用于二维基板的加工站与用于加工二维基板的方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于二维基板的加工站，其包括至少两个加工单元与彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线，其中所述加工单元两者均定位于两个传送线之间并且其中，设有用于使基板自传送线运动至加工单元及自加工单元返回传送线的器件。用于使基板运动的器件具有各包括至少一个基板支撑件的四个线性传送单元，其中第一线性传送单元自第二传送线引向第一加工单元，第二线性传送单元自第一传送线引向第一加工单元，第三线性传送单元自第一传送线引向第二加工单元，第四线性传送单元自第二传送线引向第二加工单元。
【专利说明】用于二维基板的加工站与用于加工二维基板的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于二维或平面基板的加工站，其包括至少两个加工单元和彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线以及用于使基板自传送线运动至加工单元及自加工单元返回传送线的器件，其中所述加工单元两者均定位于两个传送线之间。本发明还涉及一种用根据本发明的加工站加工二维基板的方法。
【背景技术】
[0002]在国际专利申请第一次公开版本WO 2011/000442 Al中揭露一种用于二维基板的这种加工站，其实施为丝网印刷加工站。未经处理的基板，尤其是未经印刷的太阳能电池晶片，由传送线转运至印刷巢(print nest)，然后，印刷巢在平面台上移动到两个丝网印刷站中的一个。在印刷太阳能电池晶片后，印刷巢返回其起点，并且已印刷的太阳能电池晶片再次转运至传送线。
[0003]国际专利申请第一次公开版本WO 2009/141319 Al揭露一种用于太阳能电池晶片的大致类似的丝网印刷站，其中，旋转分度台上共设四个印刷巢。相应印刷巢上的太阳能电池晶片使用旋转分度台移动到丝网印刷站，并返回传送线。传送线在转运至印刷巢的转运点区域内配设升降带，以便使印刷巢的行进路径或轨迹保持畅通，且允许印刷巢运动至相应的转运点。还可以以所谓的交叉流配置(Cross-Flow-Konfigurat1n)处理太阳能电池晶片，其中，太阳能电池晶片从第一传送线转运至印刷巢，在印刷太阳能电池晶片后，印刷巢运动至第二传送线，而后由第二传送线将已印刷的太阳能电池晶片运走。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供用于二维基板的改进加工站及用于加工二维基板的改进方法。
[0005]根据本发明，所述目的被实现，其中，提供一种用于二维基板的加工站，包括至少两个加工单元与彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线，其中所述加工单元两者均定位于两个传送线之间并且其中，设有用于使基板自传送线运动至加工单元及自加工单元返回传送线的器件，用于使基板运动的器件具有各包括至少一个基板支撑件的四个线性传送单元，其中第一线性传送单元布置于第二传送线与第一加工单元之间，第二线性传送单元布置于第一传送线与第一加工单元之间，第三线性传送单元布置于第一传送线与第二加工单元之间，第四线性传送单元布置于第二传送线与第二加工单元之间。
[0006]使用线性传送单元简化结构设计，且允许以高速率和因而高的生产量、能量有效的操作，以及将基板支撑件定位于加工单元区域内的非常高精度操作。这种定位精度极为重要，尤其是在太阳能电池的印刷时，因为接触指形物通常极薄且其宽度不超过数分之一毫米，事实如此。具体地，当接触指形物在太阳能电池上的多层中印刷时，定位精度极为重要。甚至不超过数分之一毫米的小偏移便有可能导致第二层未被准确印刷在第一层上，而是偏离目标，从而致使太阳能电池本质上有缺陷。依照本发明所设置的线性传送单元允许提供高度精确的加工站。
[0007]在本发明的改进实施例中，第一及第四线性传送单元被构造成使得相应的基板支撑件运动至第二传送线区域内的公共转运点。在本发明的改进实施例中，第二及第三线性传送单元被构造成使得相应的基板支撑件运动至第一传送线区域内的公共转运点。
