专利名称：用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统的制作方法
技术领域：
用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统技术领域[0001]本实用新型涉及集成电路封装技术领域，尤其是涉及一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统。
背景技术：
[0002]在传统的晶圆保护膜撕除系统中主要是通过马达驱动滚珠丝杆远动强行将废膜丢弃到垃圾箱内，废膜在重力和空气阻力的影响下随机飘动，易黏贴在垃圾箱内壁，在接下来的连续撕膜丢弃中会造成废膜堆积现象，废膜在垃圾箱内的陈放数量只有30张，超过此数量后废膜会超过垃圾箱高度，机器内手臂和工作台的远动会将溢出来的废膜带到产品上，对产品造成不良。实用新型内容[0003]本实用新型提供了一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，包括信号板、空气管路、电磁阀、数字显示器和“L”型风向扰流器，信号板控制电磁阀开启，空气管路通过电磁阀和数字显示器与“L”型风向扰流器相连。[0004]进一步，作为优选方案，在电磁阀和数字显示器之间安装有空气过滤器。[0005]为了改善保护膜的控制器及动作方式，增加风向扰流器，使得保护膜的撕除成功率达到99. 9%以上，解决了保护膜在撕除过程中不能丢弃到垃圾箱中，从而产生晶圆破损的现象，进而提高生产品质，品质事故减低为0，减轻作业人员的工作量，由每天平均清洁 19. 6次，减低到平均每天清洁3. 2次。
[0006]图1是具体实施例框图。
具体实施方式
[0007]
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。[0008]如图1所示，一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，其特征在于，包括信号板1、空气管路2、电磁阀3、数字显示器5和“L”型风向扰流器6，信号板I控制电磁阀3开启，空气管路2通过电磁阀3和数字显示器5与 “L”型风向扰流器6相连。在电磁阀3和数字显示器5之间安装有空气过滤器4。[0009]所述设计中信号板I用于接收电脑指令及控制电磁阀3工作。空气管路2主要用于气体传输。电磁阀3主要控制气体的打开和关闭。电磁阀3打开后气体传输到过滤器4, 过滤器4将气体中的油污及杂质过滤保证气体的质量对数字显示压力控制器5正常工作。 数字显示器5最终控制扰流气体的压力及流量。“L”型风向扰流器6控制废膜垂直下降，落在垃圾箱低。最终实现整个扰流系统的正常工作。[0010]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以 做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，其特征在于，包括信号板(I)、空气管路(2)、电磁阀(3)、数字显示器(5)和“L”型风向扰流器(6)，信号板⑴控制电磁阀⑶开启，空气管路⑵通过电磁阀⑶和数字显示器(5)与“L”型风向扰流器(6)相连。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，其特征在于在电磁阀(3)和数字显示器(5)之间安装有空气过滤器(4)。
专利摘要本实用新型涉及一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，包括信号板、空气管路、电磁阀、数字显示器和“L”型风向扰流器，信号板控制电磁阀开启，空气管路通过电磁阀和数字显示器与“L”型风向扰流器相连。通过利用电磁阀控制工作时电磁阀打开气体传输反之则关闭避免了气体浪费。数字显示器对“L”型扰流器压力及气流量的控制增加了气流的稳定性。此设计结构简单，维护便捷，且不易发生故障。
文档编号H01L21/67GK202888139SQ20122018320
公开日2013年4月17日 申请日期2012年4月27日 优先权日2012年4月27日
发明者甘宗保 申请人:海太半导体(无锡)有限公司