专利名称：晶圆盒的抵推装置的组合构造的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，特别是一种在抵推板的抵持凸缘装设一抵靠件来避免所述抵推板直接接触晶圆片的抵推装置的组合构造。
背景技术：
为避免晶圆片在运送过程中受到污染及碰撞，现有晶圆代工厂会利用一可运送及可密封的晶圆盒来放置及运送晶圆片。而常见的晶圆盒，其包含一盒罩、一晶圆放置架及一底座，其中所述晶圆放置架用以承载晶圆，通过所述晶圆放置架置放于所述盒罩及底座之间，并将三者组装成一体。晶圆盒在运送过程中为避免晶圆片表面与所述晶圆放置架产生磨擦，因此晶圆盒的盒罩内侧会加设一抵推装置，通过所述抵推装置可将晶圆片确实、牢固的抵持限位于所述晶圆放置架内。举例而言，如图1所示的中国台湾专利公告第M347674号揭示一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板11及一支撑板12。所述抵推板11用以接触及抵推晶圆片，所述支撑板12可活动的设于一晶圆盒的盒罩内侧，通过相关构件(图未示)使上述二者组装成一体。由于为了达到可随时监测晶圆放置架上的晶圆片，因此所述抵推板11由透视性佳的高分子材料，比如:聚对苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯树脂(PC)经塑料射出机加工而呈一体成形，其具有一抵持部111。所述抵推板11通过所述抵持部111来抵推晶圆片与所述晶圆放置架确实、牢固的抵持。然而，每一晶圆片经加工后欲放入晶圆盒时，其表面温度约为摄氏60度左右，因此所述抵持部111抵推晶圆片时，所述抵持部111表面经常遭受晶圆片的烫触而造成微熔凹损。此外，每一晶圆片经加工后其边缘处皆相当锋利，所述抵持部111表面经常遭受晶圆片的刮损而产生粉尘，进而污染到晶圆盒内的晶圆片。故，有必要提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，以解决现有技术所存在的缺陷。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其在所述抵推板的抵持凸缘装设一抵靠件，通过所述抵靠件的抵靠条来抵推表面温度高又尖锐的晶圆片，使抵持凸缘可不需直接接触晶圆片而避免抵持凸缘遭受烫触而造成凹损，以及防止抵持凸缘遭受刮损而产生粉尘的情形。本实用新型的次要目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其在所述抵靠件的结合柱的基部设有一间隔凸端，借此使所述抵靠条通过其结合柱而与所述抵持凸缘组装成一体，但所述抵靠条与所述抵持凸缘之间仍间隔一设定距离，以避免晶圆盒在清洗时水分残留在所述抵靠条与所述抵持凸缘之间的间隙里。本实用新型的另一目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其在所述抵靠条与所述抵持凸缘组装成一体时，在抵靠条的结合柱尾部再装设一锁固条。由于所述锁固条与所述抵靠条的结合柱为紧密配合，使抵靠条与所述抵持凸缘之间的结合更为牢固。本实用新型的又一目的在于提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其在所述锁固条欲与所述抵持凸缘接触的一侧设有一间隔凸端，借此使所述抵靠条、所述抵持凸缘与锁固条组装成一体，但所述锁固条与所述抵持凸缘之间仍间隔一设定距离，以避免晶圆盒在清洗时水分残留在所述锁固条与所述抵持凸缘之间的间隙里。为达上述目的，本实用新型提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板及一抵靠件。所述抵推板具有一抵持凸缘及多个组合孔，所述抵持凸缘凸设于所述抵推板的一侧，所述组合孔开设在所述抵持凸缘上。所述抵靠件具有一抵靠条及多个结合柱，所述结合柱凸设在所述抵靠条的一侧，并可移动的插设结合于所述抵推板的抵持凸缘的组合孔内。在本实用新型的一实施例中，所述抵靠件的各结合柱的一基部设有一间隔凸端。在本实用新型的一实施例中，所述抵靠件为一体成形的工程塑料条状物。在本实用新型的一实施例中，另设有一锁固条，其位于所述抵推板的另一侧，且具有多个锁固孔，以便紧配合结合所述抵靠件的结合柱。