[0008]藉此，在每种情况下，两个线性传送单元能够在公共转运点处自传送线接管基板或者将基板转运至传送线。尽管设有两个加工单元与四个线性传送单元，但每条传送线仅需一个转运点。转运点例如可配设相机或其它类型的测量与监测装置，以便检测未经印刷的太阳能电池的整体性及其位置，同样对于已印刷的太阳能电池监测印刷的正确定位以及已印刷的太阳能电池的整体性。由于每条传送线仅需单个转运点，这种测量与监测站的构建工作因而可保持在低的水平。
[0009]在本发明的改进实施例中，加工单元两者均沿传送线的前移方向彼此隔开，四个线性传送单元从上方看处于菱形布置。
[0010]借助于菱形布置，两个加工站能连接到两个转运点，且加工单元与转运点之间的相应距离能保持同等长度。甚至线性传送单元以方形的形式布置也被认为是菱形布置。
[0011]在本发明的改进实施例中，线性传送单元是线性导引装置，滑块在线性导引装置上引导，所谓的线性轴。
[0012]借助于这种线性轴，实现基板支撑件的快速线性运动，且同样地，高定位精度是可能的。可以通过电动、气动或甚至液压致动来驱动线性轴。
[0013]在本发明的改进实施例中，第一及第二传送线在至线性传送单元间的相应转运点区域内适合于分段移离线性传送单元的基板支撑件的轨迹。
[0014]藉此，传送线与用于接管晶片或转运晶片的相应基板支撑件之间的间隙可保持极小，例如可用传送带转运太阳能电池晶片。如此不必使用搬运装置接合太阳能电池晶片，从而将损坏太阳能电池晶片的风险最小化，在晶片未经印刷和尤其是也处于已印刷状况时均是如此。由于传送线与相应基板支撑件之间的间隙保持小，可在转运和接管太阳能电池晶片时实现高定位精度。
[0015]在本发明的改进实施例中，第一及第二传送线在相应转运点区域内具有升降带、折叠带、回转或枢转带及/或伸缩带。
[0016]借助于这种装置，传送线可分段移离基板支撑件的轨迹，但仍可用带式传送装置转运或接管基板，而不必使用经由抓握臂或其它机构接合晶片的搬运装置。
[0017]在本发明的改进实施例中，加工单元是丝网印刷站，基板支撑件是印刷巢。
[0018]有利地，基板支撑件配设沿支撑表面运行的环形带。
[0019]借助于这种环形带，可以实现基板接管在相应的基板支撑件上以及基板自基板支撑件转运至相应的传送带。作为环形带的替代方案，可设置不可展开和可再次卷绕的带，例如纸带。
[0020]在本发明的改进实施例中，环形带适合于透射辐射和/或适合于被抽吸通过。
[0021]使用适合于透射辐射的环形带，可在例如环形带下方设置光源并可在环形带的相对侧设置相机，或者反之亦可。一般而言，电磁辐射的可穿透性通常也称为适合于透射辐射。适合于被抽吸通过的环形带的配置允许借助于低压力将待处理基板固定在基板支撑件上。反之亦然，适合于被抽吸通过的环形带的配置还允许例如借助于气流使基板至少分段提离环形带并例如运走基板。
[0022]本发明之下的问题还通过一种利用根据本发明的加工站加工二维基板的方法来解决，其中，借助于其中一个线性传送单元使未经加工的基板自其中一个传送线运动至加工单元，并借助于同一个线性传送单元将已加工的基板自该加工单元送回同一传送线。
[0023]借助于相应的线性传送单元可实现往复服务，其中，自传送线接管未经加工的基板并将其送往加工单元，在加工单元之后再次送回同一传送线并再次转运至所述传送线。由于传送线进一步以相同方向传移动已加工及未经加工的基板，未经加工的基板被转运至基板支撑件的方向与其稍后自基板支撑件被再次接管在传送线上的方向相同。
[0024]在本发明的改进实施例中，设置以下大体同时进行的传送运动:
-借助于第一线性传送单元使第一基板自第二传送线运动至第一加工单元，及 -借助于第二线性传送单元使第二基板自第一加工单元运动至第一传送线。
[0025]藉此，未经加工的第一基板可以运动至第一加工单元，大致同时地，已加工的第二基板运离第一加工单元。藉此可在加工基板特别是印刷太阳能电池时实现极短周期。
[0026]在本发明的改进实施例中，设置以下大体同时进行的传送运动:
-借助于第三线性传送单元使第三基板自第一传送线运动至第二加工单元，及 -借助于第四线性传送单元使第四基板自第二加工单元运动至第二传送线。
[0027]藉此，两个加工单元可以使用四个线性传送单元以高的周期供给。利用两个传送线完成未加工基板的供给移动与已加工基板的运离。包括两个加工单元、四个线性传送单元及两个传送线的这种布置具有如下优点:即使在其中一个加工单元发生故障或进行维护时仍能进一步工作，但具有降低的容量。从而，基本优点在于，两个传送线仍能操作移开已加工基板，使得位于受影响加工站下游的其它加工站可继续工作，但具有降低的容量。由此,在运行过程中，加工站的维护、维修或变换,例如更换丝网印刷站中的丝网，是可行的，而不必停运整条生产线。
