一种用于激光器无遮挡镀膜的镀膜架装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种镀膜架，其包括：主体，中间薄两端厚，其中一端的端面中间开有两个螺纹孔，另一端表面的上表面开有两个通孔，中间为一具有开口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间；装配附件，其大小与主体相同，中间厚两端薄，第一端上表面开有两个螺纹孔，位置与所述主体的通孔相对应，同螺纹与所述主体固定；所述装配附件中间为两个高、低凸台，所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度，高凸台中间开有一细沟；滑片，在所述主体的矩形框架方口间移动，且由所述两个金属片上下夹持。本发明对镀膜样品完全没有遮挡，大大提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。
【专利说明】一种用于激光器无遮挡镀膜的镀膜架装置
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体【技术领域】，特别是一种半导体激光器腔面镀膜用的镀膜架。
【背景技术】
[0002]边发射半导体激光器前后两端的解理面可以形成谐振腔，但是因为两端解理面的反射率相同，两端都有激光输出，但通常情况下，只有一端的输出光能被利用，不仅浪费了激光能量，而且会产生很多的废热和安全隐患。要实现单边高功率输出必须使用腔面镀膜技术改变激光器前后腔面的反射率。边发射半导体激光器bar条的腔面很薄很长，厚度只有100多微米，长度通常为10_，为了提高镀膜效率和可靠性，需要将激光器bar条彼此之间紧密接触地放入镀膜架中。而在排列激光器bar条的过程中不能损伤激光器腔面，而且要求所有的激光器条的腔面要在同一水平面上，以防止镀膜时各个激光器条之间的相互遮挡。由于半导体的易断裂特性，对镀膜架装置和装镀膜架技术的要求很高，常见的镀膜架装置通常采用分层结构，中间一层框架的开口比上下两层框架的开口要大，使得宽度小于等于中间一层框架开口宽度的激光器条可以在镀膜架中滑动，而下面一层框架供装镀膜架时找齐激光器条的腔面的水平。但其弊端是激光器条的两端均被上下两个框架遮住，镀膜时激光器条的两端完全没有膜料镀上，而且由于上下两个框架在激光器条暴露出的镀膜区域的两侧也有镀膜阴影，会造成激光器腔面两侧的光学膜厚度不一致，这就意味着激光器腔面两端的光学膜反射率与腔面中间不一致，只能将这些部分去除，这样就减少了激光器的可利用面积，提高了激光器的成本。
[0003]在实现本发明的过程中，发明人意识到现有技术存在的缺陷，发明了一种无遮挡镀膜架，可以充分利用激光器芯片的面积，可以提高激光器bar条的数量，降低器件成本。
【发明内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]现有的腔面镀膜架对激光器腔面两端有遮挡，使得激光器腔面两端与中间光学膜厚度不一致，两端部分只能扔掉，所以装入镀膜架的激光器bar条比实际需要的要长很多，导致制作激光器用芯片的利用率降低，器件成本增高。针对上述技术问题，本发明提出一种无遮挡的镀膜架及其装配附件，由于本发明的镀膜架对激光器bar条的腔面无任何遮挡，且所有激光器bar条的腔面处在同一水平面，避免了激光器bar条两端与中间光学膜厚度不一致现象的发生，同时也避免了不同激光器bar条之间的相互遮挡。可以根据需要来截取镀膜用激光器bar条的长度，提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。
[0006]( 二 )技术方案
[0007]本发明提出了一种镀膜架，其包括:
[0008]主体，中间薄两端厚，其中一端的端面中间开有两个螺纹孔，另一端表面的上表面开有两个通孔，中间为一具有开口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间；[0009]装配附件，其大小与主体相同，中间厚两端薄，第一端上表面开有两个螺纹孔，位置与所述主体的通孔相对应，同螺纹与所述主体固定；所述装配附件中间为两个高、低凸台，所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度，高凸台中间开有一细沟；
[0010]滑片，在所述主体的矩形框架方口间移动，且由所述两个金属片上下夹持。
[0011](三)有益效果
[0012]本发明的镀膜架存在以下几个方面的有益效果:1、由于本发明的镀膜架对激光器腔面不存在任何遮挡，提高芯片的利用率；2、本发明的镀膜架可对任何小于镀膜架矩形方口宽度的激光器进行无遮挡镀膜；3、本发明的镀膜架可用于不同腔长的激光器腔面镀膜，提高了工艺的通用性。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1是本发明中镀膜架的分解立体示意图；
[0014]图2是本发明中镀膜架组装后的立体示意图；
[0015]图3是本发明中装有bar条的镀膜架使用示意图；
[0016]图4是利用本发明镀膜架对bar条镀膜后的效果示意图。
【具体实施方式】
