专利名称：电子元件生产用密封容器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电子元件生产用密封容器。
背景技术：
电子元件生产过程中，需要经过多种处理工艺。有些处理工艺中，需要在密封装置中进行，处理时需要形成密封空间，以便形成负压或增压。如晶圆润湿是在润湿槽内进行，润湿时需要将槽内抽真空形成负压。但现有技术中的生产用容器，密封结构复杂，使用不方便，密封性能差。
实用新型内容本实用新型的第一个目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可快速实现密封的电子元件生产用密封容器。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现:电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端；所述槽体内壁设置有台阶；所述 密封盖包括:压盖本体，所述压盖本体设置有容腔；旋转机构，所述旋转机构与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内；按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置；传动机构,所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动；所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。优选地是，所述旋转机构均为圆形，所述按压机构可沿所述压盖本体径向移动地设置。优选地是，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述按压机构可沿通孔移动地设置。优选地是，所述的旋转机构旋转时，驱动按压机构沿压盖本体径向移动。优选地是，所述旋转机构沿一方向旋转时，驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动至突出于压盖本体侧壁；所述的旋转机构反向旋转时，驱动按压机构返回原位。优选地是，所述传动机构为连杆，所述连杆一端与按压机构连接，另一端与旋转机构可转动地连接；所述旋转机构旋转时，通过所述连杆驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动。优选地是，所述旋转机构的侧面设置有第一凹槽，所述连杆一端通过销轴可转动地设置在所述第一凹槽内。[0019]优选地是，所述旋转机构侧壁设置有凸块，所述第一凹槽设置于所述凸块上。优选地是，所述连杆另一端与所述按压机构可转动地连接。优选地是，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述通孔沿所述压盖本体外周面延伸至与容腔连通；所述按压机构设置于所述通孔内并可沿通孔移动地设置；所述按压机构沿所述通孔移动时受所述通孔导向而沿所述压盖本体径向移动。优选地是，还包括第一弹性复位装置，所述第一弹性复位装置在所述旋转机构旋转后产生弹性变形力，所述第一弹性变形力具有使旋转机构复位的趋势。优选地是，所述第一弹性复位装置为第一弹簧，所述第一弹簧一端连接在压盖本体上；另一端连接在旋转机构上。优选地是，还包括限制旋转机构旋转的限位装置，所述限位装置与压盖本体配合限制旋转机构旋转。优选地是，所述旋转机构设置有第一把手，所述第一把手突出于旋转机构设置；所述压盖本体上设置有两个以上容置槽，所述两个以上容置槽沿圆周方向分布；所述限位装置为限位销；所述限位销设置于所述第一把手上，所述限位销可上下移动地设置于所述容置槽上方，所述限位销一端插入所述容置槽内并可自所述容置槽内退出地设置。优选地是，还包括手柄，所述手柄一端可转动地安装于第一把手上，所述手柄与限位销固定连接。优选地是，还包括第二弹性复位装置，所述限位销一端自所述容置槽内退出时，所述第二弹性复位装置产生弹性变形力，该弹性变形力具有使所述限位销一端插入所述容置槽的趋势。
优选地是，所述第二弹性复位装置为第二弹簧，所述第二弹簧，所述第二弹簧套装于所述限位销上；还包括手柄，所述手柄一端可转动地安装于第一把手上，所述手限位销穿过所述手柄并与所述手柄固定连接；所述第二弹簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。优选地是，所述密封圈为0型圈。优选地是，所述压盖本体设置有上盖，所述上盖设置有穿孔；所述旋转机构设置有第一把手，所述第一把手穿过所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔内沿压盖本体圆周方向移动。优选地是，所述槽体内壁设置有导向装置；所述按压机构朝槽体内壁移动时，受到导向装置压迫而向下移动。优选地是，所述导向装置为第二凹槽，所述第二凹槽上壁为水平面；所述的按压机构为楔形块；所述楔形块沿压盖本体径向的厚度渐小，所述楔形块靠近压盖本体圆心一端的厚度大于远离压盖本体圆心一端的厚度。优选地是，所述导向装置为第二凹槽，所述第二凹槽上壁为斜面，所述斜面自槽体内壁起向下延伸；所述的按压机构为上表面为水平面。本实用新型中的电子元件生产用密封容器，槽体内壁设置台阶支撑密封圈。旋转机构转动时驱动按压机构运动，按压机构插入第二凹槽内并在插入第二凹槽内时受第二凹槽的槽壁压迫，驱动压盖本体向下移动，进而压缩密封圈。密封圈受压变形，可以达到更好的密封效果。[0035]本实用新型结构简单，可提高密封性能。而且本实用新型可通过限位装置保持良好的密封效果。而且本实用新型使用方便，可以快速实现密封。
图1为本实用新型实施例1结构正视图。图2为图1的俯视图。图3为图2中的A-A剖视图。图4为本实用新型实施例1俯视图，即第一状态示意图。图5为图4的侧视图。图6为本实用新型实施例1中的把手与手柄结构剖视图。图7为本实用新型实施例1第二状态俯视图。图8为本实用新型实施例1工作原理示意图，即第一状态示意图。