在本实用新型的一实施例中，所述锁固条的各锁固孔的一基部设有一间隔凸端。在本实用新型的一实施例中，所述锁固条为一体成形的高分子材料条状物。为达上述目的，本实用新型提供一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板、一抵靠件及一锁固条。所 述抵推板具有一抵持凸缘及多个组合孔，所述抵持凸缘凸设于所述抵推板的一侧，所述组合孔开设在所述抵持凸缘上。所述抵靠件具有一抵靠条及多个结合柱，所述结合柱凸设在所述抵靠条的一侧，并可移动的插设结合于所述抵推板的抵持凸缘的组合孔内。所述锁固条位于所述抵推板的另一侧，且具有多个锁固孔，以便紧配合结合所述抵靠件的结合柱。
图1，现有的晶圆盒的抵推装置的组合构造的立体分解图。图2，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的立体分解图。图3，本实用新型较佳实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的分解侧视图。主要组件符号说明:11抵推板111抵持部12支撑板2 抵推板21抵持凸缘211组合孔3 抵靠件31抵靠条32结合柱32a间隔凸端4 锁固条41锁固孔41a间隔凸端
具体实施方式
为了使本实用新型的上述及其它目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本实用新型较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。请参考附图2、3所示，其分别揭示本实用新型较佳实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的立体分解图及分解侧视图。本实用新型较佳实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造包含一抵推板2、一抵靠件3及一锁固条4。在本实施例中，所述抵推板2由透视性佳的高分子材料制成，譬如:聚对苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯树脂(PC)经塑料射出机加工而呈一体成形的片状物，且所述抵推板2具有一抵持凸缘21。再者，所述抵靠件3的材质的耐热性及耐磨损性需高于所述抵推板2的材质。所述抵靠件3由耐高温、耐磨损的工程塑料制成，譬如:具有酮类及酚的官能基的半结晶型工程塑料(PEEK)经塑料射出机加工而呈一体成形的条状物，且所述工程塑料优选的也取材自透视性佳的种类。所述抵靠件3具有一抵靠条31及多个结合柱32。另外，所述锁固条4由高分子材料制成，譬如:聚对苯二甲酸乙二酯(PET)或聚碳酸酯树脂(PC)经塑料射出机加工而呈一体成形的条状物，且所述锁固条4具有多个锁固孔41。如附图2及3所示，在所述抵推板2的抵持凸缘21的表面设有多个组合孔211。所述抵靠件3的结合柱32的数量及位置则对应所述抵持凸缘21的组合孔211来设置。而所述锁固条4的锁固孔41的数量及位置则对应所述抵靠件3的结合柱32来设置，所述锁固孔41的孔径稍小于所述结合柱32的外径。本实用新型第一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造的组装，依序先将所述抵靠件3的结合柱32对准插入所述抵推板2的抵持凸缘21上的组合孔211，使所述抵靠条31与所述抵推板2组装在一起；此时再把所述锁固条4的锁固孔41由所述抵推板2的背面对准所述抵推板2的结合柱32，使所述结合柱32紧配合的结合在所述锁固孔41内，通过上述步骤使所述抵推板2的抵持凸缘21、所述抵靠件3及所述锁固条4三者组装在一起。在另一实施方式中，所述锁固孔41的孔径也可等于所述结合柱32的外径，并利用黏胶、螺纹结合或热熔处理端部等方式来结合所述锁固孔41及结合柱32。请再参考附图2、3所示，本实用新型另一实施例的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其中所述抵靠件3的结合柱32的基部设有一间隔凸端32a，借此使所述抵靠件3的抵靠条31通过其结合柱32而与所述抵持凸缘21组装成一体，但所述抵靠条31与所述抵持凸缘21之间仍间隔一设定距离，以避免晶圆盒在清洗时水分残留在所述抵靠条与所述抵持凸缘之间的间隙里。