基座的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种供保护性气体真空高温处理设备的处理室用并且由石墨或CFC制成的基座，所述基座具有隧道状设计，并且所述基座的两个端部处均能通过盖件来闭合。本发明应能够提供可自由模块化扩展的基座，该基座具有节约材料的设计，并且尤其能够提供均匀的热膨胀。这通过以下事实来实现：所述基座(1)由沿着连续隧道依次对准的多个模块(2)构成，各模块(2)由管状部分(3)和固定至该管状部分的底板(4)构成，每对模块(2)之间的端面(5)以形状锁合的方式相互连接。
【专利说明】基座
[0001]本发明涉及供保护性气体真空高温处理设备的处理室用并且由石墨或CFC制成的基座，该基座是隧道状设计并且可通过盖件来闭合其两个端部。
[0002]基座被理解为是这样的组件，其位于直接处理区域中，并且用于接收待处理的制品或者以腔室的形式包围这些制品，使得处理室在很大程度上被分隔开。
[0003]基座被放置在承载结构上，承载结构同样由石墨或CFC(CFC:碳纤维复合物)构成。CFC材料是用于高温应用(例如，炉具中)的碳纤维复合材料。通过石墨盖件闭合基座的两个端部，石墨盖件大多数情况下悬于炉门并因此可以简单方式打开和闭合。
[0004]对于高温工艺而言，加热元件(大部分为杆状的加热元件)以均匀间隔布置在基座周围。
[0005]用于在热迁移设备中接纳半导体晶圆的异型基座的示例可得自EP I 590 510BI。
[0006]基座被用在真空处理设备中，真空处理设备用于生产和处理由工程陶瓷、硬金属和其它合金制成的组件，这些组件受气压和高温的作用。特别地，基座被用于相对于绝缘或其它炉具组件来限定处理室，使得它们受到保护，免受过量温度负载或由腐蚀性气体造成的负载的保护。
[0007]基本问题是基座在处理过程中的热膨胀。根据可用空间的位置和大小，基座可不再由石墨块制成。特别是，当基座(当从剖视图看时)对应于平坦化的管或者具有隧道状设计时，这样造成的问题是，必要时，必须使用不同的天然物质块或甚至不同的原材料来制造组件。
[0008]这带来的负面结果是，基座的各个组件在热膨胀方面存在差异。进而，这样的结果是，组件的耐久性受到限制并且基座变得相关于其余的炉具空间是有漏隙的。处理设备的性能由此受损，并且工艺参数灵活性大大受到限制。
[0009]在将整体天然物质块用于平坦化的管(基座)时，因大量的材料消耗而产生其它问题，这是因为要出现大的芯。由于大的天然物质块大体是没有被很好地压实成芯的，因此开孔芯或残余材料不能不受限制地用于其它应用。
[0010]本发明的目的在于提供一种可灵活地模块化扩展的基座，该基座具有节省材料的构造，特别地，具有均匀的热膨胀。
[0011]本发明的目的在于，通过以下方式实现开始所提到类型的基座，该基座由并排布置成连续隧道的多个模块构成，各模块由管状部分和紧固于该管状部分的底板构成，每两个模块之间的端面相互形状锁合。
[0012]本发明的优点一方面在于，基座可以任意长度组装，各个模块可由尽可能小的毛坯件制成，这些毛坯件进而具有在体积方面的高同质化划分，使得由它们制成的模块具有尽可能高的质量。
[0013]为了得到特别稳定的模块，当各管状部分与相关底板拧紧时，则是有利的。
[0014]在本发明的改进中，彼此对接的模块之间的形状锁合是通过异型的端面实现的，一个端面具有与另一个端面互补的形状。由于端面的异型化，这些端面拥有比平面端面更大的面积，从而确保了相邻模块之间的良好密封。
[0015]作为异型的端面的补充或替代，在这些端面中引入了孔，实现了两个相邻模块之间的更好的形状锁合，销接合在孔中以形成相邻模块的形状锁合。
[0016]在本发明的其它实施方式中，模块附加地以形状锁合和力锁合的方式相互连接。为此，相邻模块的底板设置有凹部，这些凹部在模块与模块之间延伸，并且连接元件以形状锁合的方式齐平地接合在该凹部中。这种连接元件可以是具有半圆形横截面的双T舌槽式连接元件。
[0017]各模块的管状部分还可由两个或多个部段构成，这同样提供了使用更小和更同质的毛坯件的优点。
[0018]最后，能够相互并排布置的模块可具有相同或不同的长度，由此实现对基座长度的细致分级，以及简化的仓储管理。
[0019]如果模块的所有组件是从相同的毛坯件切割而成的，则是尤其有利的，这是因为各个组件的热膨胀的可能差异由此被避免，使得模块在温度负载下不会变得有漏隙。
[0020]此外，可以在相邻模块的端面之间引入密封材料，适于该目的的是膜或石墨线密封件。
[0021]此外，模块还可通过利用石墨水泥或石墨粘合剂的粘接而牢固地彼此连接。
[0022]以下，通过示例性实施方式更详细地说明本发明。在附图中:
[0023]图1示出由独立的模块组装并且具有平坦化管状横截面的基座，模块均由设有底板的多个管状件组成；
[0024]图2示出基座的一部分的放大立体图；
[0025]图3示出基座的一部分；以及
[0026]图4示出用于舌槽式连接的连接元件。
[0027]图1示出由独立的模块2组装并且具有平坦化管状横截面的基座1，各模块2由设置有底板4的管状部分3构成。底板4被用螺钉固定到管状部分3。两个模块之间的端面5的轮廓被异型化(图2)，使得各组件可通过配合部以形状锁合的方式形状锁合在一起。端面可例如被构造成使得其中一个端面5具有与对置端面互补的形状。由此实现良好的形状锁合，同时，端面5之间的接触面积增大，从而导致更好的密封。
