，用以供芯片的边缘抵靠，颈部的轮廓为圆柱体。头部与颈部连接，用以限制芯片远离本体部的移动，头部的轮廓为截头圆锥体。固定柱的头部轮廓设计为截头圆锥体，与圆柱体的颈部连接，提供等离子体态反应气体进入的空间，可有效地大幅缩小芯片上的固定柱痕尺寸。
文档编号H01L21/673GK202585368SQ20122014014
公开日2012年12月5日 申请日期2012年3月31日 优先权日2012年3月31日
发明者李清福 申请人:屹峰股份有限公司