图9为本实用新型实施例1工作原理示意图，即第二状态示意图。图10为图9的侧视图。图11为本实用新型实施例2的A-A剖视图。图12本实用新型实施例3中的把手与手柄结构剖视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述:实施例1如图1、图2和图3所示，电子元件生产用密封容器，包括密封盖100和槽体200。密封盖100设置在槽体200上端。槽体200设置有腔体201。槽体200内壁设置有台阶202。0型圈20支撑在台阶202上。槽体200内壁设置有第二凹槽203。第二凹槽203的上壁204为水平面。如图4至图10所示，密封盖包括压盖本体10和上盖15。压盖本体10设置有容腔
11(图1所示)，上盖设15设置在压盖本体10上并封住容腔11。上盖15设置有穿孔16。上盖15设置有五个容置槽17。五个容置槽17沿圆周方向分布。压盖本体10的侧壁12设置有通孔13，通孔13自压盖本体10外周面延伸至与容腔11连通。压盖本体10下表面设置有0型圈20。0型圈20突出于所述压盖本体10下表面14。上盖15上固定安装有第二把手18。旋转机构30为圆形，旋转机构30与容腔11形状像适应。旋转机构30侧壁设置有六个凸块31。六个凸块31沿圆周方向均勻分布。每个凸块31侧面设置有一个第一凹槽32。销轴33贯穿设置在第一凹槽32处。旋转机构30设置有第一把手33。旋转机构30可旋转地设置在容腔11内，且第一把手33穿过穿孔16伸出容腔11之外。第一把手33上设置有手柄34。手柄34 —端通过第一销子332可转动地设置在第一把手33的第一孔331内。限位销35穿过手柄34的第二孔333，且其中部与手柄34通过第二销子342可转动地连接。限位销35 —端穿过第二孔333，另一端插置在容置槽17内；且限位销35可上下移动地设置。限位销35上套装有第二弹簧36。第二弹簧36—端抵靠在第一把手33上，另一端抵罪在手柄34上。[0053]连杆60 —端设置在第一凹槽32内，并可转动地通过销轴37与旋转机构30连接，另一端与楔形块40通过销钉41可转动地连接。楔形块40沿压盖本体10径向靠近压盖本体10圆心的一端的厚度大于远离压盖本体10圆心的一端的厚度。楔形块40设置于通孔13内并可沿通孔13移动。第一弹簧18设置在容腔11内，一端固定在压盖本体10上，另一端与旋转机构30连接。旋转机构30旋转时，拉伸第一弹簧18使第一弹簧18产生弹性变形力，该弹性变形力可使旋转机构30复位。如图1至图9所示，当限位销35插置在容置槽17内时，容置槽17限制限位销35沿压盖本体10圆周方向移动，进而通过第一把手33限制旋转机构30沿圆周方向转动。当需要旋转机构30转动时，向上提手柄34，使限位销35端部从容置槽17内退出。手柄34向上提时压迫第二弹簧36使其变形。限位销35从容置槽17内退出时，旋转机构30可以转动。顺时针转动第一把手33，带动旋转机构30顺时针转动。旋转机构30顺时针转动时，连杆60受旋转机构30驱动而转动。由于连杆60另一端与楔形块40连接，楔形块40受压盖本体10的通孔13限制而不能沿圆周方向移动。由于连杆60与旋转机构30可转动地连接，因此旋转机构30的圆周方向的驱动力可转化为使楔形块40沿压盖本体10径向移动的推力。楔形块40受推力驱动移动后突出于压盖本体10侧壁，进入第二凹槽202内。楔形块40进入第二凹槽20 2内的过程中，受第二凹槽202上壁压迫。由于楔形块40上表面为斜面，因此楔形块40在第二凹槽202内移动过程中受压迫而逐渐向下移动。楔形块40向下移动带动压盖本体10向下移动。压盖本体10向下移动压迫0型圈，使0型圈变形后增强密封效果。松开手柄34，在第二弹簧36的作用下，限位销35另一端插入一个容置槽17内，旋转机构30不能再旋转。此时，可将密封盖100锁紧在槽体200上，且压盖本体10对0型圈20保持持续的压力，使其一直保持良好的密封效果。需要打开槽体200时，抬起手柄34，使限位销35从容置槽17内退出。逆时针旋转第一把手33，使楔形块40退回通孔13内。手持第二把手18可将密封盖100抬起，打开槽体 200。实施例2如图11所示，本实施例与实施例1不同之处在于，按压机构40上表面为水平面，第二凹槽203的上壁204为斜面。上壁204自槽体内壁起向下延伸。其余结构与实施例1相同。由于上壁204为斜面，因此当按压机构40插入第二凹槽203内会受上壁204压迫向下移动，进而带动压盖本体10压迫密封圈20。实施例3如图12所示，本实施例与实施例1的不同之处在于，手柄34—端通过第一销子332可转动地设置在第一把手33的第一孔331内。限位销35穿过手柄34的第二孔333。限位销35设置有凸肩351。凸肩351 —端位于第二孔333内，另一端抵靠在手柄34上。第二孔333内设置有压缩弹簧36,压缩弹簧36 —端抵靠在凸肩351上,另一端抵靠在第二孔333内壁。限位销35 —端穿过第二孔333，另一端插置在容置槽17内；且限位销35可上下移动。其余结构与实施例1相同。实施例3的使用方式及原理与实施例1相同。本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
权利要求1.电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端; 所述槽体内壁设置有台阶； 所述密封盖包括: 压盖本体，所述压盖本体设置有容腔； 旋转机构，所述旋转机构与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内； 按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置； 传动机构，所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动； 所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。
2.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构为圆形；所述按压机构可沿所述压盖本体径向移动地设置。
3.根据权利要求2所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述按压机构可沿通孔移动地设置。
4.根据权利要求3所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述的旋转机构旋转时，驱动按压机构沿压盖本体径向移动。