[0028]作为替代或补充，可在端面中设置孔，将销插入孔中，以形成相邻模块的形状锁合方式的连接。销同样由石墨或CFC构成。
[0029]为了确保在任何情况下都能借助石墨盖件(未示出)实现基座I的端部的良好闭合，外端面8可构造成是平坦的(图2)或具有另外的密封元件。
[0030]由于基座I的不容忽视的热膨胀，石墨盖件应该以可移动的方式或以弹簧加载移动方式悬挂于例如炉门上。
[0031]此外，可设置用于将模块2牢固地相互连接的力和形状锁合连接元件6 (图4)，该力和形状锁合连接元件6齐平地接合到位于底板4(图3)中的对应凹部9中。图4示出了具有半圆形横截面的双T舌槽式连接元件形式的这种连接元件6。
[0032]另外，可通过引入膜或石墨线密封件或者说通过利用石墨水泥或石墨粘合剂的粘接来增强接合位置的密封性。由此，同时实现的是，基座整体上表现得好像它是一体式制成的基座一样。基座I的所有组件均由石墨或CFC构成。
[0033]如果基座I由具有不同宽度的模块2组装而成，则可按简单方式实现基座的多个不同管长度。因此，能够针对基座I的生产，储存一定数量的不同宽度的模块2，并且可根据不同的客户需求进行快速响应。由此非常明显地简化了仓储管理。
[0034]尤其是当基座较大的情况下，如果管状部分3被划分成多个部段10 (图3)，则可以是有利的。这带来的优点是，内部空间大的基座可由相对小的毛坯件制成。这里，也提供了异型化的端面，使得各个部件可以形状锁合方式相互连接。另外，还可以使端面以力锁合方式相互连接，这可通过所描述的连接元件6来实现。
[0035]在任何情况下，模块2的各个部件的大小应该被选择成，使得它们可由相同的毛坯件制成。这确保了对于各模块2的各个部件而言，热膨胀是相同的，由此确保整个基座I具有均匀的纵向膨胀。因此，随时确保接合位置和端面相对于门或盖件的密封。
[0036]另外，在一些模块2中，可设置用于介质的供应和清除开口 7。可在图1中看出，各外侧模块2设置有这种开口 7。
[0037]当然，具有其它横截面形状(例如，矩形)的基座I也能够以如上所述的相同方式进行组装。
[0038]本发明确保了基座I的灵活的、模块化并节省材料的构造。
[0039]附图标记列表
[0040]I 基座
[0041]2 模块
[0042]3管状部分
[0043]4 底板
[0044]5 端面
[0045]6连接元件
[0046]7供应和清除开口
[0047]8 端面
[0048]9 凹部
[0049]10 部段
【权利要求】
1.一种由石墨或碳纤维复合物制成并且供保护性气体真空高温处理设备的处理室用的基座，所述基座被构造成隧道状，并且所述基座的两个端部中的每个端部均能被盖件闭合，其特征在于，所述基座(1)由沿纵向相互并排布置成连续隧道的多个模块(2)构成，各模块(2)均由管状部分(3)和固定至该管状部分的底板(4)构成，并且两个模块(2)之间的端面(5)均以形状锁合的方式相互连接。
2.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，各管状部分(3)均被旋拧到相关的底板⑷。
3.根据权利要求1所述的基座，其特征在于，相邻模块(2)之间的形状锁合是通过异型的端面(5)实现的，其中一个端面的形状与另一个端面的形状是互补的。
4.根据权利要求1至3所述的基座，其特征在于，作为所述异型的端面(5)的替代或补充，在所述端面(5)中引入了孔，销接合在所述孔中以形成所述形状锁合。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的基座，其特征在于，所述模块(2)以形状锁合和力锁合的方式相互连接。
6.根据权利要求5所述的基座，其特征在于，相邻模块(2)的所述底板(4)设置有凹部(9),所述凹部(9)在模块与模块之间延伸，并且连接元件￠)以形状锁合的方式齐平地接合到所述凹部(9)中。
7.根据权利要求6所述的基座，其特征在于，所述连接元件(6)是具有半圆形横截面的双丁舌槽式连接元件。
8.根据权利要求1至7中的任一项所述的基座，其特征在于，各模块⑵的所述管状部分(3)均由两个或更多个部段(10)构成。
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的基座，其特征在于，能够相互并排布置的所述模块(2)具有相同或不同的长度。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的基座，其特征在于，所述模块(2)的所有组件均是从相同的毛坯件切割而成的。
11.根据权利要求1至10中的任一项所述的基座，其特征在于，在相邻模块(2)的所述端面(5)之间引入了密封材料，所述密封材料诸如是膜或石墨线密封件。
12.根据权利要求1至10中的任一项所述的基座，其特征在于，相邻模块(2)通过石墨水泥或石墨粘合剂彼此牢固地连接。
【文档编号】H01L21/673GK104380451SQ201380028573
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2013年6月3日 优先权日:2012年6月1日
【发明者】T·科恩迈尔, M·维斯基兴, S·施蒂尔 申请人:Kgt石墨科技有限公司