此外，所述锁固条4的锁固孔41基部设有一间隔凸端41a，借此使所述抵靠条31、所述抵持凸缘21与锁固条4组装成一体，由于所述锁固条4与所述抵持凸缘21之间仍间隔一设定距离，同样可避免晶圆盒在清洗时水分残留在所述锁固条与所述抵持凸缘之间的间隙里。如上所述，相较于现有的晶圆盒的抵推装置的组合构造，本实用新型的晶圆盒的抵推装置的组合构造通过在所述抵推板的抵持凸缘装设一抵靠件，通过所述抵靠件的抵靠条来抵推表面温度高又尖锐的晶圆片，使抵持凸缘可不需直接接触晶圆片而避免遭受烫触而造成凹损，以及遭受刮损而产生粉尘的情形。并于所述抵靠条与所述抵持凸缘组装成一体时，在抵靠条的结合柱尾部再装设一锁固条。由于所述锁固条与所述抵靠条的结合柱为紧密配合，使抵靠条与所述抵持凸缘之间的结合更为牢固。此外，本实用新型另在所述抵靠件的结合柱的基部及所述锁固条的锁固孔的基部分别设有一间隔凸端，以避免晶圆盒在清洗时水分分别残留在所述抵靠条与所述抵持凸缘之间以及所述抵持凸缘与所述锁固条之间的间隙里。以上所述仅是本实用新型的优选实施例，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述晶圆盒的抵推装置的组合构造包含: 一抵推板，具有一抵持凸缘及多个组合孔，所述抵持凸缘凸设于所述抵推板的一侧，所述组合孔开设在所述抵持凸缘上；以及 一抵靠件，具有一抵靠条及多个结合柱，所述结合柱凸设在所述抵靠条的一侧，并可移动的插设结合于所述抵推板的抵持凸缘的组合孔内。
2.如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述抵靠件的各结合柱的一基部设有一间隔凸端。
3.如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述抵靠件为一体成形的工程塑料条状物。
4.如权利要求1所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，另设有一锁固条，所述锁固条位于所述抵推板的另一侧，且具有多个锁固孔，以便紧配合结合所述抵靠件的结合柱。
5.如权利要求4所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述锁固条的各锁固孔的一基部设有一间隔凸端。
6.如权利要求4所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述锁固条为一体成形的高分子材料条状物。
7.一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述晶圆盒的抵推装置的组合构造包含:一抵推板，具有一抵持凸缘及多个组合孔，所述抵持凸缘凸设于所述抵推板的一侧，所述组合孔开设在所述抵持凸缘上； 一抵靠件，具有一抵靠条及多个结合柱，所述结合柱凸设在所述抵靠条的一侧，并可移动的插设结合于所述抵推板的抵持凸缘的组合孔内；以及 一锁固条，位于所述抵推板的另一侧，且具有多个锁固孔，以便紧配合结合所述抵靠件的结合柱。
8.如权利要求7所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述抵靠件的各结合柱的一基部设有一间隔凸端。
9.如权利要求7所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述锁固条的各锁固孔的一基部设有一间隔凸端。
10.如权利要求7所述的晶圆盒的抵推装置的组合构造，其特征在于，所述抵靠件为一体成形的工程塑料条状物；及所述锁固条为一体成形的高分子材料条状物。
专利摘要一种晶圆盒的抵推装置的组合构造，其包含一抵推板、一抵靠件及一锁固条。所述抵推板具有一抵持凸缘。所述抵靠件具有一抵靠条及多个结合柱。所述锁固条具有多个锁固孔。通过所述抵推板的抵持凸缘与所述抵靠件的抵靠条以及所述锁固条组装在一起，以避免所述抵推板直接接触高温又尖锐的晶圆片，可进而减少所述抵持凸缘遭受烫触而造成凹损，以及防止所述抵持凸缘遭受刮损而产生粉尘。
文档编号H01L21/673GK202957226SQ201220607119
公开日2013年5月29日 申请日期2012年11月16日 优先权日2012年11月16日
发明者翁连波 申请人:耀连科技有限公司