[0028]在本发明的改进实施例中，在转运点区域内将基板自传送线转运至线性传送单元的基板支撑件以及反过来将基板自基板支撑件接管至传送线，并且传送线在转运点区域内分段运动，以便使基板支撑件的轨迹保持畅通。
[0029]由于传送线在转运点区域内运动并暂时使基板支撑件的轨迹保持畅通，藉此可在转运或接管基板时在传送线与基板支撑件间实现极小间隙。因而，例如使用带式传送器转运基板是可能的。
[0030]在本发明的改进实施例中，传送线的升降带、折叠带、回转或枢转带及/或伸缩带运动，以便使基板支撑件的轨迹在转运点区域内保持畅通。
[0031]藉此，可暂时使基板支撑件的轨迹保持畅通，仍能实现基板的快速的、保护材料与精确定位的转运或接管。
【专利附图】
【附图说明】
[0032]本发明的其它特征与优点将从权利要求及下文结合附图对本发明的优选实施例所作的说明显而易见。
[0033]图1示出了根据本发明的用于二维基板的加工站的俯视示意图，其实施为丝网印刷站； 图2示出了根据图1的加工站中实施为印刷巢的基板支撑件的侧面示意图；及图3示出了根据图1的加工站中实施为印刷巢的基板支撑件的另一示意图。
【具体实施方式】
[0034]图1的图示示出了用于二维基板的加工站10，在图示实例中为用于在太阳能电池晶片上印刷的丝网印刷站。加工站10具有用于丝网印刷的印刷单元形式的两个加工单元
12、14。彼此平行布置的两个传送线16、18将未经加工的基板(即未经印刷的太阳能电池晶片)分别传送至传送线16、18上的转运点20、22，然后，已加工的基板(即已印刷的太阳能电池晶片)再次运离转运点20、22。
[0035]加工站10具有四个线性传送单元24、26、28及30。每个所述线性传送单元24、26,28,30皆具有一个相应基板支撑件32、34、36、38，支撑件分别为印刷巢。借助于第一线性传送单元24，基板支撑件32可自第二传送线18上的转运点22运动至第一加工单元12，且再次返回。借助于第二线性传送单元26，基板支撑件34可自第一加工单元12运动至第一传送线16上的转运点20，且再次返回。使用第三线性传送单元28，基板支撑件36可自第一传送线16上的转运点20运动至第二加工单元14，且再次返回。借助于第四线性传送单元30，基板支撑件38可自第二加工单元14运动至第二传送线18上的转运点22，且再次返回。基板支撑件32、34、36、38的上述运动在每个情况下使用双向箭头表示。在每个情况下，线性传送单元24、26、28、30是所谓的线性轴，即具有线性导引装置，带有布置于其上的滑块以及用于滑块的驱动装置，例如使用线性马达而实现的电机驱动装置、主轴驱动装置或者甚至液压或气动致动装置。借助于这种线性轴，获得基板支撑件32、34、36、38的快速而高精度的运动，支撑件分别安装于线性轴的滑块上。
[0036]沿传送方向,第一传送线16与第二传送线18在相应转运点20、22的上游和下游各配设升降带40、42、44、46。如图1所示，未经加工的太阳能电池晶片50在第一传送线16的第一区段52上被向右传送并到达升降带40。而后未经加工的太阳能电池晶片50自升降带40被转运至基板支撑件36，该基板支撑件配设沿基板支撑表面运行的环形带。太阳能电池晶片50 —被放置于基板支撑件36上，所述支撑件即使用第三线性传送单元28朝第二加工单元14方向移动，直至基板支撑件36位于加工单元14下方的位置。在此位置，太阳能电池晶片50可用加工单元14的丝网印刷单元印刷。
[0037]为了使基板支撑件36离开其在传送线16上的位置(如图1所示)，布置于基板支撑件36下游的升降带42必须下降或上升，以便使升降带42离开基板支撑件36的运动范围。一旦基板支撑件36朝第二加工单元14方向运动一段距离，升降带42便可返回其初始位置。大体同时地，升降带40须上升或下降以便离开基板支撑件34的运动范围，该支撑件利用第二线性传送单元26自其在加工单元12中如图1所示的位置朝转运点20方向运动。基板支撑件34 —到达转运点20，安置在基板支撑件34上的已印刷的太阳能电池晶片50就可以转运至升降带42，而后在第一传送线16的区段54上使用传送线16向右(如图1所示)运离。
[0038]因而，第二线性传送单元26与第三线性传送单元28及分配的基板支撑件(分别为34、36)实施往复运动。当未经印刷的太阳能电池晶片被转运至基板支撑件36时，基板支撑件34位于加工单元12中并且太阳能电池晶片被印刷。当基板支撑件36位于第二加工单元14中时，基板支撑件34位于转运点20上并且已印刷的太阳能电池晶片被运走。