[0017]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。
[0018]图1示出了本发明提出的一种无遮挡的镀膜架结构示意图。如图1所示，其包括:
[0019]镀膜架主体10，其为中间薄两端厚的结构，其中间为一矩形框架，所述矩形框架中间有一矩形方口 17，主体10的一端为顶端中间有两个螺纹孔16的厚台11，主体10的另一端为顶面中间有两个通孔15的厚台12，主体10中间的矩形框架的上表面和下表面各有一延伸到矩形方口的上、下金属片13和14。其中，所述厚台11和厚台12通过斜面过渡到中间的矩形框架，且所述上、下金属片13、14延伸到所述方口的中间。
[0020]镀膜架装配配件20，其大小与所述主体相同，为中间薄两端厚结构；在装配配件20的一端为开有两个螺纹孔25的凹台22，在装配配件20的另一端为凹台21，在装配配件20的中间为两个高、低凸台23和24，其中，所述高凸台23的中间有一细槽26，推动bar条在矩形方口 17内平移的镊子端部在细槽26内滑动；且所述高、低凸台23和24两端面为一斜面，与所述主体10的两厚台11、12的斜面相匹配，所述两个螺纹孔25的位置与所述主体10上两通孔15的位置相对应；。所述主体10通过螺钉创所述两个通孔15旋紧在所述装配配件20的两个螺纹孔25中。
[0021]另外，本发明镀膜架及其装配配件中还包含一滑块30，两螺钉40和两螺钉50。
[0022]镀膜架主体10及其装配配件20的组装图如图2所示，螺钉50穿过主体10上的通孔15拧在镀膜架装配配件20的螺纹孔25上，从而将镀膜架主体10和装配配件20固定在一起，镀膜架主体10矩形框架的下表面与镀膜架装配配件20高凸台23的上表面重合，；镀膜架主体10的下金属片14的下表面与镀膜架装配配件20的低凸台24的上表面重合；滑块30夹在金属片13和14中间，可以在矩形框的方口 17内自由的滑动；螺钉40拧在螺纹孔16上；
[0023]镀膜架主体及其装配配件装bar条的示意图如图3所示，bar条装在镀膜架矩形框架的方口 17中远离螺纹孔16的一端，滑块30顶紧bar条，螺钉40顶紧滑块30。
[0024]Bar条装好以后从装配配件20上取下来，放入镀膜机内镀膜，因为本发明的镀膜架无遮挡，所以激光器腔面可以均匀的镀膜，其效果如图4所示，其中每个矩形条代表一个激光器bar条。
[0025]此外，在本发明另一实施例中，所述主体10和装配配件20为圆形，所述矩形框架为两边为半圆形的框架。
[0026]综上所述，本发明是一种主要用于半导体激光器腔面镀膜的镀膜架及其装配配件，可以实现半导体激光器腔面无遮挡的镀膜。该技术可提高芯片的利用率，降低半导体激光器bar条的成本。
[0027]以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种镀膜架，其包括: 主体，中间薄两端厚，其中一端的端面中间开有两个螺纹孔，另一端表面的上表面开有两个通孔，中间为一具有开口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间； 装配附件，其大小与主体相同，中间厚两端薄，第一端上表面开有两个螺纹孔，位置与所述主体的通孔相对应，同螺纹与所述主体固定；所述装配附件中间为两个高、低凸台，所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度，高凸台中间开有一细沟；滑片，在所述主体的矩形框架方口间移动，且由所述两个金属片上下夹持。
2.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体两端通过斜面过渡到中间的矩形框架。
3.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体的矩形框架上的上下两片金属片各自延伸到镀所述框架方口的中间。
4.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体通过螺钉穿过所述两个通孔旋紧在装配附件相应位置的螺纹孔中。
5.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体装配在装配附件上后，所述主体矩形框架的下表面与所述装配附件的高凸台上表面相重合。
6.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述装配附件的高凸台与低凸台的边缘为斜面。
7.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体装配在所述装配附件上后，所述装配附件中低凸台的上表面低于所述主体矩形框架下表面金属片的下表面。
8.根据权利要求1所述的镀膜架，其特征在于，所述主体和所述装配附件为矩形或圆形。
【文档编号】H01S5/028GK104037617SQ201410270114
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年6月17日 优先权日:2014年6月17日
【发明者】赵懿昊, 王翠鸾, 刘素平, 马骁宇 申请人:中国科学院半导体研究所