有机-无机复合日盲型紫外光探测器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器。它包括石英基底、透明金属电极层、电极修饰层、有机-无机复合活性层、阴极修饰层、金属电极层；从石英基底自下而上顺次设有透明金属电极层、电极修饰层、有机-无机复合活性层、阴极修饰层、金属电极层；所述的有机-无机复合活性层为：有机给体材料D和无机受体材料A的混合层或叠合的有机给体材料D层和无机受体材料A层。所述的有机给体材料D的分子结构通式为：其中，R为吡啶、吡嗪、嘧啶、哒嗪、三嗪、三唑。本发明可以改善超宽带隙有机给体材料的载流子迁移能力，实现了对300nm以下辐射的选择性响应，大大避免的普通ITO基底对300nm以下辐射的吸收。
【专利说明】有机-无机复合日盲型紫外光探测器
【技术领域】
[0001]本发明涉及探测器，尤其涉及一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器。
技术背景
[0002]太阳紫外辐射在穿越大气层的过程中，由于受到热层中的氧原子及平流层中臭氧的强烈吸收，只有300-400nm波段的紫外线能够到达近地表面空间(25000米以下)，导致在该空间大气内几乎不存在0-300nm波段的紫外辐射，这一波段即所谓“日盲区”;而达到地表的紫外线由于大气的散射作用形成了均匀的紫外线背景，被称为“可见盲区”。鉴于“日盲区”紫外信号所具有的地表背景洁净、不受日光的干扰、信号处理负担轻的优势，对“日盲区”紫外信号的探测(接收)，不管在民用还是军用领域都有着重要的应用需求。如在高压输电线路的检修过程中，电线短路会出现电弧放电现象，发出300nm以下紫外辐射，利用“日盲区”紫外光探测技术，即使在白天也能及时、快速地定位故障点，从而将损失降到最低限。又如在军事领域，火箭或者飞机的尾焰都会发出特征的300nm以下紫外辐射，利用“日盲区”紫外光探测技术，可以实现对火箭和飞机的制导、预警。
[0003]“日盲区”紫外探测器一般由无机半导体材料如金刚石、AlGaN和MgZnO等制备而成。虽然这类材料具有高的迁移率和良好的稳定性，但是它们的加工工艺复杂，制备成本高昂，因此限制了大面积应用。另一方面，有机以及有机-无机复合半导体由于其低廉的成本和优异的加工性能近年来受到人们的广泛关注并在各种光电器件中得到应用，其中也包括紫外探测器(CN101345291A，CN101055205A)。
[0004]以有机或有机-无机复合半导体作为活性层的紫外探测器一般以镀有导电氧化铟锡(ITO)薄膜的玻璃作为基底电极和透光窗口(探测面)，由于ITO玻璃对300nm以下紫外的阻隔作用，这种器件一般只能对300nm以上波段的近紫外光进行探测。如果以透明金属电极作为对电极并使光从此侧入射，虽然能够将器件的探测区间延伸到300nm以下波段，但为了尽可能提高300nm以下电磁波在透明金属电极层的透过率，一般都需要将透明金属电极层制作得很薄，这就在大大增加了探测器中活性层材料与外界环境中水、氧的接触几率，不利于器件的长时间工作，这就需要设计新的器件结构。同时，如果要使器件实现本征的日盲紫外波段响应，就必须对活性层材料带隙宽度进行严格的限制。
[0005]通过合理的分子结构设计，以在日盲紫外区间具有强吸收特性的有机半导体材料为给体、受体材料，在给体、受体材料合理组合的基础上，实现了对“日盲区”辐射的选择性响应。由于给体、受体材料都仅在300nm以下有吸收，所以器件避免了可见盲区紫外线和可见光信号的干扰。同时，将透明金属电极移到石英基底一侧，并以石英基底侧作为探测面，就可以使用比较厚的对电极(阴极)层材料，有利于保护活性层材料。
【发明内容】
[0006]本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器。[0007]有机-无机复合日盲型紫外光探测器包括石英基底、透明金属电极层、电极修饰层、有机-无机复合活性层、阴极修饰层、金属电极层；从石英基底自下而上顺次设有透明金属电极层、电极修饰层、有机-无机复合活性层、阴极修饰层、金属电极层；所述的有机-无机复合活性层为:有机给体材料D和无机受体材料A的混合层或叠合的有机给体材料D层和无机受体材料A层；所述的无机受体材料A为钽酸钠，钽酸钠粒径为3-80nm，所述的有机给体材料D的分子结构通式为:
【权利要求】
1.一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器，其特征在于包括石英基底(I)、透明金属电极层(2)、电极修饰层(3)、有机-无机复合活性层(4)、阴极修饰层(5)、金属电极层(6);从石英基底(I)自下而上顺次设有透明金属电极层(2)、电极修饰层(3)、有机-无机复合活性层(4)、阴极修饰层(5)、金属电极层(6);所述的有机-无机复合活性层(4)为:有机给体材料D和无机受体材料A的混合层或叠合的有机给体材料D层和无机受体材料A层；所述的无机受体材料A为钽酸钠，钽酸钠粒径为3-80nm，所述的有机给体材料D的分子结构通式为:
2.根据权利要求1所述的一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器，其特征在于所述的混合层中无机受体材料A的重量分数为5~95%。
3.根据权利要求1所述的一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器，其特征在于所述的透明金属电极层(2)的材料为银、铝或银/铝混合物，厚度为2-20nm。
4.根据权利要求1所述的一种有机-无机复合日盲型紫外光探测器，其特征在于所述的金属电极层(6)的材料为银、铝、镁或金。
【文档编号】H01L51/46GK103682103SQ201310689301
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年12月13日 优先权日:2013年12月13日
【发明者】吴刚, 陈红征, 汪茫 申请人:浙江大学