[0039]未经印刷的太阳能电池晶片50在第二传送线18上以类似方式自第一区段58被转运至升降带44，然后，从这里开始该升降带运动至基板支撑件32。未经印刷的太阳能电池晶片50 —被放置于基板支撑件32上，升降带44即上升或下降，以便使基板支撑件32的轨迹保持畅通。基板支撑件32随后可与安置在其上的未经加工的太阳能电池晶片50 —起利用线性传送单元24运动至第一加工单元12，以便在太阳能电池晶片上印刷。在基板支撑件32朝第一加工单元12方向运动的同时，基板支撑件34离开第一加工单元12并朝转运点20方向运动，以便将已印刷的太阳能电池晶片再次转运至传送线16。
[0040]在基板支撑件32远离转运点22朝第一加工单元12方向运动的同时，基板支撑件38与安置在其上的已印刷的太阳能电池晶片一起自其在第二加工单元14上的位置朝第二传送线18上的转运点22方向运动。为了不阻挡基板支撑件38的运动范围，布置于转运点22下游的升降带46上升或下降，直至基板支撑件38到达转运点22的位置。而后升降带46带到与基板支撑件38相同的水平，基板支撑件38上已印刷的太阳能电池晶片可以接管至升降带46，再从那里转运至第二传送线18的第二区段60并且运走。甚至在基板支撑件38位于转运点22上时，利用升降带44将另一未经印刷的太阳能电池晶片50转运到基板支撑件38，并且在升降带46离开基板支撑件38的运动范围后，再次运动至第二加工单元14上的位置(如图1所示)。
[0041]因而，当基板支撑件32、38位于转运点22上时，它们最初被卸载，其中，已印刷的太阳能电池晶片被向右运走，如图1所示。与此同时，基板支撑件32、38在转运点22处使用未经印刷的太阳能电池晶片50再次装载，所述晶片从左手边趋近，如图1所示。
[0042]基板支撑件34、36在第一传送线16上的转运点20处以类似方式被同时卸载与装载。
[0043]转运点20、22区域内设有测量与监测站，其配设相机与图像处理设备。藉此可在印刷前和印刷后检查太阳能电池晶片50、56有否受损，在基板支撑件上的定位是否正确，以及所印刷的触点的正确定位与完成。
[0044]图2的图示示出了实施为印刷巢的基板支撑件32的侧面示意图。基板支撑件32布置在滑块60上，该滑块继而在线性导引装置62上引导以纵向移动。线性导引装置62、滑块60、基板支撑件32与用于滑块60的驱动装置(未示出)一起构成线性传送单元24。线性传送单元26、28、30的设计大体相同。
[0045]基板支撑件32具有沿上部支撑表面运行的环形带64，如图2所示，太阳能电池晶片50支撑在该环形带上，利用该环形带可将太阳能电池晶片50放置于印刷巢，且再次运离印刷巢。在图2的图示中，该环形带始终按顺时针方向运动。环形带64适合于透射辐射且适合于被抽吸通过。基板支撑件32配设抽吸单元66，借助于该抽吸单元可在太阳能电池晶片50的下侧施加低压力。藉此可将太阳能电池晶片50不可移动地固定在基板支撑件32上。由此在传送基板支撑件32期间以及还在印刷太阳能电池晶片50期间避免太阳能电池晶片50相对于基板支撑件32滑动。
[0046]此外，环形带64配置成能够透射辐射。基板支撑件32内存在总体上设置成自下方照亮或照射太阳能电池晶片50的至少一个光源68或一个电磁辐射源。监测相机70(—般为辐射传感器)布置于基板支撑件32上方，用于监测处于未经印刷状况的太阳能电池晶片50，监测太阳能电池晶片50在基板支撑件32上的位置，监测在然后已印刷的太阳能电池晶片上的印刷图案，监测太阳能电池晶片在晶片内部及外侧面上的断裂，以及监测太阳能电池晶片的轮廓。使用监测相机的监测过程可利用通常借助于电磁辐射的入射光或透射光进行。相机70可固定布置于转运点20、22区域内；因而，不随基板支撑件32—同运动。
[0047]此外，在图2中，以示意图示出升降带44、46。如前所述，利用升降带44可将太阳能电池晶片50转运至基板支撑件32，其中，环形带64在转运过程中按顺时针方向循环并接管太阳能电池晶片50。在印刷后，太阳能电池晶片50于是可被升降带46接管，其中，对于该转运过程，环形带64如图2所示按顺时针方向类似地运动。参照图1，在基板支撑件32离开转运点22或朝该转运点运动的情况下，升降带44须上升或下降，以便使基板支撑件32的轨迹保持畅通。藉此可实现升降带44与基板支撑件32的环形带64之间的极小间隙，从而允许以非常保护材料与精确定位的方式自升降带44转运至基板支撑件32的环形带64。参照图1，当基板支撑件38朝转运点22方向运动或远离其运动时，升降带46以类似方式上升或下降。藉此可实现升降带46与基板支撑件32之间的极小转运间隙。