5.根据权利要求4所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构沿一方向旋转时，驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动至突出于压盖本体侧壁；所述的旋转机构反向旋转时，驱动按压机构返回原位。
6.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述传动机构为连杆，所述连杆一端与按压机构连接，另一端与旋转机构可转动地连接；所述旋转机构旋转时，通过所述连杆驱动所述按压机构沿压盖本体径向移动。
7.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构的侧面设置有第一凹槽，所述连杆一端通过销轴可转动地设置在所述第一凹槽内。
8.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构侧壁设置有凸块，所述第一凹槽设置于所述凸块上。
9.根据权利要求6所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述连杆另一端与所述按压机构可转动地连接。
10.根据权利要求5所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述压盖本体的侧壁设置有通孔，所述通孔沿所述压盖本体外周面延伸至与容腔连通；所述按压机构设置于所述通孔内并可沿通孔移动地设置；所述按压机构沿所述通孔移动时受所述通孔导向而沿所述压盖本体径向移动。
11.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，还包括第一弹性复位装置，所述第一弹性复位装置在所述旋转机构旋转后产生弹性变形力，所述第一弹性变形力具有使旋转机构复位的趋势。
12.根据权利要求11所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述第一弹性复位装置为第一弹簧，所述第一弹簧一端连接在压盖本体上；另一端连接在旋转机构上。
13.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，还包括限制旋转机构旋转的限位装置，所述限位装置与压盖本体配合限制旋转机构旋转。
14.根据权利要求13所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述旋转机构设置有第一把手，所述第一把手突出于旋转机构设置；所述压盖本体上设置有两个以上容置槽，所述两个以上容置槽沿圆周方向分布；所述限位装置为限位销；所述限位销可上下移动地设置于所述第一把手上，所述限位销设置于所述容置槽上方，所述限位销一端插入所述容置槽内并可自所述容置槽内退出地设置。
15.根据权利要求14所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，还包括手柄，所述手柄一端可转动地安装于第一把手上，所述手柄与限位销固定连接。
16.根据权利要求15所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，还包括第二弹性复位装置，所述限位销一端自所述容置槽内退出时，所述第二弹性复位装置产生弹性变形力，该弹性变形力具有使所述限位销一端插入所述容置槽的趋势。
17.根据权利要求16所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述第二弹性复位装置为第二弹簧，所述第二弹簧，所述第二弹簧套装于所述限位销上；还包括手柄，所述手柄一端可转动地安装于第一把手上，所述手限位销穿过所述手柄并与所述手柄固定连接；所述第二弹簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。
18.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述压盖本体设置有上盖，所述上盖设置有穿孔；所述旋转机构设置有第一把手，所述第一把手穿过所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔内沿压盖本体圆周方向移动。
19.根据权利要求1所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述槽体内壁设置有导向装置；所述按压机构朝槽体内壁移动时，受到导向装置压迫而向下移动。
20.根据权利要求19所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述导向装置为第二凹槽，所述第二凹槽上壁为水平面；所述的按压机构为楔形块；所述楔形块沿压盖本体径向的厚度渐小，所述楔 形块靠近压盖本体圆心一端的厚度大于远离压盖本体圆心一端的厚度。
21.根据权利要求19所述的电子元件生产用密封容器，其特征在于，所述导向装置为第二凹槽，所述第二凹槽上壁为斜面，所述斜面自槽体内壁起向下延伸；所述的按压机构为上表面为水平面。
专利摘要本实用新型公开了一种电子元件生产用密封容器，其特征在于，包括密封盖和槽体，所述密封盖设置于槽体上端；所述槽体内壁设置有台阶；所述密封盖包括压盖本体，所述压盖本体设置有容腔；旋转机构，所述旋转机构与容腔形状像适应，所述旋转机构可旋转地设置在容腔内；按压机构，所述按压机构可朝向槽体内壁往复移动地设置；传动机构，所述旋转机构与按压机构通过传动机构连接；所述旋转机构旋转时通过传动机构驱动按压机构往复移动；所述压盖本体与所述台阶之间设置有密封圈，所述按压机构朝槽体内壁移动时受槽体内壁压迫而带动压盖本体朝所述台阶移动而压缩密封圈。本实用新型结构简单，可提高密封性能。
文档编号H01L21/00GK203118913SQ20122075035
公开日2013年8月7日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者王振荣, 刘红兵, 陈概礼 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司