[0048]在丝网印刷站工作期间，未经印刷的太阳能电池晶片馈送在升降带44上。安置于印刷巢(基板支撑件32)上的太阳能电池晶片50在丝网印刷站12印刷且不得不由升降带46运走。借助于环形带64，未经印刷的太阳能电池晶片可自升降带44接管并且同时地，已印刷的太阳能电池晶片50可转运至升降带46。藉此可实现较短周期。
[0049]基板支撑件32进一步可配设用于循环环形带64的清洁装置72及用于监测或检查环形带的检查装置。例如，使用其它相机74，在接管及/或转运太阳能电池晶片50期间，可以检查环形带64有否受损以及有否受到污染。
[0050]图3的图示以另一倾斜俯视示意图示出了根据图2的基板支撑件32。基板支撑件32实施为印刷巢，将清楚的是，基板支撑件32以自由突出的方式设置在支撑框架76上，该框架继而固定于滑块60，该滑块可移动地布置在纵向导引装置62上。由于基板支撑件32以自由突出的方式设置于框架76上，环形带64可以以简单的方式沿基板支撑件32移动，从而被安装或更换。
[0051]环形带64借助于四个滚轮78、80、82 (但是仅其中三个可见)围绕基板支撑件32引导。滚轮82由带84 (例如，带齿的带)驱动，且通过未示出的驱动单元驱动。
[0052]滚轮78是张紧滚轮或张紧皮带轮，且可按双向箭头68的方向相对于基板支撑件32移动。藉此，环形带64可使用张紧皮带轮78张紧或松开。为了更换环形带64，张紧轮78向内(即在图3中向右上方)朝基板支撑件32方向运动。由此环形带64松开，从而现在能够以简单的方式自基板支撑件32移开。环形带64还可以简单的方式再次移动回到基板支撑件32上。借助于使滚轮78远离基板支撑件32运动(即在图3中朝左下方)，环形带64被再次张紧。因此，基板支撑件32的特定自由突出的配置或布置显著利于环形带64的更换。
[0053]环形带64沿支撑板88引导，该支撑板是透明的且在用虚线标示的区域90内配设通孔。如参考图2所述，藉此可在区域90内施加低压力。由于环形带64配置成被抽吸通过，支撑在环形带64上的太阳能电池晶片因而可以连同带一起被抽吸抵靠支撑板88上，从而不可移动地固定住。支撑板88的透明配置与环形带64的能够透射辐射的配置结合允许用透射光监测支撑在环形带64上的太阳能电池晶片50。措辞“透明”与“适合于透射辐射”在该上下文中应理解为包括甚至可见光范围以外的电磁辐射的可穿透性。
[0054]在图2的图示中清楚旨在用于监测环形带64的其它监测相机74。借助于相机74及合适的下游图像识别软件，可检测环形带64的受损以及污染。在检测环形带64的污染的情况下，可借助于中央控制系统在最初方法中尝试用清洁装置72对环形带64进行清洁。如果清洁失败(这使用监测相机74基于另一检查可以检测)，则控制器使环形带64发生运动，使得污染区域位于基板支撑件32上方，即位于支撑板88上方。在此位置，操作者于是可以以简单的方式对环形带64进行清洁。
[0055]如果清洁失败，必须更换环形带64，如前所述，为了该目的，张紧轮78向内移动，以便松开并因而释放环形带64。
【权利要求】
1.一种用于二维基板的加工站，包括:至少两个加工单元(12, 14)和彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线(16,…)、以及用于使基板自传送线(16, 18)运动至加工单元(12, 14)及自加工单元返回传送线的器件，其中，所述加工单元(12, 14)两者均设置在所述两个传送线(16, 18)之间， 其特征在于， 用于使基板运动的器件具有各包括至少一个基板支撑件(32, 34，36，38)的四个线性传送单元(24, 26，28，30),其中，第一线性传送单元(24)布置于第二传送线(18)的转运点(22)与第一加工单元(12)之间，第二线性传送单元(26)布置于第一传送线(16)的转运点(20)与第一加工单元(12)之间，第三线性传送单元(26)布置于第一传送线(16)的转运点(20)与该第二加工单元(14)之间，第四线性传送单元(30)布置于第二传送线(18)的转运点(22)与该第二加工单元(14)之间。
2.如权利要求1的加工站，其特征在于，该第一及第四线性传送单元(24,30)被构造成使得相应的基板支撑件(32, 38)运动至该第二传送线(18)区域内的公共转运点(22)。
3.如权利要求1或2的加工站，其特征在于，该第二及第三线性传送单元(26,28)被构造成使得相应的基板支撑件(32, 38)运动至该第一传送线(16)区域内的公共转运点(20)。
4.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，所述加工单元(12,14)两者均沿传送线(16, 18)的前进方向彼此隔开，所述四个线性传送单元(24, 26，28，30)从上方看处于菱形布置。
5.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，线性传送单元(24,26，28，30)是线性导引装置(62),滑块(60)在线性导引装置上引导，所谓的线性轴。
6.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，第一及第二传送线(16,18)在至线性传送单元(24, 26，28，30)的相应转运点(20, 22)区域内适合于分段移离线性传送单元(24, 26，28，30)的基板支撑件(32, 34，36，38)的轨迹。
7.如权利要求6的加工站，其特征在于，该第一及第二传送线(16,18)在相应转运点(20, 22)区域内具有升降带(40, 42，44，46)、折叠带、回转带及/或伸缩带。
8.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，加工单元(12,14)是丝网印刷站，基板支撑件(32, 34，36，38)是印刷巢。
9.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，基板支撑件配设有沿支撑表面运行的带。
10.如权利要求9的加工站，其特征在于，设有用于使该带以两个相反方向沿该支撑表面运动的装置。
11.如前述权利要求中至少一项的加工站，其特征在于，基板支撑件(32,34，36，38)配设有沿支撑表面运行的环形带(64)。
12.如权利要求11的加工站，其特征在于，该环形带(64)适合于透射辐射和/或适合于被抽吸通过。
13.—种利用如前述权利要求中任一项的加工站(10)加工二维基板的方法，其特征在于， 借助于线性传送单元(24, 26，28，30)中的一个使未经加工的基板自传送线(16,18)的转运点(20, 22)中的一个运动至加工单元(12, 14)，并借助于同一线性传送单元(24, 26，28，30)将已加工的基板自加工单元(12, 14)送回传送线(16, 18)的同一转运点(20, 22)。
14.如权利要求13的方法，其特征在于以下大体同时进行的传送运动: 借助于第一线性传送单元(24)使第一基板自第二传送线(18)运动至第一加工单元(12)并借助于第二线性传送单元(26)使第二基板自第一加工单元(12)运动至第一传送线(16)。
15.如权利要求13或14的方法，其特征在于以下大体同时进行的传送运动: 借助于第三线性传送单元(28)使第三基板自第一传送线(16)运动至第二加工单元(14)并借助于第四线性传送单元(30)使第四基板自第二加工单元(14)运动至第二传送线(18)。
16.如前述权利要求12至14中至少一项的方法，其特征在于，在转运点(20,22)区域内将基板自传送线(16, 18)转运至线性传送单元(24, 26，28，30)的基板支撑件(32,34，36，38)以及反过来将基板自基板支撑件转运至传送线，并且传送线(16, 18)在转运点(20, 22)区域内分段运动，以便使基板支撑件(32, 34，36，38)的轨迹保持畅通。
17.如权利要求16的方法，其特征在于，使传送线(16,18)的升降带(40, 42，44，46)、折叠带、回转带及/或伸缩带进行运动，以便使基板支撑件(32, 34，36，38)的轨迹保持畅通。
【文档编号】H01L21/677GK104321858SQ201380018401
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2013年2月25日 优先权日:2012年3月30日
【发明者】M.赖兴巴赫, M.鲍 申请人:Jrt光电有限责任两合公司